广元半导体清洗设备项目申请报告.docx

《广元半导体清洗设备项目申请报告.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《广元半导体清洗设备项目申请报告.docx（138页珍藏版）》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、泓域咨询/广元半导体清洗设备项目申请报告目录第一章 背景及必要性7一、 单片清洗良率高，是目前主流清洗设备7二、 半导体市场景气高涨，资本开支上行带动设备市场高成长7三、 湿法清洗是主流清洗技术路线8四、 全面推动产业转型升级，努力打造区域经济发展高地11五、 积极融入新发展格局，奋力打造重要门户枢纽16第二章 市场预测20一、 清洗设备市场空间大，单片设备将长期占据主体地位20二、 先进工艺为清洗设备增添新增长机遇21第三章 项目绪论22一、 项目概述22二、 项目提出的理由24三、 项目总投资及资金构成26四、 资金筹措方案26五、 项目预期经济效益规划目标26六、 项目建设进度规划27七

2、、 环境影响27八、 报告编制依据和原则27九、 研究范围28十、 研究结论28十一、 主要经济指标一览表29主要经济指标一览表29第四章 建设单位基本情况31一、 公司基本信息31二、 公司简介31三、 公司竞争优势32四、 公司主要财务数据34公司合并资产负债表主要数据34公司合并利润表主要数据34五、 核心人员介绍35六、 经营宗旨36七、 公司发展规划37第五章 建筑工程可行性分析39一、 项目工程设计总体要求39二、 建设方案40三、 建筑工程建设指标40建筑工程投资一览表41第六章 产品方案43一、 建设规模及主要建设内容43二、 产品规划方案及生产纲领43产品规划方案一览表43第

3、七章 法人治理结构46一、 股东权利及义务46二、 董事48三、 高级管理人员52四、 监事54第八章 SWOT分析56一、 优势分析（S）56二、 劣势分析（W）58三、 机会分析（O）58四、 威胁分析（T）59第九章 节能方案说明65一、 项目节能概述65二、 能源消费种类和数量分析66能耗分析一览表66三、 项目节能措施67四、 节能综合评价68第十章 劳动安全69一、 编制依据69二、 防范措施70三、 预期效果评价76第十一章 环保分析77一、 编制依据77二、 建设期大气环境影响分析78三、 建设期水环境影响分析80四、 建设期固体废弃物环境影响分析80五、 建设期声环境影响分析

4、81六、 环境管理分析82七、 结论86八、 建议86第十二章 原材料及成品管理87一、 项目建设期原辅材料供应情况87二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理87第十三章 项目投资计划88一、 编制说明88二、 建设投资88建筑工程投资一览表89主要设备购置一览表90建设投资估算表91三、 建设期利息92建设期利息估算表92固定资产投资估算表93四、 流动资金94流动资金估算表95五、 项目总投资96总投资及构成一览表96六、 资金筹措与投资计划97项目投资计划与资金筹措一览表97第十四章 项目经济效益分析99一、 经济评价财务测算99营业收入、税金及附加和增值税估算表99综合总成本费用估算表

5、100固定资产折旧费估算表101无形资产和其他资产摊销估算表102利润及利润分配表104二、 项目盈利能力分析104项目投资现金流量表106三、 偿债能力分析107借款还本付息计划表108第十五章 招标及投资方案110一、 项目招标依据110二、 项目招标范围110三、 招标要求111四、 招标组织方式113五、 招标信息发布116第十六章 风险评估117一、 项目风险分析117二、 项目风险对策119第十七章 总结分析121第十八章 补充表格124营业收入、税金及附加和增值税估算表124综合总成本费用估算表124固定资产折旧费估算表125无形资产和其他资产摊销估算表126利润及利润分配表12

6、7项目投资现金流量表128借款还本付息计划表129建设投资估算表130建设投资估算表130建设期利息估算表131固定资产投资估算表132流动资金估算表133总投资及构成一览表134项目投资计划与资金筹措一览表135本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息，并依托行业分析模型而进行的模板化设计，其数据参数符合行业基本情况。本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途。第一章 背景及必要性一、 单片清洗良率高，是目前主流清洗设备在湿法清洗的技术路线下，清洗设备可以分为单片清洗设备、槽式清洗设备、批式旋转喷淋清洗设备和洗刷器等，其中单片和槽式清洗设备是目前主流的清洗设备。单片清洗是将每一

