微米级薄膜沉积设备项目现金管理【参考】.docx

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1、泓域/微米级薄膜沉积设备项目现金管理微米级薄膜沉积设备项目现金管理目录一、 最佳现金持有量的确定3二、 现金的持有动机和成本7三、 短期融资的概念和特征10四、 短期融资券12五、 营运资金管理策略的主要内容15六、 影响营运资金管理策略的因素分析16七、 营运资金的管理原则18八、 营运资金的特点19九、 项目简介21十、 产业环境分析25十一、 半导体薄膜沉积设备的发展情况25十二、 必要性分析32十三、 项目投资计划32建设投资估算表34建设期利息估算表35流动资金估算表37总投资及构成一览表38项目投资计划与资金筹措一览表39十四、 进度规划方案40项目实施进度计划一览表40一、 最佳

2、现金持有量的确定现金管理的目的是提高现金的使用效率，这就需要确定出最佳现金持有量。确定最佳现金持有量的方法很多，本章主要介绍成本分析模式、存货模式和随机模式。（一）成本分析模式成本分析模式是通过分析持有现金的成本，寻找使持有成本最低的现金持有量的一种方法。企业持有的现金，将会有三种成本。1.资金成本现金作为企业的一项资金占用，是有代价的，这种代价就是它的资金成本。假定某企业的资金成本率为10%，年均持有50万元的现金，则该企业每年现金的资金成本为5万元。企业持有的现金越多，资金成本越大。企业为了保证正常生产经营活动的需要，必须拥有一定的现金，也必须要付出相应的资金成本代价，但如果企业现金拥有量

3、过多，资金成本代价就会过大，这就需要企业慎重权衡2.管理成本企业拥有现金，就会发生现金的管理费用，如管理人员工资、安全措施费等。这些费用是现金的管理成本。管理成本是一种固定成本，不随企业现金持有量的多少而变动。3.短缺成本现金的短缺成本，是指企业因缺乏必要的现金，不能应付业务开支所需，而使企业蒙受的损失或为此付出的代价。现金的短缺成本随着现金持有量的增加而下降，随着现金持有量的减少而上升。上述三项成本之和为现金的总成本。使上述三项成本之和即现金总成本最小的现金持有量，就是最佳现金持有量。如果把上述三种成本线放在一个图上，就能表示出持有现金的总成本，找出最佳现金持有量的点：资金成本线向右上方倾斜

4、，短缺成本线向右下方倾斜，而管理成本线为平行于横轴的平行线，总成本线是一条抛物线，该抛物线的最低点即为持有现金的最低总成本。超过这一点，资金成本上升的代价会大于短缺成本下降的好处；这一点之前，短缺上升的代价又会大于资金成本下降的好处；这一点横轴上的量，即是最佳现金持有量。最佳现金持有量的具体计算，可以先分别计算出各种方案的资金成本、短缺成本之和，再从中选取出成本之和最低的，相应的现金量就是最佳持有量。（二）存货模式存货模式是由美国学者鲍莫于1952年提出的，因此又称鲍莫模式。该模型假定，企业在期初取得一定量的现金，企业在一定时期内现金流出是均匀发生的。在一定时期后当现金额降至零时，企业就卖出有

5、价证券来补充所需的现金满足下一时期的现金支出。现金和存货具有一定的相似性，存货经济订货模型也可以被用来确定最佳现金持有量。存货模型中，现金余额总成本包括两个方面。（1）现金持有成本，即持有现金所发生的机会成本，通常用有价证券的利息率来反映。通常包括企业因保留一定的现金余额而增加的管理费用及丧失的投资收益，其中；管理费用具有固定成本的性质，与现金持有量的关系不大；而放弃的投资收益，也就是机会成本则属于变动成本，与现金持有量同方向变化。因此，总体来说，企业保持的现金数量越大，现金持有成本也越高。（2）现金转换成本，即现金与有价证券转化的固定成本，如发生交易费用、管理费用等。这些费用中，固定性的交易

6、费用与交易的次数密切相关，因此，在现金需求量一定的情况下，每次现金持有量越少，变现次数越多，转换成本就越大；反之，每次现金持有量越多，变现次数越少，转换成本就越小。可见，现金转换成本与交易的次数成正比，而与现金持有量成反比。通过分析可以看出，企业保留的现金的余额越大，则现金的持有成本越高，但是现金的转化成本会相对较小。反之，企业保留的现金余额越小，则现金的持有成本越低，但是现金的转化成本会变大。因此，所要制定的最佳现金持有量就是上述两种成本之和最低时的现金持有量。存货模式可以精确地计算出最佳现金持有量。但是，运用该模式计算最佳持有量是在 一定的前提和条件下进行的，即现金流出是均匀发生的，而且现

