ESD知识培训教材.pdf

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1、静电防护知识培训静电防护知识培训静电防护知识培训静电防护知识培训备备备备稿稿稿稿：柳福明柳福明柳福明柳福明2006/09/02培训对象培训对象培训对象培训对象1、ME或测试工程师或测试工程师或测试工程师或测试工程师2、LQC3、拉长和助拉拉长和助拉拉长和助拉拉长和助拉4、机修机修机修机修课程概要课程概要课程概要课程概要?静电产生原理及方式静电产生原理及方式静电产生原理及方式静电产生原理及方式?静电术语静电术语静电术语静电术语?静电对电子生产制造业的不良影响静电对电子生产制造业的不良影响静电对电子生产制造业的不良影响静电对电子生产制造业的不良影响?静电防护原理静电防护原理静电防护原理静电防护原理

2、?电子生产使用环境中的防静电系统构成电子生产使用环境中的防静电系统构成电子生产使用环境中的防静电系统构成电子生产使用环境中的防静电系统构成?防静电检测防静电检测防静电检测防静电检测第第第第1节节节节、静电产生的原理及方式静电产生的原理及方式静电产生的原理及方式静电产生的原理及方式产生产生产生产生原理原理原理原理：电荷的转移电荷的转移电荷的转移电荷的转移。产生方式产生方式产生方式产生方式：1.摩擦摩擦摩擦摩擦（不同物质的接触和分离不同物质的接触和分离不同物质的接触和分离不同物质的接触和分离）2.静电感应静电感应静电感应静电感应3.电效应电效应电效应电效应其它如其它如其它如其它如：热电和压电起电热

3、电和压电起电热电和压电起电热电和压电起电、极化起电极化起电极化起电极化起电、亥姆霍兹层亥姆霍兹层亥姆霍兹层亥姆霍兹层、喷射起电等喷射起电等喷射起电等喷射起电等.摩擦起电序列摩擦起电序列摩擦起电序列摩擦起电序列：第第第第2节节节节、静电术语静电术语静电术语静电术语1.静电静电静电静电：物体表面过剩或不足的静止的电荷。2.静电场静电场静电场静电场：静电在其周围形成的电场。3.静电感应静电感应静电感应静电感应：在静电场影响下引起物体(导体)上电荷重新分面的现象。4.静电敏感度静电敏感度静电敏感度静电敏感度：元器件所能承受的静电放电电压。5.静电敏感器件静电敏感器件静电敏感器件静电敏感器件：对静电放电

4、敏感的器件。6.静电中和静电中和静电中和静电中和：利用异性电荷使静电消失。7.静电放电静电放电静电放电静电放电：当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时，因介质产生电离而使带电体上的电荷部分或全部消失的现象就是静电放电。8.接地接地接地接地：电气连接到能供给或接受大量电荷的物体，如大地，船等.9.表面电阻表面电阻表面电阻表面电阻（率率率率）：）：）：）：在给定的通电时间后，施加于材料表面的直流电压和电流的比值。10.体积电阻体积电阻体积电阻体积电阻（率率率率）：）：）：）：在给定的通电时间后，施加于一块材料相对二个表面的直流电压和电流的比值。11.静电屏蔽静电屏蔽静电屏蔽静电屏蔽：利用金

5、属空腔隔 离静电场影响的措施。12.静电泄露静电泄露静电泄露静电泄露：带电体上的电荷 通过带电体内部或其表面等途径而使之部分或全部消失的现象。13.摩擦起电摩擦起电摩擦起电摩擦起电：用摩擦的方法使两物体分别带有等值异号电荷的过程。14.防静电工作区防静电工作区防静电工作区防静电工作区：配备各种防静电设备和器材，能限制静电电位，具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地。第第第第3节节节节、静电对电子生产制造业的不静电对电子生产制造业的不静电对电子生产制造业的不静电对电子生产制造业的不良影响良影响良影响良影响1）静电有三种方式对电子工业危害最大静电有三种方式对电子工业危害最大静

6、电有三种方式对电子工业危害最大静电有三种方式对电子工业危害最大：（1）、）、）、）、电场力电场力电场力电场力静电会形成静电场而有电场力静电会形成静电场而有电场力静电会形成静电场而有电场力静电会形成静电场而有电场力，同性相斥同性相斥同性相斥同性相斥，异性异性异性异性相吸相吸相吸相吸。由于有电场力的存在由于有电场力的存在由于有电场力的存在由于有电场力的存在，会将空气的尘埃吸附在芯会将空气的尘埃吸附在芯会将空气的尘埃吸附在芯会将空气的尘埃吸附在芯片上片上片上片上，造成芯线的绝缘强度降低造成芯线的绝缘强度降低造成芯线的绝缘强度降低造成芯线的绝缘强度降低，造成短路使芯造成短路使芯造成短路使芯造成短路使芯

