传感器与检测技术第02章.ppt
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1、第二章第二章 电阻式传感器电阻式传感器n1 电位器式电阻传感器电位器式电阻传感器n2 应变片式电阻传感器应变片式电阻传感器电位器式:电位器式:(电位计)(电位计)应变式:应变式:物理量变化物理量变化电阻变化电阻变化传感元件传感元件属于大电阻变化型,属于大电阻变化型,R:0R传传物理量变化物理量变化变形变形(应力、应变)(应力、应变)敏感元件敏感元件属于微电阻变化型,属于微电阻变化型,R:020%R传传传感元件传感元件电阻变化电阻变化 电阻式传感器的电阻式传感器的基本原理基本原理:将被测量的变化转化成:将被测量的变化转化成电阻值的变化,再经相应的测量电路而最后显示被测量电阻值的变化,再经相应的测
2、量电路而最后显示被测量的变化的变化电位计式传感器的优、缺点:电位计式传感器的优、缺点:优点:优点:结结构构简简单单、尺尺寸寸小小、重重量量轻轻、精精度度高高(0.1%0.05%)、性性能能稳稳定定、受受环环境境因因素素影影响响小小,可可实实现现输输出出-输输入入任任意意函函数数关关系系,输出信号较大,一般不用放大。输出信号较大,一般不用放大。缺点:缺点:存存在在滑滑动动触触头头与与线线圈圈等等之之间间的的摩摩擦擦,输输入入能能量量要要求求较较大大,且磨损降低寿命和可靠性,也会降低测量精度。且磨损降低寿命和可靠性,也会降低测量精度。2.1 电位器式电阻传感器电位器式电阻传感器电位计分类电位计分类
3、按输出按输出-输输入特性入特性线性电位计线性电位计非线性电位计非线性电位计按结构形式按结构形式线绕式线绕式在在传感器中应用较多传感器中应用较多薄膜式薄膜式具具有较高的精度和线性特性有较高的精度和线性特性光电式光电式无无摩擦和磨损,分辨率高摩擦和磨损,分辨率高2.1.1线性线绕电位计线性线绕电位计以线位移型为例以线位移型为例若变阻器式:若变阻器式:若分压器式:若分压器式:kR电阻灵敏度电阻灵敏度kU电压灵敏度电压灵敏度一、线性线绕电位器式传感器工作原理一、线性线绕电位器式传感器工作原理:kR电阻灵敏度电阻灵敏度kU电压灵敏度电压灵敏度二、二、阶梯特性、阶梯误差和分辨率阶梯特性、阶梯误差和分辨率2
4、 阶梯特性阶梯特性 电位计输出电压随电位计输出电压随x的变化是不连续的,而的变化是不连续的,而是一条阶梯形的折线。是一条阶梯形的折线。1 理论特性曲线理论特性曲线 (线性)通过每个阶梯中点的曲线。(线性)通过每个阶梯中点的曲线。4 4 阶梯误差阶梯误差 阶特梯形曲线围绕理论特性曲线上下波动产生阶特梯形曲线围绕理论特性曲线上下波动产生的偏差。的偏差。5 5 分辨率分辨率 电压分辨率和行程分辨率电压分辨率和行程分辨率3 3 视在分辨脉冲:视在分辨脉冲:主要分辨脉冲,次要分辨脉冲。主要分辨脉冲,次要分辨脉冲。2.1.2 2.1.2 非线性电位器非线性电位器 非线性电位器是指在空载时其输出电压非线性电
5、位器是指在空载时其输出电压(或电阻或电阻)与电刷与电刷行程之间具有行程之间具有非线性函数关系非线性函数关系的一种电位器,也称函数电位的一种电位器,也称函数电位器。常用的非线性线绕电位器有变骨架式、变节距式、分路器。常用的非线性线绕电位器有变骨架式、变节距式、分路电阻式及电位给定式四种。电阻式及电位给定式四种。2.1.3 负载特性与负载误差负载特性与负载误差1 负载特性负载特性电位器端接电位器端接有负载电阻时的特性。有负载电阻时的特性。电阻相对变化系数:电阻相对变化系数:令令 负载系数:负载系数:负载特性曲线:负载特性曲线:负载误差负载误差 由于负载由于负载电阻存在,造成负载特性为电阻存在,造成
