ESD 培训教材.pdf

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1、ESD 培训教材制 作:华阳通用公司、培训背景、培训背景：静电作为一种能量的存在形式，对日趋变小的电子元件的威胁越来越大，据有关资料显示美国的电子行业由于静电的破坏导致每年损失近50亿美元。、培训目的：培训目的：通过这次培训能使大家对防静电有个初步的认识，并能提高公司全体人员的防静电意识及能力，让公司全体人员都来参与我们公司的防静电工作，使公司的防静电能力能上一个新的台阶。、培训内容一、防静电相关名词定义二、静电如何产生三、影响静电大小因素四、静电危害五、静电失效机理六、三种标准静电释放模式七、防静电相关标准八、防静电的几种方法九、防静电安全工作区建立十、公司防静电管制项目十一、公司目前防静电

2、存在的问题三、培训内容：一.防静电相关名词定义静电（Electrostatic)荷：静止不动的电荷，一般存在于物体的表面，主要是由于物体正负电荷失去平衡的结果，静电荷是描述静电本质的物理量。1库仑=106微库1微库=103纳库静电势:通常指带电体与大地之间的电势差.ESD全称:Electrostatic discharge，中文意思是静电释放。EOS全称（Electrical over stress)中文意思是过电应力，指元件承受的电流或电压超过其允许的范围。体电阻率：指某材料单位厚度上的直流压降与单位面积上通过的电流之比，体电阻系数是材料基本参数之一，表示材料的导电性能，单位为欧姆/厘米。表

3、面电阻率：表面上单位长度的直流压降与单位宽度流过的电流之比，它指正方行两对边之间的电阻，只要面积远远大于薄膜厚度，则于正方行的大小无关，单位为欧姆。电阻：从另一方面表示不同形状的电阻率的材料对电流的阻碍作用，它同时表明材料的表面或表面与大地之间的电路连通性以及物体的放电能力，单位欧姆。体电阻：指材料两端之间的直流电压与通过的电流之比，单位欧姆。绝缘材料：一般指材料的表面电阻系数在1012欧姆以上，体电阻系数在1011欧姆/厘米以上导电材料：表面电阻率小于105 欧姆或体电阻率小于104欧姆。耗散材料：一般指表面电阻率大于105 欧姆小于1012欧姆，体电阻率大于104欧姆/厘米小于1011欧姆

4、/厘米的材料。屏蔽材料：表面电阻率小于104 欧姆，体电阻率小于103欧姆/厘米的材料。二.静电的产生:有两种方式。摩擦带电：当两种具有不同化学势的材料相互摩擦或接触时电子从化学势高的物体向化学势低的物体转移，当分开时总有一些电子来不及回到他们原来的材料，从而使产生了静电。物体带电顺序表：正负材料序号材料序号材料序号镊、铜17丝绸9空气1黄铜、银18铝10人手2聚酯人造纤维19纸11兔毛3聚乙烯20棉布12玻璃4聚丙烯21钢13云母5PVC22木材14头发6琥珀15尼龙7硬橡皮16羊毛8感应带电：导体靠近带电体时，由于在电场的作用下使导体出现局部带电，非导体不能产生感应带电。三、物体静电大小影

5、响因素:通常把带电体与地看成一个电容,带电体电量为Q,电容为C,介电常数为,两板间距离为d,有效面积为A,可推出静电压:V=Q*d/(A*)例:人的几种动作的静电压变化1000V500V1500V脚放下坐下坐下走动抬脚从中可以看出:当人走动时，抬腿时人体静电压升高，腿放下时，人体静电压降低，当人坐下时，整体与大地之间的距离减小，人体静电压减小，当坐在凳子上的人双腿抬起时，人体静电压又开始升高，总之物体带的电量一定时,物体与地的距离越小则物体的静电压越小,带电面积越大静电压越小.环境湿度对静电影响:静电的产生及其大小与环境湿度和空气中离子的浓度有密切的关系,在湿度较高环境中,物体表面吸附了一定数

