oloarcell光学薄膜基础知识.ppt

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1、 光学薄膜 -基础知识介绍光是什么？光光是是一一种种电电磁磁波波，（在真空中的）可见光波长范围是700400nm；红外光为约700 到107nm量级;紫外光1-400nm；比紫外光短的还有X射线、射线（nm）等；而比红外长的就是我们熟悉的无线电波什么叫光的干涉？物理定义：物理定义：当当2个或多个光波（光束）在空间叠加个或多个光波（光束）在空间叠加时，在叠加区域内出现的各点强度稳定的强弱时，在叠加区域内出现的各点强度稳定的强弱分布现象。分布现象。产生的条件：产生的条件：1、光波产生的相位差固定不变、光波产生的相位差固定不变2、光波的振幅不能相互垂直、光波的振幅不能相互垂直3、光波的频率要一致、光

2、波的频率要一致什么叫做光学薄膜？所谓光学薄膜，首先它应该是薄的然后它应该会产生一定光学效应的那么要薄到什么程度呢？那么要薄到什么程度呢？定性的讲：它的厚度应该和入射光波长可以相定性的讲：它的厚度应该和入射光波长可以相 比拟的比拟的物理意义上讲：能引起光的干涉现象的膜层物理意义上讲：能引起光的干涉现象的膜层与镀膜技术密切相关的产业与镀膜技术密切相关的产业眼镜镀膜-AR 幕墙玻璃-AR滤光片 液晶领域-ITO膜 车灯、冷光镜、舞台灯光滤光片光通信领域：DWDM、光纤薄膜器件红外膜 激光领域-激光反射腔高反射膜CD、DVD驱动器投影显示数码领域光学薄膜在光学系统中的作用提高光学效率、减少杂光。如高效

3、减反射膜、高反射膜。实现光束的调整或再分配。如分束膜、分色膜、偏振分光膜就是根据不同需要进行能量再分配的光学元件。通过波长的选择性透过提高系统信噪比。如窄带及带通滤光片、长波通、短波通滤光片。实现某些特定功能。如ITO透明导电膜、保护膜等 当前最热门的应用领域v1、数码相机用的IR-CUTv2、投影显示光学系统-包括LCD、DLP、LCOSv3、光通讯：DWDM(dense wavelengh division multiplexer)滤光片v4、减反射膜-永远的热门 一、光学薄膜的类型我们根据其作用，可以简单的分为1、减反射膜或者叫增透膜2、分束膜3、反射膜4、滤光片5、其他特殊应用的膜一、

4、减反膜1、减反膜的作用o增加光学系统透过率o减少杂散光o提高象质o增加作用距离一、减反膜2、减反膜按层数分类o单层减反膜o双层减反膜一、减反膜o多层减反膜一、减反膜一、减反膜3、另一种分类单点减反宽波段减反（超宽波段）双波段减反宽角度减反减反膜几个重要的技术指标n使用的波段n使用的角度或者角度范围n剩余反射率要求n使用环境n在激光领域还有激光阈值要求激光阈值要求二、分束膜一般来讲，分束膜总是倾斜使用，常用的是45度。分束膜有两种：中性分束膜（也就是一般讲的消偏振NPBS）、偏振分束膜（也就是通常讲的PBS）。中性分束镜有两种结构：平板型和棱镜型。而PBS一般都用棱镜。平板结构由于不可避免的象散

5、问题所以只用于中低要求的光学装置。二、分束膜正确错误NPBSPBS二、分束膜分束膜根据镀膜材料还有金属分束镜和介质分束镜两种。两种分束镜各有各的优缺点，可以根据不同的使用要求和工艺水平采用不同的类型。二、分束膜金属分束镜的优缺点优点优点：中性好，光谱范围宽、偏振效：中性好，光谱范围宽、偏振效 应小、制作简单应小、制作简单缺点缺点：吸收大、激光阈值低：吸收大、激光阈值低使用注意事项使用注意事项：光的入射方向：光的入射方向二、分束膜介质分束镜的优缺点优点优点：吸收小，几乎可以忽略：吸收小，几乎可以忽略缺点缺点：光谱范围窄、偏振分离明：光谱范围窄、偏振分离明显、角度效应明显显、角度效应明显二、分束膜

