兰州微米级薄膜沉积设备项目投资计划书.docx
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1、泓域咨询/兰州微米级薄膜沉积设备项目投资计划书目录第一章 项目背景及必要性7一、 行业发展面临的机遇与挑战7二、 半导体设备行业9三、 打造西部科创研发引领区12四、 项目实施的必要性13第二章 行业发展分析15一、 光伏行业概览15二、 半导体薄膜沉积设备的发展情况16第三章 项目概况23一、 项目概述23二、 项目提出的理由25三、 项目总投资及资金构成26四、 资金筹措方案26五、 项目预期经济效益规划目标26六、 项目建设进度规划27七、 环境影响27八、 报告编制依据和原则27九、 研究范围28十、 研究结论29十一、 主要经济指标一览表29主要经济指标一览表29第四章 建筑物技术方
2、案32一、 项目工程设计总体要求32二、 建设方案34三、 建筑工程建设指标35建筑工程投资一览表35第五章 建设内容与产品方案37一、 建设规模及主要建设内容37二、 产品规划方案及生产纲领37产品规划方案一览表37第六章 选址可行性分析39一、 项目选址原则39二、 建设区基本情况39三、 打造甘肃新兴增长极44四、 加快建设创新平台45五、 项目选址综合评价46第七章 SWOT分析47一、 优势分析(S)47二、 劣势分析(W)49三、 机会分析(O)49四、 威胁分析(T)51第八章 发展规划55一、 公司发展规划55二、 保障措施61第九章 运营管理64一、 公司经营宗旨64二、 公
3、司的目标、主要职责64三、 各部门职责及权限65四、 财务会计制度69第十章 节能方案说明76一、 项目节能概述76二、 能源消费种类和数量分析77能耗分析一览表77三、 项目节能措施78四、 节能综合评价80第十一章 原辅材料供应81一、 项目建设期原辅材料供应情况81二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理81第十二章 环保分析83一、 环境保护综述83二、 建设期大气环境影响分析83三、 建设期水环境影响分析83四、 建设期固体废弃物环境影响分析83五、 建设期声环境影响分析84六、 环境影响综合评价85第十三章 进度计划86一、 项目进度安排86项目实施进度计划一览表86二、 项目实施保
4、障措施87第十四章 人力资源配置88一、 人力资源配置88劳动定员一览表88二、 员工技能培训88第十五章 投资估算91一、 投资估算的依据和说明91二、 建设投资估算92建设投资估算表94三、 建设期利息94建设期利息估算表94四、 流动资金96流动资金估算表96五、 总投资97总投资及构成一览表97六、 资金筹措与投资计划98项目投资计划与资金筹措一览表99第十六章 项目经济效益评价100一、 经济评价财务测算100营业收入、税金及附加和增值税估算表100综合总成本费用估算表101固定资产折旧费估算表102无形资产和其他资产摊销估算表103利润及利润分配表105二、 项目盈利能力分析105
5、项目投资现金流量表107三、 偿债能力分析108借款还本付息计划表109第十七章 招标及投资方案111一、 项目招标依据111二、 项目招标范围111三、 招标要求112四、 招标组织方式112五、 招标信息发布113第十八章 总结说明114第十九章 附表附录116主要经济指标一览表116建设投资估算表117建设期利息估算表118固定资产投资估算表119流动资金估算表120总投资及构成一览表121项目投资计划与资金筹措一览表122营业收入、税金及附加和增值税估算表123综合总成本费用估算表123固定资产折旧费估算表124无形资产和其他资产摊销估算表125利润及利润分配表126项目投资现金流量表
6、127借款还本付息计划表128建筑工程投资一览表129项目实施进度计划一览表130主要设备购置一览表131能耗分析一览表131第一章 项目背景及必要性一、 行业发展面临的机遇与挑战1、行业发展面临的机遇(1)清洁能源发展以及光伏产业降本提效带动行业持续发展过去对传统能源如煤炭、石油、天然气等化石能源的过度依赖已导致严重的生态环境问题,使得国际社会对保障能源安全、保护生态环境、应对气候变化等问题日益重视。而太阳能作为最重要的可再生能源之一,具有资源普遍可及、便于应用、成本低等优势,是替代化石能源的主力能源之一,已经成为世界范围内应对气候变化的共同选择。近年来,全球多个国家陆续出台了一系列鼓励和扶
