《光电检测技术》PPT课件.ppt
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1、光电综合实践目目 录录第一节第一节 绪论绪论第二节第二节 光电检测技术基础光电检测技术基础2.1 光的基本性质光的基本性质2.2 辐射与光度学量辐射与光度学量2.3 半导体基础知识半导体基础知识2.4 光电效应光电效应第三节第三节 光电检测器件光电检测器件3.1 光电器件的类型与特点光电器件的类型与特点3.2 光电器件的基本特性参数光电器件的基本特性参数3.3 半导体光电器件半导体光电器件光电导器件光电导器件:光敏电阻光敏电阻光伏器件光伏器件:光电池光电池/光电二极管光电二极管/三极管三极管3.4 真空光电器件真空光电器件光电管光电管光电倍增管光电倍增管3.5 热电检测器件热电检测器件热敏电阻
2、热敏电阻热电偶和热电堆热电偶和热电堆热释电探测器件热释电探测器件第四节第四节 发光、耦合和成像器件发光、耦合和成像器件4.1 4.1 发光二极管发光二极管4.2 4.2 激光器激光器4.3 4.3 光电耦合器件光电耦合器件4.4 CCD4.4 CCD第五节第五节 光电检测系统光电检测系统5.1 5.1 直接光电检测系统直接光电检测系统5.2 5.2 光外差光电检测系统光外差光电检测系统5.3 5.3 典型的光电检测系统典型的光电检测系统第一节 绪 论光电信息技术1、光电源器件(包括激光器)和可控光功能器件及集成2、光通信和综合信息网络3、光频微电子4、光电方法用于瞬态光学观测以光电子学为基础,
3、以光电子器件为主体,研究和发展光电信息的形成、传输、接收、变换、处理和应用。它涉及到:5、光电传感、光纤传感和图象传感、光电传感、光纤传感和图象传感6、激光、红外、微光探测,定向和制导、激光、红外、微光探测,定向和制导7、光电精密测试,在线检测和控制技术、光电精密测试,在线检测和控制技术8、混合光电信息处理、识别和图象分析(人工智能和 机器视觉)光电检测技术光电检测技术n检测与测量n光电传感器:基于光电效应,将光信号转换为电信号的一种光电器件将非电量转换为与之有确定对应关系的电量输出。n光电检测技术:是利用光电传感器实现各类检测。它将被测量的量转换成光通量,再转换成电量,并综合利用信息传送和处
4、理技术,完成在线和自动测量。n光电检测系统光学变换光电变换电路处理定义:定义:被测信息:被测信息:传感器、检测仪器、检测装置、检测系统传感器、检测仪器、检测装置、检测系统全部操作:全部操作:检测过程检测过程确定被测对象的属性和量值为目的的全部操作确定被测对象的属性和量值为目的的全部操作检测的基本概念检测的基本概念信号采集、信号处理、信号显示、信号输出信号采集、信号处理、信号显示、信号输出物理量(光、电、力、热、磁、声、物理量(光、电、力、热、磁、声、)被测对象:被测对象:宇宙万物(固液气体、动物、植物、天体宇宙万物(固液气体、动物、植物、天体)检测器具检测器具化学量(化学量(PH、成份、成份)
5、生物量(酶、葡萄糖、生物量(酶、葡萄糖、)例:空调机测量控制室温例:空调机测量控制室温空气空气被测对象被测对象:被测信息被测信息:检测器具检测器具:操作过程操作过程:室内空气室内空气温度温度温度传感器温度传感器-热电阻、热电偶热电阻、热电偶 热敏电阻热敏电阻 电信号电信号 处理处理 显示显示空调机空调机n直接直接测量:测量:对仪表读数不经任何运算,直接得出被测量的数对仪表读数不经任何运算,直接得出被测量的数值。例如:值。例如:长度:直尺、游标卡尺、千分尺长度:直尺、游标卡尺、千分尺电压:万用表电压:万用表质量:天平质量:天平n间接测量:间接测量:测量几个与被测量相关的物理量,通过测量几个与被测