6、负载特性为一下垂曲线,产生误差,也一下垂曲线,产生误差,也称非线性误差。称非线性误差。电刷在起始和最终位置电刷在起始和最终位置时,时,L=0;电刷在相对行程;电刷在相对行程r=1/2时,时,Lmax。当当m,有,有L 通常希望:通常希望:2 负载误差负载误差3 改善电位器式电阻传感器的特性改善电位器式电阻传感器的特性(1)采用高输入阻抗放大器;)采用高输入阻抗放大器;(2)将电位器空载特性设计成某种上凸特性。)将电位器空载特性设计成某种上凸特性。2.1.4 电位器的结构与材料电位器的结构与材料由于测量领域的不同,电位器结构及材料选择有所不由于测量领域的不同,电位器结构及材料选择有所不同。但是其
7、基本结构是相近的。电位器通常都是由骨架、电同。但是其基本结构是相近的。电位器通常都是由骨架、电阻元件及活动电刷组成。常用的线绕式电位器的电阻元件由阻元件及活动电刷组成。常用的线绕式电位器的电阻元件由金属电阻丝绕成。金属电阻丝绕成。1电刷电刷2电阻元件电阻元件2.1.5 电位器式传感器应用举例电位器式传感器应用举例2.1.5 电位器式传感器应用举例电位器式传感器应用举例2.1.5 电位器式传感器应用举例电位器式传感器应用举例1骨架;骨架;2触点;触点;3输入轴;输入轴;4导电片导电片2.1.5 电位器式传感器应用举例电位器式传感器应用举例2.1.5 电位器式传感器应用举例电位器式传感器应用举例变
8、阻器式传感器产品变阻器式传感器产品案例:案例:重量的自动检测重量的自动检测-配料设备配料设备比较比较重量设定原材料原材料原理:弹簧原理:弹簧-力力-位移位移 -电位器电位器-电阻电阻案例:案例:煤气包储量检测煤气包储量检测煤气包煤气包钢丝钢丝原理:钢丝原理:钢丝-收线圈数收线圈数 -电位器电位器 -电阻电阻案例:案例:玩具机器人(广州中鸣数码玩具机器人(广州中鸣数码 )原理:电机原理:电机-转角转角 -电位器电位器 -电阻电阻一、金属丝式应变片 二、金属箔式应变片三、测量电路四、应变式传感器2.2 金属应变片式传感器金属应变片式传感器应变效应 结构与材料 主要特性 温度误差及系数2.2.1 工
9、作原理及分类工作原理及分类n电阻应变式传感器的工作原理是将电阻应变片电阻应变式传感器的工作原理是将电阻应变片粘贴到各种弹性敏感元件上,使物理量的变化粘贴到各种弹性敏感元件上,使物理量的变化变成应变片的应力、应变变化,从而变成电阻变成应变片的应力、应变变化,从而变成电阻值变化。值变化。n根据应变片的材料不同,可分为两种根据应变片的材料不同,可分为两种金属电阻应变片:应变效应(本节内容)金属电阻应变片:应变效应(本节内容)半导体应变片:半导体应变片:压阻效应压阻效应2.2.1 工作原理及分类工作原理及分类 电阻应变式传感器的工作原理是基于应变效应,将电电阻应变式传感器的工作原理是基于应变效应,将电
10、阻应变片粘贴到各种弹性敏感元件上,使物理量的变化变阻应变片粘贴到各种弹性敏感元件上,使物理量的变化变成应变片的应力、应变变化,从而变成电阻值变化。成应变片的应力、应变变化,从而变成电阻值变化。应变效应:在导体产生机械形变时,导体的电阻值相应地应变效应:在导体产生机械形变时,导体的电阻值相应地发生变化。发生变化。1 应变效应:应变效应:2 应变片式电阻传感器的工作原理:应变片式电阻传感器的工作原理:3 3 理论基础:理论基础:根据欧姆定律:根据欧姆定律:金属丝的电阻应变效应金属丝的电阻应变效应金属丝的电阻应变效应金属丝的电阻应变效应 金属丝的电阻值随着金金属丝的电阻值随着金金属丝的电阻值随着金金
11、属丝的电阻值随着金属丝的几何尺寸变化(伸长或缩短)而发生相应的变属丝的几何尺寸变化(伸长或缩短)而发生相应的变属丝的几何尺寸变化(伸长或缩短)而发生相应的变属丝的几何尺寸变化(伸长或缩短)而发生相应的变化的现象。化的现象。化的现象。化的现象。称为泊松比称为泊松比且对金属材料,导电率几乎不变且对金属材料,导电率几乎不变优点:优点:精度高,测量范围广精度高,测量范围广 频率响应特性较好(响应速度快)频率响应特性较好(响应速度快)结构简单,尺寸小,重量轻结构简单,尺寸小,重量轻 可在高可在高(低低)温、高速、高压、强烈振动、强磁场及温、高速、高压、强烈振动、强磁场及核辐射和化学腐蚀等恶劣条件下正常工
