辽源薄膜设备项目可行性研究报告(模板范文).docx
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1、泓域咨询/辽源薄膜设备项目可行性研究报告目录第一章 背景及必要性6一、 国内需求爆发,国产替代空间快速打开6二、 薄膜设备:用于沉积物质,在设备市场占比较高8三、 聚焦创新驱动,在科技赋能上集中发力10第二章 项目概述12一、 项目名称及建设性质12二、 项目承办单位12三、 项目定位及建设理由13四、 报告编制说明14五、 项目建设选址16六、 项目生产规模16七、 建筑物建设规模16八、 环境影响16九、 项目总投资及资金构成16十、 资金筹措方案17十一、 项目预期经济效益规划目标17十二、 项目建设进度规划18主要经济指标一览表18第三章 项目选址方案21一、 项目选址原则21二、 建
2、设区基本情况21三、 聚焦经济增长,在扩大内需上集中发力22四、 奋力推进经济转型新实践23五、 项目选址综合评价23第四章 建设方案与产品规划25一、 建设规模及主要建设内容25二、 产品规划方案及生产纲领25产品规划方案一览表25第五章 发展规划27一、 公司发展规划27二、 保障措施31第六章 SWOT分析34一、 优势分析(S)34二、 劣势分析(W)35三、 机会分析(O)36四、 威胁分析(T)36第七章 法人治理结构44一、 股东权利及义务44二、 董事46三、 高级管理人员50四、 监事53第八章 项目规划进度55一、 项目进度安排55项目实施进度计划一览表55二、 项目实施保
3、障措施56第九章 劳动安全生产分析57一、 编制依据57二、 防范措施60三、 预期效果评价64第十章 工艺技术分析65一、 企业技术研发分析65二、 项目技术工艺分析67三、 质量管理69四、 设备选型方案70主要设备购置一览表70第十一章 投资方案分析72一、 编制说明72二、 建设投资72建筑工程投资一览表73主要设备购置一览表74建设投资估算表75三、 建设期利息76建设期利息估算表76固定资产投资估算表77四、 流动资金78流动资金估算表79五、 项目总投资80总投资及构成一览表80六、 资金筹措与投资计划81项目投资计划与资金筹措一览表81第十二章 经济收益分析83一、 基本假设及
4、基础参数选取83二、 经济评价财务测算83营业收入、税金及附加和增值税估算表83综合总成本费用估算表85利润及利润分配表87三、 项目盈利能力分析88项目投资现金流量表89四、 财务生存能力分析91五、 偿债能力分析91借款还本付息计划表92六、 经济评价结论93第十三章 项目风险评估94一、 项目风险分析94二、 项目风险对策96第十四章 总结评价说明99第十五章 附表101建设投资估算表101建设期利息估算表101固定资产投资估算表102流动资金估算表103总投资及构成一览表104项目投资计划与资金筹措一览表105营业收入、税金及附加和增值税估算表106综合总成本费用估算表107固定资产折
5、旧费估算表108无形资产和其他资产摊销估算表109利润及利润分配表109项目投资现金流量表110第一章 背景及必要性一、 国内需求爆发,国产替代空间快速打开国内晶圆厂投资进入高峰期。根据集微网统计,20202022年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元,其中内资晶圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年,且未来还有新增项目的可能。设备国产化率较低,海外龙头垄断性较高。我国半导体设备市场仍非常依赖进口,从市场格局来看,细分市场均有较高集中度,主要参与厂商一般不超过5家,top3份额往往高于90%,部分设备甚至出现
6、一家独大的情况,目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求,尤其是内资投建的需求。制程越先进,设备投资额占比越高。设备投资一般占比7080%,当制程到16/14nm时,设备投资占比达85%;7nm及以下占比将更高。光刻、刻蚀、沉积、过程控制、热处理等均是重要投资环节。国内国产化逐渐起航,从0到1的过程基本完成。北方华创产品布局广泛,刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备新产品市场导入节奏加快,产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高,在集成电路领域主流生产线实现批量销售,产品加速迭代;第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽,出货量实现较快增长。拓荆科技作为国内唯
