《电涡流传感器》PPT课件.ppt
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1、第四章第四章 电涡流传感器电涡流传感器 本章学习电涡流传感器的本章学习电涡流传感器的原理原理及及应用应用,并介绍,并介绍接近开关接近开关的原理、的原理、结构、特性参数及应用。结构、特性参数及应用。2022/10/2722022/10/273 当电涡流线圈与当电涡流线圈与金属板的距离金属板的距离x 减小减小时,电涡流线圈的等时,电涡流线圈的等效电感效电感L 减小减小,等效,等效电阻电阻R 增大增大。感抗。感抗XL 的变化比的变化比R 的变化大的变化大得多,流过电涡流线得多,流过电涡流线圈的圈的电流电流i1增大增大。第一节第一节 电涡流传感器工作原理电涡流传感器工作原理 电涡流效应:电涡流效应:根
2、据法拉第电磁感应原理,根据法拉第电磁感应原理,块状金属块状金属导体置于导体置于变化的磁场变化的磁场中或在中或在磁场中作切割磁力线运动磁场中作切割磁力线运动时,时,导体内将产生呈导体内将产生呈涡旋状涡旋状的感应电流的感应电流(电涡流电涡流)的现象。的现象。电涡流式传感器原理图电涡流式传感器原理图 式中:式中:r-线圈与被测导体的尺寸因子。线圈与被测导体的尺寸因子。上图为电涡流式传感器的原理图,该图由传感器线上图为电涡流式传感器的原理图,该图由传感器线圈和被测导体组成线圈圈和被测导体组成线圈导体系统。当传感器线圈通以导体系统。当传感器线圈通以交变电流交变电流 时,由于电流的变化,在线圈周围产生交变
3、时,由于电流的变化,在线圈周围产生交变磁场磁场 ,使置于此磁场中的被测导体内产生感应电涡流,使置于此磁场中的被测导体内产生感应电涡流 ,电涡流,电涡流 又产生新的交变磁场又产生新的交变磁场 。与与 方向相反,方向相反,因而抵消部分原磁场,从而导致传感器线圈的因而抵消部分原磁场,从而导致传感器线圈的电感量、电感量、阻抗和品质因数阻抗和品质因数发生变化,即线圈的等效阻抗发生变化。发生变化,即线圈的等效阻抗发生变化。这些变化与被测导体的电阻率这些变化与被测导体的电阻率 、磁导率、磁导率 以及几何形以及几何形状有关,也与线圈几何参数、激磁电流频率状有关,也与线圈几何参数、激磁电流频率 有关,还与线圈与
4、被测导体间的距离有关,还与线圈与被测导体间的距离 有关。因此可有关。因此可写为:写为:电涡流式传感器简化模型电涡流式传感器简化模型 电涡流式传感器等效电路图电涡流式传感器等效电路图 f-为线圈激磁电流的频率;为线圈激磁电流的频率;-为金属导体的电阻率;为金属导体的电阻率;r-为金属导体的磁导率。为金属导体的磁导率。模型中,把在被测金属导体上形成的电涡流等效成模型中,把在被测金属导体上形成的电涡流等效成一个短路环,即假设电涡流仅分布在环体之内,模型中一个短路环,即假设电涡流仅分布在环体之内,模型中h(电涡流的贯穿深度)可由下式求得:(电涡流的贯穿深度)可由下式求得:集肤效应:集肤效应:当高频(当
5、高频(100kHz左右)信号源产生的高左右)信号源产生的高频电压施加到一个靠近金属导体附近的电感线圈频电压施加到一个靠近金属导体附近的电感线圈L1时,时,将产生高频磁场将产生高频磁场H1。如被测导体置于该交变磁场范围。如被测导体置于该交变磁场范围之内时,被测导体就产生电涡流之内时,被测导体就产生电涡流i2。i2在金属导体的纵在金属导体的纵深方向并不是均匀分布的,而只集中在金属导体的表深方向并不是均匀分布的,而只集中在金属导体的表面,这称为集肤效应(也称趋肤效应)。面,这称为集肤效应(也称趋肤效应)。集肤效应与激励源频率集肤效应与激励源频率f、工件的电导率、工件的电导率、磁导率、磁导率 等有关。