7、片损坏片损坏片损坏片损坏。由于静电放电时有较高的电压由于静电放电时有较高的电压由于静电放电时有较高的电压由于静电放电时有较高的电压，可将集可将集可将集可将集成电路芯片介质击穿成电路芯片介质击穿成电路芯片介质击穿成电路芯片介质击穿，芯线熔断芯线熔断芯线熔断芯线熔断，漏电漏电漏电漏电流增大加速老化流增大加速老化流增大加速老化流增大加速老化，电性能改变等电性能改变等电性能改变等电性能改变等。静电放电对芯片损坏具有潜在的和缓慢静电放电对芯片损坏具有潜在的和缓慢静电放电对芯片损坏具有潜在的和缓慢静电放电对芯片损坏具有潜在的和缓慢失效性失效性失效性失效性，这种情况危害性更大这种情况危害性更大这种情况危害性

8、更大这种情况危害性更大。（2）.静电放电静电放电静电放电静电放电（ESD）：）：）：）：（3）.静电感应静电感应静电感应静电感应：导体放在静电场时会感应出正负静电导体放在静电场时会感应出正负静电导体放在静电场时会感应出正负静电导体放在静电场时会感应出正负静电荷荷荷荷，其感应放电产生的宽频带干扰可对其感应放电产生的宽频带干扰可对其感应放电产生的宽频带干扰可对其感应放电产生的宽频带干扰可对计算机和低电平数字电路发生翻转效应计算机和低电平数字电路发生翻转效应计算机和低电平数字电路发生翻转效应计算机和低电平数字电路发生翻转效应或导致仪器或导致仪器或导致仪器或导致仪器（表表表表）运行失常运行失常运行失常

9、运行失常（见下图见下图见下图见下图）。）。）。）。2）.静电放电敏感器件静电放电敏感器件静电放电敏感器件静电放电敏感器件（共共共共1、2、3级级级级）3）.电子生产使用环境中的静电源电子生产使用环境中的静电源电子生产使用环境中的静电源电子生产使用环境中的静电源几乎所有的物体都会通过各种方式产生几乎所有的物体都会通过各种方式产生几乎所有的物体都会通过各种方式产生几乎所有的物体都会通过各种方式产生静电静电静电静电,以下是在车间常见的静电源以下是在车间常见的静电源以下是在车间常见的静电源以下是在车间常见的静电源:第第第第4节节节节、静电的防护原理静电的防护原理静电的防护原理静电的防护原理1、静电防护

10、的基本原则静电防护的基本原则静电防护的基本原则静电防护的基本原则:a、抑制静电荷的积聚抑制静电荷的积聚抑制静电荷的积聚抑制静电荷的积聚；b、迅速迅速迅速迅速、安全安全安全安全、有效地消除已经产生的静有效地消除已经产生的静有效地消除已经产生的静有效地消除已经产生的静电荷电荷电荷电荷。1）、）、）、）、静电耗散与接地静电耗散与接地静电耗散与接地静电耗散与接地是指通过替换电子生产过程中接触到的是指通过替换电子生产过程中接触到的是指通过替换电子生产过程中接触到的是指通过替换电子生产过程中接触到的各类绝缘物制备的用具而改用防静电材各类绝缘物制备的用具而改用防静电材各类绝缘物制备的用具而改用防静电材各类绝

11、缘物制备的用具而改用防静电材料制备并使之接地来完成料制备并使之接地来完成料制备并使之接地来完成料制备并使之接地来完成。1、静电防护措施静电防护措施静电防护措施静电防护措施防静电材料防静电材料防静电材料防静电材料防静电材料又叫防静电材料又叫防静电材料又叫防静电材料又叫ESD防护材料防护材料防护材料防护材料，可分为三类可分为三类可分为三类可分为三类：(1)导静电材料导静电材料导静电材料导静电材料：表面电阻、体积电阻等于或低于1x106 欧，用于没有强电的情况。(2)静电耗散材料静电耗散材料静电耗散材料静电耗散材料：表面电阻、体积电阻在1x106 欧1x109欧范围，使用在工作环境中有220V，38