7、持太阳能光伏产业发展的政策,为各国光伏产业的健康、持续发展创造了良好的政策环境。中国在2020年9月提出了“二氧化碳排放力争于2030年前达到峰值,努力争取2060年前实现碳中和”的目标;2021年3月12日发布的国民经济第十四个五年规划和2035年远景目标纲要指出,推进能源革命,建设清洁低碳、安全高效的能源体系,提高能源供给保障能力,加快发展非化石能源,坚持集中式和分布式并举,大力提升风电、光伏发电规模。通过数十年的持续研发,光伏产业主要原材料的价格已经大幅下降,技术不断迭代升级,光电转换效率稳步提升,与之相对的,光伏领域的专用设备行业技术也将大幅提升。随着行业技术的持续进步与生产成本的不断
8、下降,光伏发电的综合成本有望维持降低趋势。这将有助于光伏发电的大规模普及应用,进而使得高性能光伏专用设备的市场规模呈现持续扩张态势。(2)半导体产能转移以及国产替代背景使得国内设备厂商面临发展机遇中国大陆作为全球最大半导体终端产品消费市场,随着国际产能不断向中国转移,半导体企业纷纷在中国投资建厂,国内半导体产业的规模不断扩大,设备需求将不断增长。持续的产能转移不仅带动了国内半导体整体产业规模和技术水平的提高,为半导体专用设备制造业提供了巨大的市场空间,也促进了国内半导体产业专业人才的培养及配套行业的发展,半导体产业环境的良性发展为中国半导体专用设备制造业产业的扩张和升级提供了机遇。在半导体领域
9、,元器件逐步呈现高密度、高深宽比结构,部分核心工艺通过传统方式难以实现,ALD设备在该类应用中已通过国外大型集成电路晶圆制造厂商的量产验证。与此同时,从中美贸易战开始,限制了通过国际采购获得先进设备渠道。在此背景下,我国半导体设备提升国产化率的任务迫在眉睫,随着国内核心晶圆厂商规模扩大和工艺提升,国内设备厂商面临发展机遇。2、行业发展面临的挑战(1)高端技术和人才缺乏光伏、半导体等专用设备属于典型技术密集型行业,对于技术人员的知识背景、研发能力及操作经验积累均有较高要求。由于中国研发起步较晚,业内人才和技术水平仍然较为缺乏,在一定程度上制约了行业的快速发展。随着市场的日臻成熟与下游需求的推动,
10、专业人才缺乏的矛盾将会更加突出。(2)国产核心零部件配套能力薄弱国产高端专用设备总体起步较晚,对零部件市场拉动时间较短,高端专用设备零部件配套能力较弱,影响专用设备的优化周期和制造成本。二、 半导体设备行业1、半导体设备发展基本情况及特点半导体设备主要包括前道工艺设备和后道工艺设备,前道工艺设备为晶圆制造设备,后道工艺设备包括封装设备和测试设备,其他类型设备主要包括硅片生长设备等。其中晶圆前道工艺设备整体占比超过80%,是半导体设备行业最核心的组成部分。前道工艺主要包括七大步骤分别为热处理(氧化/扩散/退火)、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗与抛光、金属化。薄膜沉积工艺系在晶圆上沉积一层待
11、处理的薄膜,匀胶工艺系把光刻胶涂抹在薄膜上,光刻和显影工艺系把光罩上的图形转移到光刻胶,刻蚀工艺系把光刻胶上图形转移到薄膜,去除光刻胶后,即完成图形从光罩到晶圆的转移。制造芯片的过程需要数十层光罩,集成电路制造主要是通过薄膜沉积、光刻和刻蚀三大工艺循环,把所有光罩的图形逐层转移到晶圆上。因此,半导体制造过程可以理解为循环进行“加减法”。薄膜沉积作为“加法工艺”,与光刻和“减法工艺”刻蚀,共同构成了半导体制造过程中不可或缺的生产工艺。从晶圆厂的投资构成来看,刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。其中,薄膜沉积设备投资额占晶圆厂投资总额的16%,占晶圆制造设备投
12、资总额的21%。2、全球半导体设备行业发展情况2013年以来,随着全球半导体行业整体景气度的提升,半导体设备市场也呈增长趋势。根据SEMI统计,全球半导体设备销售额从2013年的约318亿美元增长至2020年的712亿美元,年均复合增长率约为12.20%。由于半导体专用设备行业对制造工艺和标准要求严格,行业进入的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒较高,全球半导体设备市场集中度较高。目前全球前十大半导体设备制造商主要集中在美国、日本和荷兰。根据VLSIResearch数据,2020年全球半导体设备前十名厂商合计实现销售收入708亿美元,市占率为76.63%。中国半导体设备厂商因发展起步较晚,目前尚