6、等有关。频率频率f 越高,电涡流的渗透的深度就越浅,集肤效应越严重。越高,电涡流的渗透的深度就越浅,集肤效应越严重。根根据据简简化化模模型型,可可将将金金属属导导体体形形象象地地看看做做一一个个短短路路线线圈圈,它它与与传传感感器器线线圈圈之之间间存存在在耦耦合合关关系系,它它们们之之间间的的等等效效电电路路图图如如上上。图图中中R2为为电电涡涡流流短短路路环环等等效效电电阻阻,其其表达式为:表达式为:根据基尔霍夫第二定根据基尔霍夫第二定律,可列出如下方程:律,可列出如下方程:-线圈激磁电流角频率线圈激磁电流角频率R1-线圈电阻线圈电阻L1-线圈电感线圈电感L2-短路环等效电感短路环等效电感R
7、2-短路环等效电阻短路环等效电阻M-互感系数互感系数 等效阻抗等效阻抗Z的表达式为:的表达式为:式中:式中:Req线圈受电涡流影响后的线圈受电涡流影响后的等效电阻等效电阻 Leq线圈受电涡流影响后的线圈受电涡流影响后的等效电感等效电感 电电涡涡流流线线圈圈受受电电涡涡流流影影响响时时的的等等效效阻阻抗抗Z Z 的的函函数数表达式为:表达式为:Z=R+jL=f(i1,f,r,x,)等效阻抗分析等效阻抗分析等效阻抗与非电量测量的应用等效阻抗与非电量测量的应用 检测深度的控制:检测深度的控制:由于存在集肤效应,电涡流只能检测导体由于存在集肤效应,电涡流只能检测导体表面的各种物理参数。改变表面的各种物
8、理参数。改变f f,可控制检测深度。激励源频率一,可控制检测深度。激励源频率一般设定在般设定在100kHz-1MHz100kHz-1MHz。频率越低,。频率越低,检测深度越深检测深度越深。间距间距x x的测量:的测量:如果控制上式中的如果控制上式中的i i1 1、f f、r r 不变,电不变,电涡流线圈的阻抗涡流线圈的阻抗Z Z 就成为间距就成为间距x x的单值函数,这样就成为非接触的单值函数,这样就成为非接触地测量位移的传感器。地测量位移的传感器。多种用途:多种用途:如果控制如果控制x x、i i1 1、f f 不变,就可以用来检测与表不变,就可以用来检测与表面电导率面电导率 有关的有关的表
9、面温度、表面裂纹等参数表面温度、表面裂纹等参数,或者用来检测与,或者用来检测与材料磁导率材料磁导率 有关的有关的材料型号、表面硬度材料型号、表面硬度等参数。等参数。1、电涡流形成范围、电涡流形成范围径向形成范围径向形成范围 线线圈圈导导体体系系统统产产生生的的电电涡涡流流密密度度既既是是线线圈圈与与导导体体间间距距离离x的的函函数数,又又是是沿沿线线圈圈半半径径方方向向r的的函函数数。当当x一一定定时时,电电涡涡流流密密度度J与与半半径径r的的关关系系曲曲线线下下图图所所示示(图图中中J0为为金金属属导导体体表表面面电电涡涡流流密密度度,即即电电涡涡流流密密度度最最大大值值。Jr为半径为半径r
10、处的金属导体表面电涡流密度)。由图可知:处的金属导体表面电涡流密度)。由图可知:电电涡涡流流径径向向形形成成范范围围大大约约在在传传感感器器线线圈圈外外径径ras的的倍范围内,且分布不均匀。倍范围内,且分布不均匀。电涡流密度在电涡流密度在ri=0处为零。处为零。电涡流的最大值在电涡流的最大值在r=ras附近的一个狭窄区域内。附近的一个狭窄区域内。可以用一个平均半径为可以用一个平均半径为 的短路环的短路环 来集中表示分散的电涡流(图中阴影部分)。来集中表示分散的电涡流(图中阴影部分)。电涡流效应的基本特性电涡流效应的基本特性 电涡流密度电涡流密度J与半径与半径r的关系曲线的关系曲线 2 2、电涡