12、0V交流强电或直流强电的场合，能为操作人员提供安全保护。(3)静电屏蔽耗散复合类静电屏蔽耗散复合类静电屏蔽耗散复合类静电屏蔽耗散复合类：使用静电耗散材料屏蔽并接地。用于各种包装，运输或有电磁场的环境中。2）、）、）、）、静电中和静电中和静电中和静电中和其原理是将正负离子与静电源上的正负电荷中和，从而消除电源上的积累的静电。通常用于消除某些高绝缘且易产生静电的用品存放在工作台或工艺上。静电中和是借助离子静电消除器或感应式静电刷来实现的。离子消除器具有不影响产品质量，消除静电快，使用方便等特点，只是仪器成本较高。3）、）、）、）、静电屏蔽与接地静电屏蔽与接地静电屏蔽与接地静电屏蔽与接地静电屏幕及接

13、地通常用于对高压电源产生的静静电屏幕及接地通常用于对高压电源产生的静静电屏幕及接地通常用于对高压电源产生的静静电屏幕及接地通常用于对高压电源产生的静电场屏蔽电场屏蔽电场屏蔽电场屏蔽，某些对静电极敏感电路物屏蔽某些对静电极敏感电路物屏蔽某些对静电极敏感电路物屏蔽某些对静电极敏感电路物屏蔽，从从从从而避免静电场对而避免静电场对而避免静电场对而避免静电场对ESDS器件和器件和器件和器件和ESDS组件的感应组件的感应组件的感应组件的感应和静电放产生的宽频干扰和静电放产生的宽频干扰和静电放产生的宽频干扰和静电放产生的宽频干扰。屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳

14、体屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体实现的实现的实现的实现的，屏蔽的效果屏蔽的效果屏蔽的效果屏蔽的效果，不仅与屏蔽的材料和性能有不仅与屏蔽的材料和性能有不仅与屏蔽的材料和性能有不仅与屏蔽的材料和性能有关关关关，也与屏蔽体与静电源距离也与屏蔽体与静电源距离也与屏蔽体与静电源距离也与屏蔽体与静电源距离，以及壳体以及壳体以及壳体以及壳体上可能存在的各种不连续的孔洞和数量有上可能存在的各种不连续的孔洞和数量有上可能存在的各种不连续的孔洞和数量有上可能存在的各种不连续的孔洞和数量有关关关关。静电屏蔽的效果与接地有很大关系静电屏蔽的效果与接地有很大关系静电屏蔽

15、的效果与接地有很大关系静电屏蔽的效果与接地有很大关系，只有将只有将只有将只有将屏蔽接地屏蔽接地屏蔽接地屏蔽接地，才能保证屏蔽上的感应的静电才能保证屏蔽上的感应的静电才能保证屏蔽上的感应的静电才能保证屏蔽上的感应的静电荷泄露荷泄露荷泄露荷泄露，使屏蔽体内的电路不受静电场干使屏蔽体内的电路不受静电场干使屏蔽体内的电路不受静电场干使屏蔽体内的电路不受静电场干扰扰扰扰。通常用于仪表电路和静电源防静电干扰的重通常用于仪表电路和静电源防静电干扰的重通常用于仪表电路和静电源防静电干扰的重通常用于仪表电路和静电源防静电干扰的重要措施之一要措施之一要措施之一要措施之一。4）、）、）、）、增湿增湿增湿增湿湿度增加

16、则非导体材料的表面电导率增加湿度增加则非导体材料的表面电导率增加湿度增加则非导体材料的表面电导率增加湿度增加则非导体材料的表面电导率增加，使物使物使物使物体积蓄的静电荷可以更快泄露体积蓄的静电荷可以更快泄露体积蓄的静电荷可以更快泄露体积蓄的静电荷可以更快泄露。对于表面容易形成水膜对于表面容易形成水膜对于表面容易形成水膜对于表面容易形成水膜，既然容易被水润湿的绝既然容易被水润湿的绝既然容易被水润湿的绝既然容易被水润湿的绝缘体如橡胶等缘体如橡胶等缘体如橡胶等缘体如橡胶等，增湿是有效的增湿是有效的增湿是有效的增湿是有效的。而对于表面不而对于表面不而对于表面不而对于表面不能形成水膜的材料如聚四氟乙烯等

17、能形成水膜的材料如聚四氟乙烯等能形成水膜的材料如聚四氟乙烯等能形成水膜的材料如聚四氟乙烯等，增湿对消增湿对消增湿对消增湿对消除静电是无效的除静电是无效的除静电是无效的除静电是无效的。对于孤立的带静电绝缘体对于孤立的带静电绝缘体对于孤立的带静电绝缘体对于孤立的带静电绝缘体，增湿也是无效的增湿也是无效的增湿也是无效的增湿也是无效的。另外另外另外另外，增湿的方法不宜用于消除高温环境中的绝增湿的方法不宜用于消除高温环境中的绝增湿的方法不宜用于消除高温环境中的绝增湿的方法不宜用于消除高温环境中的绝缘体上的静电缘体上的静电缘体上的静电缘体上的静电。为对静电达到最佳控制为对静电达到最佳控制为对静电达到最佳控

