《传感器概论》PPT课件.ppt

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1、传感器与感器与检测技技术E_mail:主主讲人：姚人：姚 兰本本课程的内容与要求程的内容与要求 阐述述传感器与感器与检测技技术的基本知的基本知识，常用，常用传感感器的工作原理、基本器的工作原理、基本结构、主要性能、构、主要性能、测量量电路路和和应用方法，介用方法，介绍检测系系统中的信号中的信号处理、干理、干扰抑制技抑制技术和若干新型和若干新型传感器感器。掌握掌握经典典传感器的感器的转换原理、基本特性、信号原理、基本特性、信号调节电路和路和设计原理，原理，最最终具具备结合工程合工程应用用组建自建自动检测系系统的能力。的能力。本本课程的考核方法与教材程的考核方法与教材期末考期末考试成成绩占占80%

2、80%，平，平时作作业、考勤和、考勤和实验占占20%20%。教材：教材：传感器原理及感器原理及应用王化祥用王化祥编著著 天津大学出版社。天津大学出版社。参考参考书：1.1.感感测技技术基基础（第二版）（第二版）电子工子工业出版社出版社 孙传友友、孙晓斌斌编著著2.2.传感器与信号感器与信号调理理（第二版）清（第二版）清华大学版出大学版出 版社，阿雷尼，版社，阿雷尼，韦伯斯特伯斯特编著，著，张伦译。课程内容程内容1.绪论2.电阻式阻式传感器感器3.变阻抗式阻抗式传感器感器4.光光电式式传感器感器5.电动势式式传感器感器6.温度温度检测7.流量流量检测8.成分成分检测9.新技新技术发展展基本概念、

3、特性和基本概念、特性和标定定经典典传感器感器常用常用检测技技术未来未来传感器的感器的发展展第一章第一章 绪论教学目教学目标：1.1.基本知基本知识:概念，概念，结构，构，发展；展；2.2.误差分析和数据差分析和数据处理；理；3.3.传感器静感器静态特性和特性和标定方法。定方法。绪论绪论 为了了解生活，生了了解生活，生产和科研等方面的情况，利用各种和科研等方面的情况，利用各种物理、化学效物理、化学效应，选择合适的方法与装置，合适的方法与装置，对周周围环境境进行定性或定量掌握的一系列技行定性或定量掌握的一系列技术措施。措施。什么是传感器技术？什么是传感器技术？技术措施包含哪些方面？技术措施包含哪些

4、方面？对现场信号获取，信号的转换、放大、处理、传输对现场信号获取，信号的转换、放大、处理、传输以及显示等。以及显示等。思考：传感器的作用？思考：传感器的作用？一、一、传感器的地位和作用传感器的地位和作用第一节第一节 自动检测技术概述自动检测技术概述传感器是获取信息的主要途径与手段，它在工业生产传感器是获取信息的主要途径与手段，它在工业生产中起工业耳目的作用。中起工业耳目的作用。传感技术与通信技术、计算机技术构成信息产业的三传感技术与通信技术、计算机技术构成信息产业的三大支柱。传感技术主要负责信息采集，是三大支柱大支柱。传感技术主要负责信息采集，是三大支柱的基础的基础。绪论绪论什么是传感器？什么

5、是传感器？航天航天农业农业交通交通医学医学绪论绪论检测技术的应用检测技术的应用检测技术的应用检测技术的应用绪论绪论微波微波检测器器 流程工流程工业设备运行状运行状态监控控 在电力、冶金、石化、化工等流程工业中，生产线上在电力、冶金、石化、化工等流程工业中，生产线上设备运行状态关系到整个生产线流程。通常建立设备运行状态关系到整个生产线流程。通常建立24小时在小时在线监测系统。线监测系统。石化企业输油管道、储油罐等压力容器的破损和泄露检测。石化企业输油管道、储油罐等压力容器的破损和泄露检测。海浪振动海浪振动检测系统检测系统浮标浮标深海地沟深海地沟家庭与家庭与办公自公自动化中的化中的应用用全自动洗衣