7、片晶圆送至各个腔体进行单独喷淋式清洗，这样容易控制清洗质量，也可以提高单片晶圆不同位臵的清洗均匀度，但是缺点是清洗效率低下。槽式清洗是将多片晶圆（100-200片）放入清洗槽中，集中起来清洗，此类清洗设备效率高且成本底，但是缺点是浓度较难控制，可能产生交叉污染。目前，单片清洗在集成电路制造的先进工艺中已逐步取代槽式清洗成为主流，主要原因包括：（1）单片清洗能够提供更好的工艺控制，提高产品良率；（2）在更大尺寸的晶圆和更先进的工艺对于杂质更敏感，槽式清洗出现交叉污染会危及整批晶圆的良率，会带来高成本的芯片返工支出；（3）单片槽式组合清洗技术的出现，可以在提高清洗能力及效率的同时，减少硫酸的使用量

8、，帮助客户有效降低成本。二、 半导体市场景气高涨，资本开支上行带动设备市场高成长在5G、物联网、汽车电子、云计算等需求的带动下，半导体市场需求持续增长。2020年尽管受到疫情的影响，全球半导体市场规模依然同比增长6.8%，达到了4404亿美元，预计2021年、2022年全球半导体市场规模分别为5272亿美元、5734亿美元，同比分别增长19.7%、8.8%。从分地区来看，亚太市场规模增速高于全球平均，分别为23.5%、9.2%，在全球市场的占比分别为63%、64%。半导体厂商的资本开支提高将带动设备市场规模高成长，根据SEMI统计，全球半导体设备市场规模从2013年的318亿美元增长至2020

9、年的712亿美元，年复合增长率达12.21%，2020年实现同比增长19.15%。预计2021年全球半导体设备市场规模将增至953亿美元，同比增长33.85%，并于2022年超过1000亿美元。另外，中国的半导体设备销售额从2013年的33亿美元增长至2020年的187亿美元，年复合增长率高达27.70%，远超全球市场增速。三、 湿法清洗是主流清洗技术路线根据清洗的介质不同，清洗技术可以分为湿法清洗和干法清洗两种。湿法清洗是指利用溶液、酸碱、表面活性剂、水及其混合物，通过腐蚀、溶解、化学反应等方法，使硅片表面的杂质与溶剂发生化学反应生成可溶性物质、气体或直接脱落，以获得满足洁净度要求的硅片。干

10、法清洗是指不依赖化学试剂的清洗技术，包括等离子体清洗、气象清洗等。晶圆制造产线上通常以湿法清洗为主，是目前市场上的主流清洗方法。湿法清洗采用液体化学试剂和DI水氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。通常采用的湿法清洗有RCA清洗法、稀释化学法、IMEC清洗法和单晶片清洗等。1)RCA通用清洗法：RCA清洗法依靠溶剂、酸、表面活性剂和水，在不破坏晶圆表面特征的情况下通过喷射、净化、氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。在每次使用化学品后都要在超纯水（UPW）中彻底清洗。2)化学稀释法：在RCA清洗的基础上，对SC1、SC2混合物采用稀释化学法可以大量节约化学品及D

11、I水的消耗量。并且SC2混合物中的H2O2可以完全去掉。稀释APMSC2混合物（1:1:50）可以有效地从晶片表面去除颗粒和碳氢化合物。强烈稀释HPM混合物（1:1:60）和稀释HCI（1:100）在清除金属时可以像标准SC2液体一样有效。采用稀释HCI溶液的另外一个优点是，在低HCI浓度下颗粒不会沉淀。采用稀释RCA清洗法可以使全部化学品消耗减少86%。稀释SC1,SC2溶液及HF补充兆声搅动后，可以降低槽中溶液使用温度，并优化了各种清洗步骤的时间，因此导致槽中溶液寿命加长，使化学品消耗量减少80-90%。实验证明采用热的UPW代替凉的UPW可以使UPW消耗量减少75-80%。此外，多种稀释

12、化学液体由于低流速或清洗时间的要求可大大节约冲洗用水。3)IMEC清洗法：第一步，去除有机污染物，生成一薄层化学氧化物以便有效去除颗粒。通常采用硫酸混合物。第二步，去除氧化层，同时去除颗粒和金属氧化物。Cu,Ag等金属离子存在于HF溶液时会沉积到Si表面。其沉积过程是一个电化学过程，在光照条件下，铜的表面沉积速度加快。第三步，在硅表面产生亲水性，以保证干燥时不产生干燥斑点或水印。通常采用稀释HCL/O3混合物，在低pH值下使硅表面产生亲水性，同时避免再发生金属污染，并且在最后冲洗过程中增加HNO3的浓度以减少Ca表面污染。4)单晶片清洗：大直径晶片的清洗采用上述方法不好保证其清洗过程的完成，通