18、制为对静电达到最佳控制，湿度一般保持在湿度一般保持在湿度一般保持在湿度一般保持在60%70%。5）、）、）、）、ESDS器件保护网络的设置器件保护网络的设置器件保护网络的设置器件保护网络的设置对对对对ESDS器件设置保护网络器件设置保护网络器件设置保护网络器件设置保护网络，也是防止器也是防止器也是防止器也是防止器件损害的有效手段之一件损害的有效手段之一件损害的有效手段之一件损害的有效手段之一，但保护网络可但保护网络可但保护网络可但保护网络可以降低器件对以降低器件对以降低器件对以降低器件对ESD的敏感性但不能彻底的敏感性但不能彻底的敏感性但不能彻底的敏感性但不能彻底消除消除消除消除。这里不作研究

19、这里不作研究这里不作研究这里不作研究。第第第第5节节节节、电子生产使用环境中的防电子生产使用环境中的防电子生产使用环境中的防电子生产使用环境中的防静电系统构成静电系统构成静电系统构成静电系统构成防静电系统主要有硬件和软件两部分组成防静电系统主要有硬件和软件两部分组成防静电系统主要有硬件和软件两部分组成防静电系统主要有硬件和软件两部分组成：1、硬件硬件硬件硬件：1)人体静电防护产品人体静电防护产品人体静电防护产品人体静电防护产品2)防静电物流传递用品防静电物流传递用品防静电物流传递用品防静电物流传递用品3)防静电地坪防静电地坪防静电地坪防静电地坪4)防静电操作系统防静电操作系统防静电操作系统防静

20、电操作系统：工作台工作台工作台工作台，工作椅工作椅工作椅工作椅，5)防静电接地防静电接地防静电接地防静电接地：防静电接地系统防静电接地系统防静电接地系统防静电接地系统。6)环境控制系统环境控制系统环境控制系统环境控制系统：温度和湿度控制设备温度和湿度控制设备温度和湿度控制设备温度和湿度控制设备，环境洁净控制系统环境洁净控制系统环境洁净控制系统环境洁净控制系统。7)专用生产装联设备专用生产装联设备专用生产装联设备专用生产装联设备：采取防静电措施的生产装联设备采取防静电措施的生产装联设备采取防静电措施的生产装联设备采取防静电措施的生产装联设备8)特殊防静电用具特殊防静电用具特殊防静电用具特殊防静电

21、用具（品品品品）：）：）：）：各类静电消除器各类静电消除器各类静电消除器各类静电消除器（离子风静电消离子风静电消离子风静电消离子风静电消除器除器除器除器）9)静电测量静电测量静电测量静电测量（监控监控监控监控）系统系统系统系统：静电电压表静电电压表静电电压表静电电压表，高阻测试仪高阻测试仪高阻测试仪高阻测试仪，接地接地接地接地电阻测试仪电阻测试仪电阻测试仪电阻测试仪。（1）、）、）、）、防静电工作区防静电工作区防静电工作区防静电工作区（EPA）：）：）：）：配备各种防静电设备和器材配备各种防静电设备和器材配备各种防静电设备和器材配备各种防静电设备和器材，能限制静电能限制静电能限制静电能限制静电

22、电位电位电位电位，具有明确的区域界限和专门标记的具有明确的区域界限和专门标记的具有明确的区域界限和专门标记的具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地适于从事静电防护操作的工作场地适于从事静电防护操作的工作场地适于从事静电防护操作的工作场地。工作区内任一指定空间所允许的对大地工作区内任一指定空间所允许的对大地工作区内任一指定空间所允许的对大地工作区内任一指定空间所允许的对大地（接地接地接地接地）的静电电位值不超过的静电电位值不超过的静电电位值不超过的静电电位值不超过+/-100伏伏伏伏（A级级级级），），），），或者不超过或者不超过或者不超过或者不超过+/-1000伏伏伏伏（

23、B级级级级）。）。）。）。（2）、）、）、）、防静电装备防静电装备防静电装备防静电装备（用品用品用品用品）1）、）、）、）、防静电工作服防静电工作服防静电工作服防静电工作服由导电纤维和棉等混纺制成由导电纤维和棉等混纺制成由导电纤维和棉等混纺制成由导电纤维和棉等混纺制成，也有用渗也有用渗也有用渗也有用渗碳或导电合成纤维布制作碳或导电合成纤维布制作碳或导电合成纤维布制作碳或导电合成纤维布制作，有一定的电有一定的电有一定的电有一定的电阻阻阻阻，产生的静电纤维泄露或通过导电纤产生的静电纤维泄露或通过导电纤产生的静电纤维泄露或通过导电纤产生的静电纤维泄露或通过导电纤维间的电晕放电维间的电晕放电维间的电晕

