《多晶硅片外观检验》PPT课件.ppt

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1、多晶硅片外观检验方法培训1多晶硅片外观主要缺陷项目项目内容内容易检方位易检方位晶体微晶、雪花晶、分布晶硅片正面完整度废片、缺角、缺口、裂纹、侧面表面线痕、崩边、污片、穿孔、凹坑、色差硅片正面、侧面21.1.穿上工作服，按规定戴上手套、口罩、头罩。穿上工作服，按规定戴上手套、口罩、头罩。按规范穿戴戴两层手套32.翻转片盒，垂直提起片盒，取出硅片。翻转片盒取出硅片43.检查四边，挑选：缺口、缺角、碎片、废片、崩边、裂纹。检查四边挑出不良品54.将硅片展开：整体检查硅片边缘的线痕、崩边、污片情况。展 开污 片65.扇形打开，逐片检验硅片正反面：微晶、雪花晶、分布晶线痕、污片、凹坑、崩边、裂纹、穿孔、

2、色差、废片(注意：此环节一定要每一片从上而下，自左而右认真检验，25PCS一面检验完毕，再打开检验另一面）微 晶展开，逐片检验76.左手执片，右手撮动硅片数数，25PCS1个单位，数好放置于备有太阳能级垫片纸的洁净泡沫盒内。数 数 25PCS放置87.检验合格后4个25片，放一打，再整体检验四边，有无崩边、缺口等，数量补齐放置盒中。复检四边 挑 出 崩 边 100PCS98.套上塑料袋、加上白卡和外袋套上内层PVC袋放入装有白卡的外袋10归入一个泡沫盒，并称重确认数量10.确认好的硅片送至包装区包装.300PCS称重、计数11小小 结结结合实际操作结合实际操作,个人总结出多晶硅片外观检验的动作要点为个人总结出多晶硅片外观检验的动作要点为:1提2取，3看四边,4查边缘；5检表面分正反；6数二五（25pcs)归入盒；7要四个二五(25pcs)并成百(100pcs)；8（把）好关口再复检(四边）；套好袋子再加袄(白卡加塑料袋）；最后称重并计数（核对数据）。1213