13、常采用单晶片清洗法。其清洗过程是在室温下重复利用DI-O3/DHF清洗液，臭氧化的DI水（DI-O3）产生氧化硅，稀释的HF蚀刻氧化硅，同时清除颗粒和金属污染物。根据蚀刻和氧化的要求采用较短的喷淋时间就可获得好的清洗效果，不会发生交叉污染。最后冲洗不是采用DI水就是采用臭氧化的DI水。为了避免水渍，采用浓缩大量氮气的异丙基乙醇（IPA）进行干燥处理。单晶片清洗具有或者比改良的RCA清洗更好的清洗效果，清洗过程中采用DI水及HF的再循环利用，降低化学品的消耗量，提高晶片成本效益。干法清洗采用气相学法去除晶片表面污染物。气相化学法主要有热氧化法和等离子清洗法，清洗过程就是将热化学气体或等离子态反应

14、气体导入反应室，反应气体与晶片表面发生化学反应生成易挥发性反应产物被真空抽去。在CI包容环境中退火是一种典型的热氧化过程，在氧化炉中进行，氩（Ar）溅射通常在溅射淀积前现场进行。干法清洗的优点在于清洗后无废液，可有选择性的进行局部处理。另外，干法清洗蚀刻的各向异性有利于细线条和几何特征的形成。但气相化学法无法有选择性的只与表面金属污染物反应，都不可避免的与硅表面发生反应。各种挥发性金属混合物蒸发压力不同，在低温下各种金属挥发性不同，所以在一定的温度、时间条件下，不能将所有金属污染物完全去除，因此干法清洗不能完全取代湿法清洗。实验证明，气相化学法可按要求的标准减少的金属污染物有铁、铜、铝、锌、镍

15、等，另外，钙在低温下采用基于CL离子的化学法也可有效挥发。工艺过程中通常采用干、湿法相结合的清洗方式。四、 全面推动产业转型升级，努力打造区域经济发展高地坚持把发展经济着力点放在实体经济上，推动数字经济和实体经济深度融合，推进产业基础高级化、产业链现代化，实现产业提质增效、延链集群，提高经济质量效益和竞争力。畅通区域产业链供应链。抢抓全国产业链供应链重构机遇，促进域内特色优势产业集群化发展，推动产业链供应链上下游企业协同分工、联动发展，积极嵌入区域性生产网络，提升产业链供应链稳定性和竞争力。高质量承接先发地区产业转移，推进特色优势产业与区域产业体系供需适配，实施产业基础再造和产业链提升工程，加

16、快打造新兴产业链。统筹推进现代流通体系建设，围绕大宗商品物流、消费物流、智慧物流、应急物流等领域引进和培育具有顶级供应链运营能力的龙头流通企业，引导企业开展供应链安全风险评估。整合利用“三线建设”战略资源，提升军工电子和新材料领域发展优势。加强与成渝西等重点地区协作，争取重大战略性基础设施和生产力布局。围绕产业链部署创新链，深入实施质量提升行动和品牌创建行动。推动制造业高质量发展。以特色优势产业和战略性新兴产业为主攻方向，着力构建资源互补、链式关联、梯次发展的制造业生态圈，打造千亿级铝产业集群、五百亿绿色家居产业集群和西部地区知名的绿色农副产品加工基地，发展壮大新材料、新一代信息技术、生物医药

17、等新兴产业。实施高水平技改升级，推动制造业与互联网、大数据、人工智能等深度融合，提升电子信息、机械制造等产业发展能级。推动制造业向服务型制造、平台化经营方向转型。实施绿色制造工程，创建一批绿色工厂、绿色企业、绿色园区。壮大制造业企业群体，强化大企业培育，促进大中小企业融通发展。实施亩均效益评价，全面提升园区发展质效。推动智能建造与建筑工业化协同发展，加快发展建筑业总部经济，促进建筑业转型升级。发展壮大现代服务业。推动生产性服务业向专业化和价值链高端延伸、生活性服务业向高品质和多样化升级，建设川陕甘结合部服务业强市。推动支柱型服务业提质增效，突破发展现代物流，转型发展商业贸易，培育发展金融服务。

