光电检测技术第三章 精.ppt
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1、光电检测技术第三章 第1页,本讲稿共124页光电效应光电效应n光照射到物体表面上使物体发射电子、或导电率光照射到物体表面上使物体发射电子、或导电率发生变化、或产生光生电动势等,这种因光照而发生变化、或产生光生电动势等,这种因光照而引起物体电学特性发生改变统称为光电效应引起物体电学特性发生改变统称为光电效应n光电效应包括光电效应包括外光电效应外光电效应和和内光电效应内光电效应3.1光电探测器的原理第2页,本讲稿共124页n外光电效应外光电效应:物体受光照后向外发射电子:物体受光照后向外发射电子多多发生于金属和金属氧化物发生于金属和金属氧化物n内光电效应内光电效应:物体受到光照后所产生的光电子:物
2、体受到光照后所产生的光电子只在物质内部而不会逸出物体外部只在物质内部而不会逸出物体外部多发生多发生在半导体在半导体光电效应光电效应第3页,本讲稿共124页n光光电电导导效效应应:半半导导体体受受光光照照后后,内内部部产产生生光光生生载载流流子子,使使半半导导体中载流子数显著增加而电阻减少的现象体中载流子数显著增加而电阻减少的现象n光光生生伏伏特特效效应应:光光照照在在半半导导体体PN结结或或金金属属半半导导体体接接触触上上时时,会在会在PN结或金属结或金属半导体接触的两侧产生光生电动势。半导体接触的两侧产生光生电动势。(1)PN结结的的光光生生伏伏特特效效应应:当当用用适适当当波波长长的的光光
3、照照射射PN结结时时,由由于于内内建建场场的的作作用用(不不加加外外电电场场),光光生生电电子子拉拉向向n区区,光光生生空空穴拉向穴拉向p区,相当于区,相当于PN结上加一个正电压。结上加一个正电压。(2)半半导导体体内内部部产产生生电电动动势势(光光生生电电压压);如如将将PN结结短短路路,则则会出现电流(光生电流)。会出现电流(光生电流)。内光电效应第4页,本讲稿共124页光热效应n光热效应光热效应:材料受光照射后,光子能量与晶格相互作用,振动加剧,温度升高,材料的性质发生变化n热释电效应热释电效应:介质的极化强度随温度变化而变化,引起表面电荷变化的现象n辐射热计效应辐射热计效应:入射光的照
4、射使材料由于受热而造成电阻率变化的现象n温差电效应温差电效应:由两种材料制成的结点出现温差而在两结点间产生电动势,回路中产生电流第5页,本讲稿共124页光电检测器件的类型光电检测器件的类型n光电检测器件是利用物质的光电效应把光信号转换成电信号的器件。n光电检测器件分为两大类:n光子(光电子)检测器件n热电检测器件第6页,本讲稿共124页光电检测器件光电检测器件光子器件光子器件热电器件热电器件真空器件真空器件固体器件固体器件光电管光电倍增管真空摄像管变像管像增强管光敏电阻光电池光电二极管光电三极管光纤传感器电荷耦合器件CCD热电偶/热电堆热辐射计/热敏电阻热释电探测器第7页,本讲稿共124页半导
5、体光电器件半导体光电器件n光电导器件(内光电效应)光电导器件(内光电效应)光敏电阻(单晶型、多晶型、合金型等)光敏电阻(单晶型、多晶型、合金型等)n光伏器件光伏器件 光电池光电池 光电二极管光电二极管/三极管三极管真空光电器件(外光电效应)真空光电器件(外光电效应)n光电管光电管n光电倍增管光电倍增管热电检测器件热电检测器件n热敏电阻热敏电阻n热电偶和热电堆热电偶和热电堆n热释电探测器件热释电探测器件光电器件的分类第8页,本讲稿共124页光电检测器件的特点光子器件热电器件响应波长有选择性,一般有截止波长,超 过该波长,器件无响应。响应波长无选择性,对可见光到远红外的各种波长的辐射同样敏感响应快