6、机中的传全自动洗衣机中的传感器：衣物重量传感感器：衣物重量传感器，衣质传感器，水器，衣质传感器，水温传感器，水质传感温传感器，水质传感器，透光率光传感器器，透光率光传感器(洗净度洗净度)液位传感器，液位传感器，电阻传感器电阻传感器(衣物烘衣物烘干检测干检测)。指纹传感器指纹传感器透光率传感器透光率传感器温湿度传感器温湿度传感器温度传感器温度传感器鼠标鼠标:光电位移传感器光电位移传感器摄象头摄象头:CCD传感器传感器声位笔声位笔:超声波传感器超声波传感器麦克风麦克风:电容传声器电容传声器PC机中的传感器机中的传感器绪论绪论二、自动检测系统的组成 自动检测技术系统原理框图自动检测技术系统原理框图能

7、将温度转换为电压的传感器能将温度转换为电压的传感器热电偶热电偶传感器：传感器：能将被测的非电量变换成电量的器件。能将被测的非电量变换成电量的器件。信号信号处理理电路路功能：功能：主要是将多种主要是将多种传感器的感器的输出信号出信号进行放大，行放大，转换成易于接受、成易于接受、显示、示、传输、控制的各种、控制的各种电压、电流信号。流信号。方法：方法：通常有各种交、直流通常有各种交、直流电桥，阻抗，阻抗匹配，放大匹配，放大电路、路、检波、整流，波、整流，A/D,D/AA/D,D/A等各种等各种电子子线路路。常用的常用的显示器有四示器有四类：模模拟显示、数字示、数字显示、示、图象象显示及示及记录仪等

8、。等。特点特点：直观直观数字式仪表数字式仪表特点：特点：准确，但最准确，但最后一位经常后一位经常跳动不止。跳动不止。热敏电阻热敏电阻 LED亮度高、耐振动；亮度高、耐振动；LCD耗电省、集成度高，耗电省、集成度高，但不利于夜间观察。但不利于夜间观察。LED、LCD的特点：图像显示图像显示 特点特点能显示复杂的能显示复杂的图形和曲线，图形和曲线，但价格昂贵。但价格昂贵。示波器示波器记录仪记录仪 主要主要用来记录用来记录被检测对被检测对象的动态象的动态变化过程。变化过程。数据处理装置数据处理装置主要是指计主要是指计算机，将复算机，将复杂的系统用杂的系统用到频谱分析到频谱分析仪。仪。执行机构执行机构

9、继电器插座继电器插座是指各种继电器，电是指各种继电器，电磁铁、电磁阀门、电磁铁、电磁阀门、电磁调节阀、伺服电动磁调节阀、伺服电动机等，它们在电路中机等，它们在电路中是起通断、控制、调是起通断、控制、调节、保护等作用的电节、保护等作用的电器设备。器设备。电磁阀门的控电磁阀门的控制线圈制线圈 加上额定电压后，电加上额定电压后，电磁阀门导通，磁阀门导通，被控对象可以是液体或气体。电磁阀门电磁阀门 电磁阀门只有通电磁阀门只有通断断两种状态。两种状态。流体流体三、三、检测技技术的特点的特点 一般被一般被测量（非量（非电量）最量）最终通通过各种各种电力力测量手量手段段转换成易于接受、成易于接受、显示、示、

10、传输和利用的和利用的电信号，信号，其其优点在于：点在于：能能连续自自动对被被测量量进行行测量、量、记录；电子装置精度好、响子装置精度好、响应快，能快，能测各种静各种静态、动态和和瞬瞬态信号；信号；电信号便于信号便于远距离距离传输和集中控制；和集中控制；能方便与能方便与计算机算机连接，形成完善的接，形成完善的计算机系算机系统；1.1.提高性能提高性能2.2.应用新技用新技术和新的物理效和新的物理效应，扩大大检测领域域3.3.发展集成化、功能化的展集成化、功能化的传感器感器4.4.采用采用计算机技算机技术，使，使检测技技术智能化智能化5.5.发展网展网络化化传感器及感器及检测系系统四、检测技术的发

11、展趋势四、检测技术的发展趋势1.提高测量精度提高测量精度 数字电压、欧姆表数字电压、欧姆表 将量将量程切程切换到到2V2V时，最，最小小显示示值为1V1V 2.应用新技术和新的物理效应，应用新技术和新的物理效应，扩大检测领域扩大检测领域月球车月球车 3.3.发展集成发展集成化、功能化的传化、功能化的传感器感器 可拍照的手可拍照的手机机4.4.采用计算机技术，使检测技术智能化采用计算机技术，使检测技术智能化 面部面部 识别技术识别技术 5.5.发展网络化传感器及检测系统发展网络化传感器及检测系统第二节第二节 传感器的概述传感器的概述国家标准（国家标准（GB7665-87）中传感器（）中传感器（T