12、作核辐射和化学腐蚀等恶劣条件下正常工作 易于实现小型化、固态化易于实现小型化、固态化 价格低廉,品种多样,便于选择价格低廉,品种多样,便于选择缺点:缺点:具有非线性,输出信号微弱,抗干扰能力较差,因具有非线性,输出信号微弱,抗干扰能力较差,因此信号线需要采此信号线需要采 取屏蔽措施;取屏蔽措施;只能测量一点或应变栅范围内的平均应变,不能显只能测量一点或应变栅范围内的平均应变,不能显示应力场中应力梯度的变化等;示应力场中应力梯度的变化等;不能用于过高温度场合下的测量。不能用于过高温度场合下的测量。4 优缺点:优缺点:一、一、应变片结构与材料应变片结构与材料n1.1.敏感珊敏感珊n2.2.基底和盖
13、片基底和盖片n3.3.粘合剂粘合剂n4.4.引线引线2.2.2 金属电阻应变片主要特性金属电阻应变片主要特性(1 1)敏感栅敏感栅 电电阻阻应应变变片片的的电电阻阻值值为为6060、120120、200200等等多多种种规规格,以格,以120120最为常用。最为常用。应应变变片片测测得得的的应应变变大大小小是是应应变变片片栅栅长长和和栅栅宽宽所所在在面面积积内的平均轴向应变量。内的平均轴向应变量。(2 2)基底和盖片基底和盖片 基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置,基底基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置,基底的全长称为基底长,其宽度称为基底宽。的全长称为基底长,其宽度称为基底
14、宽。(3 3)引线)引线 是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。(4 4)粘结剂)粘结剂 用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一起。起。常用的粘结剂分为有机和无机两大类。常用的粘结剂分为有机和无机两大类。金属箔式应变片金属箔式应变片 在绝缘基底上,将厚度为电阻箔材,利用照相制板或光刻在绝缘基底上,将厚度为电阻箔材,利用照相制板或光刻腐蚀的方法,制成适用于各种需要的形状。腐蚀的方法,制成适用于各种需要的形状。二、主要特性二、主要特性1(应变片)灵敏系数(应变片)灵敏系数n 金属应变丝的电阻相对变化与它所感
15、受的应变之间具有线金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系,用灵敏度系数性关系,用灵敏度系数KO表示;而电阻应变片的灵敏系数表示;而电阻应变片的灵敏系数K却却不同,不同,一般一般 K KO。原因原因有二:有二:(1)弹性元件的形变是通过剪切力传递到金属丝上的;)弹性元件的形变是通过剪切力传递到金属丝上的;(2)因横向效应的存在)因横向效应的存在n 应变片的灵敏系数应变片的灵敏系数 K只能只能通过通过实验方法实验方法抽样测定抽样测定确定,确定,具体具体方法方法:每批产品中提取一定百分比的产品进行标定。:每批产品中提取一定百分比的产品进行标定。2 2 横向效应横向效应 金金属属应应
16、变变片片发发生生机机械械形形变变时时,除除应应变变片片的的轴轴向向应应变变使使敏敏感感栅栅电电阻阻发发生生变变化化外外,其其横横向向应应变变r r也也将将使使敏敏感感栅栅半半圆圆弧弧部部分分的电阻发生变化。的电阻发生变化。金金属属应应变变片片在在发发生生机机械械形形变变时时,既既受受轴轴向向应应变变影影响响,又又受受横向应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应。横向应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应。bOlrrdld0图为图为 应变片敏感栅半圆弧应变片敏感栅半圆弧部分的形状。沿轴向应变为部分的形状。沿轴向应变为,沿横向应变为,沿横向应变为r r 。3 3 机械滞后机械滞后 应应变变片片粘