18、促进科技信息、商务会展、人力资源、特色餐饮、家庭社区五大成长型服务业提速增量。推动现代服务业同先进制造业、现代农业深度融合发展，加快服务业聚集区建设，加强公益性、基础性服务业供给。推进服务业标准化、品牌化建设。建设中国生态康养旅游名市。以建设天府旅游名县和全域旅游为引领，加快建设大蜀道国际旅游目的地和生态康养旅游目的地，推动文化旅游业转型升级。进一步促进文化、旅游及相关产业深度融合，形成新的文化旅游业态，丰富文旅产品供给，提升剑门蜀道剑门关旅游区品质，建成曾家山国家级旅游度假区，建设一批国家级、省级文化产业和文旅融合产业园区，争创一批天府旅游名县、名镇、名村和国家、省全域旅游示范区。打造白龙湖

19、、亭子湖、栖凤湖等滨水旅游产品，开发工业旅游、体育旅游、生态旅游、低空旅游、研学旅游等旅游业态，促进红色旅游、乡村旅游提质升级，建设“大蜀道”“大熊猫”知名文旅精品。完善“快进慢游”旅游交通网络，建设黑石坡至曾家山快速旅游通道，全面提升剑昭旅游公路。推进旅游酒店多元化、主题化、品质化发展，打造特色主题旅游演艺，提升文旅公共服务水平。壮大文旅市场主体，培育一批文旅优秀骨干企业。打造精品旅游线路，开展精准宣传推广，做靓广元女儿节、大蜀道文化旅游节等节会，提升“剑门蜀道、女皇故里、熊猫家园、红色广元”文旅品牌影响力。深入实施“康养+”战略，打造集健康养生、医疗养老、康养旅游、健身休闲、生态美容、健康

20、教育于一体的现代生态康养产业，加快建成大稻坝、天曌山等一批医养融合、生态康养示范基地和中医养生保健基地。实施康养产业关键技术创新工程，构建“互联网+康养”产业发展模式，建设智慧医养康养信息平台。推动医疗、养老机构资源互动融合，打造医养结合广元品牌。加大康养领军企业培育扶持力度。创新健身休闲运动推广普及方式，打造特色健身休闲产业带。大力发展高质高效农业。持续深化农业供给侧结构性改革，加快建设“7+3”现代特色农业，积极构建特色农业“一区两带七集群”，全面提升中国特色农产品优势区、国家农产品质量安全市建设水平，加快建设特色农业强市。落实最严格的耕地保护制度，实施藏粮于地、藏粮于技战略，推进高标准农

21、田建设，强化现代农业科技、种业和现代装备支撑，加强动植物疫病防控体系建设，巩固提升农业综合生产和收储调控能力，保障粮食安全和重要农产品供给。开展粮食节约行动。强化绿色导向、有机生产、标准引领和质量安全监管，推进“一控两减三基本”，加强地理标志产品保护，积极开展有机农产品认证，增强“广元七绝”品牌影响力和市场竞争力。高标准建设现代农（林）业园区，推动农业现代化示范区创建。打造农旅文融合新产品、新业态，延展农业产业链价值链增收链。推进清洁能源开发利用。构建安全、绿色、经济现代能源体系，建设集天然气、水电、风电为主，新能源兼备的区域性清洁能源供给中心。推进天然气勘探开发、输气管网、储气调峰、终端市场

22、等产供储销体系建设。坚持以气引企、以气聚企，在苍溪、剑阁、青川和广元经济技术开发区积极发展以天然气为燃料和原料的高载能产业，拓展清洁能源高效利用途径，打造中国西部重要的天然气清洁能源利用基地。有序发展风电，清洁高效发展火电。完善电力输送通道布局，加强智能电网建设，推进城市输配电网络建设和农村电网改造升级，推动跨区域电力调剂通道建设。推进充电桩、换电站等基础设施建设。积极培育发展数字经济。推进新一轮智慧广元建设，统筹布局5G、大数据中心、工业互联网、物联网和人工智能等新型基础设施建设，加快推进5G商用规模化。推动川北云计算大数据中心、川北云计算中心、川北枢纽数据中心等规模化、一体化、绿色化、智能