12、ransducer/Sensor）的定义：）的定义：能够感受规定的被测量并按照能够感受规定的被测量并按照一定规律一定规律转换成转换成可用输出信号的器件或装置。可用输出信号的器件或装置。传感（检测）原理：传感器工作时所依据的物传感（检测）原理：传感器工作时所依据的物 理效应、化学反应、生物反应等机理。理效应、化学反应、生物反应等机理。绪论绪论一、一、传感器的定义传感器的定义传感器是感器是测量装置，是完成量装置，是完成检测任任务所需要的；所需要的；输入量是某一被入量是某一被测量，可以是物理量量，可以是物理量(也可以是化学量、也可以是化学量、生物量等生物量等)；输出量是某种物理量（便于出量是某种物理

13、量（便于传输、转换、处理、理、显示等，示等，可以是气、光、可以是气、光、电物理量），主要是物理量），主要是电物理量；物理量；输出出输入有入有对应关系，且关系，且应有一定的精确程度。有一定的精确程度。DRYB-5-ADRYB-5-A型力传感器型力传感器二、二、传感器的组成传感器的组成 敏感元件敏感元件转换元件转换元件测量电路测量电路被测量被测量电量电量敏感元件敏感元件:如如力型力型传感器感器的的弹性元件性元件将将力力变转为应变（物（物体由于外因而体由于外因而变形形时，在物体内各部分之，在物体内各部分之间产生相互作用生相互作用的内力）。的内力）。转换元件元件：如：如力型力型传感器感器的的电阻阻应变

14、计将将机械机械应 变转变为电阻阻变化量化量。测量量电路：路：如如力型力型传感器感器由由电阻阻应变计组成的成的 电桥和放大和放大电路，路，输出出电压或或电流信号。流信号。绪论绪论电参数电参数按被测物理量分类按被测物理量分类常见的被测物理量常见的被测物理量机械量机械量:长度长度,厚度厚度,位移位移,速度速度,加速度加速度,旋转角旋转角,转数转数,质量质量,重量重量,力力,压力压力,真空度真空度,力矩力矩,风速风速,流速流速,声声:声压声压,噪声噪声.磁磁:磁通磁通,磁场磁场.温度温度:温度温度,热量热量,比热比热.光：光：亮度，色彩亮度，色彩三、三、传感器的分类传感器的分类 能量转换型能量转换型:

15、直接由被测对象输入能量使其工作直接由被测对象输入能量使其工作.例如例如:热电偶温度计热电偶温度计,光电式加速度计光电式加速度计.能量控制型能量控制型:从外部供给能量并由被测量控制外部从外部供给能量并由被测量控制外部 供给能量的变化供给能量的变化.例如例如:电阻应变片电阻应变片.按与被测对象之间的能量关系按与被测对象之间的能量关系:热电偶按信号变换特征按信号变换特征:物性型物性型:依靠元件材料本身物理性质的变化来实现依靠元件材料本身物理性质的变化来实现信号变换信号变换.如如:水银温度计水银温度计.结构型结构型:依靠传感器结构参数的变化实现信号转变依靠传感器结构参数的变化实现信号转变.例如例如:电

16、容式和电感式传感器电容式和电感式传感器.绪论绪论第三第三节 测量量误差与数据差与数据处理理正确正确认识误差的性差的性质，分析，分析误差差产生的原因生的原因从根本上，消除或减小从根本上，消除或减小误差差正确正确处理理测量和量和实验数据，合理数据，合理计算所得算所得结果果通通过计算得到更接近真算得到更接近真值的数据的数据正确正确组织实验过程，合理程，合理设计、选用用仪器或器或测量方法量方法根据目根据目标确定最佳系确定最佳系统研究误差的意义研究误差的意义误差差测得得值真真值真真值：观测一个量一个量时，该量本身所具有的真量本身所具有的真实大小。大小。分分类：理理论值：如，：如，三角形内角之和恒为三角形

