波式和射线式传感器.ppt
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1、第十一章第十一章 波式和射线式传感器波式和射线式传感器l第一节第一节 超声波式传感器超声波式传感器l第二节第二节 微波式传感器微波式传感器l第三节第三节 射线式传感器射线式传感器l 自然界的各种各样的波动,按其性质(力的作用)基本上分为两大类:电磁波电磁波和机械波机械波。电磁波是由于电磁力的作用产生的,是电磁场变化在空间的传播过程。它传播的是电磁能量,在真空中传播的速度为3108m/s。电磁波依其频率可分为无线电波、红外线、可见光、紫外光、X射线、射线和宇宙射线。机械波是由于机械力(弹性力)产生的机械振动在介质中的传播,它传播的是机械能量,并且仅能在介质中的传播。自然界的机械波依频率可分为三大
2、类:次声波、声波和超声波。频率低于16Hz的波动称为次声;频率在20Hz20kHz之间的波动称为声(音),频率在20kHz以上的波动称为超声。人耳可听到声(音),但听不见次声与超声。第一节第一节 超声波式传感器超声波式传感器一、超声波及其物理性质一、超声波及其物理性质 频率在162104Hz之间的机械波,能为人耳所闻,称为声波;低于16Hz的机械波称为次声波;高于2104Hz的机械波,称为超声波。如图 一般诊断用超声波频率为110MHz,而最常用的是5MHz超声波。.基本原理基本原理 超声波在液体、固体中衰减很小,穿透能力超声波在液体、固体中衰减很小,穿透能力强,特别是对不透光的固体,超声波能
3、穿透几十强,特别是对不透光的固体,超声波能穿透几十米的厚度。超声波从一种介质入射到另一种介质米的厚度。超声波从一种介质入射到另一种介质时时,在介质面上会产生在介质面上会产生反射、折射和波型转换反射、折射和波型转换反射、折射和波型转换反射、折射和波型转换等现等现象。象。超声波在流动的流体中的传播速度与流体的超声波在流动的流体中的传播速度与流体的流速有关。另外流速有关。另外,当超声波碰到流体中的杂质或分当超声波碰到流体中的杂质或分界面时会产生显著的反射回波界面时会产生显著的反射回波,碰到活动的物体能碰到活动的物体能产生产生多普勒效应多普勒效应。根据这两种现象。根据这两种现象,可以制造两类可以制造两
4、类不同的超声波流量计不同的超声波流量计 这些特性使它在检测技术中获得了广泛的应这些特性使它在检测技术中获得了广泛的应用,如超声波用,如超声波无损探伤无损探伤、厚度测量厚度测量、流速测量流速测量、超声显微镜超声显微镜及及超声成像超声成像等。等。超声波时间变化法利用超声波的传播速度随流体的流速变化而发生变化的原理,通过测超声波脉冲传播线路的平均流速就可测量流速。超声波多普勒法 利用流体中的微小杂质(反射物体)的移动速度所产生的超声波多普勒效应,通过测超声波束交差区域的流速(相当于点的流速)就可测量流速1.超声波的波型及其转换超声波的波型及其转换 由于声源在介质中施力方向与波在介质由于声源在介质中施
5、力方向与波在介质中传播方向的不同,声波的波型也不同。中传播方向的不同,声波的波型也不同。纵波:质点振动方向与波的传播方向一致的波,称为纵波。(固体、液体和气体中传播)横波:质点振动方向垂直于传播方向的波,称为横波。(固体中传播)表面波:质点的振动介于纵波和横波之间,沿着表面传播,振幅随深度增加而迅速衰减的波,称为表面波。(固体的表面传播)超声波的传播速度与介质密度和弹性特性有关。超声波在气体和液体中传播时,由于不存在剪切应力,所以仅有纵波的传播,其传播速度c为 式中:介质的密度;Ba绝对压缩系数。上述的、Ba都是温度的函数,使超声波在介质中的传播速度随温度的变化而变化,表10-1为蒸馏水在01