7、金的持有成本和转换成本 都比较容易确定。只有满足了上述条件，才可以使用存货模型来确定最佳现金持有量。（三）随机模式随机模式文称米勒奥模式，它是由美国经济学家首先提出来的。该模型适用于现金需求量难以预知的情况下进行现金持有量的控制。该方法要求企业根据自身特点测算出一个企业现金持有量的控制范围，即现金持有的上限和下限，当现金持有量在该控制范围之内，企业不需要对现金持有量进行控制，如果现金持有量超过了上限，企业则需要买入有价证券，降低现金持有量。如果现金持有量低于下限，则要求企业抛售出持有的有价证券以保证企业对现金的需求。该方法的关键在于确定一条最优现金返回线R，当企业的现金持有量一旦超越了上限或下

8、限时，企业需要通过买入或卖出有价证券，正确调整现金持有量，使现金额达到最优现金返回线。该模式假设每日现金净流量是一个随机变量，且在一定时期内近似地服从正态分布每日现金净流量可能等于期望值，也可能高于或低于期望值。企业的现金存量是随机波动的，当其达到现金控制的上限，企业用现金购买有价证券，使现金量回落到现金返回线的水平；当现金存量降至现金控制的下限，企业则应转让有价证券换回现金，使其存量回升至现金返回线的水平。与存货模式相比，随机模式也依赖于交易成本和机会成本，且每次转换交易成本被认为是固定的，而每期持有现金的机会成本则是有价证券的日利息率，但是随机模式每期的交易次数是一个随机变量，其根据每期现

9、金流入与流出量的不同而发生变化。因此，每期的交易成本就决定于各期有价证券的期望交易次数。同理，持有现金的机会成本就是关于每期期望现金额的函数。二、 现金的持有动机和成本（一）现金的持有动机尽管货币资金通常被称为“非盈利资产”，然而任何企业都必须持有一定数量的现金，具体来说，企业持有货币资金的动机可归纳如下。1.交易动机为满足日常业务的现金支付，必须持有一定数额的货币资金。尽管企业也经常会收到现金，但现金的收支在时间数额上往往是不同的，若不维持适当的现金余额，就难以保证企业的业务活动正常进行下去。一般说来，企业为满足交易动机所持有的现金余额主要取决于销售水平。企业销售扩大，销售额增加，所需现金余

10、额也随之增加。2.预防动机预防动机即置存现金以防发生意外的支付。这种需求的大小与现金预算的准确性、突发事件发生的可能性及企业取得短期借款的难易程度有关。现金预算越准确，突发事件发生的概率越小，企业取得短期借款越容易，则所需预防性余额越小；反之，所需预防性余额越大。3.投机动机投机动机即企业为了抓住各种瞬息即逝的市场机会，获取较大的利益而准备的现金余额。比如遇有廉价原材料或其他资产供应的机会，便可用手头现金大量购入；再比如在适当时机购入价格有利的股票和其他有价证券，等等。当然，除了金融和投资公司外，一般地讲，其他企业专为投机性需要而特殊置存现金的不多，遇到不寻常的购买机会，也常设法临时筹集资金，

11、但拥有相当数额的现金，确实为突然的大批采购提供了方便。企业除以上三种原因持有现金外，也会基于满足将来某一特定要求或者为在银行维持补偿性余额等其他原因而持有现金。企业在确定现金余额时，一般应综合考虑各方面的持有动机。但要注意的是，由于各种动机所需的现金可以调节使用，企业持有的现金总额并不等于各种动机所需现金余额的简单相加，前者通常小于后者。另外，上述各种动机所需保持的现金，并不要求必须是货币形态，也可以是能够随时变现的有价证券以及能够随时转换成现金的其他各种存在形态，如可随时借入的银行信贷资金等。（二）现金的成本现金的成本通常由以下四部分组成。1.机会成本机会成本是企业不能同时用该现金进行有价证

12、券投资所产生的再投资收益，这种成本在数额上等同于资金成本。它与现金持有量成正比例关系。2.管理成本企业保留现金，对现金进行管理，会发生一定的管理费用，如管理人员工资及必要的安全措施费用等。这部分费用具有固定成本的性质，它在一定范围内与现金持有量的多少关系不长，是决策无关成本。3.转换成本转换成本是指企业用现金购买有价证券以及转让有价证券换取现金时付出的交易费用，即现金同有价证券之间相互转换的成本，如委托买卖佣金、委托手续费、证券过户费、实物交割费等。其中委托买卖佣金和委托手续费是按照委托成交金额计算的，在证券总额既定的条件下，无论变现次数怎样变动，所需支付的委托成本金额是固定的，因此属于决策无