13、未进入全球行业前列。3、中国半导体设备行业发展概况(1)中国大陆成为全球第一大半导体设备需求市场从需求端分析,根据SEMI统计数据,2013-2020年半导体设备在大陆销售额的年复合增长率达到27.59%,2020年在全球半导体市场大幅下跌的态势下依然逆势增长,在中国大陆的销售额达到187.2亿美元,发展势头良好。(2)顶尖设备仍依赖进口2020年中国大陆已经成为最大的半导体设备市场,但全球前十五名设备商中尚没有中国企业。中国半导体设备明显落后于美国、荷兰、日本等国。据中国电子专用设备工业协会数据统计,2020年国产半导体设备销售额约为213亿元,自给率约为17.5%,其中集成电路设备自给率仅
14、有5%左右,技术含量最高的集成电路前道设备则自给率更低,与不断增长的需求市场形成了较大的缺口,国产化率增长空间巨大。中国半导体设备大量依赖进口不仅严重影响我国半导体的产业发展,也对我国电子信息安全造成重大隐患,中国半导体设备国产替代、自主可控需求迫切。(3)半导体设备发展趋势向好集成电路尺寸及线宽的缩小、产品结构的立体化及生产工艺的复杂化等因素都对半导体设备行业提出了更高的要求和更多的需求。尺寸缩减趋势重点推动光刻设备的进步,3D结构化趋势重点推动刻蚀、薄膜设备的进步。两因素共同推动了集成电路整体结构的复杂化,进而推动化学机械研磨、清洗、离子注入、检测等其他设备的进步,并为半导体核心装备的发展
15、提供了广阔的市场空间。除此之外,功率器件、光电子等领域市场的发展和市场需求的提升,也将不断刺激半导体设备市场需求。受多个下游市场需求增长的共同驱动,半导体设备市场预计将持续保持增长势头,市场前景良好。2021年7月,SEMI发布半导体制造设备年中总预测,预测原始设备制造商全球半导体制造设备销售额相比2020年的711亿美元,2021年增长34%至953亿美元,2022年将创下超过1,000亿美元的新高。三、 打造西部科创研发引领区做大做强高校集聚区,以兰州大学“双一流”建设为牵引,积极引进国内外研发机构联合创办研究型学院,建设全省高等教育与人才培养基地和创新创业平台。加快建设一批重大科学基础设
16、施,积极争取西北生态资源环境科学中心等国家级、部省级重点创新平台落地,谋划综合性国家科学中心、前沿交叉科学中心、国际交流科学中心、生物医学中心4大类科学中心。建设一批“飞地创新园”,加强与发达地区创新合作,积极吸引北京中关村、上海张江等国内领先的科创园区落地,积极寻求高水平的科创产业跨国合作。布局以人工智能和数字经济、无人驾驶技术与设备为代表的未来前沿产业,在人工智能、大数据、云计算、物联网、无人驾驶技术等领域实现技术突破。大力推动新生态技术、生物医药与健康产业等既有优势科研交叉融合创新。建设高水平的科创服务集聚区,全面提升科创服务能力,营造接轨国际、区域共建共享的科创服务环境。推进建设孵化器
17、、双创园等产学研深度融合区,实现产业催化、成果转化、人才孵化。到2025年,榆中生态创新城新增科创产业就业岗位超过5万个,地区生产总值超过300亿元,人均GDP达到810万元。四、 项目实施的必要性(一)现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业,公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度,产品销售形势良好,产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展,公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段,不断挖掘产能潜力,但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设,公司将有效克服产能不足对公司发展的制约