6、量的离子和水分子,形成弱导电的湿气薄层,提高了绝缘表面的导电率,可将电荷扩散到整个材料的表面,从而减低了静电压.3000500012000走过乙稀地毯55001100021000将PCB板装进泡沫包装盒中4007002000将DIP封装的器件从塑料管中取出4008006000在工作椅上操作人员的移动50%40%10%产生的静电压活动同一动作在不同湿度环境下产生的静电对比:从中可以看出环境湿度对静电压的大小影响很大，湿度最好控制在40%到70%。又如传送带采取用湿毛巾来加湿传送带，使传送带表面形成水膜，增加导电能力，从而达到释放静电。以下是对6E/F线一条传送带的一个静电压测试实验：传送皮带防静

7、电毛巾AB1.A处加湿毛巾，分别对A到 B湿度依次减少，对A到B的17个点的静电压进行测试，先后共测试了4次，从A到B，静电压依次增大，测试结果如下：位置1234567891011121314151617第一次静电电压-10-60-10-40-50-40-140-180-140-210-190-120-140-220-190-220-100第二次静电电压-10-70-30-60-50-60-110-160-90-180-150-90-160-200-170-180-90第三次静电电压0-3050-10-40-60-160-170-50-180-130-110-110-180-160-190-9

8、0第四次静电电压10-300-30-40-80-160-210-70-190-240-250-180-180-120-220-130绝对平均值-7.5-48-23-35-45-60-143-180-88-190-178-143-148-195-160-203-103在第7个点追加防静电毛巾后：-300-250-200-150-100-500第一次静电电压第二次静电电压第三次静电电压第四次静电电压2.由于从A到B的第7个测试点电压开始较大，四次测试结果从该点后所有的测试点均大于100v,所以在该点追加湿毛巾，并再次对该皮带进行测试，测试结果如下：位置12345678910111213141516

9、17第一次静电电0-100-4010-80-10-10-50-50-40-70-100-80-80-250-100第二次静电电0-10-40-50-70-900-40-80-40-90-100-90-50-170-150-100第三次静电电00-30-70-80-9010-40-40-80-50-120-70-80-90-70-100第四次静电电-10-40-60-70-100-60-10-30-40-60-80-70-90-70-80-110-90绝对平均值-2.5-15-33-58-60-80-7.5-30-53-58-65-90-88-70-105-145-98编号12345678910

10、11121314151617绝对平均值1-2.5-15-33-58-60-40-7.5-30-53-58-65-90-88-70-105-145-98绝对平均值2-7.5-48-23-35-45-60-143-180-88-190-178-143-148-195-160-203-103加防静电毛巾前后对比：-300-250-200-150-100-500501234567891011121314151617第一次静电电压第二次静电电压第三次静电电压第四次静电电压-250-200-150-100-5001234567891011121314151617绝对平均值1绝对平均值2此处加湿毛巾后未加湿

11、毛巾前四.静电的危害:a.静电吸附灰尘，降低元件绝缘电阻。b.静电放电破坏，造成电子元件损坏。c.静电放电产生电磁场幅度很大，频谱极宽，对电子元件产生干扰。损坏特点：1.隐蔽性：静电放电不易被发现，只有静电电压达到2-3kv时放电人体才能感觉的到。潜在性和累积性：有些电子元件受到静电损伤后性能没有明显的下降，但多次累加放电会给元件造成内伤形成隐患。随机性和复杂性：电子元件从其产生到损坏以前所有的过程均有可能受到静电的破坏，其受静电破坏有随机性，并且有些静电的损伤与其它原因造成的损伤很难区分，再加上电子元件的精、细、微小的特点，不易分析。多数电子元件是静电敏感的器件，大部分在几百伏范围内，如MO

12、S单管在100200V，GaAsFET在100300V之间，一些COMS IC采取了防静电设计只能达到20004000V，而实际环境的静电压常常上万伏。一些静电敏感器件抗静电能力如下：30-1800vVMOS10000石英及压电晶体200-1000vZ80系列E/D MOS50-500v6800系列HMOS250-2000vC0000 CD400CMOS100-300vGaAs FET140-1000v3CT系列JFET100200v3CO 3DO系列MOSFET抗静电能力实例器件类型五、静电失效机理：静电失效机理有两种：过电压失效、过电流失效.(1)过电压失效过电压失效多发生于含有MOS管电