13、关成本。与证券变现次数密切相关的转换成本便只包括其中的固定性交易费用。固定性转换成本与现金持有量成反比例关系。4.短缺成本现金短缺成本是指在现金持有量不足而又无法及时通过有价证券变现加以补充而给企业造成的损失，包括直接损失和间接损失。例如丧失购买机会、造成信用损失和得不到折扣的好处等，其中因不能按期支付有关款项而造成信用损失的后果是无法用货币来计量的。现金的短缺成本与现金持有量呈反方向变动关系。三、 短期融资的概念和特征（一）短期融资的概念短期融资又称流动负债，是指需要在1年或者超过1年的一个营业周期内偿还的债务。短期融资属于企业风险最大的融资方式，但也是资金成本最低的融资方式。短期债务融资由

14、于其具有可转换性、灵活性和多样性，以及成本低、偿还期短等特点，因此必须对其进行认真管理。通常采用的短期融资方式有：银行短期借款、短期融资券、商业信用；应交税金、应付利润、应付工资、应付账款、应付票据、预收货款、票据贴现等。（二）短期融资的特征（1）短期融资的周转期短。短期融资主要是为解决企业流动资金的需要，由于企业占用在流动资产上的资金，周转一次所需时间较短，通常会在1年或1个营业周期内收回，因此，短期融资具有周转周期短的特征。（2）短期融资中的大部分具有相对稳定性。在一个正常的生产经营企业中，短期负债中的大部分具有经常占用性和一定的稳定性，例如生产企业中的最低原材料的储备、在产品储备和商业企

15、业的商品最低库存等占用的资金，虽然采用短期融资方式筹集资金，但一般都是短期资金长期占用，一笔短期资金不断循环使用。因此说，短期融资中的大部分具有相对稳定的特征。（3）短期融资的财务风险较高。短期融资的到期日近，容易出现不能按时偿还本金的风险；短期负债尤其是银行短期借款在利息成本方面也有较大的不确定性。因为利用短期借款筹集资金，必须不断更新债务，而此次借款到期后，下次借款利息的高低是不确定的金融市场上短期负债的利息率有时会在短期内有较大的波动。（4）短期融资的资金成本较低。企业的短期融资不必承担长期负债的期限性风险，因为，企业的长期负债在债务期间内，即使没有资金需求，也不易提前归还，只好继续支付

16、利息。而如果使用短期负债，当生产经营紧缩，企业资金需求减少时，企业可以逐渐偿还债务，这样就可以减少利息支出，或在对方提供的折扣期内偿还应付账款，取得折扣优惠等，从而降低资金成本。四、 短期融资券短期融资券又称商业票据、短期债券，是由大型工商企业或金融企业所发行的短期无担保本票，是一种新型的短期融资方式。（一）短期融资券的种类1.按照发行方式的不同按发行方式不同，可将短期融资券分为经纪人代销的融资券和直接销售的融资券。经纪人代销的融资券又称间接销售融资券，它是指由发行公司卖给经纪人，然后再由经纪人卖给投资者的融资券。直接销售融资券是指发行人直接销售给最终投资者的融资券。直接发行融资券的公司通常为

17、经营金融业务的公司或自己有附属经营金融机构的公司，它们有自己的分支网点，有专门的金融人才，因此，有力量自己组织推销工作，从而节省了间接发行时付给证券公司的手续费。2.按照发行人不同按发行人的不同，可将短期融资券分为金融企业的融资券和非金融企业的融资券。金融企业的融资券是指由各大公司所属的财务公司、各种投资信托公司、银行控股公司等发行的融资券。这类融资券一般采用直接发行方式。非金融企业的融资券是指那些没有设立财务公司的工商企业所发行的融资券。这类融资券一般采用间接融资方式。3.按照融资券的发行和流通范围不同按融资券的发行和流通范围，可将短期融资券分为国内融资券和国际融资券。国内融资券是指一国发行