23、化发展，实施智能算力基础设施建设行动，形成连接成渝、辐射川陕甘的区域性信息枢纽。大力培育发展数字经济，抢抓四川创建国家数字经济创新发展试验区机遇，深入推进数字产业化和产业数字化，加强数字政府、数字惠民、智慧社会建设，提升公共服务与社会治理数字化水平，形成有较强竞争力的数字经济生态体系。推动数字经济与实体经济深度融合，积极推动企业上云，支持铝产业等特色优势产业开展工业互联网示范试点，形成一批面向中小企业可推广的典型应用。推动数据资源社会化、市场化应用。五、 积极融入新发展格局，奋力打造重要门户枢纽探索融入新发展格局的有效路径，加快建设全国性综合交通枢纽，畅通要素流动，激发内需潜力，提高开放水平，

24、聚力发展枢纽经济，提升川陕甘结合部现代化中心城市和四川北向东出桥头堡的战略位势。全面对接区域发展重大战略。抢抓机遇主动融入成渝地区双城经济圈建设，协同推进成德绵眉乐（雅）广攀经济带、嘉陵江流域经济带、大蜀道经济带和广巴达万经济带建设。深化与成渝双核的功能协作，加强与绵阳、南充的战略合作，协同推进川陕革命老区、川东北经济区振兴发展和阆苍南一体化发展，加快建设成渝地区北向重要门户枢纽、高品质生态康养“后花园”、绿色产品供给地和产业协作配套基地，促进成渝地区双城经济圈北翼振兴。强化与毗邻区域联动，推动广巴汉陇协同发展。提升跨区域合作水平，积极对接京津冀、长三角、粤港澳大湾区，主动融入长江经济带发展，

25、持续深化浙广合作。全力打造全国性综合交通枢纽。全面推进铁路、公路、水运、航空、管道等交通基础设施互联互通、多式联运，构建“通江达海、联核融圈、辐射陕甘、融入亚欧”的全国性综合交通枢纽。加快推进广巴铁路扩能改造，推动兰渝铁路提速，研究推进兰渝高铁、西成高铁新线和广元港专用铁路前期工作。推进广元机场改扩建工程，建设通用航空机场，加密客货运航线，提升广元航空运输能力。推进高速公路扩容加密，加快京昆高速广元段扩容和绵苍巴、广平等高速公路建设，加快推进南江经旺苍、苍溪至盐亭和青川至剑阁高速前期工作，实施国省干线公路升级改造，开展“四好农村路”三年攻坚改造升级行动，持续扩大农村公路网覆盖范围和供给能力。推

26、进嘉陵江航道整治，推动建立嘉陵江航运统一协调调度机制，提升嘉陵江黄金水道航运能级和效率。聚力创建国家物流枢纽承载城市。大力推进物流运输通道、物流节点、城乡配送、物流信息化标准化体系建设，合理布局发展高铁、公路、港口、空港、多式联运五大物流业态，构建现代化综合物流枢纽体系。规划建设川陕甘（广元）铁路港经济区，依托广元铁路枢纽、高铁物流基地、综合物流基地，开发建设广元铁路物流港，推进上西片区公铁联运，促进城市西部发展，开辟高质量发展新空间，形成高质量发展新支撑。错位布局商贸服务型、工贸服务型、综合服务型物流园区。实施物流降本增效工程。建设货运物流公共信息平台，推进以铁路、高速公路为骨干的公铁水空多

27、式联运集群发展，大力发展农产品冷链物流，打造国家骨干冷链物流基地。着力打造区域消费中心。坚持扩大内需战略，顺应消费升级趋势，提升传统消费，培育新型消费，促进消费扩容提质，开拓城乡消费市场，推动消费向绿色、健康、安全发展。聚集区域特色商品服务资源，壮大文化旅游、康养度假、特色美食、民俗节庆、教育医疗、商务会展等服务消费，提升住房、汽车等商品消费，着力开拓成渝地区、川陕甘结合部等重点市场，大力吸引外地流动人口休闲体验消费，持续扩大目标消费人群。培育消费新载体，优化主城区商业业态布局，提升完善城市核心商圈功能，推动实体商业向消费体验中心、休闲娱乐中心、文化时尚中心等新型消费载体转变。大力发展文旅消费

28、、信息消费、健康消费、夜间消费、时尚消费等新型消费，依托澳体中心和中心城区山水资源发展体育赛事消费，建设川陕甘结合部区域消费中心城市。创响“女皇味道”餐饮品牌，打造川北美食之都。实施会展品牌提升工程，重点打造川陕甘汽车博览会等一批特色区域会展品牌，积极承接国内大型会展。完善促进新型消费发展的体制机制和政策体系，营造放心舒心的消费环境。努力激发有效投资。优化投资结构，提高投资质量，保持投资合理增长。加大新型基础设施、新型城镇化、交通能源水利等重大工程投资力度，聚焦基础设施、产业发展、生态环保、防灾减灾、民生保障等短板领域，策划储备实施一批强基础、增功能、利长远的重大项目。完善项目策划和储备体系，