6、,吸收辐射产生信号需要的时间短,一般为纳秒到几百微秒响应慢,一般为几毫秒第9页,本讲稿共124页器件的基本特性参数器件的基本特性参数n响应特性n噪声特性n量子效率n线性度n工作温度第10页,本讲稿共124页一、响应特性一、响应特性1.响应度(或称灵敏度):响应度(或称灵敏度):是光电探测器输出信号与输入光功率之间关系的度量。描述的是光电探测器件的光电转换效率。n响应度是随入射光波长变化而变化的n响应度分电压响应率和电流响应率第11页,本讲稿共124页n电压响应率 光电探测器件输出电压与入射光功率之比n电流响应率 光电探测器件输出电流与入射光功率之比第12页,本讲稿共124页.光谱响应度光谱响应
7、度:探测器在波长为的单色光照射下,输出电压或电流与入射的单色光功率之比3.积分响应度积分响应度:检测器对各种波长光连续辐射量的反应程度第13页,本讲稿共124页.响响应应时时间间:响应时间是描述光电探测器对入射光响应快慢的一个参数。n上升时间:入射光照射到光电探测器后,光电探测器输出上升到稳定值所需要的时间。n下降时间:入射光遮断后,光电探测器输出下降到稳定值所需要的时间。第14页,本讲稿共124页n光电探测器响应率与入射调制频率的关系 为调制频率为f 时的响应率 为调制频率为零时的响应率 为时间常数(等于RC).频率响应频率响应:光电探测器的响应随入射光的调制频率而变化的特性称为频率响应n由
8、于光电探测器信号产生和消失存在着一个滞后过程,所以入射由于光电探测器信号产生和消失存在着一个滞后过程,所以入射光的调制频率对光电探测器的响应会有较大的影响。光的调制频率对光电探测器的响应会有较大的影响。第15页,本讲稿共124页:上限截止频率时间常数决定了光电探测器频率响应的带宽第16页,本讲稿共124页二、噪声特性二、噪声特性n在一定波长的光照下光电探测器输出的电信号并不是平直的,而是在平均值上下随机地起伏,它实质上就是物理量围绕其平均值的涨落现象。n用均方噪声来表示噪声值大小第17页,本讲稿共124页n噪声在实际的光电探测系统中是极其有害的。n由于噪声总是与有用信号混在一起,因而影响对信号
9、特别是微弱信号的正确探测。n一个光电探测系统的极限探测能力往往受探测系统的噪声所限制。n所以在精密测量、通信、自动控制等领域,减小和消除噪声是十分重要的问题。第18页,本讲稿共124页光电探测器常见的噪声光电探测器常见的噪声n热噪声n散粒噪声n产生-复合噪声n1/f噪声第19页,本讲稿共124页1、热噪声热噪声n或称约翰逊噪声,即载流子无规则的热运动造成的噪声。n导体或半导体中每一电子都携带着电子电量作随机运动(相当于微电脉冲),尽管其平均值为零,但瞬时电流扰动在导体两端会产生一个均方均方根电压根电压,称为热噪声电压热噪声电压。n热噪声存在于任何电阻中,热噪声与温度成正比,与频率无关,热噪声又
10、称为白噪声。第20页,本讲稿共124页2、散粒噪声散粒噪声n散粒噪声:入射到光探测器表面的光子是随机的,光电子从光电阴极表面逸出是随机的,PN结中通过结区的载流子数也是随机的。n散粒噪声也是白噪声,与频率无关。n散粒噪声是光电探测器的固有特性,对大多数光电探测器的研究表明,散粒噪声具有支配地位。n例如光伏器件的PN结势垒是产生散粒噪声的主要原因。第21页,本讲稿共124页3、产生、产生-复合噪声复合噪声n半导体受光照,载流子不断产生-复合。n在平衡状态时,在载流子产生和复合的平均数是一定的n但在某一瞬间载流子的产生数和复合数是有起伏的n载流子浓度的起伏引起半导体电导率的起伏第22页,本讲稿共1