6、量相关的物理量,通过函数关系式计算出被测量。例如:函数关系式计算出被测量。例如:电功率:电功率:P=I*V(电流(电流/电压)电压)重力加速度:单摆测量(重力加速度:单摆测量(L:摆的线长,:摆的线长,T:摆动的周期):摆动的周期)光电探测器的种类类 型实 例PN结PN光电二极管(Si,Ge,GaAs)PIN光电二极管(Si)雪崩光电二极管(Si,Ge)光电晶体管(Si)集成光电传感器和光电晶闸管(Si)非PN结光电元件(CdS,CdSe,Se,PbS)热电元件(PZT,LiTaO3,PbTiO3)电子管类光电管,摄像管,光电倍增管其他类色敏传感器固体图象传感器(SI,CCD/MOS/CPD型
7、)位置检测用元件(PSD)光电池光电检测系统n光电检测技术以激光、红外、光纤等现代光电器件为基础,通过对载有被检测物体信号的光辐射(发射、反射、散射、衍射、折射、透射等)进行检测,即通过光电检测器件接收光辐射并转换为电信号。n由输入电路、放大滤波等检测电路提取有用的信息,再经过A/D变换接口输入微型计算机运算、处理,最后显示或打印输出所需检测物体的几何量或物理量。光电检测系统变换电路光电传感光源光学系统被测对象光学变换电信号处理存 储显 示控 制光学变换电路处理光电检测系统n光学变换时域变换:调制振幅、频率、相位、脉宽空域变换:光学扫描光学参量调制:光强、波长、相位、偏振形成能被光电探测器接收
8、,便于后续电学处理的光学信息。n光电变换光电/热电器件(传感器)、变换电路、前置放大将信息变为能够驱动电路处理系统的电信息(电信号的放大和处理)。n电路处理放大、滤波、调制、解调、A/D、D/A、微机与接口、控制。光电检测系统与人操作功能比较光电检测系统与人操作功能比较n被测物体 感觉器官 人脑 手控 n被测物体 光电传感 微机 执行机构n光电传感部分相当于人身的感觉器官 光电检测系统的功能分类n测量检查型测量检查型:几何量几何量:长度、角度、形状、位置、形变、面积、体积、距离。运动量运动量:速度、加速度、振动表面形状表面形状:光洁度、庇病、伤痕工作过程工作过程:湿度、流量、压力、物位、PH值
9、、浓度等机械量机械量:重量、压力、应变、压强电学量电学量:电流、电压、电场、磁场光学量光学量:吸收、反射、透射、光度、色度、波长、光谱n控制跟踪型控制跟踪型跟踪控制:激光制导,红外制导数值控制:自动定位,图形加工形成,数值控制n图象分析型图象分析型图形检测图形分析一、在工业生产领域的应用一、在工业生产领域的应用在在线线检检测测:零零件件尺尺寸寸、产产品品缺缺陷陷、装装配配定定位位.现现代代工工程程装装备备中中,检检测测环环节节的的成成本本约约占占5070%光电检测技术的应用检测技术在汽车中的应用日新月异检测技术在汽车中的应用日新月异发动机:发动机:向发动机的电子控制单元(向发动机的电子控制单元
10、(ECU)提供发动机的工作状况信息,)提供发动机的工作状况信息,对发动机工作状况进行精确控制对发动机工作状况进行精确控制 温度、压力、位置、转速、流量、气体浓度和爆震传感器等温度、压力、位置、转速、流量、气体浓度和爆震传感器等 汽车传感器:汽车电子控制系统的信息源,关键部件,核心技术内容汽车传感器:汽车电子控制系统的信息源,关键部件,核心技术内容 普通轿车:约安装几十到近百只传感器,普通轿车:约安装几十到近百只传感器,豪华轿车:传感器数量可多达二百余只。豪华轿车:传感器数量可多达二百余只。底底 盘:盘:控制变速器系统、悬架系统、动力转向系统、制动防抱死系统等控制变速器系统、悬架系统、动力转向系