29、激发全社会投资活力，拓展民间投资渠道，形成市场主导的投资内生增长机制。创新开展招商引资，完善招商机制、招商模式和招商政策，充分利用区域重大投资促进平台，建设高水平投资促进网络平台，构建行政化、市场化、社会化招商格局，围绕重点产业链着力招引世界五百强、国内百强企业，推动引进到位市外资金持续增长，招商质量显著提升。积极扩大开放合作。强化北向东出、西向开放功能，加快建设连接丝绸之路经济带、西部陆海新通道和长江经济带的开放门户。打造高水平开放平台，提升广元经济技术开发区开放功能，积极推进中俄国际产业合作园建设，争取设立铁路、机场口岸及广元保税物流中心（B型）。积极融入“一带一路”建设，借力蓉欧、渝新欧

30、国际物流大通道，积极对接成渝铁路物流口岸，打造商品集散基地。积极拓展对外贸易，搭建“广元造”走向全球经贸平台，促进特色农产品、优势工业品出口，支持企业建设市场化跨境电商综合服务平台，推进贸易模式创新发展。完善海关服务功能，推进区域通关一体化。第二章 市场预测一、 清洗设备市场空间大，单片设备将长期占据主体地位在半导体制造设备中，一般包含光刻、刻蚀、薄膜沉积、两侧、清洗、CMP等设备，根据Gartner的数据，清洗设备在晶圆制造设备中的占比大概在4%以上。根据Gartner数据，2018年全球半导体清洗设备市场规模为34.2亿美元，2019和2020年受全球半导体行业景气度下降以及新冠疫情的影响

31、，全球半导体清洗设备市场规模有所下降，分别为30.5亿美元和25.4亿美元。预计2021年随着全球半导体行业的复苏以及全球半导体设备市场规模提升的拉动，半导体清洗设备市场将呈现逐年增长的趋势，2024年全球半导体清洗设备市场规模将达到32亿美元。从结构来看，单片清洗设备是目前市场的绝对主流，根据Gartner的数据，2019年单片清洗设备、槽式清洗设备、批式旋转喷淋清洗设备和洗刷器等类型清洗设备的市场份额分别为22.76亿美元、5.52亿美元、0.13亿美元和2.08亿美元，占比分别为74.63%、18.10%、0.44%和6.83%。随着集成电路特征尺寸的进一步缩小，单片清洗设备在40nm以

32、下的制程中的应用会更加广泛，未来的占比有望逐步上升。根据东京电子的预测，单片清洗将长期占据主要市场份额。二、 先进工艺为清洗设备增添新增长机遇除了受益于半导体行业景气周期上行，半导体工艺升级也将为清洗设备带来新增长机遇，随着芯片先进制程的进步以及芯片结构的复杂化，清洗设备市场有望量价提升。随着半导体技术的不断进步，半导体器件集成度不断提高，清洗的步骤大幅提高。90nm的芯片清洗工艺约90道，到了20nm清洗工艺达到215道。随着芯片进入16nm以及7nm以下，清洗工艺的道数将会加速增长。另一方面半导体晶圆的尺寸却不断扩大，主流晶圆尺寸已经从4英寸、6英寸，发展到现阶段的8英寸、12英寸。此外，

33、半导体器件的结构也趋于复杂。例如存储器领域的NAND闪存，根据国际半导体技术路线图预测，当工艺尺寸到达14nm后，目前的Flash存储技术将会达到尺寸缩小的极限，存储器技术将从二维转向三维架构，进入3D时代。3DNAND制造工艺中，主要是将原来2DNAND中二维平面横向排列的串联存储单元改为垂直排列，通过增加立体层数，解决平面上难以微缩的工艺问题，堆叠层数也从32层、64层向128层发展。3D存储技术的提升，在清洗晶圆表面的基础上提出了更高的要求，即在无损情况下清洗立体内部沾污，对清洗设备提出了更高的要求，清洗设备的单台价值将不断上升。第三章 项目绪论一、 项目概述（一）项目基本情况1、项目名