13、路，过电压是指高阻抗的静电放电回路中，绝缘介质两端的电极因受了高静电放电电荷而呈高电压，有可能使电极之间的电场超过其介质的临界击穿电压，使介质发生击穿失效。如：硅临界场强为（10-7）*106v/cm.（2）过电流热致失效）过电流热致失效过电流热致失效是由于较低阻抗的放电回路中，由于静电放电电流过大使局部区域温升超过材料的熔点，导致材料发生局部熔融使元器件失效。影响过流失效的主要因素是功率密度。物体带静电表示它有一定的能量，单位时间释放的能量是功率。通过单位面积释放的功率是功率密度。我们研究静电放电过程中释放的能量、功率和功率密度与哪些因素有关。a.静电放电过程中释放的能量静电放电过程中释放的

14、能量物体带静电电量为Q，它与地电位差为V，带静电物体的静电能是：E=QV （13.4）依据（13-1）式得：E=Q2/C （13.5）从（13-5）式看出带静电物体的静电能与静电量的平方成正比与等效电容成反比。显然静电量越大对元器件造成ESD损伤的危险性越大。影响影响ESD损伤的另一个因素是放电时间的长短损伤的另一个因素是放电时间的长短静电能量大，但如果释放的时间长，功率会很小，ESD损伤的程度就小。表征放电时间的长短的参量是放电时间常数又称弛豫时间。在放电回路中有：RC。例如对人体放电，若电容为100pF；电阻为1500，时间常数是150ns，显然，在静电放电电量不变时，元器件的放电回路中电

15、阻、电容越大，功率就越小，静电的损伤性就越小。b.与静电放电功率有关的因素与静电放电功率有关的因素静电放电的电流是指数衰减的，其表达式为：i=Ipe（1.6）Ip为峰值电流，t是放电时间。静电放电功率可表示为：P(t)=i2R=RI e （1.7）因为在5倍的时间常数内，静电要释放掉99.3%。通常以5倍的时间常数计算其平均功率：RCt2pRCt 2RC512pRCt 2102pRI102pRIRV1022210RCQRV22RCQPav=05RCRIedt=（1-e-10）=因为峰值电流IP为：IP=静电放电的峰值功率为V2/R或，即静电放电功率与放电回路的串联电阻和电容的平方成反比，与静电

16、量的平方或静电压的平方成正比。增加放电回路的串联电阻和电容是减小增加放电回路的串联电阻和电容是减小ESD损伤的有效途径。损伤的有效途径。放电回路高阻区的横截面积为A，则在高阻区放电的功率密度是。所以增加放电回路高阻区的横截面积也是减小增加放电回路高阻区的横截面积也是减小ESD损伤的重要途径损伤的重要途径。静电放电形成的是短时大电流，放电脉冲的时间常数远小于器件散热的时间常数。因此，当静电放电电流通过面积很小的pn结或肖特基结时，将产生很大的瞬间功率密度，形成局部过热，有可能使局部结温达到甚至超过材料的本征温度(如硅的熔点1415)，使结区局部或多处熔化导致pn结短路，器件彻底失效。22ARCQ

17、可以知道，反偏反偏pn结比正偏结比正偏pn结更容易发生热致失效结更容易发生热致失效，在反偏条件下使结损坏所需要的能量只有正偏条件下的十分之一左右。这是因为反偏时，大部分功率消耗在结区中心，而正偏时，则多消耗在结区外的体电阻上。对于双极器件，通常发射结的面积比其它结的面积都小，而且结面也比其它结更靠近表面，所以常常观察到的是发射结的退化。此外，击穿电压高于100V或漏电流小于1nA的pn结(如JFET的栅结)，比类似尺寸的常规pn结对静电放电更加敏感。五、静电来源及三种标准的静电释放模式人体静电是静电的主要来源：1.人的接触范围广;2.人体与大地的电容低；3.人体的电阻低（手到脚的电阻只有几百欧

18、，手指的接触电阻也只有几千欧），且人体在静电场中易感应带电。人体静电的特点：人体静电与人体接触的环境及活动方式有关。人体静电与环境湿度有关人体静电与所穿着的衣物材料有关，化纤和塑料制品更容易产生静电。人体静电与人的操作速度有关。人体各部分的静电大小是不一样的，一般认为手腕处静电最大。仪器和设备的静电：仪器和设备也会由于摩擦或感应而带上静电，如传输带在转动过程中由于与转轴的接触分离产生静电，或是接地不良的仪器外壳在电场中感应带电，仪器设备带电后与元件接触也会产生静电释放，并造成损伤元件。器件本身的静电：电子元件的外壳与绝缘材料相互摩擦，也会产生静电，器件外壳产生静电后，会通过某一接地管脚或外接引