18、者在其国内金融市场上发行的融资券。发行这种融资券一般只要遵循本国法规和金融市场惯例即可。国际融资券是指一国发行者在其本国以外的金融市场上发行的融资券。发行这种融资券，必须遵循有关国家的法律和国际金融市场上的惯例。（二）短期融资券的发行程序（1）公司做出决策，采用短期融资券方式筹集资金。（2）办理短期融资券的信用评级。（3）向有关审批机关提出发行融资券的申请。（4）审批机关对企业的申请进行审查和批准。（5）正式发行融资券，取得资金。（三）短期融资券的优缺点1.短期融资券筹资的优点（1）筹资成本比较低。在西方，短期融资券的利率加上发行成本，通常要低于银行的同期贷款利率。这是因为利用短期融资券筹集资

19、金时，筹资者与投资者直接往来，绕开了银行，从而节省了一笔原应支付给银行的筹资费用。但目前我国短期融资券的利率一般比银行借款利率高。这主要是因为我国短期融资券市场刚刚建立，还不十分成熟。随着短期融资券市场的不断发展和完善，短期融资券的利率会逐渐接近银行贷款利率，直至略低于银行贷款利率。（2）筹资数额比较大。银行一般不会向企业贷放巨额的短期借款，而发行短期融资券可以筹集更多的资金。对于需要巨额资金的企业，短期融资券这一方式更为适用。（3）能提高企业的信誉。由于能在货币市场上发行短期融资券的公司都是著名的大公司，因而，一个公司如果能在货币市场上发行自己的短期融资券，说明该公司的信誉很好。2.短期融资

20、券筹资的缺点（1）风险比较大。短期融资券到期必须归还，一般不会有延期的可能。到期不归还，会产生严重后果。（2）弹性比较小。只有当企业的资金需求达到一定数量时才能使用短期融资券，如果数量较小，则会加大单位资金的筹资成本。另外，短期融资券一般不能提前偿还，即使公司资金比较宽裕，也只能在到期才能还款。（3）发行条件比较严格。并不是任何公司都能发行短期融资券进行筹资，必须是实力强、信誉好、效益高的企业才能使用，而一些小企业或信誉不太好的企业则不能利用短期融资券来进行筹资。五、 营运资金管理策略的主要内容流动资产是个不确切的概念。从定义上说，流动资产是指现金及预期能在一年或超过一年的一个经营周期内转变为

21、现金或者支用的资源。但随着企业的成长，有许多流动资产项目变得不那么“流动”了。如一个企业总是需要有一定数量的库存支持销售的需要，由于赊销的增长，应收款项也变成长期的了。这些资产项目不是一般意义上的临时性的或短期的，实际上是“永久、长期”流动资产。这样，企业的全部资产可分为三部分：临时性（波动性）流动资产，它随着每个销售周期变化而变化，是由于季节性经营活动或其他类似原因所引起的、在一定期间内的流动资产占用的临时性增加；永久性（长期性）的流动资产，这些资产随着时间的推移而增加，是现金、有价证券、应收账款、存货等在整个年度内占用的最低水平，这部分流动资产占用可以满足企业生产经营活动的最基本需要，其数

22、额相对稳定：长期资产，如固定资产等。由于固定资产占用和永久性流动资产占用具有相对稳定的特征，因此，它们的资金需求通常以长期负债和所有者权益的长期资金来满足，从而保证企业正常的、基本的经营活动的资金需要。对于临时性占用的流动资产所形成的资金需要，其如何满足在很大程度上取决于企业的营运资金策略。一般情况下，可以首先考虑用自然融资、应付账款、应付工资、应付税金等来满足这部分临时性的资金需要，然后再考虑流动负债、长期负债和所有者权益来满足这种临时性的资金需求。因此，营运资金策略的主要内容：一是确定流动资产各项目的目标水平；二是确定流动资产用何种方法融资。六、 影响营运资金管理策略的因素分析营运资金管理

23、千头万绪，涉及生产经营的方方面面，如现金管理、信用管理；营销管理；生产管理等。理财人员应努力协调好各方面的关系，认真分析影响营运资金策略的因素为选择切实可行的营运资金策略打下基础。影响营运资金策略的主要因素有如下几点。（一）销售收入水平及增长趋势一般地讲，营运资金规模会随着销售额的增长而增长，但两者之间呈非线性关系。随着销售水平的提高，营运资金将以递减的速度增加，特别是现金和存货，即随着销售水平的提高，现金和存货所占用的资金因时间、数量的不一致而可以相互调剂使用，使占用于流动资产的资金增加速度小于销售额的增长速度。因此，当销售额快速增长时，企业可选择风险较高的营运资金策略，以争取获得较高的收益