11、统、制动防抱死系统等 车速、踏板、加速度、节气门、发动机转速、水温、油温车速、踏板、加速度、节气门、发动机转速、水温、油温 车车 身:身:提高汽车的安全性、可靠性和舒适性等提高汽车的安全性、可靠性和舒适性等 温度、湿度、风量、日照、加速度、车速、测距、图象等温度、湿度、风量、日照、加速度、车速、测距、图象等 二、检测技术在日常生活中的应用二、检测技术在日常生活中的应用 家用电器:家用电器:数码相机、数码摄像机:自动对焦数码相机、数码摄像机:自动对焦-红外测距传感器红外测距传感器数字体温计:接触式数字体温计:接触式-热敏电阻,非接触式热敏电阻,非接触式-红外传感器红外传感器自动感应灯:亮度检测自
12、动感应灯:亮度检测-光敏电阻光敏电阻空调、冰箱、电饭煲:温度检测空调、冰箱、电饭煲:温度检测-热敏电阻、热电偶热敏电阻、热电偶电话、麦克风:话音转换电话、麦克风:话音转换-驻极电容传感器驻极电容传感器遥控接收:红外检测遥控接收:红外检测-光敏二极管、光敏三极管光敏二极管、光敏三极管办公商务:办公商务:可视对讲、可视电话:图像获取可视对讲、可视电话:图像获取-面阵面阵CCDCCD扫描仪:文档扫描扫描仪:文档扫描-线阵线阵CCDCCD红外传输数据:红外检测红外传输数据:红外检测-光敏二极管、光敏三极管光敏二极管、光敏三极管医疗卫生:医疗卫生:电子血压计:血压检测电子血压计:血压检测-压力传感器压力
13、传感器血糖测试仪、胆固醇检测仪血糖测试仪、胆固醇检测仪-离子传感器离子传感器三、检测技术在军事上的应三、检测技术在军事上的应用用美军研制的未来单兵作战武器美军研制的未来单兵作战武器夜视瞄准机系统:非冷却红外传感器技术夜视瞄准机系统:非冷却红外传感器技术激光测距仪:可精确的定位目标。激光测距仪:可精确的定位目标。美国国家导弹防御计划美国国家导弹防御计划-NMD四、检测技术在国防领域的应用四、检测技术在国防领域的应用1.地基拦截器地基拦截器2.早期预警系统早期预警系统3.前沿部署前沿部署(如雷达)如雷达)4.管理与控制系统管理与控制系统5.卫星红外线监测系统卫星红外线监测系统监测系统监测系统:探测
14、和发现敌探测和发现敌人导弹的发射并追踪导人导弹的发射并追踪导弹的飞行轨道;弹的飞行轨道;拦截器:能识别真假弹拦截器:能识别真假弹头,敌友方头,敌友方“阿波罗阿波罗10”:火箭部分火箭部分-2077个传感器个传感器飞船部分飞船部分-1218个传感器个传感器检测参数检测参数-加速度、温度、压力、加速度、温度、压力、振动、流量、应变、振动、流量、应变、声学声学神州飞船:神州飞船:185台(套)仪器装置台(套)仪器装置五、检测技术在航天领域的应用五、检测技术在航天领域的应用学习本课程的目的n了解光电检测系统的基本组成,光电检测技术的特点和发展趋势。n掌握光电检测器件(传感器、光源和成像器件)的工作原理
15、及基本特性,了解它们的应用范围。n能够根据特性参数,选择合适的光电检测器件。熟悉常用器件的性能指标。n掌握了解常用光电检测技术的测量、数据采集、处理和转换的方法,了解所需的元器件、仪器和相关的接口技术。第二节第二节 光电检测技术基础光电检测技术基础n光的基本性质光的基本性质n辐射与光度学量辐射与光度学量n半导体基础知识半导体基础知识n光电效应光电效应光的基本性质光的基本性质n牛顿牛顿微粒说微粒说根据光直线传播现象,对反射和折射做了解释根据光直线传播现象,对反射和折射做了解释不能解释较为复杂的光现象:干涉、衍射和偏振不能解释较为复杂的光现象:干涉、衍射和偏振n波动理论波动理论惠更斯、杨氏和费涅耳