34、称：广元半导体清洗设备项目2、承办单位名称：xx（集团）有限公司3、项目性质：技术改造4、项目建设地点：xx园区5、项目联系人：万xx（二）主办单位基本情况公司自成立以来，坚持“品牌化、规模化、专业化”的发展道路。以人为本，强调服务，一直秉承“追求客户最大满意度”的原则。多年来公司坚持不懈推进战略转型和管理变革，实现了企业持续、健康、快速发展。未来我司将继续以“客户第一，质量第一，信誉第一”为原则，在产品质量上精益求精，追求完美，对客户以诚相待，互动双赢。公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用，建立了工会组织，并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度，进一步规范厂务公开的

35、内容、程序、形式，企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展，以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心，坚持战略导向、问题导向和需求导向，持续深化教育培训改革，精准实施培训，努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司坚持提升企业素质，即“企业管理水平进一步提高，人力资源结构进一步优化，人员素质进一步提升，安全生产意识和社会责任意识进一步增强，诚信经营水平进一步提高”，培育一批具有工匠精神的高素质企业员工，企业品牌影响力不断提升。经过多年的发展，公司拥有雄厚的技术实力，丰富的生产经营管理经验和可靠的产品质量保证体系，综合实力进一步增强。公司将继续提升供应链构建与管理、新技术新工

36、艺新材料应用研发。集团成立至今，始终坚持以人为本、质量第一、自主创新、持续改进，以技术领先求发展的方针。（三）项目建设选址及用地规模本期项目选址位于xx园区，占地面积约62.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（四）产品规划方案根据项目建设规划，达产年产品规划设计方案为：xx套半导体清洗设备/年。二、 项目提出的理由清洗步骤数量是芯片制造工艺步骤占比最大的工序，约占所有芯片制造工序步骤的30%以上。伴随半导体制造技术节点的进步，清洗工序的数量和重要性将继续提高。在半导体芯片工艺技术节点进入28nm、14nm以及更先进等

37、级后，工艺流程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。当前和今后一个时期，我国发展仍然处于重要战略机遇期，但机遇和挑战都有新的发展变化。当今世界正经历百年未有之大变局，新冠肺炎疫情全球大流行使大变局加速演变，新一轮科技革命和产业变革深入发展，和平与发展仍然是时代主题，同时世界进入动荡变革期，不稳定性不确定性明显增加。我国正处于实现中华民族伟大复兴的关键时期，已转向高质量发展阶段，经济稳中

38、向好、长期向好的基本趋势没有改变。我省加快推动成渝地区双城经济圈建设成势见效，发展的战略动能将更加强劲、战略位势将更加凸显、战略支撑将更加有力。今后五年，广元发展将处于全面建设社会主义现代化夯基筑底起步期、高质量发展加速期、城市能级提升突破期、大开放促大发展关键期，转型发展、创新发展、跨越发展具有多方面优势和条件。以国内大循环为主体、国内国际双循环相互促进的新发展格局加快构建，将为广元发展提供新支撑；“一带一路”建设、长江经济带发展、新时代西部大开发、成渝地区双城经济圈建设、川陕革命老区振兴发展等重大战略深入实施，将为广元发展提供新动能；我省“一干多支、五区协同”“四向拓展、全域开放”新态势加

39、快形成，将为广元发展创造新空间；国家推动经济社会发展全面绿色转型，将为广元发展创造新优势。同时，我市发展滞后的基本市情仍然没有根本改变，发展不充分不平衡问题依然突出，发展约束和不确定性增加，主导产业支撑乏力，市场机制不活，开放程度不深，科技创新能力薄弱，内生增长动能不足，巩固拓展脱贫攻坚成果任务艰巨，基础设施、新型城镇化、民生保障等领域还有短板弱项，自然灾害易发多发、社会治理任务繁重等带来一系列风险挑战。面向未来，全市上下必须胸怀两个大局，辩证看待新发展阶段面临的新机遇新挑战，深刻认识社会主要矛盾变化带来的新特征新要求，切实增强机遇意识和风险意识，强化使命担当，把握发展规律，保持战略定力，努力

40、在危机中育先机、于变局中开新局。三、 项目总投资及资金构成本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资23139.46万元，其中：建设投资19269.16万元，占项目总投资的83.27%；建设期利息209.89万元，占项目总投资的0.91%；流动资金3660.41万元，占项目总投资的15.82%。四、 资金筹措方案（一）项目资本金筹措方案项目总投资23139.46万元，根据资金筹措方案，xx（集团）有限公司计划自筹资金（资本金）14572.48万元。（二）申请银行借款方案根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额8566.98万元。五、 项目预期经济效益规