11、24页4、1/f噪声噪声n或称闪烁噪声或低频噪声。n噪声的功率近似与频率成反比n多数器件的1/f噪声在200300Hz以上已衰减到可忽略不计。第23页,本讲稿共124页、信噪比、信噪比n信噪比是判定噪声大小的参数。n是负载电阻上信号功率与噪声功率之比n若用分贝(dB)表示,为第24页,本讲稿共124页、噪声等效功率、噪声等效功率(NEP)n定义:信号功率与噪声功率比为1(SNR=1)时,入射到探测器件上的辐射通量(单位为瓦)。n这时,投射到探测器上的辐射功率所产生的输出电压(或电流)等于探测器本身的噪声电压(或电流)n一般一个良好的探测器件的NEP约为10-11W。nNEP越小,噪声越小,器件
12、的性能越好。第25页,本讲稿共124页n噪声等效功率是一个可测量的量。n设入射辐射的功率为P,测得的输出电压为U0n然后除去辐射源,测得探测器的噪声电压为UNn则按比例计算,要使U0UN,的辐射功率为第26页,本讲稿共124页、探测率与归一化探测率、探测率与归一化探测率探测率D定义为噪声等效功率的倒数 经过分析,发现NEP与检测元件的面积Ad和放大 器带宽f 乘积的平方根成正比归一化探测率D*,即 D*与探测器的敏感面积、放大器的带宽无关。第27页,本讲稿共124页三、量子效率三、量子效率()n量子效率:在某一特定波长上,每秒钟内产生的光电子数与入射光量子数之比。n对理想的探测器,入射一个光量
13、子发射一个电子,=1n实际上,A。由于不同材料具有不同的逸出功,因此对每一种阴极材料,入射光都有一个确定的频率限,当入射光的频率低于此频率限时,不论光强多大,都不会产生光电子发射,此频率限称为“红限”。相应的波长K为:式中,c为光速;A为逸出功。光电管工作原理第34页,本讲稿共124页光电管的类型光电管的类型 中心阴极型中心阴极型:这种类型由于阴极面积很小,受照光通量不大,仅适用于低照度探测和光子初速度分布的测量。中心阳极型:中心阳极型:这种类型由于阴极面积大,对入射聚焦光斑的大小限制不大;又由于光电子从光阴极飞向阳极的路程相同,电子渡越时间的一致性好;其缺点是光电子接收特性差,需要较高的阳极
14、电压。半圆柱面阴极型:半圆柱面阴极型:这种结构有利于增加极间绝缘性能和减少漏电流。平行平板极型:平行平板极型:这种类型的特点是光电子从阴极飞向阳极基本上保持平行直线的轨迹,电极对于光线入射的一致性好。带圆筒平板阴极型:带圆筒平板阴极型:它的特点是结构紧凑、体积小、工作稳定。第35页,本讲稿共124页光电管结构光电管结构第36页,本讲稿共124页光电管测量电路图光电管测量电路图 光光电电管管正正常常工工作作时时,阳阳极极电电位位高高于于阴阴极极,如如图图所所示示。在在入入射射光光频频率率大大于于“红红限限”的的前前提提下下,从从阴阴极极表表面面逸逸出出的的光光电电子子被被具具有有正正电电位位的的
15、阳阳极极所所吸吸引引,在在光光电电管管内内形形成成空空间间电电子子流流,称称为为光光电电流流。此此时时若若光光强强增增大大,轰轰击击阴阴极极的的光光子子数数增增多多,单单位位时时间间内内发发射射的的光光电电子子数数也也就就增增多多,光光电电流流变变大大。电电流流I和和电电阻阻RL上上的的电电压压降降U0就就和和光光强强成成函函数数关关系系,从从而而实实现现光光电电转转换。换。第37页,本讲稿共124页n伏安特性n光照特性n光谱特性n响应时间n峰值探测率n温度特性光电管的特性参数光电管的特性参数 第38页,本讲稿共124页1.伏安特性在一定的光照射下,对光电器件的阴极所加电压与阳极所产生的电流之
