半导体清洗设备项目管理手册(参考).docx
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1、泓域/半导体清洗设备项目管理手册半导体清洗设备项目管理手册目录一、 项目基本情况3二、 规划进度管理10三、 控制进度10四、 创建工作分解结构14五、 定义范围19六、 项目立项阶段22七、 项目维护阶段23八、 公司简介24九、 项目经济效益分析26营业收入、税金及附加和增值税估算表26综合总成本费用估算表28利润及利润分配表29项目投资现金流量表32借款还本付息计划表34十、 项目投资分析35建设投资估算表37建设期利息估算表38流动资金估算表39总投资及构成一览表40项目投资计划与资金筹措一览表42一、 项目基本情况(一)项目承办单位名称xxx(集团)有限公司(二)项目联系人谭xx(三
2、)项目建设单位概况公司以负责任的方式为消费者提供符合法律规定与标准要求的产品。在提供产品的过程中,综合考虑其对消费者的影响,确保产品安全。积极与消费者沟通,向消费者公开产品安全风险评估结果,努力维护消费者合法权益。公司加大科技创新力度,持续推进产品升级,为行业提供先进适用的解决方案,为社会提供安全、可靠、优质的产品和服务。公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用,建立了工会组织,并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度,进一步规范厂务公开的内容、程序、形式,企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展,以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心,坚持战略导向、
3、问题导向和需求导向,持续深化教育培训改革,精准实施培训,努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基本保障,坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念,确立了合规管理的战略定位,进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查,加强合规风险防控,确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求,重点领域合规管理不断强化,各部门分工负责、齐抓共管、协同联动的大合规管理格局逐步建立,广大员工合规意识普遍增强,合规文化氛围更加浓厚。公司不断建设和完善企业信息化服务平台,实施“互联网+”企业专项行动,推广适合企业需求的信息化产品
4、和服务,促进互联网和信息技术在企业经营管理各个环节中的应用,业通过信息化提高效率和效益。搭建信息化服务平台,培育产业链,打造创新链,提升价值链,促进带动产业链上下游企业协同发展。(四)项目实施的可行性1、符合我国相关产业政策和发展规划近年来,我国为推进产业结构转型升级,先后出台了多项发展规划或产业政策支持行业发展。政策的出台鼓励行业开展新材料、新工艺、新产品的研发,促进行业加快结构调整和转型升级,有利于本行业健康快速发展。2、项目产品市场前景广阔广阔的终端消费市场及逐步升级的消费需求都将促进行业持续增长。3、公司具备成熟的生产技术及管理经验公司经过多年的技术改造和工艺研发,公司已经建立了丰富完
5、整的产品生产线,配备了行业先进的染整设备,形成了门类齐全、品种丰富的工艺,可为客户提供一体化染整综合服务。公司通过自主培养和外部引进等方式,建立了一支团结进取的核心管理团队,形成了稳定高效的核心管理架构。公司管理团队对行业的品牌建设、营销网络管理、人才管理等均有深入的理解,能够及时根据客户需求和市场变化对公司战略和业务进行调整,为公司稳健、快速发展提供了有力保障。4、建设条件良好本项目主要基于公司现有研发条件与基础,根据公司发展战略的要求,通过对研发测试环境的提升改造,形成集科研、开发、检测试验、新产品测试于一体的研发中心,项目各项建设条件已落实,工程技术方案切实可行,本项目的实施有利于全面提