24、放电维间的电晕放电、耗散耗散耗散耗散，防止静电积累防止静电积累防止静电积累防止静电积累。在防静电工作区在防静电工作区在防静电工作区在防静电工作区，不得穿脱工作服不得穿脱工作服不得穿脱工作服不得穿脱工作服；防防防防静电也不允许有金属附件静电也不允许有金属附件静电也不允许有金属附件静电也不允许有金属附件，以免金属放以免金属放以免金属放以免金属放电电电电。2）、）、）、）、防静电鞋防静电鞋防静电鞋防静电鞋（导电鞋导电鞋导电鞋导电鞋）鞋底是由加入导电材料的合成橡胶组成鞋底是由加入导电材料的合成橡胶组成鞋底是由加入导电材料的合成橡胶组成鞋底是由加入导电材料的合成橡胶组成。防静电鞋防静电鞋防静电鞋防静电鞋

25、：电阻为电阻为电阻为电阻为1x105109欧欧欧欧，可抵抗有可抵抗有可抵抗有可抵抗有220V和和和和380V对对对对人人人人体的电击体的电击体的电击体的电击。导电鞋导电鞋导电鞋导电鞋：电阻不大于电阻不大于电阻不大于电阻不大于1x105欧欧欧欧，不能用于有触电危险的环境不能用于有触电危险的环境不能用于有触电危险的环境不能用于有触电危险的环境中中中中。在防静电工作区工作时在防静电工作区工作时在防静电工作区工作时在防静电工作区工作时，必须穿用防静电鞋必须穿用防静电鞋必须穿用防静电鞋必须穿用防静电鞋。在穿用过程中在穿用过程中在穿用过程中在穿用过程中，鞋底不得沾有任何绝缘物质鞋底不得沾有任何绝缘物质鞋底

26、不得沾有任何绝缘物质鞋底不得沾有任何绝缘物质，也也也也禁止穿用绝缘性袜子禁止穿用绝缘性袜子禁止穿用绝缘性袜子禁止穿用绝缘性袜子。前段时间前段时间前段时间前段时间PCA进无尘车间不允许穿鞋套进无尘车间不允许穿鞋套进无尘车间不允许穿鞋套进无尘车间不允许穿鞋套，WHY？3）、）、）、）、防静电腕带和脚带防静电腕带和脚带防静电腕带和脚带防静电腕带和脚带起着将人体静电荷泄露到大地起着将人体静电荷泄露到大地起着将人体静电荷泄露到大地起着将人体静电荷泄露到大地。通常在腕带的接地连接线上串有一只通常在腕带的接地连接线上串有一只通常在腕带的接地连接线上串有一只通常在腕带的接地连接线上串有一只1兆兆兆兆的电阻的电

27、阻的电阻的电阻，以限制人体触电时电流不大于以限制人体触电时电流不大于以限制人体触电时电流不大于以限制人体触电时电流不大于5MA，要保证腕带和人手腕要保证腕带和人手腕要保证腕带和人手腕要保证腕带和人手腕，接地连接线和地线接地连接线和地线接地连接线和地线接地连接线和地线良好的电气接触良好的电气接触良好的电气接触良好的电气接触。脚带同上脚带同上脚带同上脚带同上。可否使用无绳防静电腕带可否使用无绳防静电腕带可否使用无绳防静电腕带可否使用无绳防静电腕带？WHY？4）、）、）、）、防护指套防护指套防护指套防护指套是用加入抗静电剂的乳胶制成是用加入抗静电剂的乳胶制成是用加入抗静电剂的乳胶制成是用加入抗静电剂

28、的乳胶制成，用以预用以预用以预用以预防防防防ESDS器件因不等电位造成损坏器件因不等电位造成损坏器件因不等电位造成损坏器件因不等电位造成损坏，指套指套指套指套的表面和体积电阻应低于的表面和体积电阻应低于的表面和体积电阻应低于的表面和体积电阻应低于1x109欧欧欧欧。5）、）、）、）、防静电袜子防静电袜子防静电袜子防静电袜子是在袜底材料中植入导电丝制备而成是在袜底材料中植入导电丝制备而成是在袜底材料中植入导电丝制备而成是在袜底材料中植入导电丝制备而成，用来实现人体和导电鞋的电气接触用来实现人体和导电鞋的电气接触用来实现人体和导电鞋的电气接触用来实现人体和导电鞋的电气接触，袜袜袜袜底电阻不应大于底

