电子薄膜技术优秀PPT.ppt
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1、电子薄膜技术绪论1你现在浏览的是第一页,共38页绪论2第一堂课主要内容第一堂课主要内容 课程情况介绍课程情况介绍 课程考核方式课程考核方式 薄膜材料的定义薄膜材料的定义 薄膜技术的发展薄膜技术的发展 课程教学内容课程教学内容 你现在浏览的是第二页,共38页绪论3课程性质:微电子制造方向专业课课程特点:内容丰富、概念性记忆性强;理论与实践 相结合通过对本课程的学习,能够掌握电子薄膜的主要制备技术及相关知识,为从事微电子、固体电子薄膜及相关领域的研究、设计和生产打下基础。课课 程程 简简 介介你现在浏览的是第三页,共38页绪论4总学时:48学时周学时:4学时课时安排:1-12周;周一5-6节、周四
2、 1-2节学 分:3学分课外学时:12学时(6次课下作业)课课 程程 概概 况况你现在浏览的是第四页,共38页绪论5教材:薄膜材料制备原理、技术及应用 唐伟忠 著,冶金工业出版社,2003参考书:1.薄膜技术与薄膜材料田民波,清华大学出版社2.薄膜材料与薄膜技术郑伟涛,化学工业出版社3.半导体薄膜技术与物理叶志镇等,浙江大学出版社4.Material Science of Thin FilmsDeposition&Structure M.Ohring,世图影印版教材及参考书教材及参考书你现在浏览的是第五页,共38页绪论6第一堂课主要内容第一堂课主要内容 课程情况介绍课程情况介绍 课程考核方式课
3、程考核方式 薄膜材料的定义薄膜材料的定义 薄膜技术的发展薄膜技术的发展 课程教学内容课程教学内容 你现在浏览的是第六页,共38页绪论71、上课时必须将手机关机或静音;2、上课不允许讲话,不允许做与本课程无关的事;3、有事提前向老师请假(开假条),课上随机点名;4、上课请杜绝睡觉;5、如果出现破坏教学恶劣的行为立即上报系或者学校给予处理;6、上课不需要带电脑!7、请每人准备一个作业本!(笔记)课堂要求课堂要求希望:希望:积极思考、踊跃发言积极思考、踊跃发言意见要求及时反馈意见要求及时反馈你现在浏览的是第七页,共38页绪论8类别类别考核项目考核项目考核主要内容考核主要内容所占权重所占权重形成性考核
4、平时成绩日日常常表表现现:迟迟到到、旷旷课课、纪纪律律、态态度度、协作、交流协作、交流迟到、早退一次扣2分,旷课一次扣4分。积极思考,踊跃回答问题,给予加分-作业满满分分为为3030分分。共6次书面作业,每次作业满分为5分。30%期中考试满满分分为为2020分分。考察范围:第1-4章知识点。限制性开卷考试限制性开卷考试20%终结性考核期末考试满满分分为为100100分分。考察范围:课程全部知识点。限制性开卷考试!限制性开卷考试!50%成绩评定成绩评定 作业成绩按作业上交的数量和质量进行计分。考试时间考试时间:期中:第7周;期末:第14或15周学院组织考试你现在浏览的是第八页,共38页绪论9学习
5、方法学习方法:以教材和课件内容为主,做好笔记,认真完成作业,养成良好的学习习惯:预习和复习。考试范围考试范围:教材相应内容+课件内容+部分补充知识!限制性开卷考试!限制性开卷考试:每人只允许带一单张A4的辅助材料,要求全部手写,加贴、复印、缩印均无效你现在浏览的是第九页,共38页绪论10第一堂课主要内容第一堂课主要内容 课程情况介绍课程情况介绍 课程考核方式课程考核方式 薄膜材料的定义薄膜材料的定义 薄膜技术的发展薄膜技术的发展 课程教学内容课程教学内容 你现在浏览的是第十页,共38页绪论11Q:为什么要学习这么课程?薄膜材料应用的必要性了解薄膜的制备方法、生长机理、性能表征等1.什么是薄膜材
6、料?2.薄膜材料的特殊性?3.薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因?你现在浏览的是第十一页,共38页绪论12 由单个的原子、离子、原子团无规则地入射到基板表面,经表面附着、迁徙、凝结、成核、核生长等过程而形成的一薄层固态物质。VacuumSubstratesurfaceAtomThin Film薄膜的定义薄膜的定义你现在浏览的是第十二页,共38页绪论13薄膜材料是采用特殊的方法,在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体块材料性质完全不同的物质层。薄膜材料往往具有特殊的材料性能或性能组合。当固体或液体的一维线性尺度远远小于它的其它二维尺度时,我们将这样的固体或液体称为膜。通常把膜层无基片
7、而能独立成形的厚度作为薄膜厚度的一个大致的标准,约在1m左右。厚膜:厚度大于1m,薄膜:厚度小于1m关注:固态基片(衬底、基底)上的固态薄膜。你现在浏览的是第十三页,共38页绪论14薄膜材料的特殊性薄膜材料的特殊性:1.与体相材料相比,由于薄膜材料的厚度很薄,很容易产生尺寸效应;2.由于薄膜材料的比表面积很大,所以表面效应很显著;3.在薄膜材料中还包含有大量的表面晶粒间界和缺陷态,对电子输运性能也影响较大。Back你现在浏览的是第十四页,共38页绪论15第一堂课主要内容第一堂课主要内容 课程情况介绍课程情况介绍 课程考核方式课程考核方式 薄膜材料的定义薄膜材料的定义 薄膜技术的发展薄膜技术的发
8、展 课程教学内容课程教学内容 你现在浏览的是第十五页,共38页绪论16190019502008Computing power has increaseddramatically over the last century.The world has changedWhy do we need thin films?在材料科学的各分支中,薄膜材料科学发展的地位极为重要。你现在浏览的是第十六页,共38页Devices become much more complexly!The world has changed1971200819473cm17你现在浏览的是第十七页,共38页绪论18微电子芯片生
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