6、两类分束镜的曲线三、滤光片一般我们把改变光束性质或者颜色的膜叫做滤光膜。常见的有：1、干涉截止滤光片2、带通滤光片3、金属滤光片4、负滤光片三、滤光片1、干涉截止滤光片要求某一波长范围的光束高透，而偏离这一区域的光束骤然变为截止-我们把这中类型的膜叫干涉截止滤光片。此类膜有着广泛的用途，例如照明上用的冷光碗上的冷光膜、舞厅里色彩变幻的旋转灯以及我们在做的 IR-CUT都属于此类。1透射曲线开始上升(或下降)时的波长以及此曲线上升(或下降)的许可斜率 2高透射带的光谱宽度、平均透射率以及在此透射带内许可的最小透射率 3具有低透射率的反射带(抑制带)的光谱宽度以及在此范围内所许可的最大透射率。干涉

7、截止滤光片的几个重要指标干涉截止滤光片的分类可以分为长波通和短波通两类，见下图四、带通滤光片从光学薄膜的角度来讲，最有意义的进展是1899年出现的法布里-珀珞干涉仪。它是干涉带通滤光片的一种基本结构。而自从1940年出现金属-介质滤光片以来，它已经在光学、光谱学、激光、天文物理学等各个领域得到了广泛的应用。四、带通滤光片法布里珀珞的结构四、带通滤光片带通的主要参数0中心波长，或峰值波长Tmax中心波长透射率，或 ，峰值透射率2透过率为峰值透过率一半的波长宽度，也称通带半宽度，有时也用2/0表示相对半宽度四、带通滤光片根据膜层的不同，可分为q 金属滤光片q 全介质滤光片q 双半波、三半波全介质滤

8、光片q 金属诱导透射滤光片 介质带通滤光片的结构为：介质反射膜/间隔层/介质反射膜/间隔层/介质反射膜但是滤光片也可以是混合结构，例如用一层金属膜如银膜代替两间隔之间的介质反射膜形式如下：介质反射膜/间隔层/金属膜/间隔层/介质反射膜这是金属诱导透射滤光片的基本形式这种滤光片的最大好处：长波无次峰、透射率较高金属诱导透射滤光片五、反射膜 在光学薄膜中，反射膜和增透膜几乎同样重在光学薄膜中，反射膜和增透膜几乎同样重要。要。对于光学仪器中的反射系统来说，对于光学仪器中的反射系统来说，一般单一般单纯金属膜的特性大都已经满足常用要求纯金属膜的特性大都已经满足常用要求。在某在某些应用中，要求更高的反射率

9、则可用金属增强些应用中，要求更高的反射率则可用金属增强镜镜。而全介质多层反射膜，由于这种反射膜具而全介质多层反射膜，由于这种反射膜具有最大的反射率和最小的吸收率因而在激光应有最大的反射率和最小的吸收率因而在激光应用和一些高要求的系统中得到了广泛的使用。用和一些高要求的系统中得到了广泛的使用。五、反射膜金属膜材料的选择原则q 先考虑使用波段要求q 反射率要求q 使用环境q 制作成本等常用有Al、Ag、Au、Pt五、反射膜 铝：最常用，紫外、可见、红外 银：反射率最高，稳定性差 金：红外常用、稳定铂、铑：稳定、坚固五、反射膜 理论上只要增加膜系的层数反射率可无限地接近于100%，实际上由于膜层中的