11、流强度与距离的关系、电涡流强度与距离的关系 理理论论分分析析和和实实验验都都已已证证明明,当当x x改改变变时时,电电涡涡流流密密度度也也发发生生变变化化,即即电电涡涡流流强强度度随随距距离离x x的的变变化化而而变变化化。根根据据线线圈圈导导体体系系统统的的电电磁磁作作用用,可可以以得得到到金金属属导导体体表面的电涡流强度为:表面的电涡流强度为:式中:式中:I1线圈激励电流;线圈激励电流;I2金属导体中等效电流;金属导体中等效电流;x 线圈到金属导体表面距离;线圈到金属导体表面距离;ras线圈外径。线圈外径。电涡流强度与距离归一化曲线电涡流强度与距离归一化曲线 根据上式作出的归一根据上式作出
12、的归一化曲线如图所示。化曲线如图所示。以上分析表明:以上分析表明:电涡流强度与距电涡流强度与距离离x呈呈非线性关系非线性关系,且,且随着随着x/ras的增加而迅速的增加而迅速减小。减小。当利用电涡流式当利用电涡流式传感器测量位移时,只传感器测量位移时,只有在有在x/ras1(一般取一般取0.15)的条件下才能得到的条件下才能得到较好的线性和较高的灵较好的线性和较高的灵敏度。敏度。3 3、电涡流的轴向贯穿深度、电涡流的轴向贯穿深度 所所谓谓贯贯穿穿深深度度是是指指把把电电涡涡流流强强度度减减小小到到表表面面强强度度的的1/e1/e处的表面厚度。处的表面厚度。由由于于金金属属导导体体的的趋趋肤肤效
13、效应应,电电磁磁场场不不能能穿穿过过导导体体的的无无限限厚厚度度,仅仅作作用用于于表表面面薄薄层层和和一一定定的的径径向向范范围围内内,并并且且导导体体中中产产生生的的电电涡涡流流强强度度是是随随导导体体厚厚度度的的增增加加按按指指数规律下降的。其按指数衰减分布规律可用下式表示:数规律下降的。其按指数衰减分布规律可用下式表示:式中:式中:d金属导体中某一点与表面的距离;金属导体中某一点与表面的距离;Jd沿沿H1 轴向轴向d处的电涡流密度;处的电涡流密度;J0金属导体表面电涡流密度,金属导体表面电涡流密度,(电涡流密度最大值电涡流密度最大值)h电涡流轴向贯穿的深度电涡流轴向贯穿的深度,(趋肤深度
14、)。(趋肤深度)。电涡流密度轴向分布曲线电涡流密度轴向分布曲线 如图所示为电涡流密如图所示为电涡流密度轴向分布曲线,可知,度轴向分布曲线,可知,电涡流密度主要分布在电涡流密度主要分布在表面附近。表面附近。由前面分析可知,被由前面分析可知,被测体电阻率愈大,相对测体电阻率愈大,相对导磁率愈小,以及传感导磁率愈小,以及传感器线圈的激磁电流频率器线圈的激磁电流频率愈低,则电涡流贯穿深愈低,则电涡流贯穿深度度h 愈大。故透射式电愈大。故透射式电涡流传感器一般都采用涡流传感器一般都采用低频激励。低频激励。交变磁场交变磁场第二节第二节 电涡流传感器结构及特性电涡流传感器结构及特性1 1、电涡流探头结构、电
15、涡流探头结构电涡流探头外形电涡流探头外形11电涡流线圈电涡流线圈 22探头壳体探头壳体 33壳体上的位置调节螺纹壳体上的位置调节螺纹 44印制线路板印制线路板 55夹持螺母夹持螺母 66电源指示灯电源指示灯77阈值指示灯阈值指示灯 88输出屏蔽电缆线输出屏蔽电缆线 99电缆插头电缆插头CZF-1CZF-1系列传感器的性能系列传感器的性能分析上表可得出结论:分析上表可得出结论:探头直径越大,测量范围越大、分辨力越差、灵敏度越低。探头直径越大,测量范围越大、分辨力越差、灵敏度越低。2 2、被测材料、形状和体积对灵敏度的影响、被测材料、形状和体积对灵敏度的影响电阻率、磁导率:电阻率、磁导率:非磁性材
16、料,电阻率低,灵敏度高;非磁性材料,电阻率低,灵敏度高;磁性材料,除电阻率外,还受磁导率的影响。磁性材料,除电阻率外,还受磁导率的影响。形状、体积大小:形状、体积大小:盘状,要求被测对象直径盘状,要求被测对象直径2倍探头线圈直径;倍探头线圈直径;柱状,要求被测圆柱直径柱状,要求被测圆柱直径4倍探头线圈直径。倍探头线圈直径。大直径电涡流探雷器大直径电涡流探雷器2022/10/2721电涡流的应用电涡流的应用干净、高效的电磁炉干净、高效的电磁炉 高频电流通过励磁线圈,高频电流通过励磁线圈,产生交变磁场,在铁质锅底会产生交变磁场,在铁质锅底会产生无数的电涡流,使锅底自产生无数的电涡流,使锅底自行发热
