《去离子水设备介绍》PPT课件.pptx
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1、去离子水去离子水设备设备介绍介绍概述概述去离子水设备(deionized water)是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。“去离子”定义为:“去离子水完全或不完全地去除离子物质,主要指采用去离子树脂处理方法。”现在的工艺主要采用反渗透技术的方法制取。之前应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子,但水中仍然存在可溶性的有机物,可以污染离子交换柱从而降低其功效,去离子水存放后也容易引起水中细菌的繁殖。在半导体行业中,去离子水机产水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”去离子水设备的处理步骤去离子水设备的处理步骤 1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质2、然后高压通过反渗透渗透膜3、最后一般还要经过一步紫外杀
2、菌以去除水中的一些微生物4、假如此时电阻率还没有达到要求的话,可以再进行一次阴阳离子交换过程最高电阻率可达到18兆,半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水 1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器阳床阴床混床后置保安过滤器用水点。(特点:污染比较大,自动化程度低,初期投入低)去离子水设备制取工艺及其特点去离子水设备制取工艺及其特点 2、反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制取去离子水的方式,其基本工艺流程为:原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器反渗透设备混床超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点。(特点:污染小,自动化程度高,初
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