16、等惠更斯、杨氏和费涅耳等解释光的干涉和衍射现象解释光的干涉和衍射现象麦克斯韦电磁理论:光是一种电磁波麦克斯韦电磁理论:光是一种电磁波光的基本性质光的基本性质n光量子说光量子说1900年普朗克在研究黑体辐射时,提出辐射年普朗克在研究黑体辐射时,提出辐射的量子论的量子论1905年,爱因斯坦在解释光电发射现象时提年,爱因斯坦在解释光电发射现象时提出光量子的概念出光量子的概念光子的能量与光的频率成正比光子的能量与光的频率成正比光具有波粒二象性光具有波粒二象性辐射度的基本物理量n辐射能Qe:一种以电磁波的形式发射、传播或接受的能量。单位:焦耳Jn辐射通量e:单位时间内通过一定面积发射、传播或接受的能量,
17、又称辐射功率Pe,是辐射能的时间变化率。单位:瓦n辐射强度e:点辐射源在给定方向上通过单位立体角内的辐射通量。单位:W/Sr 辐射度的基本物理量n辐射照度Ee:投射在单位面积上的辐射通量。单位:W/m2n辐射出射度e:扩展辐射源单位面积所辐射的通量(也称辐射本领)。单位:W/m2n辐射亮度e:辐射表面定向发射的辐射强度。单位:W/m2Srn光谱辐射通量e():辐射通量的光谱密度,即单位波长间隔内的辐射通量。基本辐射度量的名称、符号和定义方程名称符号定义方程单位符号辐射能Q,焦耳J辐射能密度焦耳立方米Jm-3辐射通量,辐射功率瓦特W辐射强度瓦特球面度Wsr-1辐射亮度 瓦特球面度平方米Wm-2
18、sr-1辐射出射度瓦特平方米Wm-2辐射照度瓦特平方米Wm-2光度量的最基本单位n发光强度Iv:发出波长为555nm的单色辐射,在给定方向上的发光强度规定为1cd。单位:坎德拉(Candela)cd,它是国际单位制中七个基本单位之一。n光通量v:光强度为1cd的均匀点光源在1sr内发出的光通量。单位:流明lm。n光照度Ev:单位面积所接受的入射光的量,单位:勒克斯lx,相当于 1平方米面积上接受到1个流明的光通量。光度的基本物理量n光度量和辐射度量的定义、定义方程是一一对应的。辐射度量下标为e,例如Qe,e,Ie,Me,Ee,光度量下标为v,Qv,v,Iv,Lv,Mv,Ev。n光度量只在可见光
19、区(nm)才有意义。n辐射度量和光度量都是波长的函数。晴天阳光直射地面照度约为100000lx晴天背阴处照度约为10000lx晴天室内北窗附近照度约为2000lx晴天室内中央照度约为200lx晴天室内角落照度约为20lx阴天室外50500lx阴天室内550lx月光(满月)2500lx日光灯5000lx电视机荧光屏100lx阅读书刊时所需的照度5060lx在40W白炽灯下1m远处的照度约为30lx晴朗月夜照度约为黑夜半导体基础知识半导体基础知识n导体、半导体和绝缘体n半导体的特性n半导体的能带结构n本征半导体与杂质半导体n平衡和非平衡载流子n载流子的输运过程n半导体的光吸收nPN结第三节 光电检
20、测器件9月月13号号 上午上午9点点 16号楼门口集合号楼门口集合 参观欧姆龙公司参观欧姆龙公司 半导体的特性n半导体电阻温度系数一般是负的,而且对温度变半导体电阻温度系数一般是负的,而且对温度变化非常敏感。根据这一特性,热电探测器件。化非常敏感。根据这一特性,热电探测器件。n导电性受极微量杂质的影响而发生十分显著的变导电性受极微量杂质的影响而发生十分显著的变化。化。(纯净(纯净Si在室温下电导率为在室温下电导率为5*10-6/(欧姆欧姆厘米厘米)。掺。掺入硅原子数百万分之一的杂质时,电导率为入硅原子数百万分之一的杂质时,电导率为2/(欧姆欧姆厘米厘米)n半导体导电能力及性质受光、电、磁等作用