24、。（二）现金流入、流出量的不确定性和时间上的非衔接程度在市场经济条件下，企业的生产经营活动日趋复杂，企业的材料采购、产品销售都广泛地以商业信用为媒介来实现，很难对现金流量进行准确的预测。企业的现金流入与流出量不确定程度越高，企业保持在流动资产上的营运资金就越多，现金流入和流出在时间上的协调程度就越差。因此，企业应保持较大的营运资金规模，以备偿付当期的到期债务。而如果企业现金流入量、流出量的确定性程度越高，并且在时间上保持衔接一致，就可选择激进的营运资金策略。（三）理财人员对待风险的态度和对收益的预期这里的风险是指企业陷入无力偿付到期债务而导致的技术性无力清偿的可能性。如果企业敢冒风险，则宜采用

25、低的流动资产比率或较高的流动负债比率，反之，则采用较高的流动资产比率或较低的流动负债比率。风险与收益的权衡是确定营运资金策略的基本前提。一个崇尚稳健的企业通常会选择低风险、低收益的营运资金策略，而一个崇尚冒险的企业则会选择高风险、高收益的营运资金策略。由于理财人员普遍是担心风险的，又预期能获得比较理想的收益能力，因此，理想的营运资金策略应恰到好处地处于两者之间，适度的风险、适度的收益将是企业确定营运资金策略的基本原则。流动负债策略与流动资产策略的有效搭配组合，可以使企业的风险程度与获利水平在一个合理的范围内变动，有利于企业的长远发展。除此之外，影响企业营运资金策略的因素，还有经营杠杆、财务杠杆

26、、企业的行业特点、产品结构等。七、 营运资金的管理原则企业的营运资金在全部资金中占有相当大的比重，而且周转期短，形态易变，所以是企业财务管理工作的一项重要内容，企业进行营运资金管理，必须遵循以下原则。（一）认真分析生产经营状况，合理确定营运资产的需要数量企业营运资金的需要数量与企业生产经营活动有直接关系，当企业产销两旺时，流动资产会不断增加，流动负债也会相应增加；而当企业产销里不断减少时，流动资产和流动负债也会相应减少，因此，企业财务人员应认真分析生产经营状况，采用一定的方法预测营运资金的需要数量，以便合理使用营运资金。（二）在保证生产经营需要的前提下，节约使用资金在营运资金管理中，必须正确处

27、理保证生产经营需要和节约合理使用资金二者之间的关系，要在保证生产经营需要的前提下，遵守勤俭节约的原则，挖掘资金潜力，精打细算地使用资金。（三）合理安排流动资产与流动负债的比例关系，保证企业有足够的短期偿债能力流动资产、流动负债以及二者之间的关系能较好地反映企业的短期偿债能力。流动负债是在短期内需要偿还的债务，而流动资产则是在短期内可以转化为现金的资产。因此，如果一个企业的流动资产比较多，流动负债比较少，说明企业的短期偿债能力较强，反之，则说明短期偿债能力较弱，但如果企业的流动资产大多，流动负债太少，也并不是正常现象，这可能是因流动资产闲置，流动负债利用不足所致，因此，在营运资金管理中，要合理安

28、排流动资产和流动负债的比例关系，以便既节约使用资金，又保证企业有足够的偿债能力。八、 营运资金的特点企业营运资金管理十分复杂，这是由营运资金自身特点决定的，其特点主要包括：（一）营运资金的周转具有短期性企业占用在流动资产上的资金，周转一次所需时间较短。通常会在1年或一个经营周期内收回，对企业影响的时间比较短。根据这一特点，营运资金可以用商业信用、银行短期借款等短期筹资方式来加以解决。（二）营运资金的实物形态具有易变现性短期投资、应收账款、存货等流动资产一般具有较强的变现能力，如果遇到意外情况，企业出现资金周转不灵、现金短缺时，便可迅速变卖这些资产，以获取现金，帮助企业渡过难关。（三）营运资金的

29、数量具有波动性流动资产的数量会随企业内外条件的变化而变化，时高时低，波动很大。季节性企业如此；非季节性企业也如此。随着流动资产数量的变动，流动负债的数量也会相应发生变化。（四）营运资金的实物形态具有变动性企业营运资金的实物形态往往是随着企业生产经营活动的变动而变动，一般在现金、材料、在产品、产成品、应收账款与现金之间顺序转化。企业筹集的资金，一般都以现金的形式存在；为了保证生产经营的正常进行，必须拿出一部分现金去采购材料，这样，有一部分现金转化为材料；材料投入生产后，当产品尚未最后完工脱离加工过程以前，便形成在产品和自制半成品；当产品被加工完成后，就成为准备出售的产成品；产成品经过出售等方式可