7、一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商,PECVD累计发货150台,广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂,PEALD已实现销售;中微公司介质刻蚀机已经打入5nm制程,新款用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备UniMax2022Q1订单已超180腔;芯源微前道涂胶显影设备在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展,并实现多种核心零部件的国产替代,公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代,新签订单结构中前道产品占比大幅提升;华海清科CMP设备在逻辑芯片、3DNAND、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别
8、突破至14nm、128层、1X/1Ynm,到2021年底,公司CMP设备累计出货超过140台,未发出产品的在手订单超70台。Mattson(屹唐半导体)在去胶设备市占率全球第二;盛美半导体单片清洗机在海力士、长存、SMIC等产线量产。精测电子、上海睿励在测量领域突破国外垄断。设备国产化率较低,国产厂商成长空间巨大。我国半导体设备市场仍非常依赖进口,目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求,尤其是内资投建的需求,潜在收入目标空间较大。二、 薄膜设备:用于沉积物质,在设备市场占比较高薄膜生长:采用物理或化学方法使物质附着于衬底材料表面的过程,常见生长物质包括金属、氧化物、氮化物等不同薄膜。根据工作
9、原理不同,薄膜沉积生长设备可分为:物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和外延等类别。PVD和CVD是主要的薄膜设备,ALD是产业技术发展趋势。在半导体领域,薄膜主要分给绝缘薄膜、金属薄膜。大部分绝缘薄膜使用CVD,金属薄膜常用PVD(主要是溅射)。其他常用的镀膜方式包括ECD、SOD、MOCVD、Epitaxy等。在薄膜设备整体中,CVD的使用越来越广泛,基于CVD发展的ALD更是行业升级的技术方向。物理气相沉积(PVD):利用蒸发或溅射,实现原子从源物质到沉底材料表面的物质转移,沉积形成薄膜。物理气相沉积是一种物理气相反应生长法,沉积过程是在真空或低压气体放电条件下,涂层物质源是固
10、态物质,经过“蒸发或溅射”后,在零件表面生成与基材性能完全不同的新的固态物质涂层。PVD具有成膜速率高、镀膜厚度及均匀性可控好、薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高等优点。PVD可以分为真空蒸镀(VacuumEvaporator)和溅射(Sputtering)。PVD发展初期以真空蒸镀镀膜为主,特点是工艺简单、操作容易、纯度较高,缺点是难以蒸发某些金属和氧化物。由于溅射设备制备的薄膜更加均匀、致密,对衬底附着性强,纯度更高,溅射设备取代了蒸镀设备。2020年全球薄膜设备市场达到138亿美元,占IC制造设备21%;其中主要是CVD和PVD,合计占IC制造设备18%。其中,CVD市场规模高度89亿美元
11、,主流是设备包括PECVD、TubeCVD、LPCVD和ALD等。整个薄膜市场市占率最高的是AMAT。高端领域如ALD受ASM、TEL和Lam等海外龙头主导。国内布局IC制造领域薄膜设备的主要国产厂商包括北方华创和沈阳拓荆。CVD市场主要由海外龙头主导,国内北方华创、沈阳拓荆积极布局。根据Gartner数据,全球CVD市场前五大供应商包括AMAT(28%)、LamResearch(25%)、TEL(17%)、Kokusai(原日立高新,8%)、ASM(11%)。国内半导体设备龙头北方华创、沈阳拓荆在该领域也有布局。从PVD市场格局来看,AMAT一家独大,长期占据约80%的市占率。PVD市场主要