10、吸收、散射损失，当膜系达到一定层数时继续加镀两层并不能提高其反率，有时甚至由于吸收、散射损失的增加而使反射率下降因此膜系中的吸收和散射损耗限制了介质膜系的最大层数。全介质反射镜57917层反射膜光谱层反射膜光谱 由上图可以看出最高反射率随层数增加，而反射带宽并不增加光学薄膜的类型与符号1.减反膜2.滤光膜3 保护膜4 内反射5 外反射6 高反膜7 分束膜8 分色膜9 偏振膜10 导电膜光学薄膜的依附体 基板光学上常用的基板一、玻璃-在光学应用上最重要二、陶瓷三、光学晶体四、光学塑料（如PC、PMMA等）五、金属一、玻璃玻璃可以分为：玻璃可以分为：1、普通玻璃2、无色光学玻璃3、有色光学玻璃4、

11、特殊玻璃等1、无色光学玻璃的分类、无色光学玻璃的分类 根据化学成分，无色光学玻璃可以分为两类：1、冕牌玻璃冕牌玻璃-K带头的玻璃，折射率n较小，色散系数大，可分为氟冕（FK）、磷冕（PK）、轻冕（QK）、钡冕（BaK）、重冕（ZK）、镧冕（LaK）、特冕（TK）等；2、火石玻璃火石玻璃-F带头的玻璃，折射率n较大。色散系数大，可分为冕火石（KF）、轻火石（QF）、钡火石（BaF）、重火石（ZF）、镧H火石（LaF）等。共有160多种之多。1、nd-指nm(氦黄线)处的折射率；2、nD-指nm(钠黄线)处的折射率；3、相对色散（阿贝数）d、D-由nf(486.1nm)和nc(656.3nm)确定

12、：d=(nd-1)/(nf-nc)D=(nD-1)/(nf-nc)无色光学玻璃一些技术指标无色光学玻璃一些技术指标玻璃按下列各项质量指标分类和分级：a.折射率、色散系数与标准数值的允许差值；b.同一比中，折射率及色散系数的一致性；c.光学均匀性；d.应力双折射；e.条纹度；f.气泡度；g.光吸收系数；h.耐辐射性能（N系列玻璃）。无色光学玻璃的分级无色光学玻璃的分级根据折射率与标准数值的允许差值，玻璃按表3分为6类。类别折射率nd允许差值类别折射率nd允许差值00210-42710-40310-431010-41510-442010-4玻璃的光学均匀性以一块玻璃中各部位间的折射率微差最大值nm

13、ax表示时，按下表分为4类。类别折射率最大微差，nmaxH1210-6H2510-6H3110-5H4210-52、有色玻璃 它主要是滤光作用，有时候替代镀膜有时候和薄膜组合。按照着色原理可以分为胶态着色和离子着色有色玻璃两类。通过加入不同的吸收离子我们可以得到各种各样颜色的玻璃。我们在用的蓝玻璃就是一种有色玻璃，HOYA叫CM5000，肖特叫BG38、BG39等，国际、国内均有一些专业的有色玻璃生产商。有色玻璃和镀膜在曲线上的区别3、普通玻璃如青板玻璃 由于加了0.080.12%的氧化铁；二阶、三阶铁分别在1100nm和380nm处构成吸收带，吸收了部分红光和青光；它的折射率。白板玻璃、超白

14、玻璃等均要归入此列。4、特殊玻璃 特殊玻璃可以包括A、耐辐射玻璃B、石英玻璃C、隔热玻璃D、微晶玻璃E、耐热玻璃F、硬质玻璃等。二、光学塑料 塑料是一种以合成树脂或天然树脂(一般为高分子聚合物)为基本成分，在加工过程中，可塑制成型，产品最终能保持形状不变的材料。光学塑料乃是一种可以与玻璃竞争的透明塑料。它具有一定的光学特性、机械特性和化学特性，能满足光学零件的要求，从而逐渐构成光学三大基本材料之(玻璃、光学晶体和光学塑料)。塑料是什么？1、光学塑料的应用、光学塑料的应用目前，光学塑料的应用大致分为三大类：A、塑料透镜(包括工业、仪器用透镜、眼镜、接触眼镜、非球面透镜、棱镜和菲涅耳透镜等)；B、