17、内角之和恒为180180；约定真定真值：如，：如，国际千克基准国际千克基准1Kg1Kg。1.1.测量的定义测量的定义 通过实验装置（仪器）对被测量进行确定量值的一通过实验装置（仪器）对被测量进行确定量值的一组操作。组操作。2.2.测量的方法：测量的方法：直接式直接式,间接式间接式 3.3.误差的定义误差的定义一、一、误差的基本概念差的基本概念 误差差 绝对误差相对误差粗大误差系统误差随机误差表示形式性质特点绝对误差差（AbsoluteAbsoluteErrorError）测得值 被测量的真值，常用约定真值代替 绝对误差特点：特点：1)绝对误差是一个具有确定的大小、符号及单位的量。2)单位给出了

18、被测量的量纲，其单位与测得值相同。LLL0绝对误差差测得得值真真值修正修正值(Correction):为了消除固定的系统误差用代数法而加到测量结果上的值。修正修正值真真值测得得值 特点：特点：1)与误差大小近似相等，但方向相反。2)修正值本身还有误差。误差差举例：例：用某用某电压表表测量量电压，电压表的示表的示值为226226V V，查该表的表的检定定证书，得知，得知该电压表在表在220220V V附近附近的的误差差为5 5V V，被，被测电压的修正的修正值为5 5V V，则修正后的修正后的测量量结果果为226+(226+(5 5V V)=221)=221V V。测得值真值绝对误差定定义被测量

19、的真值，常用约定真值代替，也可以近似用测量值L来代替L0相对误差特点：特点：1）相对误差有大小和符号。2）无量纲，一般用百分数来表示。绝对误差相相对误差差（RelativeErrorRelativeError）：）：绝对误差与被差与被测量真量真值之比之比 绝对误差和相对误差的比较绝对误差和相对误差的比较用用1m1m测长仪测量量长的工件，其的工件，其绝对误差差=，但，但用来用来测量量1m1m长的工件，其的工件，其绝对误差差为。前者的相对误差为后者的相对误差为对于相同的量，可用于相同的量，可用绝对误差差评定定测量精度；量精度；对于不同的量，可用相于不同的量，可用相对误差差评定定测量精度。量精度。引

20、用引用误差差（Fiducial Error of a Measuring Instrument）定定义该标称范称范围（或量程）上限（或量程）上限引用引用误差差仪器某器某标称范称范围（或量程）（或量程）内的最大内的最大绝对误差差引用误差是一种相对误差，而且该相对误差是引用了特定值，即标称范围上限（或量程）得到的，故该误差又称为引用相对误差、满度误差。我国电工仪表、压力表的准确度等准确度等级（AccuracyAccuracyClassClass）就是按照引用误差进行分级的，共分七级：共分七级：，及。，及。当一个仪表的等级s选定后，用此表测量某一被测量时，所产生的最大绝对误差为最大相对误差为绝对误差

21、的最大值与该仪表的标称范围（或量程）上限xm成正比选定仪表后，被测量的值越接近于标称范围（或量程）上限，测量的相对误差越小，测量越准确 电工仪表、压力表的准确度等级准确度等级举例例某某级电流表，流表，满度度值（标称范称范围上限）上限）为100100，求，求测量量值分分别为100100，8080和和2020时的的绝对误差和相差和相对误差。差。根据题意得 最大绝对误差为 相对误差分别为 可见，在同一标称范围内，测量值越小，其相对误差越大。【解】【解】例：某待例：某待测的的电压约为100v100v，现有有级、0-300v0-300v和和级、0-100v0-100v两个以引用两个以引用误差定等的差定等

22、的电压表，表，问用用哪一个哪一个电压表表测量比量比较好？好？解：用解：用级、0-300v0-300v测量量时，用用级、0-100v0-100v测量量时，结论：用级仪表测量更准确。结论：用级仪表测量更准确。为了减小测量误差，提高测量准确度，就必须了解误差来源。而误差来源是多方面的，在测量过程中，几乎所有因素都将引入测量误差。主要来源主要来源 测量装量装置置误差差 测量量环境境误差差 测量方量方法法误差差 测量人量人员误差差 二、二、误差的来源差的来源 测量装置量装置误差差标准器件误差仪器误差附件误差以固定形式复现标准量值的器具，如标准电阻、标准量块、标准砝码等等，他们本身体现的量值，不可避免地存