29、电阻不应大于底电阻不应大于底电阻不应大于1x109欧。6）、）、）、）、工作帽工作帽工作帽工作帽其材料与工作服一样其材料与工作服一样其材料与工作服一样其材料与工作服一样，不仅用于防静电不仅用于防静电不仅用于防静电不仅用于防静电，而且而且而且而且具有防止操作人员头部尘埃和毛发掉落具有防止操作人员头部尘埃和毛发掉落具有防止操作人员头部尘埃和毛发掉落具有防止操作人员头部尘埃和毛发掉落，具有具有具有具有防尘作用防尘作用防尘作用防尘作用。7）、）、）、）、防静电包装防静电包装防静电包装防静电包装大多数是用防静电改性的高分子材料制作大多数是用防静电改性的高分子材料制作大多数是用防静电改性的高分子材料制作大

30、多数是用防静电改性的高分子材料制作，像像像像聚乙烯聚乙烯聚乙烯聚乙烯，ABS，PC。静电敏感元器件存放运输静电敏感元器件存放运输静电敏感元器件存放运输静电敏感元器件存放运输必须使用防静电包装必须使用防静电包装必须使用防静电包装必须使用防静电包装。防静电包装对防静电包装对防静电包装对防静电包装对ESDS器器器器件提供等电位作用件提供等电位作用件提供等电位作用件提供等电位作用，并对元器件的绝缘表面的并对元器件的绝缘表面的并对元器件的绝缘表面的并对元器件的绝缘表面的静电起泄露和耗散作用静电起泄露和耗散作用静电起泄露和耗散作用静电起泄露和耗散作用，静电屏蔽包装材料对静电感应提供屏蔽作用静电屏蔽包装材料

31、对静电感应提供屏蔽作用静电屏蔽包装材料对静电感应提供屏蔽作用静电屏蔽包装材料对静电感应提供屏蔽作用。8）、）、）、）、运转车运转车运转车运转车，存放柜存放柜存放柜存放柜，传输带传输带传输带传输带确保车的支脚用导电橡脚制作确保车的支脚用导电橡脚制作确保车的支脚用导电橡脚制作确保车的支脚用导电橡脚制作，或用专或用专或用专或用专门接地门接地门接地门接地。9）、）、）、）、防静电地坪防静电地坪防静电地坪防静电地坪防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又叫防静电地坪叫防静电地坪叫防静电

32、地坪叫防静电地坪，种类有地毯种类有地毯种类有地毯种类有地毯，PVC地板块地板块地板块地板块，环环环环氧树脂和水泥类氧树脂和水泥类氧树脂和水泥类氧树脂和水泥类。其主要作用是耗散人体和防静电设备的静电其主要作用是耗散人体和防静电设备的静电其主要作用是耗散人体和防静电设备的静电其主要作用是耗散人体和防静电设备的静电。地面一般设置接地网络地面一般设置接地网络地面一般设置接地网络地面一般设置接地网络，并和防静电接地电阻并和防静电接地电阻并和防静电接地电阻并和防静电接地电阻相连接相连接相连接相连接。POE车间的防静电地坪是怎么样的车间的防静电地坪是怎么样的车间的防静电地坪是怎么样的车间的防静电地坪是怎么样

33、的？10）、）、）、）、工作台工作台工作台工作台、工作椅工作椅工作椅工作椅工作台面是用静电耗散材料制作工作台面是用静电耗散材料制作工作台面是用静电耗散材料制作工作台面是用静电耗散材料制作，并和接地线并和接地线并和接地线并和接地线相连相连相连相连。工作椅表面也是由静电耗散材料制作工作椅表面也是由静电耗散材料制作工作椅表面也是由静电耗散材料制作工作椅表面也是由静电耗散材料制作，如其脚如其脚如其脚如其脚架或脚轮不是由防静电脚轮组成架或脚轮不是由防静电脚轮组成架或脚轮不是由防静电脚轮组成架或脚轮不是由防静电脚轮组成，必须另外专必须另外专必须另外专必须另外专门接地门接地门接地门接地。11）、）、）、）、

