半导体刻蚀设备公司企业管理规划.docx
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1、泓域/半导体刻蚀设备公司企业管理规划半导体刻蚀设备公司企业管理规划目录一、 产业环境分析3二、 技术端:先进制程拉动刻蚀用量,复杂结构打开设备市场3三、 必要性分析6四、 ISO14000环境管理体系系列标准7五、 ISO9000质量管理体系系列标准13六、 企业实施管理体系一体化的可行性26七、 企业实施管理体系一体化的必要性26八、 一体化管理体系的内涵28九、 一体化管理体系的实现要求30十、 劳动定额33十一、 劳动组织34十二、 人力资源供求预测36十三、 人力资源规划的任务及内容37十四、 物流领域若干新观点38十五、 国际物流发展趋势42十六、 库存管理中的定量技术45十七、 物
2、流信息系统48十八、 项目基本情况49十九、 公司概况54公司合并资产负债表主要数据55公司合并利润表主要数据55二十、 项目风险分析56二十一、 项目风险对策58二十二、 SWOT分析59一、 产业环境分析保持经济社会平稳较快发展,提高发展质量和效益,发展平衡性、包容性和可持续性不断增强,确保如期全面建成小康社会。到2017年,全区地区生产总值和城乡居民人均收入比2010年同口径翻一番;到2020年,全区地区生产总值迈上新台阶,城乡居民人均收入同步提升。产业支撑更加有力。“三大新兴产业”实现快速发展,传统产业进一步提质增效,初步构建起支撑区域发展的产业新体系。城市品质更加优良。进一步突出以人
3、为本,城市综合功能进一步完善,环境质量不断提升,社会民生持续改善。人民生活更加美好。就业、教育、文化、卫生、体育、社保、住房等公共服务体系更加健全,初步实现城乡基本公共服务均等化,人民群众生活质量、健康水平和文明素质不断提高,参与感、获得感、幸福感显著增强。二、 技术端:先进制程拉动刻蚀用量,复杂结构打开设备市场逻辑芯片不断突破,先进工艺刻蚀次数也不断提升。晶圆代工行业呈现越来越高的资金和技术壁垒,如今晶圆厂一条28nm的4万/月的生产线需要40-50亿美元资本开支,研发新一代制程节点可能需要数十亿美元,如此庞大的投入构筑起了高资金和技术壁垒。而随着“摩尔定律”放缓,从7纳米到5纳米乃至3纳米
4、,每一个制程节点都举步维艰,拥有高端制程能力的公司屈指可数,而对于不同节点的产品研发也需要海量的资金投入。而随着先进制程工艺不断演进,所需要的刻蚀次数也逐渐增多,从65nm制程的20次增加至5nm制程的160次,复杂度提升了8倍,显著提升了半导体刻蚀设备的数量和质量。逻辑电路制程不断微缩,FinFET成为当前主流工艺。逻辑电路工艺不断的向着微型化发展,基于传统平面MOSFET结构的晶胞单元不断的缩小,漏、源的间距也不断的减小,栅极的控制力就不断的减弱,导致器件的性能恶化,同时增加了静态的功耗。当半导体工艺向更高技术节点挺进时,平面结构制程工艺逐渐达到极限难以突破,3D结构的FinFET工艺逐渐
5、成为主流。与平面晶体管相比,FinFET器件改进了对沟道的控制,从而减小了短沟道效应,同时能够更好地对沟道进行静电控制。然而,当工艺制程来到3nm之后,鳍片(Fin)宽度达到5nm(等于3nm节点)时,FinFET将接近实际极限,再向下就会遇到瓶颈。此时全环栅晶体管GAA有望延续半导体技术经典“摩尔定律”的新兴技术路线,进一步增强栅极控制能力,克服当前技术的物理缩放比例和性能限制。先进工艺结构增加刻蚀难度与刻蚀步骤,对刻蚀设备提出了更高的要求。半导体逻辑电路的不断微缩,包括技术本身进化的需求,刻蚀工艺在不断迭代,像MultiplePatterning技术、基于金属硬掩模的双大马士革工艺等等,都
6、提高了刻蚀的难度,相应刻蚀机制造的难度也随之增加。同时先进制程增加了刻蚀的步骤,多次刻蚀要求每一个步骤的精确度足够高,才能保证整体生产的良率。存储工艺革新带动刻蚀需求提升。NANDFlash技术不断成熟和进步,现已经迈入3DNAND时代,3DNAND采用将存储单元立体堆叠的方式,使得储存能力提升明显,而其技术复杂程度较2D有显著提升。3DNAND需要先经过干法和湿法刻蚀形成柱形通孔和3DNAND单元,由内层依次形成沉积氧化层-氮化层-氧化层结构后形成浮栅层,然后刻蚀多余的FG使之能够实现完全隔离,最后通过多步沉积形成3DNANDFlash。3DNAND形成过程中需要用到多步刻蚀,并且要保证刻蚀