23、在误差。一般要求标准器件的误差占总误差的1/31/10。测量装置在制造过程中由于设计、制造、装配、检定等的不完善，以及在使用过程中，由于元器件的老化、机械部件磨损和疲劳等因素而使设备所产生的误差。测量仪器所带附件和附属工具所带来的误差。设计测量装置时，由于采用近似原理所带来的工作原理误差 组成设备的主要零部件的制造误差与设备的装配误差设备出厂时校准与定度所带来的误差读数分辨力有限而造成的读数误差 数字式仪器所特有的量化误差 元器件老化、磨损、疲劳所造成的误差测量环境误差测量环境误差指各种环境因素与要求条件不一致而造成的误差。对于电子测量，环境误差主要来源于环境温度、电源电压和电磁干扰等激光光波

24、比长测量中，空气的温度、湿度、尘埃、大气压力等会影响到空气折射率，因而影响激光波长，产生测量误差。高精度的准直测量中，气流、振动也有一定的影响测量方法误差测量方法误差指使用的测量方法不完善，或采用近似的计算公式等原因所引起的误差，又称为理论误差如用均值电压表测量交流电压时，其读数是按照正弦波的有效值进行刻度，由于计算公式中出现无理数和，故取近似公式，由此产生的误差即为理论误差。测量人员误差测量人员误差测量人员的工作责任心、技术熟练程度、生理感官与心理因素、测量习惯等的不同而引起的误差。为了减小测量人员误差，就要求测量人员要认真了解测量仪器的特性和测量原理，熟练掌握测量规程，精心进行测量操作，并

25、正确处理测量结果。三、三、误差的分差的分类 系系统误差差（SystematicErrorSystematicError）在重复性条件下，对同一被测量进行无限多次测量所得结果的平均值与被测量的真值之差。定定义特征特征 在相同条件下，多次测量同一量值时，该误差的绝对值和符号保持不变，或者在条件改变时，按某一确定规律变化的误差。用天平计量物体质量时，砝码的质量偏差用千分表读数时，表盘安装偏心引起的示值误差刻线尺的温度变化引起的示值误差系统误差举例在实际估计测量器具示值的系统误差时，常常用适当次数的重复测量的算术平均值减去约定真值来表示，又称其为测量器具的偏移偏移或偏畸偏畸（Bias）。由于系统误差具

26、有一定的规律性，因此可以根据其产生原因，采取一定的技术措施，设法消除或减小；也可以在相同条件下对已知约定真值的标准器具进行多次重复测量的办法，或者通过多次变化条件下的重复测量的办法，设法找出其系统误差的规律后，对测量结果进行修正。具体可见第五章。随机随机误差（差（RandomErrorRandomError）测得值与在重复性条件下对同一被测量进行无限多次测量结果的平均值之差。又称为偶然误差。定定义特征特征 在相同测量条件下，多次测量同一量值时，绝对值和符号以不可预定方式变化的误差。产生原因生原因实验条件的偶然性微小变化，如温度波动、噪声干扰、电磁场微变、电源电压的随机起伏、地面振动等。粗大粗大

27、误差（差（GrossErrorGrossError）指明显超出统计规律预期值的误差。又称为疏忽误差、过失误差或简称粗差。定定义产生原因生原因某些偶尔突发性的异常因素或疏忽所致。测量方法不当或错误，测量操作疏忽和失误（如未按规程操作、读错读数或单位、记录或计算错误等）测量条件的突然变化（如电源电压突然增高或降低、雷电干扰、机械冲击和振动等）。由于该误差很大，明显歪曲了测量结果。故应按照一定的准则进行判别，将含有粗大误差的测量数据（称为坏值或异常值）予以剔除。具体见第四章。它反映测量结果中系统误差的影响。准确度准确度（Correctness）它反映测量结果中随机误差的影响程度。精密度精密度（Pre