18、,为公司把握市场机遇奠定基础。(二)公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级,公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动,不断研发新产品,提升产品精密化程度,将产品质量水平提升到同类产品的领先水准,提高生产的灵活性和适应性,契合关键零部件国产化的需求,才能在与国外企业的竞争中获得优势,保持公司在领域的国内领先地位。第二章 行业发展分析一、 光伏行业概览1、光伏产业链情况光伏产业链从上到下依次为:晶体硅料的生产和硅棒、硅锭、硅片的加工制作;光伏电池片的生产加工;光伏电池组件的制作;光伏应用(包括电站项目开发、电站系统的集成和运营)。2、光伏行业发展概况20
19、10年以来,全球太阳能光伏产业进入了高速发展期,太阳能光伏年装机容量快速增长,上游相关行业也得到迅速发展。2011年至2020年的10年间,全球年度光伏新增装机容量和累计装机容量大幅增长,其中,新增装机容量由2011年的32.2GW增加至2020年的126.84GW,增长约4倍。IRENA根据巴黎协定制定的目标进行测算,从现在起至2050年,与能源有关的二氧化碳排放量需要每年减少3.5%左右,并在此后持续减少。因此,全球能源格局的深刻变革对于实现该协定的气候目标至关重要。随着清洁能源的使用和迅速发展,太阳能和风能将引领全球电力行业的转型,取代传统的化石燃料发电将成为可能。根据IRENA的预测,
20、未来,风力发电将占总电力需求的三分之一以上,而太阳能光伏发电将紧随其后,占总电力需求的25%,这意味着在未来十年内,太阳能光伏发电的全球总容量将从2018年的480GW,到2030年达到2,840GW,到2050年达到8,519GW。按年增长率计算,到2030年,太阳能光伏发电的年新增容量较2018年水平需要增加近3倍,达到270GW/年,到2050年,需要增加4倍,达到372GW/年。到2050年,太阳能光伏将有助于减少4.9Gt的二氧化碳年排放量,占实现巴黎气候目标所需能源部门总减排量的21%。我国太阳能光伏产业起步相对国外较晚,但受惠于全球光伏行业的高速发展,凭借国家政策的大力支持与人力
21、资源、成本优势,发展极为迅速。截至2020年底,我国光伏发电装机量达253GW,同比增长48.2%,连续6年位居全球首位;2020年新增光伏发电装机48.2GW,增幅达60.1%,连续8年位居世界第一。2020年9月中国提出了“努力争取2030年前实现碳达峰,2060年前实现碳中和”的应对气候变化新目标。根据中国光伏行业协会预测,在“碳达峰、碳中和”目标下,“十四五”期间我国光伏市场将迎来市场化建设高峰,预计国内年均光伏装机新增规模在70-90GW。二、 半导体薄膜沉积设备的发展情况1、半导体薄膜沉积设备行业发展情况(1)薄膜沉积设备市场规模持续增长根据MaximizeMarketResear
22、ch数据统计,全球半导体薄膜沉积设备市场规模从2017年的125亿美元扩大至2020年的172亿美元,年复合增长率为11.2%。预计至2025年市场规模可达340亿美元。(2)薄膜沉积设备国产化率低我国半导体设备经过最近几年快速发展,在部分领域已有一定的进步,但整体国产设备特别在核心设备化上的国产化率仍然较低,半导体薄膜沉积设备行业基本由AMAT、ASM、Lam、TEL等国际巨头垄断。近年来随着国家对半导体产业的持续投入及部分民营企业的兴起,我国半导体制造体系和产业生态得以建立和完善。半导体薄膜沉积设备的国产化率虽然由2016年的5%提升至2020年的8%,但总体占比尤其是中高端产品占比较低。
23、(3)各类薄膜沉积设备发展态势从半导体薄膜沉积设备的细分市场上来看,CVD设备占比56%,PVD设备市占率23%,其次是ALD及其他镀膜设备。在半导体制程进入28nm后,由于器件结构不断缩小且更为3D立体化,生产过程中需要实现厚度更薄的膜层,以及在更为立体的器件表面均匀镀膜。在此背景下,ALD技术凭借优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制等特点,技术优势愈加明显,在半导体薄膜沉积环节的市场占有率也将持续提高。2、ALD技术在半导体薄膜沉积设备中的典型应用情况ALD技术在高k材料、金属栅、电容电极、金属互联、TSV、浅层沟道隔等工艺中均存在大量应用,广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、第
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