7、的各向异性和尽量小的偏差,对于刻蚀设备和相应技术都有着极高的要求。高深宽比通道刻蚀与选择性刻蚀等步骤使3DNAND刻蚀难度全面升级。在96层3DNAND中纵横比高达70:1,每块晶圆中有一万亿个微小孔通道,孔道随着叠加层数而增多,故保证孔道的均匀性和平整性才能保证器件的性能。其中,克服不完全刻蚀、弓形刻蚀、扭曲以及堆叠顶部和底部之间的CD差异成为刻蚀3DNAND工艺中面临的巨大挑战。此外,选择性刻蚀是3DNAND刻蚀工艺中的关键步骤,刻蚀的均一性直接影响后续栅极电介质的沉积质量,但随着堆叠层数增加,畸形氧化沉积层变厚,严重时会直接导致氧化层塌陷,影响芯片性能。因此,3DNAND更高堆叠层数的突
8、破将带来刻蚀难度的极大提升,器件性能的突破也往往伴随着刻蚀工艺的长足进步。DRAM微缩工艺拉动刻蚀设备需求。DRAM制程工艺进入20nm以后,由于制造难度越来越高,内存芯片制造厂商对工艺的定义已经不是具体的线宽,而是分成了1x、1y、1z,大体来讲,1x-nm制程相当于1619nm、1y-nm相当于1416nm,而1z-nm则相当于1214nm。如今传统的DRAM面临越来越严峻的微缩挑战,随着半导体制造技术持续朝更小的技术节点迈进,DRAM电路图形密度增大,多重图案化重复次数增加,极大地增加了刻蚀工艺的设备需求。三、 必要性分析1、现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业,公司已建
9、立良好的品牌形象和较高的市场知名度,产品销售形势良好,产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展,公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段,不断挖掘产能潜力,但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设,公司将有效克服产能不足对公司发展的制约,为公司把握市场机遇奠定基础。2、公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级,公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动,不断研发新产品,提升产品精密化程度,将产品质量水平提升到同类产品的领先水准,提高生产的灵活性和适应性,契合
10、关键零部件国产化的需求,才能在与国外企业的竞争中获得优势,保持公司在领域的国内领先地位。四、 ISO14000环境管理体系系列标准(一)ISO14000系列标准产生的背景ISO14000系列标准的产生与人类日益对环境问题的关注密不可分。随着人口的增加、经济的增长,全球所面临的环境问题主要有温室效应所带来的气候变化;臭氧层被破坏,有毒有害化学物质污染与越境转移,海洋污染,生物多样性破坏,生态环境恶化。一个又一个公害事件的发生让全世界触目惊心,如1952年的伦敦烟雾事件造成4000人死亡;19531956年,日本因甲基汞而引发水俣病事件;1979年在美国因三哩岛核电站泄漏造成直接损失10亿美元;1
11、986年因瑞士化学公司仓库起火,30吨剧毒物入河而使1000英里流域内的鱼类死亡,300英里流域内的水不能饮用。面对这些危及当代乃至后代生存的环境问题,国际社会也采取了对策和行动:1972年,美国学者受罗马俱乐部委托,提交了一份研究报告,名为增长的极限,它所倡导的“合理的、持久的均衡发展”得到各国学者的普遍认同。1972年6月5日斯德哥尔摩环境大会发表了人类环境宣言人类环境行动计划,并将6月5日定为“世界环境日”。1983年在联合国大会和联合国环境规划署组建“世界环境与发展委员会”。1987年在东京第八次会议通过了我们共同的未来。1992年6月联合国环发大会,在里约热内卢召开,由183个国家和
12、70个国际组织、102位首脑通过了关于环境与发展宣言21世纪议程联合国气候变化框架公约生物多样性公约森林声明。里约环发大会后,各国学者对可持续发展的内涵进行广泛探讨,可持续发展已经得到了国际社会的认可。依据可持续发展理论,人们相继提出生态指南管理和生态消费的问题,许多企业也自动关注对环境的影响和改善,开始评价自身的环境管理活动。同时,一些标准化组织着手制定环境管理体系标准。英国标准化协会(BSI)于19891992年着手制定了BS7750环境管理体系标准。在这个标准的影响下,欧共体理事会在1993年6月以法规形式公布了关于工业企业自愿参加环境管理与环境审核联合体系条例,简称为“生态管理和审核制