6、00时声速随温度变化的数值。(10-1)0100范围内蒸馏水声速随温度的变化范围内蒸馏水声速随温度的变化 0100范围内蒸馏水声速随温度的变化范围内蒸馏水声速随温度的变化 可见,蒸馏水温度在0100范围内,声速随温度的变化而变化,在74时达到最大值,大于74后,声速随温度的增加而减小。此外,水质、压强也会引起声速的变化。在固体中,纵波、横波及其表面波三者的声速有一定的关系,通常可认为横波声速为纵波的一半,表面波声速为横波声速的90%。气体中纵波声速为344 m/s,液体中纵波声速在9001900m/s。2.超声波的反射和折射超声波的反射和折射 声波从一种介质传播到另一介质,在两声波从一种介质传
7、播到另一介质,在两介质的分界面上将发生反射和折射,见图介质的分界面上将发生反射和折射,见图 l(1)反射定律反射定律 入射角入射角的正弦与反射角的正弦与反射角的正弦之的正弦之比等于波速之比。当入射波和反射波的波型相同、比等于波速之比。当入射波和反射波的波型相同、波速相等时,入射角波速相等时,入射角等于反射角等于反射角。l(2)折射定律折射定律 入射角入射角的正弦与折射角的正弦与折射角的正弦之的正弦之比等于入射波中介质的波速比等于入射波中介质的波速c1与折射波中介质的与折射波中介质的波速波速c2之比,即之比,即 3.声波的衰减声波的衰减 声波在介质中传播时,随着传播距离的声波在介质中传播时,随着
8、传播距离的增加,能量逐渐衰减。其声压和声强的衰增加,能量逐渐衰减。其声压和声强的衰减规律如下:减规律如下:l px,lx平面波在平面波在x处的声压和声强;处的声压和声强;l p0,l0平面波在平面波在x=0处的声压和声强;处的声压和声强;l 衰减系数。衰减系数。单位为Np/cm(奈培/厘米)。声波在介质中传播时,能量的衰减,取声波在介质中传播时,能量的衰减,取决于声波的扩散、散射和吸收。决于声波的扩散、散射和吸收。l在理想介质中,声波的衰减仅来自于声波的扩散扩散,就是随着声波传播距离的增加,在单位面积内声能将要减弱。l散射散射衰减就是声波在固体介质中颗粒界面上散射,或在流体介质中有悬浮粒子使超
9、声波散射。l而声波的吸收吸收是由介质的导热性导热性、粘滞性粘滞性及弹性弹性滞滞后等造成的。吸收随声波频率的升高而增高。二、超声波传感器的应用二、超声波传感器的应用 1.超声波传感器超声波传感器 为了以超声波作为检测手段,必须产生超声波为了以超声波作为检测手段,必须产生超声波和接收超声波。完成这种功能的装置就是超声波和接收超声波。完成这种功能的装置就是超声波传感器,习惯上称为超声波换能器,或超声波探传感器,习惯上称为超声波换能器,或超声波探头。超声波发射探头发出的超声波脉冲在介质中头。超声波发射探头发出的超声波脉冲在介质中传到相介面经过反射后,再返回到接收探头,这传到相介面经过反射后,再返回到接
10、收探头,这就是超声波测距原理。就是超声波测距原理。超声波探头超声波探头常用的材料是压电晶体和压常用的材料是压电晶体和压电陶瓷,这种探头统称为压电式超声波探电陶瓷,这种探头统称为压电式超声波探头。头。它是利用压电材料的逆压电效应来工作它是利用压电材料的逆压电效应来工作的。逆压电效应将高频电振动转换成高频的。逆压电效应将高频电振动转换成高频机械振动,以产生超声波,可作为发射探机械振动,以产生超声波,可作为发射探头。而利用正压电效应则将接收的超声振头。而利用正压电效应则将接收的超声振动转换成压电信号,可作为接收探头。动转换成压电信号,可作为接收探头。超声波探头的具体结构如图 超声波探头结构 a)发射