19、线释放静电，也会对器件造成静电损坏。人体静电放电模式（HBM）：CVR由于人体会与各种物体和元件接触、摩擦，据统计由于人体静电造成的元件破坏占总数的50%，人体电容C一般为50250pf,一般取100pf,人体与其它物体的接触电阻约100100000欧，一般取1500欧，V为人体静电压。静电放电三种模式：带电机器放电模式（MM):CV机器因为摩擦也会带电，带电机器通过电子器件放电也会造成损伤，与人体放电模式相比机器没有电阻，电容相对要大，一般C取200PF。CV带电器件放电模型（CDM)：RLSR上图为双极性器件静电放电模式。六、静电检测标准：IC CARD5S 1HBMISOTEC 1037

20、3:1993(E)6.413光电器件1S 3HBMBellcore TR-NMT-0087012军用微电路1S 3HBMGJB548A-9611军用微电路1S 3HBMMIL-STD-883E10汽车用件CDMAEC-Q100-011-REV-A9汽车用件1S 1MMAEC-Q100-003-REV-E8汽车用件0.5S 1HBMAEC-Q100-002-REV-C7电子元件CDMESDA ESDSTM5.3.16电子元件1S 3MMESDA ESDSTM5.2-19995电子元件0.3S 3HBMESDA ESDSTM5.14电子元件CDMJEDEC JESD22-C101-A（2000）3

21、电子元件 3MMJEDEC JESD22-A115-A2电子元件0.3S 1HBMJEDEC JESD22-A114-B1适用范围最小放电间隙放电次数放电模式标准号序号HBM常用标准的ESD电压阀值分类CLASS1:0TO100V2:100TO500V3:500TO2000V4:2000TO4000V5:=4000VCLASS1:0TO2000V2000TO4000V3:=4000V=2000VCLASS0:=8000VBellcore TR-NWT-00870MIL-STD-883E 3015。7&GJB548A-96 3015AEC-Q100-002-REV-CJESD22-A114-B&

22、ESD STM5。1MM常用标准的ESD电压阀值分类=200VCLASS M1:=400VCLASSA:=400VAEC-Q100-003-REV-EESD STM5.2-1999JESD22-A115-A(1997)CDM常用标准的ESD电压阀值分类CLASS C1:=2000VCLASS1:=1000VAEC-Q100-003-REV-EESD STM5.3.1J JESD22-C101-A(2000)八、静电防护目的和总的原则：静电防护的根本目的是在电子元件、组件、设备的制造和使用过程中，通过各种防护、防止因静电放电产生可能的危害，或将这些危害限制在最小的程度，具体措施从控制静电的产生和

23、控制静电的消散两方面进行，控制静电的产生主要是控制工艺过程和工艺过程材料的选择；控制静电的消散则主要是快速而安全的将静电泻放和中和，两者共同作用的结果就有可能将静电电压不超过规定的安全电压，达到静电防护的目的。静电防护的基本方法：1.工艺控制法：指在生产过程中尽量减少产生静电荷，为此从工艺流程、材料选择、设备安装和操作管理方面采取措施，控制静电的产生和聚集，控制静电电位、提高静电释放的能力，使之不超过危害的程度。2.泄露法指在使静电通过泄露达到消除的目的，通常采用静电接地使电荷向大地泄漏，也有采用增大物体电导的方法使接地沿物体表面或通过内部泄漏，如添加防静电试剂或增湿，最常见的是工作人员带防静

24、电手腕。3.静电屏蔽法：根据静电屏蔽的原理，可分为内场屏蔽和外场屏蔽两种。具体措施措施是用接地的屏蔽罩把带电体与其它物体分离开来，这样带电体的电场将不会影响周围物体，有时也用屏蔽罩将被隔离的物体包围起来，使其免受外界电场的影响，如GaAs器件包装多采用金属盒包装。4.复合中和法：指在使静电通过复合的办法，达到消除的目的，通常利用接地消除器产生带有异号电荷的离子与带电体上的电荷中和，一般说来，该办法用在绝缘体静电消散方面，绝缘体电子不能流动，接地不能达到放电的目的，必须通过产生异号的离子来中和绝缘体表面 的电子。整净措施：指避免尖端放电的现象，应该尽可能使带电体及周围的物体的表面保持光滑和洁净，

