2022年中国电子特气行业市场现状及发展趋势分析 国产化率低【组图】.docx
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1、2022年中国电子特气行业市场现状及发展趋势分析 国产化率低【组图】电子特气行业主要上市公司:中国电子特气行业上市公司包括:金宏气体(688106)、巨化股份 (600160)、昊华科技(600378)、雅克科技(002409)、华特气体(688268)等本文核心数据:电子特种气体产品分类,电子特器在半导体制备中的应用比例,国内外电子特气行业市场份额情况1、电子特气的概念电子特种气体(简称电子特气),是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。在整个半导体行业的生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子特气,而且所用气体的品种多、质量要求高,所以电子气体又有半
2、导体材料的“粮食”之称。在半导体制备过程中,电子特气供应主要有现场供气、储槽供气、瓶装供气三种模式,现阶段中国半导体制备过程主要使用现场供气和储槽供气两种,未来随着半导体制备集约化程度提升,现场供气将成为行业制备供应的最主要供应模式。2、电子特器为半导体材料制备的第二耗材随着半导体集成电路技术的发展,对电子气体的纯度和质量也提出了更高要求。高纯电子特种气体在制造环节使用较多,比如离子注进、气相沉积、洗涤、遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,常见的有SiH4、PH3、ASH3、B2H6、N20、NH3、SF6、NF3、CF4、BC13、BF3、HCI、Cl2等。根据中国半导体行业协会数据,由于电
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