11、探头 b)接收探头 1导线 2压电晶片 1导线 2弹簧 3音膜 4锥形罩 3压电晶片 4锥形罩2.超声波测厚超声波测厚 超声波测量金属零件的厚度,具有测量精度超声波测量金属零件的厚度,具有测量精度高,测试仪器轻便,操作安全简单,易于读数及高,测试仪器轻便,操作安全简单,易于读数及实行连续自动检测等优点。实行连续自动检测等优点。超声波测厚常用脉冲回波法。脉冲回波法检超声波测厚常用脉冲回波法。脉冲回波法检测厚度的工作原理如图测厚度的工作原理如图 如果超声波在工件如果超声波在工件中的声速中的声速v是已知的,设是已知的,设工件厚度为工件厚度为,脉冲波从,脉冲波从发射到接收的时间间隔发射到接收的时间间隔
12、T可以测量,因此可求出可以测量,因此可求出工件厚度为工件厚度为 (a)超声波在液体中传播;(b)超声波在空气中传播2 超声波流量传感器超声波流量传感器 超声波流量传感器的测定方法是多样的,如传播速度变化法、波速移动法、多普勒效应法、流动听声法等。但目前应用较广的主要是超声波传播时间差法。超声波在流体中传播时,在静止流体和流动流体中的传播速度是不同的,利用这一特点可以求出流体的速度,再根据管道流体的截面积,便可知道流体的流量。如果在流体中设置两个超声波传感器,它们既可以发射超声波又可以接收超声波,一个装在上游,一个装在下游,其距离为L,如图10-5所示。如设顺流方向的传播时间为t1,逆流方向的传
13、播时间为t2,流体静止时的超声波传播速度为c,流体流动速度为v,则(10-13)(10-14)图10-5 超声波测流量原理图 一般来说,流体的流速远小于超声波在流体中的传播速度,因此超声波传播时间差为(10-15)由于cv,从上式便可得到流体的流速,即(10-16)图10-6 超声波传感器安装位置 此时超声波的传输时间将由下式确定:超声波流量传感器具有不阻碍流体流动的特点,可测的流体种类很多,不论是非导电的流体、高粘度的流体,还是浆状流体,只要能传输超声波的流体都可以进行测量。超声波流量计可用来对自来水、工业用水、农业用水等进行测量。还适用于下水道、农业灌渠、河流等流速的测量。第二节第二节 微
14、波式传感器微波式传感器一、微波的基础知识一、微波的基础知识 微波是波长为微波是波长为1m1mm的电磁波,既具有电的电磁波,既具有电磁波的性质,又不同于普通的无线电波和光波。磁波的性质,又不同于普通的无线电波和光波。微波相对于波长较长的电磁波具有下列特点:微波相对于波长较长的电磁波具有下列特点:空间辐射的装置容易制造;空间辐射的装置容易制造;遇到各种障碍物易于反射;遇到各种障碍物易于反射;绕射能力较差;绕射能力较差;传输特性良好,传输过程中受烟、灰尘、强光等的影响传输特性良好,传输过程中受烟、灰尘、强光等的影响很小;很小;介质对微波的吸收与介质的介电常数成比例,介质对微波的吸收与介质的介电常数成
15、比例,水对微波水对微波的吸收作用最强。的吸收作用最强。电磁波谱图 二、微波传感器二、微波传感器 微波传感器是利用微波特性来检测某些物理量的器件或装置。由发射天线发出微波,此波遇到被测物体时将被吸收或反射,(微波功率发生变化)并将它转换为电信号,再经过信号调理电路,即可以显示出被测量,实现了微波检测微波传感器可分为反射式与遮断式两种。微波传感器可分为反射式与遮断式两种。1.反射式传感器 这种传感器通过检测被测物反射回来的微波功率或经过时间间隔来表达被测物的位置、厚度等参数。2.遮断式传感器 这种传感器通过检测接收天线接收到的微波功率的大小,来判断发射天线与接收天线间有无被测物或被测物的位置等参数