34、防静电接地防静电接地防静电接地防静电接地防静电工作区必须设置防静电接地防静电工作区必须设置防静电接地防静电工作区必须设置防静电接地防静电工作区必须设置防静电接地，一般情况一般情况一般情况一般情况下与防静电装备和电气设备分别相连接下与防静电装备和电气设备分别相连接下与防静电装备和电气设备分别相连接下与防静电装备和电气设备分别相连接。POE车间的防静电接地是怎么样的车间的防静电接地是怎么样的车间的防静电接地是怎么样的车间的防静电接地是怎么样的？12）、）、）、）、防静电工具类防静电工具类防静电工具类防静电工具类防静电电烙铁防静电电烙铁防静电电烙铁防静电电烙铁，须将烙铁头和壳体与地线连接须将烙铁头和

35、壳体与地线连接须将烙铁头和壳体与地线连接须将烙铁头和壳体与地线连接（其间电阻小于其间电阻小于其间电阻小于其间电阻小于2欧欧欧欧），），），），用来防止烙铁头和壳用来防止烙铁头和壳用来防止烙铁头和壳用来防止烙铁头和壳体感应带电或漏电损坏体感应带电或漏电损坏体感应带电或漏电损坏体感应带电或漏电损坏ESDS器件和伤害人的器件和伤害人的器件和伤害人的器件和伤害人的安全安全安全安全。各维修工具如钳子各维修工具如钳子各维修工具如钳子各维修工具如钳子，夹具夹具夹具夹具，剪刀剪刀剪刀剪刀，镊子应该用镊子应该用镊子应该用镊子应该用静电耗散材料制作静电耗散材料制作静电耗散材料制作静电耗散材料制作，用于静电耗散和防

36、止静电用于静电耗散和防止静电用于静电耗散和防止静电用于静电耗散和防止静电放电放电放电放电。13）、）、）、）、环境控制系统环境控制系统环境控制系统环境控制系统在防静电工作区内在防静电工作区内在防静电工作区内在防静电工作区内，应有环境温度和湿度控制应有环境温度和湿度控制应有环境温度和湿度控制应有环境温度和湿度控制设备设备设备设备，温度控制在温度控制在温度控制在温度控制在2025度度度度，湿度控制在湿度控制在湿度控制在湿度控制在RH50%75%，以防温度过高和湿度过低使静以防温度过高和湿度过低使静以防温度过高和湿度过低使静以防温度过高和湿度过低使静电明显产生电明显产生电明显产生电明显产生。另外对有

37、特殊要求的另外对有特殊要求的另外对有特殊要求的另外对有特殊要求的ESDS元件器件元件器件元件器件元件器件，还需配置还需配置还需配置还需配置风淋室和空气净化系统风淋室和空气净化系统风淋室和空气净化系统风淋室和空气净化系统，使生产环境达到相应使生产环境达到相应使生产环境达到相应使生产环境达到相应的净化级别的净化级别的净化级别的净化级别，如下图如下图如下图如下图。我们常说的100级洁净室说的就是指在1立方英尺的空间内，大于等于0.5微米的粒子必须不多于100个，10级就是1立方英尺的空间，0.5微米的粒子必须不多于10个，依此类推。美国联邦美国联邦美国联邦美国联邦FS 209E标准标准标准标准14）

38、、）、）、）、专用生产装联设备专用生产装联设备专用生产装联设备专用生产装联设备各种贴装设备或高压电源的外壳和接触各种贴装设备或高压电源的外壳和接触各种贴装设备或高压电源的外壳和接触各种贴装设备或高压电源的外壳和接触ESD器件的部位都要采取静电接地或静器件的部位都要采取静电接地或静器件的部位都要采取静电接地或静器件的部位都要采取静电接地或静电屏蔽措施电屏蔽措施电屏蔽措施电屏蔽措施。15）、）、）、）、防静电剂防静电剂防静电剂防静电剂防静电剂是化学剂防静电剂是化学剂防静电剂是化学剂防静电剂是化学剂，加在绝缘材料的表加在绝缘材料的表加在绝缘材料的表加在绝缘材料的表面或内面面或内面面或内面面或内面，使

39、其产生静电的能力降低使其产生静电的能力降低使其产生静电的能力降低使其产生静电的能力降低。注意选用防静电剂时注意选用防静电剂时注意选用防静电剂时注意选用防静电剂时，需要考虑其无毒需要考虑其无毒需要考虑其无毒需要考虑其无毒性性性性，无腐蚀性无腐蚀性无腐蚀性无腐蚀性，对人无刺激性对人无刺激性对人无刺激性对人无刺激性。16）、）、）、）、电离静电消除器电离静电消除器电离静电消除器电离静电消除器（电离器电离器电离器电离器）在不能进行有效接地的地方在不能进行有效接地的地方在不能进行有效接地的地方在不能进行有效接地的地方，可以使用可以使用可以使用可以使用电离空气来泄放静电荷电离空气来泄放静电荷电离空气来泄放

