《蚀刻材料》PPT课件.ppt
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蝕蝕 刻刻 材材 料料 1234圖蝕刻的底切度 5圖(a)等方向蝕刻，(b)非等方向蝕刻 6789101112圖6.3三種乾蝕刻終點偵測器之原理圖 131415圖桶狀蝕刻反應器內的正視圖 16圖(a)電漿蝕刻和(b)RIE蝕刻的比較 17圖三極RIE的概略圖 18圖(a)RIE蝕刻機的概略圖，(b)電位分佈圖 19圖6.8濺擊蝕刻和濺鍍的概略圖 20圖MERIE(a)以永久磁鐵，(b)以電磁線圈產生磁場 21圖6.10磁場約束電漿蝕刻機的概略圖 22圖離子輔助蝕刻反應的原理 23圖ECR蝕刻機的概略圖 24圖ICP蝕刻機的概略圖 25圖CMP的概略圖 262728
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