30、直接获得现金，有的则因赊销而形成应收账款；经过一段时间，应收账款通过收现又转化为现金。（五）营运资金的来源具有灵活多样性企业筹集营运资金的来源渠道和方式是多种多样的，通常有：银行短期借款、短期融资券、商业信用、应缴税金、应缴利润、应付工资、应付费用、预收货款、应计款项、预提款项及各类直接借款，从一般的商业信用到国家信用、不人信用和贸易信用等，其期限也是长短不一的。正是由于上述特点决定了营运资金的灵活性与复杂性。对其实施的管理决不能是一种盲目的管理活动，应该是在一系列科学、合理的理念的指导下有序进行的。九、 项目简介（一）项目单位项目单位：xxx投资管理公司（二）项目建设地点本期项目选址位于xx

31、（以选址意见书为准），占地面积约35.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（三）建设规模该项目总占地面积23333.00（折合约35.00亩），预计场区规划总建筑面积44663.10。其中：主体工程30639.98，仓储工程6122.21，行政办公及生活服务设施5224.61，公共工程2676.30。（四）项目建设进度结合该项目建设的实际工作情况，xxx投资管理公司将项目工程的建设周期确定为24个月，其工作内容包括：项目前期准备、工程勘察与设计、土建工程施工、设备采购、设备安装调试、试车投产等。（五）项目提出的理由1、

32、长期的技术积累为项目的实施奠定了坚实基础目前，公司已具备产品大批量生产的技术条件，并已获得了下游客户的普遍认可，为项目的实施奠定了坚实的基础。2、国家政策支持国内产业的发展近年来，我国政府出台了一系列政策鼓励、规范产业发展。在国家政策的助推下，本产业已成为我国具有国际竞争优势的战略性新兴产业，伴随着提质增效等长效机制政策的引导，本产业将进入持续健康发展的快车道，项目产品亦随之快速升级发展。近年来，晶圆制造的复杂度和工序量大大提升，以逻辑芯片为例，随着90nm以下制程的产线数量增多，尤其是28nm及以下工艺的产线对镀膜厚度和精度控制的要求更高，特别是引入多重曝光技术后，工序数和设备数均大幅提高；

33、在存储芯片领域，主流制造工艺已由2DNAND发展为3DNAND结构，内部层数不断增高；元器件逐步呈现高密度、高深宽比结构。由于ALD独特的技术优势，在每个周期中生长的薄膜厚度是一定的，拥有精确的膜厚控制和优越的台阶覆盖率，因此能够较好的满足器件尺寸不断缩小和结构3D立体化对于薄膜沉积工序中薄膜的厚度、三维共形性等方面的更高要求。ALD技术愈发体现出举足轻重、不可替代的作用。（六）建设投资估算1、项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资18915.22万元，其中：建设投资14264.34万元，占项目总投资的75.41%；建设期利息332.4

34、5万元，占项目总投资的1.76%；流动资金4318.43万元，占项目总投资的22.83%。2、建设投资构成本期项目建设投资14264.34万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用12426.11万元，工程建设其他费用1503.21万元，预备费335.02万元。（七）项目主要技术经济指标1、财务效益分析根据谨慎财务测算，项目达产后每年营业收入42100.00万元，综合总成本费用33945.52万元，纳税总额3916.60万元，净利润5960.80万元，财务内部收益率23.87%，财务净现值6063.83万元，全部投资回收期5.72年。2、主要数据及技术指标表主要经济指标一览表

35、序号项目单位指标备注1占地面积23333.00约35.00亩1.1总建筑面积44663.10容积率1.911.2基底面积14466.46建筑系数62.00%1.3投资强度万元/亩398.252总投资万元18915.222.1建设投资万元14264.342.1.1工程费用万元12426.112.1.2工程建设其他费用万元1503.212.1.3预备费万元335.022.2建设期利息万元332.452.3流动资金万元4318.433资金筹措万元18915.223.1自筹资金万元12130.463.2银行贷款万元6784.764营业收入万元42100.00正常运营年份5总成本费用万元33945.52

36、6利润总额万元7947.737净利润万元5960.808所得税万元1986.939增值税万元1722.9210税金及附加万元206.7511纳税总额万元3916.6012工业增加值万元13258.7613盈亏平衡点万元16329.16产值14回收期年5.72含建设期24个月15财务内部收益率23.87%所得税后16财务净现值万元6063.83所得税后十、 产业环境分析到“十三五”末，力争实现经济增长、发展质量效益、生态环境在省市争先进位；地区生产总值比2010年增加1.5倍以上、城乡居民人均可支配收入比2010年增加1.5倍以上；是到2020年确保如期全面建成小康社会。十一、 半导体薄膜沉积设