6、高公司的技术研发能力,具备实施的可行性。湿法清洗采用液体化学试剂和DI水氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。通常采用的湿法清洗有RCA清洗法、稀释化学法、IMEC清洗法和单晶片清洗等。1)RCA通用清洗法:RCA清洗法依靠溶剂、酸、表面活性剂和水,在不破坏晶圆表面特征的情况下通过喷射、净化、氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。在每次使用化学品后都要在超纯水(UPW)中彻底清洗。2)化学稀释法:在RCA清洗的基础上,对SC1、SC2混合物采用稀释化学法可以大量节约化学品及DI水的消耗量。并且SC2混合物中的H2O2可以完全去掉。稀释APMSC2混合物(1:1:
7、50)可以有效地从晶片表面去除颗粒和碳氢化合物。强烈稀释HPM混合物(1:1:60)和稀释HCI(1:100)在清除金属时可以像标准SC2液体一样有效。采用稀释HCI溶液的另外一个优点是,在低HCI浓度下颗粒不会沉淀。采用稀释RCA清洗法可以使全部化学品消耗减少86%。稀释SC1,SC2溶液及HF补充兆声搅动后,可以降低槽中溶液使用温度,并优化了各种清洗步骤的时间,因此导致槽中溶液寿命加长,使化学品消耗量减少80-90%。实验证明采用热的UPW代替凉的UPW可以使UPW消耗量减少75-80%。此外,多种稀释化学液体由于低流速或清洗时间的要求可大大节约冲洗用水。3)IMEC清洗法:第一步,去除有
8、机污染物,生成一薄层化学氧化物以便有效去除颗粒。通常采用硫酸混合物。第二步,去除氧化层,同时去除颗粒和金属氧化物。Cu,Ag等金属离子存在于HF溶液时会沉积到Si表面。其沉积过程是一个电化学过程,在光照条件下,铜的表面沉积速度加快。第三步,在硅表面产生亲水性,以保证干燥时不产生干燥斑点或水印。通常采用稀释HCL/O3混合物,在低pH值下使硅表面产生亲水性,同时避免再发生金属污染,并且在最后冲洗过程中增加HNO3的浓度以减少Ca表面污染。4)单晶片清洗:大直径晶片的清洗采用上述方法不好保证其清洗过程的完成,通常采用单晶片清洗法。其清洗过程是在室温下重复利用DI-O3/DHF清洗液,臭氧化的DI水
9、(DI-O3)产生氧化硅,稀释的HF蚀刻氧化硅,同时清除颗粒和金属污染物。根据蚀刻和氧化的要求采用较短的喷淋时间就可获得好的清洗效果,不会发生交叉污染。最后冲洗不是采用DI水就是采用臭氧化的DI水。为了避免水渍,采用浓缩大量氮气的异丙基乙醇(IPA)进行干燥处理。单晶片清洗具有或者比改良的RCA清洗更好的清洗效果,清洗过程中采用DI水及HF的再循环利用,降低化学品的消耗量,提高晶片成本效益。(五)项目建设选址及建设规模项目选址位于xx,占地面积约20.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越,交通便利,规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备,非常适宜本期项目建设。项目建筑面积22355.14,其
10、中:主体工程13406.66,仓储工程4896.15,行政办公及生活服务设施2572.10,公共工程1480.23。(六)项目总投资及资金构成1、项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算,项目总投资9979.76万元,其中:建设投资7523.18万元,占项目总投资的75.38%;建设期利息95.38万元,占项目总投资的0.96%;流动资金2361.20万元,占项目总投资的23.66%。2、建设投资构成本期项目建设投资7523.18万元,包括工程费用、工程建设其他费用和预备费,其中:工程费用6652.03万元,工程建设其他费用705.69万元,预备费1