16、。微波传感器的组成微波传感器的组成 微波传感器通常由微波发射器(即微波振荡器)、微波天线及微波检测器三部分组成。1.微波振荡器及微波天线微波振荡器及微波天线 微波振荡器是产生微波的装置。由于微波波长很短,即频率很高(300 MHz300 GHz),要求振荡回路中具有非常微小的电感与电容,因此不能用普通的电子管与晶体管构成微波振荡器。构成微波振荡器的器件有调速管、磁控管或某些固态器件。由微波振荡器产生的振荡信号需要用波导管(管长为10 cm以上,可用同轴电缆)传输,并通过天线发射出去。为了使发射的微波具有尖锐的方向性,天线要具有特殊的结构。常用的天线如图10-6所示,其中有喇叭形天线(图(a)、
17、(b)、抛物面天线(图(c)、(d)、介质天线与隙缝天线等。喇叭形天线结构简单,制造方便,可以看作是波导管的延续。喇叭形天线在波导管与空间之间起匹配作用,可以获得最大能量输出。抛物面天线使微波发射方向性得到改善。图10-6 常用的微波天线(a)扇形喇叭天线;(b)圆锥形喇叭天线;(b)(c)旋转抛物面天线;(d)抛物柱面天线 2.微波检测器微波检测器 电磁波作为空间的微小电场变动而传播,所以使用电流-电压特性呈现非线性的电子元件作为探测它的敏感探头。与其它传感器相比,敏感探头在其工作频率范围内必须有足够快的响应速度。作为非线性的电子元件,在几兆赫以下的频率通常可用半导体PN结,而对于频率比较高
18、的可使用肖肖特特基基结结。在灵敏度特性要求特别高的情况下可使用超导材料的约约瑟瑟夫夫逊逊结结检检测测器器、SIS检测器等超导隧道结元件,而在接近光的频率区域可使用由金属-氧化物-金属构成的隧道结元件。微波的检测方法有两种,一种是将微波变化为电流的视频变化方式,另一种是与本机振荡器并用而变化为频率比微波低的外差法。微波检测器性能参数有:频率范围、灵敏度-波长特性、检测面积、FOV(视角)、输入耦合率、电压灵敏度、输出阻抗、响应时间常数、噪声特性、极化灵敏度、工作温度、可靠性、温度特性、耐环境性等。微波传感器的特点微波传感器的特点 微波传感器作为一种新型的非接触传感器具有如下特点:有极宽的频谱(波
19、长=1.0 mm1.0m)可供选用,可根据被测对象的特点选择不同的测量频率;在烟雾、粉尘、水汽、化学气氛以及高、低温环境中对检测信号的传播影响极小,因此可以在恶劣环境下工作;时间常数小,反应速度快,可以进行动态检测与实时处理,便于自动控制;测量信号本身就是电信号,无须进行非电量的转换,从而简化了传感器与微处理器间的接口,便于实现遥测和遥控;微波无显著辐射公害。微波传感器存在的主要问题是零点漂移和标定尚未得到很好的解决。其次,使用时外界环境因素影响较多,如温度、气压、取样位置等。三、微波传感器的应用三、微波传感器的应用l1.微波液位计 接收天线接收的功率Pr可表示为 d两天线与被测液面间的垂直距
20、离;s 两天线间的水平距离;Pt、Gt发射天线发射的功率和增益;Gr接收天线的增益。2 微波湿度传感器微波湿度传感器 水分子是极性分子,常态下成偶极子形式杂乱无章地分布着。在外电场作用下,偶极子会形成定向排列。当微波场中有水分子时,偶极子受场的作用而反复取向,不断从电场中得到能量(储能),又不断释放能量(放能),前者表现为微波信号的相移,后者表现为微波衰减。这个特性可用水分子自身介电常数来表征,即=+(11-1)式中:储能的度量;衰减的度量;常数。与不仅与材料有关,还与测试信号频率有关,所以极性分子均有此特性。一般干燥的物体,如木材、皮革、谷物、纸张、塑料等,其在15范围内,而水的则高达64,