15、光盘及光学纤维；C、其它功能性光学塑料元件。其应用范围、越来越2、常见的光学塑料常见的光学塑料 在世界范围内，光学塑料品种已有上百种，但真正用到工业开发，应用面广的品种并不多，据统计约十多种，如PMMA、PS、PC、SAN、CR一39、TPX等。各种文献中报道的新品种非常多，日本就有了s16、KT一153、TS一26等。最近日本开发出了一种聚烯经树脂，是用作光盘的新材料，它的相对密度小，仅，耐热性好(Tg为140)，透光率为90，可见光学塑料的发展日新月异。3、光学塑料的类型、光学塑料的类型据受热后的性能变化，光学塑料可分为两大类：热塑性光学塑料：热塑性塑料是指可以多次反复加热仍有可塑性的塑料

16、，如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚苯乙烯(PS)、聚碳酸酯(PS)均属热塑性塑料。热固性光学塑料：热团性塑料是由加热固化的合成树胳制成的塑料，常见的如CR一39树脂镜片，环氧光学塑料。4、光学塑料的优势、光学塑料的优势A、成型方便，成本低（约为玻璃的1/101/30 B、耐冲击强度高（光学塑料的冲击强度可达25103Nmm2，比光学玻璃大10倍经得起撞击和跌落，不易破损）C、相对密度小：光学塑料的相对密度为0.83146，而玻璃的相对密度为一即塑料比玻璃轻一倍，这对军用光学仪器有特殊意义。D、透光率好（可见区和玻璃一样，在紫外和红外区比玻璃好）5、光学塑料的缺点、光学塑料的缺点拆射率温度梯度

17、大约为210-4，对于光学系统来说是特别不利的；热膨胀系数比玻璃大10倍左右；导热性和耐热性差，软化温度低，易变形，加热时会变形和分解；不耐有机溶剂。耐磨性差，吸湿性严重；光学塑料的折射率和色傲系数没有玻璃宽，因此，选用的余地受限制。三、光学晶体晶族晶系特征轴单位轴角低族晶系三斜a0b0 c00 0 0 90单轴a0 b0 c00=0=90，0 90正交a0 b0 c00=0=0=90中级晶系四方a0=b0 c00=0=0=90六方a0=b0 c00=0=90，0=120三方a0=b0=c00=0=0 90立方晶系立方a0=b0=c00=0=0=90光学晶体常用中级晶族和高级晶族，我们的石英就

18、是六方晶系什么叫做晶体？什么叫做晶体？晶体对我们来说既熟悉又陌生，包括食盐、糖以及一些药物等均是；晶体具有规则的几何多面体形状，它是具有格子构造的固体。晶体包括三大晶族七大晶系，如上表：晶体的基本性质1、均一性：内部质点的性质和排列方式一致；2、各向异性：点阵性质和排列方式在方向上不一致；3、对称性：在特定方向上异向同性，这个方向就是晶轴；4、自范性：能自发形成封闭几何多面体的；5、最小内能性：具有确定的熔点，以及特有稳定性；6、稳定性：最小内能性的必然结果，不能自发转化为其他状态，非晶态则随时有结晶倾向。晶体的几个重要的物理性质1、解理性2、硬度：常用莫氏硬度，指甲可划的为，小刀能刻画的为，锉刀为67，锉刀都不能的为89，石英晶体为7，天然金刚石为93、溶解度4、双折射：高级晶族没有，中级有，会将一束光分为2束，为寻常光和非寻常光，相应的折射率用no和ne表示5、旋光性光学晶体按用途分的类型1、紫外、红外晶体：用于宇宙飞船、人造卫星导弹 等的窗口，包括石英、硅、锗等2、复消色差晶体：用于高级复消色差物镜3、偏振晶体：制作偏振器件4、激光晶体：用于制造激光器5、电光晶体、声光晶体以及非线性晶体等