28、cision）精确度精确度（Accuracy）它反映测量结果中系统误差和随机误差综合的影响程度，简称精度。精确度（精度）在数值上一般多用相对误差来表示，但不用百分数。如某一测量结果的相对误差为0.001%，则其精度为10-5。四、四、误差的精度差的精度 准确度、精密度和经确度三者之间的关系准确度、精密度和经确度三者之间的关系弹着点全部在靶上，但分散。相当于系统误差小而随机误差大，即精密度低，准确度高。弹着点集中，但偏向一方，命中率不高。相当于系统误差大而随机误差小，即精密度高，准确度低。弹着点集中靶心。相当于系统误差与随机误差均小，即精密度、正确度都高，从而精确度亦高。重点与重点与难点点三大三

29、大类误差的特征、性差的特征、性质以及减小各以及减小各类误差差对测量精度影响的措施量精度影响的措施掌握等精度掌握等精度测量的数据量的数据处理方法理方法当对同一测量值进行多次等精度的重复测量时，得到一系列不同的测量值（常称为测量列），每个测量值都含有误差，这些误差的出现没有确定的规律，即前一个数据出现后，不能预测下一个数据的大小和方向。但就误差整体而言，却明显具有某种统计规律。随机误差是由很多暂时未能掌握或不便掌握的微小因素构成，主要有以下几方面：测量装置方面的因素环境方面的因素 人为方面的因素零部件变形及其不稳定性，信号处理电路的随机噪声等。温度、湿度、气压的变化，光照强度、电磁场变化等。瞄准、

30、读数不稳定，人为操作不当等。1 1、产生的原因生的原因随机随机误差差 随机误差的大小、方向均随机不定，不可预见，不可修正。虽然一次测量的随机误差没有规律，不可预定，也不能用实验的方法加以消除。但是，经过大量的重复测量可以发现，它是遵循某种统计规律的。因此，可以用概率统计的方法处理含有随机误差的数据，对随机误差的总体大小及分布做出估计，并采取适当措施减小随机误差对测量结果的影响。2.2.随机随机误差的性差的性质 多数随机误差都服从正态分布。设被测量值的真值为，一系列测得值为，则测量列的随机误差可表示为：正态分布的分布密度与分布函数为它的数学期望为它的方差为：3 3、正、正态分布分布可以推导出：对

31、称性：,即绝对值相等的正误差与负误差出现的次数相等；单峰性：当=0时有，即绝对值小的误差比绝对值大的误差出现的次数多，这称为误差的；有界性：虽然函数的存在区间是-,+，但实际上，随机误差只是出现在一个有限的区间内，即-k,+k；补偿性：随着测量次数的增加，随机误差的算术平均值趋向于零：例例题：比：比较下表所列两下表所列两组测量量值的精度。的精度。多次多次测量的量的测量列算量列算术平均平均值的的标准差准差 算算术平平均均值的的标准准差差则是是表表征征同同一一被被测量量的的各各个个独独立立测量量列列算算术平平均均值分分散散性性的的参参数数，可可作作为算算术平均平均值不可靠性的不可靠性的评定定标准。

32、准。已知算已知算术平均平均值为：取方差得取方差得因因故有故有4 4、测量的极限量的极限误差差测量的极限量的极限误差也就是差也就是误差的极限差的极限，测量量结果的果的误差不超差不超过该误差的概率极大。差的概率极大。课堂练习：课堂练习：1.1.对某工件进行对某工件进行5 5 次测量，在排除系统误差的条件下，次测量，在排除系统误差的条件下，求得标准差求得标准差=0.005 mm,=0.005 mm,若要求测量结果的置信概若要求测量结果的置信概率为率为95%95%，试求其置信限？，试求其置信限？2.2.用某仪器测量工件尺寸，在排除系统误差的条件下，用某仪器测量工件尺寸，在排除系统误差的条件下，其标准差

33、其标准差=0.004 mm =0.004 mm，若要求测量结果的置信限，若要求测量结果的置信限不大于，当置信概率为不大于，当置信概率为99%99%时，试求必要的测量次数？时，试求必要的测量次数？1.1.系系统误差差产生的原因生的原因 系系统误差是由固定不差是由固定不变的或按确定的或按确定规律律变化的因素造成，在条化的因素造成，在条件充分的情况下件充分的情况下这些因素是可以掌握的。主要来源于：些因素是可以掌握的。主要来源于：测量装置方面的因素量装置方面的因素环境方面的因素境方面的因素 测测量方法的因素量方法的因素 测测量人量人员员的因素的因素计量校准后量校准后发现的偏差、的偏差、仪器器设计原理缺