11、65.46万元。(七)资金筹措方案本期项目总投资9979.76万元,其中申请银行长期贷款3892.90万元,其余部分由企业自筹。(八)项目预期经济效益规划目标1、营业收入(SP):22400.00万元。2、综合总成本费用(TC):19027.60万元。3、净利润(NP):2456.91万元。4、全部投资回收期(Pt):6.27年。5、财务内部收益率:16.48%。6、财务净现值:1001.88万元。(九)项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设,本期项目建设期限规划12个月。(十)项目综合评价主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积13333.00约
12、20.00亩1.1总建筑面积22355.14容积率1.681.2基底面积8133.13建筑系数61.00%1.3投资强度万元/亩365.672总投资万元9979.762.1建设投资万元7523.182.1.1工程费用万元6652.032.1.2工程建设其他费用万元705.692.1.3预备费万元165.462.2建设期利息万元95.382.3流动资金万元2361.203资金筹措万元9979.763.1自筹资金万元6086.863.2银行贷款万元3892.904营业收入万元22400.00正常运营年份5总成本费用万元19027.606利润总额万元3275.887净利润万元2456.918所得税万
13、元818.979增值税万元804.2510税金及附加万元96.5211纳税总额万元1719.7412工业增加值万元5932.8913盈亏平衡点万元10686.34产值14回收期年6.27含建设期12个月15财务内部收益率16.48%所得税后16财务净现值万元1001.88所得税后二、 规划进度管理规划进度管理活动就是约定项目如何进行进度管理工作所需要的流程、方法和工具。三、 控制进度项目的控制进度过程就是通过对比基准进度计划监控项目的进度,如果出现偏差就采取措施进行纠正。和所有其他的控制过程类似,项目的控制进度过程主要有三个关键性的活动:一是如何有效地获得项目进度状态信息;二是怎样可以避免进度
14、拖延;三是采取什么样的措施可以纠正进度偏差。(一)获得进度状态相对于其他信息而言,项目的进度状态信息比较容易获得。进度状态主要是检查其活动是否按照预期进行。不同规模的项目对活动进度的关注也不同。对大型项目来说,没有必要关注所有活动的进度状态,而应该重点跟踪影响项目整体进度的那些在关键路径上的活动的执行情况。根据检查的方式和目的不同,存在着对过程和结果的检查。对过程的检查主要是指周期性的项目进展汇报。项目中的很多活动都需要持续一段时间,需要在其实施过程中不断监控其进展是否按照预期进行,是否会影响最后的完成期限。一般来说,对过程的检查大多依赖于实施者的主观估计和汇报,存在着一定程度的不准确。即使这
15、样,也必须周期性地检查活动的进展状态,尽可能在偏差出现的早期采取纠正措施。大多数项目都采用定期例会的形式来对项目的进展情况进行汇报和跟踪。对结果的检查主要依赖里程碑评审。与主观性较强的项目进展情况汇报不同,里程碑评审是通过一个客观而明确的结果鉴定标准来判断项目是否按照进度要求完成了工作,里程碑评审给出的信息要准确得多。不过,这种方法依赖于项目里程碑的选取和设定,大多数项目只在关键的阶段点上具备设定里程碑的条件。一般来说,一个项目会综合应用两种跟踪进度状态的方法。(二)进度纠正如果发现项目进度确实和基准计划产生了偏差(一般来说是滞后),那么需要分析产生偏差的根源,然后进行两种处理方法的选择:要么
16、进行计划的变更以反映偏差产生的结果;要么采取纠正措施,努力消除偏差。经过对原因的分析,如果已经确认产生偏差的因素不会继续影响项目,项目干系人同意对进度进行变更的,就可以进行进度计划的变更。进度计划的变更过程和其他变更过程是一样的。如果必须纠正和消除这种偏差,就不得不采取一些措施来缩短项目后续工作的历时。我们知道,影响项目整体最终进度的活动是那些处于关键路径上的活动。有两种方法可以进行历时压缩:一种叫“赶工”,另一种叫“快速跟进”。所谓“赶工”,就是向项目关键路径上的活动增加资源,以缩短其活动历时。事实上,很多领域的项目活动时间和成本之间并不是一个线性的换算关系。在很多的技术领域,存在一个生产效