17、粘贴贴在在被被测测试试件件上上,当当温温度度恒恒定定时时,其其加加载载特特性性与与卸载特性不重合,即为机械滞后。卸载特性不重合,即为机械滞后。1机械应变机械应变卸载卸载加载加载指指示示应应变变i应变片的机械滞后应变片的机械滞后 产生原因:应变片在承产生原因:应变片在承受机械应变后,其内部会产受机械应变后,其内部会产生残余变形,使敏感栅电阻生残余变形,使敏感栅电阻发生少量不可逆变化;在制发生少量不可逆变化;在制造或粘贴应变片时,如果敏造或粘贴应变片时,如果敏感栅受到不适当的变形或者感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。粘结剂固化不充分。4 4 零点漂移和蠕变零点漂移和蠕变零零点点漂漂移移:对
18、对于于粘粘贴贴好好的的应应变变片片,当当温温度度恒恒定定时时,不不承承受受应应变变时时,其其电电阻阻值值随随时时间间增增加加而而变变化化的的特特性性,称称为为应应变变片片的的零零点漂移。点漂移。产产生生原原因因:敏敏感感栅栅通通电电后后的的温温度度效效应应;应应变变片片的的内内应应力力逐逐渐渐变化;粘结剂固化不充分等。变化;粘结剂固化不充分等。蠕变蠕变:如果在一定温度下,使应变片承受恒定的机械应变,:如果在一定温度下,使应变片承受恒定的机械应变,其电阻值随时间增加而变化的特性称为蠕变。其电阻值随时间增加而变化的特性称为蠕变。产生原因产生原因:由于胶层之间发生:由于胶层之间发生“滑动滑动”,使力
19、传到敏感栅的,使力传到敏感栅的应变量逐渐减少。应变量逐渐减少。5 温度效应温度效应温度效应温度效应:粘贴在试件上的电阻应变片在环境温度变化:粘贴在试件上的电阻应变片在环境温度变化时引起的电阻变化,产生虚假效应,这种现象称为温度效应。时引起的电阻变化,产生虚假效应,这种现象称为温度效应。两种主要影响因素:两种主要影响因素:敏感栅的电阻温度系数引起的电阻变化;敏感栅的电阻温度系数引起的电阻变化;由于热胀冷缩,膨胀系数不同形成的机械形变而引由于热胀冷缩,膨胀系数不同形成的机械形变而引起的电阻变化。起的电阻变化。虚假应变:虚假应变:6 6 应变极限、疲劳寿命应变极限、疲劳寿命应应变变极极限限:在在一一
20、定定温温度度下下,应应变变片片的的指指示示应应变变对对测测试试值值的的真真实实应应变变的的相相对对误误差差不不超超过过规规定定范范围围(一一般般为为10%10%)时时的的最最大大真真实实应应变值。变值。lim真实应变真实应变z指指示示应应变变i应变片的应变极限应变片的应变极限10%1疲劳寿命疲劳寿命:连续工作而不产生疲劳损坏的循环次数:连续工作而不产生疲劳损坏的循环次数N,称为应变,称为应变片的疲劳寿命。片的疲劳寿命。疲劳损坏疲劳损坏:三种情形。:三种情形。敏感栅或引线发生断路;敏感栅或引线发生断路;输出指示应变的极值变化输出指示应变的极值变化10%;输出波形上出现穗状尖峰。输出波形上出现穗状
21、尖峰。7 绝缘电阻、最大工作电流绝缘电阻、最大工作电流应变片绝缘电阻应变片绝缘电阻RmRm:是指已粘贴的应变片的引线与被测:是指已粘贴的应变片的引线与被测试件之间的电阻值。通常试件之间的电阻值。通常RmRm在在5050100M100M以上。以上。应变片最大工作电流应变片最大工作电流ImaxImax:对已安装的应变片,允许通对已安装的应变片,允许通过敏感栅而不影响其工作特性的最大电流称为应变片最大工过敏感栅而不影响其工作特性的最大电流称为应变片最大工作电流。作电流。8 8 动态特性动态特性当当被被测测应应变变值值随随时时间间变变化化的的频频率率很很高高时时,需需考考虑虑应应变变片片的的动动态态特
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- 传感器 检测 技术 02
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