41、划目标1、项目达产年预期营业收入（SP）：41400.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：35451.40万元。3、项目达产年净利润（NP）：4328.67万元。4、财务内部收益率（FIRR）：11.62%。5、全部投资回收期（Pt）：6.91年（含建设期12个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：20186.28万元（产值）。六、 项目建设进度规划项目计划从可行性研究报告的编制到工程竣工验收、投产运营共需12个月的时间。七、 环境影响本项目将严格按照“三同时”即三废治理与生产装置同时设计、同时施工、同时建成使用的原则，贯彻执行国家和地方有关环境保护的法规和标准。积极采用先进而成熟的工艺设

42、备，最大限度利用资源，尽可能将三废消除在工艺内部，项目单位及时对生产过程中的噪音、废水、固体废弃物等都要经过处理，避免造成环境污染，确保该项目的建设与实施过程完全符合国家环境保护规范标准。八、 报告编制依据和原则（一）编制依据1、承办单位关于编制本项目报告的委托；2、国家和地方有关政策、法规、规划；3、现行有关技术规范、标准和规定；4、相关产业发展规划、政策；5、项目承办单位提供的基础资料。（二）编制原则1、严格遵守国家和地方的有关政策、法规，认真执行国家、行业和地方的有关规范、标准规定；2、选择成熟、可靠、略带前瞻性的工艺技术路线，提高项目的竞争力和市场适应性；3、设备的布置根据现场实际情况

43、，合理用地；4、严格执行“三同时”原则，积极推进“安全文明清洁”生产工艺，做到环境保护、劳动安全卫生、消防设施和工程建设同步规划、同步实施、同步运行，注意可持续发展要求，具有可操作弹性；5、形成以人为本、美观的生产环境，体现企业文化和企业形象；6、满足项目业主对项目功能、盈利性等投资方面的要求；7、充分估计工程各类风险，采取规避措施，满足工程可靠性要求。九、 研究范围按照项目建设公司的发展规划，依据有关规定，就本项目提出的背景及建设的必要性、建设条件、市场供需状况与销售方案、建设方案、环境影响、项目组织与管理、投资估算与资金筹措、财务分析、社会效益等内容进行分析研究，并提出研究结论。十、 研究

44、结论由上可见，无论是从产品还是市场来看，本项目设备较先进，其产品技术含量较高、企业利润率高、市场销售良好、盈利能力强，具有良好的社会效益及一定的抗风险能力，因而项目是可行的。十一、 主要经济指标一览表主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积41333.00约62.00亩1.1总建筑面积72016.131.2基底面积24799.801.3投资强度万元/亩295.222总投资万元23139.462.1建设投资万元19269.162.1.1工程费用万元16418.382.1.2其他费用万元2417.172.1.3预备费万元433.612.2建设期利息万元209.892.3流动资金万元3660

45、.413资金筹措万元23139.463.1自筹资金万元14572.483.2银行贷款万元8566.984营业收入万元41400.00正常运营年份5总成本费用万元35451.406利润总额万元5771.567净利润万元4328.678所得税万元1442.899增值税万元1475.3210税金及附加万元177.0411纳税总额万元3095.2512工业增加值万元11113.9413盈亏平衡点万元20186.28产值14回收期年6.9115内部收益率11.62%所得税后16财务净现值万元-366.21所得税后第四章 建设单位基本情况一、 公司基本信息1、公司名称：xx（集团）有限公司2、法定代表人：

46、万xx3、注册资本：980万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2016-6-67、营业期限：2016-6-6至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事半导体清洗设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司坚持提升企业素质，即“企业管理水平进一步提高，人力资源结构进一步优化，人员素质进一步提升，安全生产意识和社会责任意识进一步增强，诚信经营水平进一步提高”，培育一批具有工匠精神的高素质企业员工，企业品牌影响力不断提升。经过多年的发展，公司拥有雄厚的技术实力，丰富的生产经营管理经验和可靠的产品质量保证体系，综合实力进一步增强。公司将继续提升供应链构建与管理、新技术新工艺新材料应用研发。集团成立至今，始终坚持以人为本、质量第一、自主创新、持续改进，以技术领先求发展的方针。三、 公司竞争优势（一）自主研发优势公司在各个细分领域深入研究的同时，通过整合各平台优势，构建全产品系列，并不断进行产品结构升级，顺应行业一体化、集成创新的发展趋势。通过多年积累，公司产品性能处于国内领先水平。公司多年来坚持技术创新，不断改进和优化产品性能，实现产品结构升级。公司