25、以减少尖端放电的可能性。九、防静电安全区建立：构成一个完整的静电安全工作区，至少应包括有效的导电桌、地台垫、专用的接地线、防静电手腕，对于无法通过接地消除静电的绝缘物体必要时要使用静电消除器，中和物体表面的静电荷。安全工作区静电泻放电阻大小确认：静电安全工作区有一个十分重要的参数就是静电泻放电阻R,为了确保工作人员的安全，要给工作人员提供防电击的条件，根据人体遭到电击时，电流小于10mA则人能脱离危险，而我们的工作电压一般为200到380V因此得防止电击的临界R=u/I=4.4*104-7.6*104 欧姆所以要确保人不被电击静电泻放电阻应该大于105 欧姆另以方面要限制静电泻放电阻，不能太大

26、，太大静电泻放速度太慢，若泻放的速度小于静电产生的速度，则形成电荷积累，就可能静电压要超过安全工作区阀值电压，那么安全工作区上限电阻是如何确认？是由一秒钟内将5000 v静电压衰减到100v安全电压的最大容许电阻决定，根据U=U0 e-t/RC可得R=1.28*109 欧姆所以安全区静电泻放电阻要小于109 欧姆通过以上分析可知我们的静电安全工作区应该保证我们的静电泻放电阻要在105 欧姆到109 欧姆之间，可保证我们的作业人员不被电击，同时大大减少了我们的静电敏感元件被静电损坏的可能性。防静电安全系统建立的具体措施：1.设置防静电接地系统：确保接地电阻10欧姆，确保正确的接地方法，常见的错误

27、接法及规范接法如下：项目项目错误接法说明：主地线链式连接，通过一根又一根正确接法说明：通过主地线分支到各个对应的设备弊端：1.若d与e的地线连接不好或断开，e、f、g、益处：1.避免了链式连接的一损后段全损的弱点。2.避免从主地线的始端到地线末端的设备接地电阻2.由于不能保证每个接地点接触良好，从a开始到后越来越大的弊端，有效的确保了每个接地设备的接设备接地电阻会越来越大，f、g、h的电阻可能超标错误接法说明：由于某些设备离主地线较远，为了正确接法说明：重新引出一根主地线，再分支到对益处：1.避免错误接地法2的弊端，不会形成噪音电2.形成回路，若环型面积大，则环型面积内的磁通量的变化量也大，因

28、此噪音电压也大。错误接法1正确接法呈毛细血管状。地电阻在规格范围内.电线将设备连接起来。错误接法2正确接法文字说明常见错误的接地方法规范的接地方法常见错误的接地方法规范的接地方法主地线接地方法示意图文字说明事接成环状。弊端：1.有链式连接的弊端。全部受影响。应的设备。压。主地线接地方法示意图acdfgheb接地对象接地点主地线形成环状，易形成回路，噪音电压大接地对象接地对象接地点acdfgheb接地对象接地点主地线接成环状，易形成回路，噪音电压大接地对象接地对象接地点起始端主地线错误接法说明：由于某些设备正确接法说明：重新引出一根主地线，再分支到对益处：1.避免错误接地法2的弊端，不会形成噪音

29、电2.形成回路，若环型面积大，则环型面积内的磁通量错误接法说明：将工位上所有的设备用几根电线连接正确接法说明：从主地线一接地点发散式引出地线弊端：若夹具、设备1或设备2任何一个设备连接不好益处：避免错误接法3的弊端，做到尽量确保每个设，后段的仪器也受影响，设备3的接地电阻会较大。主地线接地方法示意图文字说明单个工位接地方法示意图文字说明正确接法错误接法3起来再接入地线。备接地效果。分别连接到各地线。的变化量也大，因此噪音电压也大。应的设备。压。错误接法2正确接法事接成环状。弊端：1.有链式连接的弊端。形成环状，易形成回路，噪音电压大工作台面夹具设备1设备3设备2接地对象工作台面夹具设备1设备3