34、陷、原理缺陷、仪器制造和安装的器制造和安装的不正确等。不正确等。测量量时的的实际温度温度对标准温度的准温度的偏差、偏差、测量量过程中的温度、湿度程中的温度、湿度按一定按一定规律律变化的化的误差。差。采用近似的采用近似的测量方法或量方法或计算公式算公式引起的引起的误差等。差等。测量人量人员固有的固有的测量量习性引起的性引起的误差等。差等。系系统误差差（1 1）不）不变系系统误差差（2 2）变化系化系统误差差线性性变化的系化的系统误差差 周期周期变化的系化的系统误差差 复复杂规律律变化的系化的系统误差差举例：砝例：砝码质量、量、热膨膨胀误差差 2.2.系系统误差的分差的分类由于形成系由于形成系统误

35、差的原因复差的原因复杂，目前尚没有能，目前尚没有能够适用适用于于发现各种系各种系统误差的普遍方法。差的普遍方法。3 3、系、系统误差的差的发现方法方法（1 1）实验对比法比法(不不变的系的系统误差差)改改变产生系生系统误差的条件，差的条件，进行不同条件的行不同条件的测量。量。（2 2）残余）残余误差差观察法察法残余残余误差差观察法是根据察法是根据测量量列的各个残余列的各个残余误差大小和符号差大小和符号的的变化化规律，直接由律，直接由误差数据差数据或或误差曲差曲线图形来判断有无系形来判断有无系统误差。差。这种方法适于种方法适于发现有有规律律变化的系化的系统误差。差。若将若将测量列中前量列中前K

36、K个残余个残余误差相加，后差相加，后n-Kn-K个残余个残余误差相加差相加(当当n n为偶数，取偶数，取K=n/2K=n/2；n n为奇数，取奇数，取K=(n+1)/2)K=(n+1)/2)，两者相减得：，两者相减得：若上式的两部分若上式的两部分值显著不著不为O O，则有理由有理由认为测量量列存在列存在线性系性系统误差。差。这种校核法又称种校核法又称“马列科夫准列科夫准则”，它能有效地，它能有效地发现线性系性系统误差。差。（3 3）残余残余误差校核法差校核法用于用于发现线性系性系统误差差：例：例：对恒温箱温度恒温箱温度测量量1010次，次，测得数据如得数据如下所示，判断是否存在下所示，判断是否

37、存在线性系性系统误差。差。序号序号T/CT/CV/CV/C1 120.0620.06-0.06-0.062 220.0720.07-0.05-0.053 320.0620.06-0.06-0.064 420.0820.08-0.04-0.045 520.120.1-0.02-0.026 620.1220.120 07 720.1420.140.020.028 820.1820.180.060.069 920.1820.180.060.06101020.2120.210.090.09用于用于发现周期性系周期性系统误差：差：（4 4）计算数据比算数据比较法法则则任意两任意两任意两任意两组结组结果果

38、果果与与与与间间不存在系不存在系不存在系不存在系统误统误差的差的差的差的标标志是：志是：志是：志是：若若若若对对同一量独立同一量独立同一量独立同一量独立测测量得量得量得量得mmmm组结组结果，并知它果，并知它果，并知它果，并知它们们的算的算的算的算术术平均平均平均平均值值和和和和标标准差准差准差准差为为：而任意两而任意两而任意两而任意两组结组结果之差果之差果之差果之差为为：其其其其标标准差准差准差准差为为：4.4.系系统误差的减小和消除差的减小和消除（1 1）消）消误差源法差源法（2 2）加修正）加修正值法法（3 3）对照法照法 粗大粗大粗大粗大误误差差差差设拟合直线方程：设拟合直线方程：0y

39、yixy=A+BxxI最小二乘拟合法最小二乘拟合法最小二乘法拟合最小二乘法拟合y=A+Bx若实际校准测试点有若实际校准测试点有n个，则第个，则第i个校准数据与拟合直线上响应个校准数据与拟合直线上响应值之间的残差为值之间的残差为最小二乘法拟合直线的原理就是使最小二乘法拟合直线的原理就是使 为最小值，即为最小值，即i=yi-(A+Bxi)对对A A和和B B一阶偏导数等于零，求出一阶偏导数等于零，求出A和和B B的表达式的表达式主要是指传感器的主要是指传感器的输出输出与与输入输入之间的关系。之间的关系。当输入量为稳定状态的信号，或变化极慢的当输入量为稳定状态的信号，或变化极慢的信号时，这一关系称为

