检测技术固态图像传感器.ppt
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1、第14章 固态图象传感器CCD(电荷耦合器件工作原理)nCCD是以阵列形式排列在衬底材料上的金属氧化物半导体(MOS)电容器件组成,具有光生电荷、积蓄和转移电荷功能。光线光线金属P型硅势阱一个势阱所收集的光生电荷称为一个“电荷包”。一个MOS光敏元称为一个像素。在CCD器件是在半导体硅片上制作成百上千的规则排列的MOS光敏元,称为光敏元阵列。nCCD图像传感器n按像素的空间排列分为线阵CCD和面阵CCD。线阵CCD主要用于一维尺寸的自动检测,精度高。面阵CCD主要用于实时摄像CCD的基本特征参数的基本特征参数n1.响应度(光电转换因子):指输出的电信号与输入的光信号能量之比:n2.光谱特性:指
2、器件的响应度n与入射光频率或波长的关系。n3.暗电流:CCD器件在没有光n信号输入时,由MOS电容中的少数热载流子形成的转移电流。暗电流是判断CCD器件的重要标准。n4.分辨率:表示分辨图像的能力,取决于光敏单元的间距,常用光敏单元数表示。n检测中CCD对被测图像的分辨率取决于光敏单元的中心距、光学系统放大倍数及CCD光敏单元数。n例:如果线阵CCD传感器的光敏单元数为2048,相邻光敏单元中心距为14um,光学系统放大倍数8,则光敏单元总长度为:nCCD实际分辨率。n最大被测物体尺寸D由下式给出:n高速线阵CCD举例nIL-P1-4096是加拿大DALSA公司生产的双相高速线阵CCD。n双相
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- 检测 技术 固态 图像传感器
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