17、,烧开锅内的食物。行发热,烧开锅内的食物。线圈线圈电磁炉的工作原理电磁炉的工作原理一、调幅(一、调幅(AMAM)式电路)式电路 石英振荡器石英振荡器产生稳频、稳幅高频振荡电压产生稳频、稳幅高频振荡电压(100kHz-1MHz)用于用于激励电涡流线圈。金属材料在高频磁场中产生电涡流,引起电涡激励电涡流线圈。金属材料在高频磁场中产生电涡流,引起电涡流线圈端电压的衰减,再经高放、检波、低放电路,最终输出的流线圈端电压的衰减,再经高放、检波、低放电路,最终输出的直流电压直流电压Uo反映了金属体对电涡流线圈的影响反映了金属体对电涡流线圈的影响(例如两者之间的例如两者之间的距离等参数距离等参数)。第三节第
18、三节 测量转换电路测量转换电路部分常用材料对振荡器振幅的衰减系数部分常用材料对振荡器振幅的衰减系数 人的手、泥土或装满人的手、泥土或装满水的玻璃杯能对振荡器的水的玻璃杯能对振荡器的振幅产生明显的衰减吗?振幅产生明显的衰减吗?为什么?为什么?二、调频(二、调频(FMFM)式电路)式电路 当电涡流线圈与被测体的距离当电涡流线圈与被测体的距离x 改变时,电涡流线圈改变时,电涡流线圈的电感量的电感量L也随之改变,引起也随之改变,引起LC 振荡器的输出频率变振荡器的输出频率变化,此频率可直接用计算机测量。如果要用模拟仪表进化,此频率可直接用计算机测量。如果要用模拟仪表进行显示或记录时,必须使用鉴频器,将
19、行显示或记录时,必须使用鉴频器,将 f转换为电压转换为电压 Uo。并联谐振回路的谐振频率并联谐振回路的谐振频率:设电涡流线圈的电感量设电涡流线圈的电感量L,微调电容,微调电容C0=200pF,求振,求振荡器的频率荡器的频率f。鉴输出电压与输入频率成正比鉴输出电压与输入频率成正比鉴频器特性鉴频器特性使用鉴频器可以将使用鉴频器可以将 f 转换为电压转换为电压 Uo 设电路参数如上图,计算电涡流线圈未接近金属时的设电路参数如上图,计算电涡流线圈未接近金属时的鉴频器输出电压鉴频器输出电压Uo;若电涡流线圈靠近金属后,电涡流;若电涡流线圈靠近金属后,电涡流探头的输出频率探头的输出频率f上升为上升为500
20、kHz,f为多少?输出电压为多少?输出电压Uo又为多少?又为多少?一、位移测量一、位移测量 电涡流位移传感器是一种输出为电涡流位移传感器是一种输出为模拟电压模拟电压的电子器的电子器件。接通电源后,在电涡流探头的有效面(感应工作面)件。接通电源后,在电涡流探头的有效面(感应工作面)将产生一个将产生一个交变磁场交变磁场。当。当金属物体金属物体接近此感应面时,金接近此感应面时,金属表面将属表面将吸取吸取电涡流探头中的高频振荡能量,使振荡器电涡流探头中的高频振荡能量,使振荡器的输出幅度线性地的输出幅度线性地衰减衰减,根据衰减量的变化,可地计算,根据衰减量的变化,可地计算出与被检物体的距离、振动等参数。
21、这种位移传感器属出与被检物体的距离、振动等参数。这种位移传感器属于于非接触测量非接触测量,工作时不受灰尘等非金属因素的影响,工作时不受灰尘等非金属因素的影响,寿命较长,可在各种恶劣条件下使用。寿命较长,可在各种恶劣条件下使用。第四节第四节 电涡流传感器的应用电涡流传感器的应用1、位移测量仪、位移测量仪位移测量:偏心、间隙、位置、倾斜、弯曲、变形、移动、圆度、位移测量:偏心、间隙、位置、倾斜、弯曲、变形、移动、圆度、冲击、偏心率、冲程、宽度等。来自不同应用领域的许多量都可冲击、偏心率、冲程、宽度等。来自不同应用领域的许多量都可归结为归结为位移位移或或间隙间隙变化。变化。电流电流型电型电涡流涡流位
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