21、因此如果材料中含有少量水分子时,其复合将显著上升,也有类似性质。使用微波传感器,测量干燥物体与含一定水分的潮湿物体所引起的微波信号的相移与衰减量,就可以换算出物体的含水量。如下图所示,图中,MS产生的微波功率经分功率器分成两路,再经衰减器A1、A2分别注入到两个完全相同的转换器T1、T2中。其中,T1放置无水酒精,T2放置被测样品。相位与衰减测定仪(PT、AT)分别反复接通两电路(T1和T2)输出,自动记录与显示它们之间的相位差与衰减差,从而确定样品酒精的含水量。测量酒精含水量的仪器框图3 微波测厚仪微波测厚仪 微波测厚仪是利用微波在传播过程中遇到被测物体金属表面被反射,且反射波的波长与速度都
22、不变的特性进行测厚的。微波测厚仪原理如图所示,在被测金属物体上下两表面各安装一个终端器。微波信号源发出的微波,经过环行器A、上传输波导管传输到上终端器,由上终端器发射到被测物体上表面上,微波在被测物体上表面全反射后又回到上终端器,再经过传输导管、环行器A、下传输波导管传输到下终端器。由下终端器发射到被测物体下表面的微波,经全反射后又回到下终端器,再经过传输导管回到环行器A。因此被测物体的厚度与微波传输过程中的行程长度有密切关系,当被测物体厚度增加时,微波传输的行程长度便减小。微波测厚仪原理图 一般情况下,微波传输的行程长度的变化非常微小。为了精确地测量出这一微小变化,通常采用微波自动平衡电桥法
23、,前面讨论的微波传输行程作为测量臂,而完全模拟测量臂微波的传输行程设置一个参考臂(图右部)。若测量臂与参考臂行程完全相同,则反相叠加的微波经过检波器C检波后,输出为零。若两臂行程长度不同,两路微波叠加后不能相互抵消,经检波器后便有不平衡信号输出。此不平衡差值信号经放大后控制可逆电机旋转,带动补偿短路器产生位移,改变补偿短路器的长度,直到两臂行程长度完全相同,放大器输出为零,可逆电机停止转动为止。补偿短路器的位移与被测物厚度增加量之间的关系式为 S=LB-(LA-LA)=LB-(LA-h)=h 式中:LA电桥平衡时测量臂行程长度;LB电桥平衡时参考臂行程长度;LA被测物厚度变化h后引起的测量臂行
24、程长度变化值;h被测物厚度变化;S补偿短路器位移值。由上式可知,补偿短路器位移值S即为被测物厚度变化值h。微波测定移动物体的速度和距离微波测定移动物体的速度和距离 微波测定移动物体的速度和距离是利用雷达能动地将电波发射到对象物,并接受返回的反射波的能动型传感器。若对在距离发射天线为r的位置上以相对速度v运动的物体发射微波,则由于多普勒效应,反射波的频率fr发生偏移,如下式所示:f r=f 0+fD 式中fD是多普勒频率,并可表示为(11-4)(11-3)当物体靠近靶时,多普勒频率fD为正;远离靶时,fD为负。输入接收机的反射波的电压ue可用下式表示:(11-5)括号内的第二项是因电波在距离r上
25、往返而产生的相位滞后。用接收机将来自发射机的参照信号Ue sin2f0t与上述反射信号混合后,进行超外差检波,则可得到如下式那样的具有两频率之差,即fD的差拍频率的多卜勒输出信号为(11-6)因此,根据测量到的差差拍拍信信号号频频率率,可测定相对速度。但是,用此方法不能测定距离。为此考虑发射频率稍有不同的两个电波f1和f2,这两个波的反射波的多普勒频率也稍有不同。若测定这两个多普勒输出信号成分的相位差为,则可利用下式求出距离r:(11-7)微波无损检测微波无损检测 微波无损检测是综合利用微波与物质的相互作用,一方面微波在不连续界面处会产生反射、散射、透射,另一方面微波还能与被检材料产生相互作用
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