40、信号时，这一关系称为静态特性静态特性；当输入量随时间较快地变化时，这一关系称当输入量随时间较快地变化时，这一关系称为为动态特性动态特性。如输入量为周期、瞬变、随机等。如输入量为周期、瞬变、随机等动态信号时。动态信号时。第四第四节 传感器的一般特性感器的一般特性一、一、传感器的静感器的静态特性特性分分为线性性和非和非线性性1 1、线性度性度直线拟合线性化直线拟合线性化 非线性误差或线性度非线性误差或线性度最大非线性误差最大非线性误差 满量程输出满量程输出传感器校准曲线与拟合直线间最大偏差与满量程输出值的传感器校准曲线与拟合直线间最大偏差与满量程输出值的百分比。百分比。直线拟合方法直线拟合方法 2

41、.2.灵敏度灵敏度可见，传感器输出曲线的可见，传感器输出曲线的斜率斜率就是其灵敏度。它就是其灵敏度。它表征表征传感器对输入量变化的反应能力。传感器对输入量变化的反应能力。K=y/x传感器输出的变化量传感器输出的变化量 y与引起该变化量的输入变化量与引起该变化量的输入变化量 x之比即为其静态灵敏度，其表达式为之比即为其静态灵敏度，其表达式为3.3.迟滞滞0yxHmaxyFS迟滞特性迟滞特性式中式中 Hmax正反行程间输出的最大差值。正反行程间输出的最大差值。传感器在正传感器在正(输入量增大输入量增大)和反和反（输入量减小）行程中输出曲（输入量减小）行程中输出曲线不重合的现象称为迟滞特性线不重合的

42、现象称为迟滞特性。4.4.重复性重复性yx0Rmax2Rmax1重复性是指传感器在输入按重复性是指传感器在输入按同一方向连续多次变动时所同一方向连续多次变动时所得特性曲线不一致的程度。得特性曲线不一致的程度。数数值值上上用用各各测测量量值值正正、反反行行程程标标准准偏偏差差最最大大值值的的2-3倍倍与与满满量量程程的的百分比表示。百分比表示。Rmax1正行程的最大重复性偏差，Rmax2反行程的最大重复性偏差。5.5.漂移漂移 温度漂移，是指传感器在外界温度变化时，输出值的偏温度漂移，是指传感器在外界温度变化时，输出值的偏离程度。离程度。一般用温度变化若一般用温度变化若1的输出最大偏差与满量程的

43、输出最大偏差与满量程的百分比表示。的百分比表示。温漂温漂 零漂零漂 零点漂移，是指传感器在无输入（或某一输入值不变）零点漂移，是指传感器在无输入（或某一输入值不变）时，每隔一段时间进行读数，其输出偏离零值（或原指示时，每隔一段时间进行读数，其输出偏离零值（或原指示值）的程度。值）的程度。例：已知某例：已知某传感器静感器静态特性方程特性方程 ，试分布用分布用切切线法、端基法和最小二乘法，在法、端基法和最小二乘法，在0X1范范围内内拟合直合直线方程，并求出相方程，并求出相应的的线性度。性度。切切线法法直直线a a：y=x+1y=x+1端基法端基法直直线b b：y=1.718x+1y=1.718x+

44、1最小二乘法最小二乘法分别计算分别计算分别计算分别计算x=3x=3x=3x=3，直直线c c：解得解得解得解得得最小二乘法线性度：得最小二乘法线性度：得最小二乘法线性度：得最小二乘法线性度：11.11.解：解：首先，首先，对效效验数据求做平均数据求做平均值处理理取端点取端点x1x1（0,-0,-）和）和x6x6（，）（，）则确定：则确定：求非求非线性性误差差得：得：求重复性求重复性误差差得：得：求求迟滞滞得：得：补充：充：已知某已知某传感器静感器静态特性方程特性方程 ，试分布分布用切用切线法、端点法和最小二乘法，在法、端点法和最小二乘法，在0X范范围内内拟合直合直线方程，并求出相方程，并求出相应的的线性度。性度。