13、度”。除英国和欧洲外,加拿大也制定了类似的标准。ISO于1993年6月正式成立ISO/TC207“环境管理技术委员会”。其宗旨是支持环境保护,减少人类对环境的污染,改善并维持相应的生态环境质量,使环境保护与经济发展和谐共生,最终实现人类文明进步的可持续性。ISO/TC207目前的工作是通过制定一套有效的环境管理国际标准,来规范组织的环境行为,以实现对环境的可持续利用。从1993年6月到1996年10月ISO/TC207先后制定并颁布ISO14000系列标准,并于2004年颁布其修订版。(二)ISO14000系列标准的构成ISO14000系列标准按属性可分成三个子系统:基础标准子系统:ISO14
14、050:1998标准术语和概念术语使用原则指南。基本标准子系统:ISO14001:1996标准环境管理体系规范及使用指南;ISO14004:1996标准环境管理体系原则、体系和支持技术通用指南。支持技术子系统:包括环境审核ISO14010:1996环境审核指南通用原则、ISO14011:1996环境审核指南审核程序环境管理体系审核和ISO14012:1996环境审核指南审核员资格要求;环境标志ISO14020:1998环境标志和声明通用原则和ISO14021:1999环境标志和声明1型环境标志和声明原则与程序;环境管理ISO14031:1999环境管理环境绩效评估指导纲要、ISO14040:1
15、997环境管理一生命周期评价原则与指南和ISO14041:1998环境管理生命周期评价目标和范围的界定及清单分析;环境因素ISO导则64:1997产品标准中的因素。“基础标准”是ISO14000系列标准的基础,它统一了各标准使用者对标准内容的理解。“基本标准”是指在ISO14000系列标准的基础中起主导、统帅作用的标准。“支持技术”是指对基本标准的实施起支撑作用的标准。(三)2004版ISO14001的主要特点2004版标准的名称已发生变化,由1996版的环境管理体系规范及使用指南改名为环境管理体系要求及使用指南,这一修改是为了和2000版ISO9001取得一致。2004版环境管理体系标准具有
16、如下三个特点:特别使用和ISO9001相同的结构和用语;强调符合环保要求的重要性;强化环境因素作为建立环境管理体系的基础。总之,2004版ISO14001标准是经过国际各界人士的充分修改才发布的,它与ISO9001的相容性将更有助于企业实施综合的管理体系。同时,2004版ISO14001标准也提高了符合性评估的要求,而对某些工业,特别是电气和电子零件业将产生重要影响。企业应利用这个新版本的过渡期来评估及实施需作出修订的地方,以展示作为负责任的企业公民对环保所作出的承诺。关于2004版ISO14001标准的实施时间表,国际认可合作组织(IAF)在2004年12月20日发布了IAF关于获得认可的认
17、证从ISO14001:1996到ISO14001:2004的转换计划。该计划要求IAF成员认可的认证机构应该在2004年11月15日至2006年5月15日期间,将已经发布的依据1996版ISO14001标准认证的认证证书转换为依据2004版ISO14001标准认证的认证证书。2006年5月15日之后,所有的1996版认证证书将不再有效。中国认证机构国家认可委员会作为IAF多边互认协议(MLA)成员,要求获得CNAB认可的认证机构按照IAF的转换计划对其发布的依据1996版标准认证的认证证书实施转换,即在2006年5月15日之前,转换为依据2004版标准认证的认证证书。(四)ISO14000系列
18、标准的指导思想和执行模式ISO14000系列标准的目的主要在于:指导组织建立、实施并保持一个有效的环境管理体系以实现组织的环境方针和目标,并不断改进其环境表现(行为)来满足法律、法规和其他应遵守的要求。为了达到这一目的,ISO14000系列标准的指导思想主要包括:1.管理体系一体化的思想ISO14000标准始终强调:从系统的观点出发,环境管理体系是组织管理系统的一个子系统,不应该将环境管理独立于组织的各项活动之外。2004版的环境管理体系标准在结构和内容上增强了与其他管理体系的兼容性。2.强调领导作用和立足全员参与的思想ISO14000系列标准指出:体系的成功实施有赖于组织中各个层次与职能的承