37、备的发展情况1、半导体薄膜沉积设备行业发展情况（1）薄膜沉积设备市场规模持续增长根据MaximizeMarketResearch数据统计，全球半导体薄膜沉积设备市场规模从2017年的125亿美元扩大至2020年的172亿美元，年复合增长率为11.2%。预计至2025年市场规模可达340亿美元。（2）薄膜沉积设备国产化率低我国半导体设备经过最近几年快速发展，在部分领域已有一定的进步，但整体国产设备特别在核心设备化上的国产化率仍然较低，半导体薄膜沉积设备行业基本由AMAT、ASM、Lam、TEL等国际巨头垄断。近年来随着国家对半导体产业的持续投入及部分民营企业的兴起，我国半导体制造体系和产业生态得

38、以建立和完善。半导体薄膜沉积设备的国产化率虽然由2016年的5%提升至2020年的8%，但总体占比尤其是中高端产品占比较低。（3）各类薄膜沉积设备发展态势从半导体薄膜沉积设备的细分市场上来看，CVD设备占比56%，PVD设备市占率23%，其次是ALD及其他镀膜设备。在半导体制程进入28nm后，由于器件结构不断缩小且更为3D立体化，生产过程中需要实现厚度更薄的膜层，以及在更为立体的器件表面均匀镀膜。在此背景下，ALD技术凭借优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制等特点，技术优势愈加明显，在半导体薄膜沉积环节的市场占有率也将持续提高。2、ALD技术在半导体薄膜沉积设备中的典型应用情况

39、ALD技术在高k材料、金属栅、电容电极、金属互联、TSV、浅层沟道隔等工艺中均存在大量应用，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、第三代化合物半导体等领域。（1）ALD典型应用高介电常数金属栅极（HKMG）工艺晶体管是构成逻辑电路、微处理器及记忆元件的基本单元，漏电一直是影响其良率、性能和功耗的重要影响因素。在半导体晶圆制程进入65nm及之前，集成电路主要通过沉积SiO2薄膜形成栅极介电质减少漏电；随着集成电路尺寸不断缩小，特别是制程28nm之后，传统的SiO2栅介质层物理厚度缩小至1纳米以下，达到了其物理极限，产生明显的量子隧穿效应和多晶硅耗尽效应，导致漏电流急剧增加，器件性能急剧恶化。通过引入高介

40、电常数金属栅极（HKMG）工艺，可以解决上述问题，即采用高k材料替代传统的二氧化硅栅极氧化层作为栅极介质层，TiN替代传统的多晶硅栅极作为金属栅极，高k栅氧化层与金属栅极的组合使用，不仅能够大幅减小栅极漏电流，同时因高k栅氧化层的等效氧化物厚度较薄，还能有效减低栅极电容。ALD技术凭借其精确的膜厚控制、均匀性和致密性的特点，自从英特尔在45nm技术节点将应用于栅介质薄膜制造工艺后，就被广泛应用于栅极介质层、金属栅极制备。（2）ALD典型应用电容和电极材料集成电路2D存储器件的线宽已接近物理极限，NAND闪存已进入3D时代。目前64层3DNAND闪存已进入量产阶段，128层闪存也陆续有厂商开始推

41、出，行业预期未来将叠加至500层，技术工艺还会持续推进。3DNAND制造工艺中，增加集成度的主要方法不仅是缩小单层上线宽，而且需要增加堆叠的层数，使得一些器件结构的深宽比增加至40：1，甚至是80：1的极深孔或极深的沟槽，对薄膜沉积设备等生产设备提出了更高的要求。ALD技术最早应用于DRAM存储器件的超高深宽比的电容电极制作工艺。随着3DNAND和DRAM相关技术的不断发展，等效氧化物厚度进一步下降，3DNAND和DRAM电容呈现高深宽比结构，在这种情况下，高k电容材料和电容电极的沉积只有具备优异填隙性和共形性的ALD技术才可以满足。除此之外，新型存储器也在快速发展，与闪存和DRAM相比，新型