17、率和投入资源最佳的匹配点。在该平衡点下的资源投入数量会产生最高的单位生产效率。如果假设最初的项目计划就是在最佳点上的资源投入数量,则任何增加资源的活动虽然缩短了活动历时,但会导致单位生产效率的下降,从而导致项目总成本的提高。缩短历时的另外一种方法是“快速跟进”,这是通过改变关键路径上的活动之间的依赖关系,尽量提高活动的并行性来缩短历时。我们知道,各个活动之间存在着依赖关系,有些是强制性依赖关系,有些是自由依赖关系。这些依赖关系使得活动之间存在着先后次序。我们可以打破这种先后次序,使得某些活动重叠进行。当然,应该首先去调整那些自由依赖关系的活动,然后去考虑强制性依赖关系的活动。改变强制性依赖关系
18、的活动会对项目带来什么影响呢?事实上,活动之间存在某种强制性依赖关系,就说明这些活动在完成项目产品目标的过程中,存在着一定的先后顺序要求。如果打破这些顺序,大多数情况下会对项目产品的质量带来风险,但是自由依赖关系则不存在这个问题。可以看到,缩短项目进度的两种方法都会带来某种负面的影响。这个结论也是可以理解的,因为原来的进度计划就是项目在各个要素之间进行平衡的最佳结果,打破这种平衡就会偏离最优。四、 创建工作分解结构工作分解结构,是归纳和定义项目范围最常用的一种方法。WBS将项目分解成可以管理和控制的工作单元,从而可以更为容易且准确地确定它们的进度、成本以及质量要求。说得通俗一点,WBS就是将项
19、目进行分解的一种方法。它使得项目目标从抽象的表述转化成了详细、明确且实在的工作内容。这些工作内容就变成了项目目标的具体体现。这样来说,WBS有3个主要目的:在制定WBS的过程中,进一步加深对项目的认识和理解。项目目标被分解成小颗粒度的、可被执行的任务,消除项目的神秘感。作为后续管理活动计划和控制的基础。工作分解结构最常用的表示方法列表图表示法。该法被广泛采用的主要原因是项目管理软件的普及。这类软件大都是利用列表图来创建WBS。我们也可以像上面一样对WBS中的每一项进行编码,其目的在于和后面的管理活动有一个很好的参照对应关系。当然这主要是针对大型项目来说的,小项目可以不做编码。WBS是一个典型的
20、树状分层结构。最上面一层代表整个项目,通常称之为0层,向下逐级分解直到最底层。理论上有3种方法来创建WBS:类比法、自上而下法、自下而上法。类比法,顾名思义就是利用一个类似项目的WBS作为构建本项目WBS的起点。很多专业领域的项目都有约定俗成的WBS模板供参考。一个组织也可以从自己过去积累的项目中提炼和归纳出一个项目的通用WBS来作为今后项目的标准。自上而下法被认为是最常规的创建WBS的方法。它从项目最大的单位开始,逐步分解成下一级的多个子项。这个过程就是不断增加级数,细化工作任务。对于经验丰富的项目经理和项目组来说,由于他们具备广泛的技术知识和整体的视角,这种方法是最好的。自下而上法则是让项
21、目组人员一开始就尽可能地确定项目有关的各项具体任务,然后将各项具体任务进行整合,并归总到一个整体活动或WBS的上一级内容当中。这3种方法各有特点和其特定的适应性。一个高质量的工作分解结构对项目的后续工作至关重要,下面以自上而下法为例来介绍一种分解方法,并且展示其中的要点。步骤一:建立0层,也就是以整个项目作为分解的基础。对单个项目来说,这并没有什么特别意义,但是对于大型项目来说,这样做便于项目分解结构的合并操作。步骤二:建立项目的可交付成果列表。步骤三:对每个可交付成果进行分解,得到细分的子可交付成果。这一过程可以循环下去,直到得到适当的颗粒度为止。以上我们得到了一个全部由名词组成的工作分解结
22、构,它代表了项目最后完成的所有产出物及其分解。步骤四:对每个子成果进一步分解出完成它所需的活动。也就是说,经历了这些活动,我们就可以构造一个子成果。步骤五:某些子成果的简单相加就可以构成其上一级的父成果。但是某些父成果的完成不仅需要这些子成果,而且需要额外的活动。这些活动被称为横向关联活动。横向关联活动包括子产品的集成活动、验收活动等。最终我们就得到了一个完整的项目WBS。综观整个WBS,我们可以看到以下一些特点:第一,项目分解从可交付结果开始进行逐步分解,这样看起来整个WBS的上半部分都是名词,所有这些工作结果就构成了项目的产品范围。它意味着项目最终或者进行过程中都会产生哪些工作产品,这些产
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