19、诺,特别是最高管理者的承诺。最高管理者的支持不仅是组织建立、实施环境管理体系的动力,而且能为建立和实施环境管理体系提供必要的组织和资源的保证,同时环境的职责不仅限于最高管理者,而且要渗透到组织内“所有的层次与职能”。3.预防为主的思想ISO14000系列标准总目标是“支持环境保护和污染预防,协调它们与社会和经济需求的关系”。因此在标准的要素中贯穿了预防为主的思想,如“环境方针”要求最高管理者在方针中承诺预防污染;规划、实施和运行、检查、管理评审等环节都要具备预防的功能。此外,在遵循生命周期环境管理思想的指导下,标准强调将预防为主的思想渗透到产品或过程的全部生命周期之中,以实现全过程预防污染。4
20、.持续改进的思想ISO14000系列标准对“持续改进”的定义是:对环境管理体系进行强化的反复发生的过程,目的是根据组织的环境方针,实现对环境表现(行为)的全面改进。这一持续改进的概念包含两个方面:一是环境的改进,是指根据组织的环境方针,实现对整体环境表现(行为)的改进;二是环境管理体系的改进,是指根据组织内外部要求和变化,按照标准的运行模式,经策划一实施一检查一评审的动态循环不断对组织环境管理体系进行改进。ISO14000系列标准采用了PDCA(策划plan一实施do一检查check一评审action)环境管理体系的运行模式,对于这一PDCA运行模式,2004版ISO14001标准给出了进一步
21、阐释:P(策划):建立所需的目标和过程,以实现组织的环境方针所期望的结果。D(实施):对过程予以实施。C(检查):根据环境方针、目标、指标以及法律、法规和其他要求,对过程进行监测和测量,并报告其结果。A(评审):采取措施,以持续改进环境管理体系的绩效。五、 ISO9000质量管理体系系列标准1.ISO9000族标准的产生与发展随着质量对世界性经济活动的影响越来越显著,人们已逐渐认识到,质量开始成为各国企业关心的新的重点。由此,一些工业发达国家率先制定出有关质量保证的国家标准,比如加拿大于1979年推出的CAN3Z299系列标准和英国的BS5750:Part系列标准等。1979年英国标准协会(B
22、SI)向国际标准化组织提交了一份建议,希望在ISO成立一个技术委员会,以制定有关质量保证技术和实践的国际标准。ISO根据BSI的建议,于1980年正式成立ISO/TC176,当时命名为质量保证技术委员会,因其工作范围扩大到了质量管理,故于1987年改名为“质量管理和质量保证技术委员会”。ISO/TC176成立后,由其制定的所有国际标准都称为ISO9000族标准。ISO9000族标准一经发布就受到各国的普遍重视和欢迎,并被各国标准化机构采纳,成为ISO标准中推广最好、最迅速的一个标准,这是因为该族标准有其深厚的客观基础。(1)优胜劣汰的市场经济是产生ISO9000族标准的社会基础。ISO9000
23、族标准是为了适应20世纪80年代之后剧烈的国际市场竞争而制定的。它们既是欧美各市场经济国家企业走质量效益型道路的经验总结,又顺应了国际大市场优胜劣汰激烈竞争态势下各类企业生存和发展的客观需要。(2)消除国际贸易中的质量体系注册/认证等方面的技术壁垒。促进国际贸易顺利发展是ISO9000族标准产生的经济基础,这是产生ISO9000族标准的直接原因。否则,任凭各国依据其不同的国家或团体标准进行质量体系认证,势必导致严重的技术壁垒,阻碍国际贸易的正常进行。(3)社会科技进步,导致高科技产品的不断涌现,而高技术产品势必要求高质量,否则可能会对产品的使用者乃至周围人群造成严重的危害,这是ISO9000族
24、标准产生的技术基础。(4)世界各国制定与颁布的质量责任、法令、法律、法规,把质量管理体系的建立与实施作为强制性的社会要求。这是ISO9000族标准产生的法律基础。(5)各国消费者权益保护运动的广泛深入开展,推进各类企业不断建立与实施质量管理体系,改进与稳定产品和服务质量,成为ISO9000族标准产生和发展的群众基础。(6)ISO9000族标准来源于20世纪40年代的美国军工行业标准,经过半个多世纪的实践,逐步发展成国家标准,最后成为国际标准并取得了显著的经济效益和社会效益,这是ISO9000族标准产生和发展必不可少的实践基础。自19861987年ISO首次发布了ISO9000族标准开始,至今已
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