42、存储器一般具有更高的写入速度和更长的读写寿命。以铁电存储器（FeRAM）为例，其由电容和场效应管构成，其中电容为在两个电极板中间沉淀的一层晶态的铁电晶体薄膜，该薄膜对于厚度、质量均有非常高的要求，ALD技术可以较好地满足技术指标。（3）ALD典型应用金属互联阻挡层金属互联即在集成电路片上沉积金属薄膜，并通过光刻技术形成布线，把互相隔离的元件按一定要求互连成所需电路的工艺。铜互连为金属互联的一种，而在铜互连中采用ALD的主要驱动力在于随着制程进步、TSV等先进封装工艺的发展，元件集成度提高、几何构架收缩，导致深宽比的增加，ALD技术能够沉积尽可能薄的阻挡层，阻止铜和周围绝缘体之间的相互扩散，且作

43、为粘附层促进互连铜的生长，给铜沉积留出最大的空间。3、半导体薄膜沉积设备发展趋势（1）半导体行业景气度带动设备需求增长随着半导体行业整体景气度的提升，全球半导体设备市场呈现快速增长态势，拉动市场对薄膜沉积设备需求的增加。薄膜沉积设备行业一方面长期受益于全球半导体需求增加与产线产能的扩充，另一方面受益于技术演进带来的增长机遇，包括制程进步、多重曝光与3DNAND存储技术，全球半导体薄膜沉积设备市场规模将因此高速增长。MaximizeMarketResearch预计全球半导体薄膜沉积设备市场规模在2025年将从2020年的172亿美元扩大至340亿美元，保持年复合13.3%的增长速度。（2）进口替

44、代空间巨大近年来，在国家政策的拉动和支持下，我国半导体产业快速发展，整体实力显著提升，设计、制造能力与国际先进水平不断缩小，但半导体先进设备制造仍然相对薄弱。中国制造2025对于半导体设备国产化提出明确要求：在2020年之前，90-32nm工艺设备国产化率达到50%，实现90nm光刻机国产化，封测关键设备国产化率达到50%。在2025年之前，20-14nm工艺设备国产化率达到30%，实现浸没式光刻机国产化。为推动我国半导体产业的发展，国家先后设立国家重大专项和国家集成电路基金，国家集成电路基金首期募资1,387亿元，二期募资超过2,000亿元。伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与

45、实施，本土半导体及其设备制造业迎来了前所未有的发展契机，而薄膜沉积设备作为半导体制造的核心设备，将会迎来巨大的进口替代市场空间。（3）薄膜要求提高衍生设备需求在晶圆制造过程中，薄膜发挥着形成导电层或绝缘层、阻挡污染物和杂质渗透、提高吸光率、阻挡刻蚀等重要作用。由于芯片的线宽越来越窄、结构越来越复杂，薄膜性能参数精细化要求也随之提高，如先进制程的前段工艺对薄膜均匀性、颗粒数量控制、金属污染控制的要求逐步提高，台阶覆盖能力强、薄膜厚度控制精准的ALD设备因此被引入产线。（4）先进制程增加导致设备市场攀升随着集成电路制造不断向更先进工艺发展，单位面积集成的电路规模不断扩大，芯片内部立体结构日趋复杂，

46、所需要的薄膜层数越来越多，对绝缘介质薄膜、导电金属薄膜的材料种类和性能参数不断提出新的要求。在90nmCMOS工艺大约需要40道薄膜沉积工序。在3nmFinFET工艺产线，则超过100道薄膜沉积工序，涉及的薄膜材料由6种增加到近20种，对于薄膜颗粒的要求也由微米级提高到纳米级。只有薄膜沉积设备的不断创新和进步才能支撑集成电路制造工艺向更小制程发展。目前，半导体行业的薄膜沉积设备中，PVD设备与CVD设备均已初步实现国产化，而ALD设备作为先进制程所必须的工艺设备，在大规模量产方面国内厂商尚未形成突破。当技术节点向14纳米甚至更小的方向升级时，与PVD设备和CVD设备相比，ALD设备的必要性更加

47、凸显。目前，基于供应链安全考虑，国内设备制造商正面临更多的机会。面对半导体设备向高精度化与高集成化方向发展的趋势，以及国产化进程加快的背景下，国产半导体ALD设备迎来前所未有的发展契机。十二、 必要性分析1、现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业，公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度，产品销售形势良好，产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展，公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段，不断挖掘产能潜力，但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设，公司将有效克服产能不足对公司发展的制约，为公司把握市场机遇奠定基础。2、公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级，公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动，不断研发新产品，提升产品精密化程度，将产品质量水平提升到同类产品的领先水准，提高生产的灵活性和适应性，契合关键零部件国产化的需