30、设备2接成环状，易形成回路，噪音电压大工作台面夹具设备1设备3设备2接地对象工作台面夹具设备1设备3设备22.铺设防静电地板和台垫，尽量少用非防静电物品：在相关工位的作业台、地面、货架铺防静电胶皮，防静电胶皮的表面电阻率要小于1010欧姆，更为重要的是要保证有效的接地方式，确保胶皮的接地电阻小于109欧姆。如公司目前几种不良的胶皮接地方法：胶皮和铜皮只用螺钉固定，但螺帽没拧紧将焊接点定位在胶皮和铜皮间胶皮和铜皮只用螺钉固定，但没有螺帽固定只将铜皮压在胶皮下铜皮变形地线断或未接地胶皮数量胶皮铜皮螺帽单位：/sqNO物品第一次测试值第二次测试值第三次测试值近似平均值建议物品第一次测试值第二次测试值

31、第三次测试值近似平均值建议1非防静电胶箱1012以上1012以上1012以上1012以上限制使用2黄色胶带1012以上1012以上1012以上1012以上限制使用3装FPC盒子1012以上1012以上1012以上1012以上限制使用4装ACT用盒子1012以上1012以上1012以上1012以上限制使用5型布料工衣1012以上1012以上1012以上1012以上限制使用6白色胶板1011.910121011.81011.9限制使用7透明胶布1011.71011.910121011.87限制使用8地面油漆1011.71011.81011.91011.8限制使用9一般胶套1011.71011.51

32、011.61011.6限制使用10装LD的包装纸1010.71010.71010.71010.7限制使用11普通用纸1010.31010.61010.61010.5限制使用12旧胶皮1010.51010.31010.31010.37限制使用13被油漆漆过的桌面1010.41010.31010.11010.27限制使用14普通玻璃1010.41010.31010.31010.33限制使用15光轴调整用铝合金钢板109.8109.7109.6109.7建议使用16挂作业指导书防静电胶套109.2109.4109.2109.27建议使用17普通木板（目前车间使用的）108.7108.8108.710

33、8.73建议使用18新胶皮108.6108.5108.6108.57建议使用19#型布料工衣106.6107106.9106.83建议使用20防尘盖105.5105.6105.6105.57建议使用21产品盒105.4105.2105.3105.3建议使用22新进防静电盒104.3104.4104.4104.37建议使用23地面钢板103.8103.8103.8103.8建议使用24铝铂103.8103.8103.8103.8建议使用3.表面电阻超过1010/sq的物品为限制使用物品。各生产物品表面电阻一览表各生产物品表面电阻一览表说明：1.限制使用的物品在非ESD工位尽量少用，应多考虑其它材

34、料，在ESD工位要禁用（但一些标示可暂时保留）。2.装LD用的包装纸由于在铝铂上有一层绝缘的塑料薄膜，所以LD包装纸表面电阻为1010.7/sq。车间常用物品一览表（仅作参考）5、6搂胶皮表面电阻率分布图5、6搂胶皮表面电阻率分布图05010015020025030035040089101112表面电阻率胶皮数量5 6楼部分胶皮表面电阻率分布：从以上胶皮的表面电阻率的分布情况来看，胶皮表面电阻率值整体上偏大。3.安装静电消除器。4.工作人员尤其是操作人员的静电防护，带防静电手腕、穿防静电服装。5.正确的操作方法；拿器件时手不要碰到管脚、最后安装静电敏感元件、经常触摸接地柱，不做摩擦动作、防止人

35、和人直接接触。6.使用防静电器具：如防静电容器、工具。7.控制防静电工作区的温度和湿度。十、公司静电区域的管制项目:1次/月胶皮的接地电阻要在109以下胶皮接地检测2次/天手腕电阻要在109欧姆以下手腕的点检1次/月烙铁漏电电压要小于2mv烙铁漏电电压工序不定期检查表面电阻率大于1011禁用非防静电物品使用工序不定期检查全部接地胶皮设备制具接地电阻1次/周表面电荷要在2 nc以下表面净电荷1次/周表面静电压要在100V以下表面静电压1次/周人体静电压要小于10V以下人体静电压1次/月接地电阻要在10欧姆以下接地电阻1次/半年胶皮表面电阻率1011胶皮表面电阻率1次/小时环境温湿度要保持在40%以上环境温湿度检查频次管理要求项目工作区键盘的静电压常常有上千伏。胶皮老化的较多，导致有30%左右的胶皮表面电阻率在1010 1011欧姆部分夹具使用了非防静电材料，如上图QC sppqc夹具静电压在100到500伏左右。皮带离防静电湿毛巾远端的部位超过20伏的较多。十一、公司目前在防静电方面存在的一些问题