16、间的关系称为光电管的伏安特性。光电管的伏安特性如图所示。它是应用光电传感器参数的主要依据。光电管的伏安特性5020lm40lm60lm80lm100lm120lm100150200024681012阳极与末级倍增极间的电压/VIA/A第39页,本讲稿共124页 2.2.光照特性光照特性当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定时,光通量与光电流之间的关系为光电管的光照特性。其特性曲线如图所示。曲线1表示氧铯阴极光电管的光照特性,光电流I与光通量成线性关系。曲线2为锑铯阴极的光电管光照特性,它成非线性关系。光电管的光照特性255075100200.51.52.0/1mIA/A1.02.51第40页,本
17、讲稿共124页3.灵敏度说明:阴极材料不同的光电管,具有不同的红限,因此适用于不同的光谱范围。此外,即使入射光的频率大于红限,并保持其强度不变,但阴极发射的光电子数量还会随入射光频率的变化而改变,即同一种光电管对不同频率的入射光灵敏度并不相同。光电管的这种光谱特性,要求人们应当根据检测对象是紫外光、可见光还是红外光去选择阴极材料不同的光电管,以便获得满意的灵敏度。光照特性曲线的斜率(光电流与入射光光通量之间比)称为光电管的灵敏度。第41页,本讲稿共124页 光电倍增管主要由光阴极K、倍增极D和阳极A组成。分类:端窗式端窗式(透射式阴极,通过管壳的端面接收入射光)侧窗式侧窗式(反射式阴极,通过管
18、壳的侧面接收入射光)光电倍增管光电倍增管第42页,本讲稿共124页光电倍增管光电倍增管第43页,本讲稿共124页光电倍增管的基本电路光电倍增管的基本电路 变化缓慢的入射光通量:电路往往将电源正端接地,并且输出可以直接与放大器输入端连接,从而使它能够响应。当入射光通量为脉冲通量时,则应将电源的负端接地,因为光电倍增管的阴极接地比阳极接地有更低的噪声,此时输出端应接入隔离电容,同时各倍增极的并联电容亦应接入,以稳定脉冲工作时的各级工作电压,稳定增益并防止饱和。第44页,本讲稿共124页光电倍增极材料光电倍增极材料要求:耐撞击、稳定性好、使用温度高等n锑化铯:锑化铯:具有高的倍增系数,但使用温度不超
19、过60,在倍增电流较大时,倍增系数显著下降。n银镁合金:银镁合金:倍增系数高,稳定性好,使用温度不超过150,可用于电流较大的倍增管中。n铜铍合金和负电子亲和力倍增材料:铜铍合金和负电子亲和力倍增材料:减少倍增级数,提高光电管的频率响应和降低散粒噪声。第45页,本讲稿共124页n阴极灵敏度 红外灵敏度来表示:红光灵敏度与白光灵敏度之比n阳极灵敏度 阳极输出电流与阴极光通量之比光电倍增管特性参数1.灵敏度第46页,本讲稿共124页2.暗电流 光电倍增管接上工作电压后,在没有光照的情况下阳极仍会有一个很小的电流输出,此电流即称为暗电流。阳极输出电流:暗电流和信号电流说明:暗电流的存在决定了光电倍增
20、管可测量光信号的最小值。一只好的光电倍增管,要求其暗电流小并且稳定。第47页,本讲稿共124页3.放大倍数放大倍数 在一定的工作电压下,光电倍增管的阳极倍增电流和阴极信号电流之比成为放大倍数或电流增益G:第48页,本讲稿共124页103104105106255075100125极间电压/V放大倍数光电倍增管的特性曲线第49页,本讲稿共124页4.光谱响应度光谱响应度 光谱响应率:光电倍增管对不同波长的光入射的响应能力是不相同的。在给定波长的单位辐射功率照射下所产生的阳极电流大小称为光电倍增管的绝对光谱响应率,表示为:测量S()十分复杂,因此在一般测量中都是测量它的相对值。为此,可以把S()中的