12、供应商包括AMAT、ULVAC、Evatec、KLA、TEL、北方华创等。根据Gartner,2020年北方华创的半导体PVD设备全球市占率为3%,属于国内领先地位。随着国产替代加速,北方华创PVD业务有望加速成长。三、 聚焦创新驱动,在科技赋能上集中发力突出创新在现代化建设全局中的核心作用,围绕产业链部署创新链,围绕创新链布局产业链,围绕企业和项目配置创新要素,打造科技、教育、产业、人才紧密融合的创新型经济体系。强化科技创新平台支撑。以“2115555”产业技术需求为主攻方向,推进“一个产业一个研发平台”建设,积极融入国家和省级创新平台。鼓励产业链核心企业在域外建立研发机构,支持域外高校院所
13、在辽源开展研发活动。鼓励格致汽车、博大伟业、厚德食品、汽车改装等创新型企业产品研发、成果引进和技术迭代。深化与清华大学、吉林大学、中科院长春“一院三所”等高校和科研院所合作,支持企业牵头组建创新联合体。推进新能源汽车高压铸铝、汽车内饰环保材料、国家三类抗病毒新药等重点技术攻关和成果转化应用,依托核心技术延展上下游、形成产业链。积极参与全省科技大市场建设。强化科技创新机制支撑。建立政府引导、企业主体、社会参与的多渠道投入机制,财政资金重点支持创新平台建设、企业技术攻关和成果转化。健全项目生成机制,争取国家和省科技专项资金支持。完善金融支持机制,深化“政银企”合作,推出面向科技型企业的专属金融产品
14、,探索建立科技成果转化基金。健全科技奖励、绩效管理、知识产权保护等配套制度。完善产业链“搭桥”机制,依托长春富集的科教资源,建设一批中试中心和科技成果转化共同体。重点抓好300万套汽车轻量化总成、海洋特种输油胶管等科创与市场深度对接项目。积极创建国家级高新区、农科区,探索科创企业“零成本”入驻、企业创新“一站式”服务。强化科技创新人才支撑。加快构建“引用育留”体系,抓实“152”人才集聚工程,打造“专业人才编制池”,打破职称评聘、职级晋升、绩效分配等不合理限制。探索人才飞地模式,柔性引入科创领军人物、“院士项目”和创新团队,建设“科技小院”“专家工作室”等科技驿站。深入抓好“双创”“双引”,出
15、台有吸引力的扶持政策,推进省级“双创”示范基地建设。第二章 项目概述一、 项目名称及建设性质(一)项目名称辽源薄膜设备项目(二)项目建设性质本项目属于扩建项目二、 项目承办单位(一)项目承办单位名称xx有限公司(二)项目联系人薛xx(三)项目建设单位概况公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基本保障,坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念,确立了合规管理的战略定位,进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查,加强合规风险防控,确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求,重点领域合规管理不断强化,各部门分工负责、齐抓共管、协同联动的大合规管
16、理格局逐步建立,广大员工合规意识普遍增强,合规文化氛围更加浓厚。公司满怀信心,发扬“正直、诚信、务实、创新”的企业精神和“追求卓越,回报社会” 的企业宗旨,以优良的产品服务、可靠的质量、一流的服务为客户提供更多更好的优质产品及服务。公司秉承“诚实、信用、谨慎、有效”的信托理念,将“诚信为本、合规经营”作为企业的核心理念,不断提升公司资产管理能力和风险控制能力。公司以负责任的方式为消费者提供符合法律规定与标准要求的产品。在提供产品的过程中,综合考虑其对消费者的影响,确保产品安全。积极与消费者沟通,向消费者公开产品安全风险评估结果,努力维护消费者合法权益。公司加大科技创新力度,持续推进产品升级,为
17、行业提供先进适用的解决方案,为社会提供安全、可靠、优质的产品和服务。三、 项目定位及建设理由2022下半年展望乐观,全年需求强劲将有订单递延至明年。泛林2022Q2毛利率指引中枢仍略降,持续成本和供应压力影响持续,二季度订单积压不断增加。随产能落地、产品竞争力效益显现及部分订单延迟多数企业对H2展望乐观。ASML预计2022H2表现强劲,毛利率约54%,高于全年52%指引,主要由EUV和DPV出货及安装基础管理业务利润率提升驱动。Q4部分EUV系统收入将递延到2023年。泛林预计2022WFE需求将超1000亿美元,未满足的设备需求将递延至明年。泰瑞达积极建立库存及扩产,预计H2出货有更大增量