21、的影半导体导电能力及性质受光、电、磁等作用的影响。响。本征和杂质半导体n本征半导体就是没有杂质和缺陷的半导体。n在绝对零度时,价带中的全部量子态都被电子占据,而导带中的量子态全部空着。n在纯净的半导体中掺入一定的杂质,可以显著地控制半导体的导电性质。n掺入的杂质可以分为施主杂质和受主杂质。n施主杂质电离后成为不可移动的带正电的施主离子,同时向导带提供电子,使半导体成为电子导电的n型半导体。n受主杂质电离后成为不可移动的带负电的受主离子,同时向价带提供空穴,使半导体成为空穴导电的p型半导体。平衡和非平衡载流子n处于热平衡状态的半导体,在一定温度下,载流子浓度一定。这种处于热平衡状态下的载流子浓度
22、,称为平衡载流子浓度。n半导体的热平衡状态是相对的,有条件的。如果对半导体施加外界作用,破坏了热平衡的条件,这就迫使它处于与热平衡状态相偏离的状态,称为非平衡状态。n处于非平衡状态的半导体,其载流子浓度也不再是平衡载流子浓度,比它们多出一部分。比平衡状态多出来的这部分载流子称为非平衡载流子。非平衡载流子的产生n光注入光注入:用光照使得半导体内部产生非平衡载流子。n当光子的能量大于半导体的禁带宽度时,光子就能把价带电子激发到导带上去,产生电子空穴对,使导带比平衡时多出一部分电子,价带比平衡时多出一部分空穴。n产生的非平衡电子浓度等于价带非平衡空穴浓度。n光注入产生非平衡载流子,导致半导体电导率增
23、加。n其它方法其它方法:电注入、高能粒子辐照等。半导体对光的吸收n物体受光照射,一部分光被物体反射,一部分光被物体吸收,其余的光透过物体。n吸收包括:本征吸收、杂质吸收、自由载流子吸收、激子吸收、晶体吸收n本征吸收由于光子作用使电子由价带跃迁到导带n只有在入射光子能量大于材料的禁带宽度时,才能发生本征激发PN结n将P型和N型半导体采用特殊工艺制造成半导体半导体内有一物理界面,界面附近形成一个极薄的特殊区域,称为PN结。n是二极管、三极管、集成电路和其它结型光电器件最基本的结构单元。PN结的伏安特性曲线 对应表:光电效应n光照射到物体表面上使物体发射电子、或导光照射到物体表面上使物体发射电子、或
24、导电率发生变化、或产生光电动势等,这种因电率发生变化、或产生光电动势等,这种因光照而引起物体电学特性发生改变统称为光光照而引起物体电学特性发生改变统称为光电效应电效应n光电效应包括外光电效应和内光电效应光电效应包括外光电效应和内光电效应n外光电效应外光电效应:物体受光照后向外发射电子:物体受光照后向外发射电子多发生多发生于金属和金属氧化物于金属和金属氧化物n内光电效应内光电效应:物体受到光照后所产生的光电子只在物:物体受到光照后所产生的光电子只在物质内部而不会逸出物体外部质内部而不会逸出物体外部多发生在半导体多发生在半导体n内光电效应又分为光电导效应和光生伏特效应内光电效应又分为光电导效应和光
25、生伏特效应n光电导效应光电导效应:半导体受光照后,内部产生光生载流子,:半导体受光照后,内部产生光生载流子,使半导体中载流子数显著增加而电阻减少的现象使半导体中载流子数显著增加而电阻减少的现象n光生伏特效应光生伏特效应:光照在半导体:光照在半导体PN结或金属结或金属半导体接半导体接触上时,会在触上时,会在PN结或金属结或金属半导体接触的两侧产生光半导体接触的两侧产生光生电动势。生电动势。n PN结的光生伏特效应:当用适当波长的光照射结的光生伏特效应:当用适当波长的光照射PN结结时,由于内建场的作用(不加外电场),光生电子拉时,由于内建场的作用(不加外电场),光生电子拉向向n区,光生空穴拉向区,
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