21、最大值当作一个单位对所有S()值进行归一化,这时就得到s()称为光电倍增管的相对光谱响应率,它与波长的关系曲线称为光电倍增管的相对光谱响应曲线。s()1,是一个无量纲的量,只表示光电倍增管的光谱响应特征。第50页,本讲稿共124页5.光照特性与直线最大偏离是3%10131010109107105103101在 45mA处饱和10141010106102光通量/1m阳极电流/A第51页,本讲稿共124页一、光敏电阻一、光敏电阻n光敏电阻是光电导型器件。n光敏电阻材料:主要是硅、锗和化合物半导体,例如:硫化镉(CdS),锑化铟(InSb)等。硫化镉(CdS),硫化铅(PbS),锑化铟(InSb),
22、碲镉汞(HgCdTe),碲锡铅(PbSnTe).3.3 光电导探测器件第52页,本讲稿共124页光敏电阻的特点:光敏电阻的特点:n光谱响应范围宽(特别是对于红光和红外辐射);n偏置电压低,工作电流大;n动态范围宽,既可测强光,也可测弱光;n光电导增益大,灵敏度高;n无极性,使用方便;n在强光照射下,光电线性度较差n光电驰豫时间较长,频率特性较差第53页,本讲稿共124页光敏光敏电阻电阻(LDR)(LDR)和它的和它的符号符号符号第54页,本讲稿共124页1.1.光敏电阻的工作原理光敏电阻的工作原理n光敏电阻结构:在一块均匀光电导体两端加上电极,光敏电阻结构:在一块均匀光电导体两端加上电极,贴在
23、硬质玻璃、云母、高频瓷或其他绝缘材料基板贴在硬质玻璃、云母、高频瓷或其他绝缘材料基板上,两端接有电极引线,封装在带有窗口的金属或上,两端接有电极引线,封装在带有窗口的金属或塑料外壳内。(塑料外壳内。(如下图如下图)n工作机理:当入射光子使半导体中的电子由价带跃迁工作机理:当入射光子使半导体中的电子由价带跃迁到导带时,导带中的电子和价带中的空穴均参与导电,到导带时,导带中的电子和价带中的空穴均参与导电,其阻值急剧减小,电导增加。其阻值急剧减小,电导增加。第55页,本讲稿共124页入射光第56页,本讲稿共124页本征型和杂质型光敏电阻本征型和杂质型光敏电阻n本征型光敏电阻:当入射光子的能量等于或大
24、于半导体材料的禁带宽度Eg时,激发一个电子空穴对,在外电场的作用下,形成光电流。n杂质型光敏电阻:对于型半导体,当入射光子的能量等于或大于杂质电离能时,将施主能级上的电子激发到导带而成为导电电子,在外电场的作用下,形成光电流。n本征型用于可见光长波段可见光长波段,杂质型用于红外波段红外波段。价带导带电子空穴Eg价带导带电子空穴施主第57页,本讲稿共124页光电导与光电流光电导与光电流n光敏电阻两端加电压(直流或交流)无光照时,阻值(暗电阻暗电阻)很大,电流(暗电流暗电流)很小;光照时,光生载流子迅速增加,阻值(亮电阻亮电阻)急剧减少在外场作用下,光生载流子沿一定方向运动,形成光电流(亮电亮电流
25、流)。n光电流:亮电流和暗电流之差;I光=IL-Idn光电导:亮电流和暗电流之差;g=gL-gd第58页,本讲稿共124页光敏电阻的工作特性光敏电阻的工作特性n光电特性光电特性n伏安特性伏安特性n时间响应和频率特性时间响应和频率特性n温度特性温度特性第59页,本讲稿共124页n光电特性光电特性:光电流与入射光照度的关系:(1)弱光时,弱光时,=1,光电流与照度成线性关系,光电流与照度成线性关系(2)强光时,强光时,=0.5,光电流与照度成抛物线,光电流与照度成抛物线光照增强的同时,载流子浓度不断的增加,同时光敏电光照增强的同时,载流子浓度不断的增加,同时光敏电阻的温度也在升高,从而导致载流子运
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