40、静电荷电离空气来泄放静电荷。电离器应该至少工作电离器应该至少工作电离器应该至少工作电离器应该至少工作20S，而且个别电离而且个别电离而且个别电离而且个别电离器会遗留很高的残余器会遗留很高的残余器会遗留很高的残余器会遗留很高的残余，足能损坏一些足能损坏一些足能损坏一些足能损坏一些ESDS产品产品产品产品，所以选择和放置电离器时所以选择和放置电离器时所以选择和放置电离器时所以选择和放置电离器时，需要测量被保护面积上的残余电压需要测量被保护面积上的残余电压需要测量被保护面积上的残余电压需要测量被保护面积上的残余电压，并并并并和被操作的和被操作的和被操作的和被操作的ESDS产品的电压敏感度相比产品的电

41、压敏感度相比产品的电压敏感度相比产品的电压敏感度相比较较较较。2、软件软件软件软件：防静电工艺和设计文件防静电工艺和设计文件防静电工艺和设计文件防静电工艺和设计文件；有关防静电专业标准有关防静电专业标准有关防静电专业标准有关防静电专业标准；规章制度和操作规程规章制度和操作规程规章制度和操作规程规章制度和操作规程；培训大纲与人员培训培训大纲与人员培训培训大纲与人员培训培训大纲与人员培训；完整质量保证体系完整质量保证体系完整质量保证体系完整质量保证体系（包括检验和试验包括检验和试验包括检验和试验包括检验和试验）；）；）；）；各种防静电警示标志各种防静电警示标志各种防静电警示标志各种防静电警示标志；

42、贮存和运输要求贮存和运输要求贮存和运输要求贮存和运输要求；第第第第6节节节节、静电的检测静电的检测静电的检测静电的检测各种仪器包括各种仪器包括各种仪器包括各种仪器包括：非接触式和接触式静电电压表非接触式和接触式静电电压表非接触式和接触式静电电压表非接触式和接触式静电电压表，接地电阻测试接地电阻测试接地电阻测试接地电阻测试仪仪仪仪，兆欧表及标准电极兆欧表及标准电极兆欧表及标准电极兆欧表及标准电极，静电电量表静电电量表静电电量表静电电量表，腕带测腕带测腕带测腕带测试仪试仪试仪试仪，人体综合电阻测试仪人体综合电阻测试仪人体综合电阻测试仪人体综合电阻测试仪，离子平衡仪分析离子平衡仪分析离子平衡仪分析离

43、子平衡仪分析仪仪仪仪，摩擦起电机摩擦起电机摩擦起电机摩擦起电机，法拉第筒法拉第筒法拉第筒法拉第筒，静电屏蔽测试静电屏蔽测试静电屏蔽测试静电屏蔽测试仪仪仪仪，直流电压直流电压直流电压直流电压（流流流流）表表表表，直流电压源直流电压源直流电压源直流电压源。测试仪量程要大于实际测试范围测试仪量程要大于实际测试范围测试仪量程要大于实际测试范围测试仪量程要大于实际测试范围20%，允许使允许使允许使允许使用符合测试要求的同类仪表用符合测试要求的同类仪表用符合测试要求的同类仪表用符合测试要求的同类仪表。让磨擦起电机的电极与被测物体摩擦让磨擦起电机的电极与被测物体摩擦让磨擦起电机的电极与被测物体摩擦让磨擦起电

44、机的电极与被测物体摩擦，单向摩擦单向摩擦单向摩擦单向摩擦20次次次次（或或或或20S）停止停止停止停止，10S用非接触式静电电压表测试用非接触式静电电压表测试用非接触式静电电压表测试用非接触式静电电压表测试摩擦轨迹起电电压摩擦轨迹起电电压摩擦轨迹起电电压摩擦轨迹起电电压。对于产品对于产品对于产品对于产品（材料材料材料材料），），），），以每个样品不同点测试以每个样品不同点测试以每个样品不同点测试以每个样品不同点测试3次的次的次的次的平均值为结果平均值为结果平均值为结果平均值为结果。（1）测试时测试时测试时测试时，电极之间相距电极之间相距电极之间相距电极之间相距300mm,地面地面地面地面测试时测试时测试时测试时，电极之间距离电极之间距离电极之间距离电极之间距离900至至至至1000mm。-4）静电屏蔽性能的检测静电屏蔽性能的检测静电屏蔽性能的检测静电屏蔽性能的检测5）电量检测电量检测电量检测电量检测各种防静电产品各种防静电产品各种防静电产品各种防静电产品（材料材料材料材料）测试测试测试测试使用法拉第筒测量其电量THANKS