18、及灵活性,预计Q2实现增长,仅高端产品出货受限。四、 报告编制说明(一)报告编制依据1、国民经济和社会发展第十三个五年计划纲要;2、投资项目可行性研究指南;3、相关财务制度、会计制度;4、投资项目可行性研究指南;5、可行性研究开始前已经形成的工作成果及文件;6、根据项目需要进行调查和收集的设计基础资料;7、可行性研究与项目评价;8、建设项目经济评价方法与参数;9、项目建设单位提供的有关本项目的各种技术资料、项目方案及基础材料。(二)报告编制原则为实现产业高质量发展的目标,报告确定按如下原则编制:1、认真贯彻国家和地方产业发展的总体思路:资源综合利用、节约能源、提高社会效益和经济效益。2、严格执
19、行国家、地方及主管部门制定的环保、职业安全卫生、消防和节能设计规定、规范及标准。3、积极采用新工艺、新技术,在保证产品质量的同时,力求节能降耗。4、坚持可持续发展原则。(二) 报告主要内容根据项目的特点,报告的研究范围主要包括:1、项目单位及项目概况;2、产业规划及产业政策;3、资源综合利用条件;4、建设用地与厂址方案;5、环境和生态影响分析;6、投资方案分析;7、经济效益和社会效益分析。通过对以上内容的研究,力求提供较准确的资料和数据,对该项目是否可行做出客观、科学的结论,作为投资决策的依据。五、 项目建设选址本期项目选址位于xxx(以最终选址方案为准),占地面积约74.00亩。项目拟定建设
20、区域地理位置优越,交通便利,规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备,非常适宜本期项目建设。六、 项目生产规模项目建成后,形成年产xx套薄膜设备的生产能力。七、 建筑物建设规模本期项目建筑面积94733.69,其中:生产工程59253.37,仓储工程20962.89,行政办公及生活服务设施9750.67,公共工程4766.76。八、 环境影响拟建项目的建设满足国家产业政策的要求,项目选址合理。项目建成所有污染物达标排放后,周围环境质量基本能够维持现状。经落实污染防治措施后,“三废”产生量较少,对周围环境的影响较小。因此,本项目从环保的角度看,该项目的建设是可行的。九、 项目总投资及资金构成(一
21、)项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算,项目总投资32989.66万元,其中:建设投资26425.57万元,占项目总投资的80.10%;建设期利息272.93万元,占项目总投资的0.83%;流动资金6291.16万元,占项目总投资的19.07%。(二)建设投资构成本期项目建设投资26425.57万元,包括工程费用、工程建设其他费用和预备费,其中:工程费用23214.52万元,工程建设其他费用2433.02万元,预备费778.03万元。十、 资金筹措方案本期项目总投资32989.66万元,其中申请银行长期贷款11140.06万元,其余部分由企业自筹
22、。十一、 项目预期经济效益规划目标(一)经济效益目标值(正常经营年份)1、营业收入(SP):66600.00万元。2、综合总成本费用(TC):54036.96万元。3、净利润(NP):9193.96万元。(二)经济效益评价目标1、全部投资回收期(Pt):5.52年。2、财务内部收益率:21.64%。3、财务净现值:10333.19万元。十二、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设,本期项目建设期限规划12个月。十四、项目综合评价综上所述,该项目属于国家鼓励支持的项目,项目的经济和社会效益客观,项目的投产将改善优化当地产业结构,实现高质量发展的目标。主要经
23、济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积49333.00约74.00亩1.1总建筑面积94733.691.2基底面积30093.131.3投资强度万元/亩343.652总投资万元32989.662.1建设投资万元26425.572.1.1工程费用万元23214.522.1.2其他费用万元2433.022.1.3预备费万元778.032.2建设期利息万元272.932.3流动资金万元6291.163资金筹措万元32989.663.1自筹资金万元21849.603.2银行贷款万元11140.064营业收入万元66600.00正常运营年份5总成本费用万元54036.966利润总额万元12258.6
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