07光敏功能材料及传感器课件优秀PPT.ppt
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1、光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器 光敏材料能够将非电量的光信号转换成可检测的电光敏材料能够将非电量的光信号转换成可检测的电量,利用具有这种特性的材料制成的传感器。量,利用具有这种特性的材料制成的传感器。光电传感器光电传感器由由光光引引起起的的电电效效应应内光电效应内光电效应外光电效应外光电效应光生伏特效应光生伏特效应光照作用下使电子逸出物体表面的现象光照作用下使电子逸出物体表面的现象如:光电管、光电倍增器等如:光电管、光电倍增器等光的作用仅使物体的电阻率变更的现象光的作用仅使物体的电阻率变更的现象如:光敏电阻如:光敏电阻光照作用下使物体产生确定的电势光照作用下使物体产生确定的电势如:光
2、敏二极管、光敏三极管、光电池、如:光敏二极管、光敏三极管、光电池、光敏晶体管等光敏晶体管等光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器 利用物质在光的照射下电导性能变更或产生电利用物质在光的照射下电导性能变更或产生电动势的原理制成的光电器件称内光电效应器件,常动势的原理制成的光电器件称内光电效应器件,常见的有光敏电阻、光电池和光敏晶体管等。见的有光敏电阻、光电池和光敏晶体管等。一一 、内光电效应器件、内光电效应器件(一)光敏电阻(一)光敏电阻(光导管光导管)纯电阻元件,其工作原理是基于光电导效应,其阻值随纯电阻元件,其工作原理是基于光电导效应,其阻值随光照增加而减小。光照增加而
3、减小。优点:灵敏度高,光谱响应范围宽,体积小、重量轻、机械优点:灵敏度高,光谱响应范围宽,体积小、重量轻、机械强度高,耐冲击、耐振动、抗过载实力强和寿命长等。强度高,耐冲击、耐振动、抗过载实力强和寿命长等。不足:须要外部电源,有电流时会发热。不足:须要外部电源,有电流时会发热。光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器4 1 1、光敏电阻的结构、光敏电阻的结构A金属封装的硫化镉光敏电阻结构图金属封装的硫化镉光敏电阻结构图光导电材料绝缘衬底引线电极引线光电导体 为为了了获获得得高高的的灵灵敏敏度度,光光敏敏电电阻阻的的电电极极一一般般接接受受梳梳状图案,结构见下图。状图案,结构见下图。光光敏敏电电
4、阻阻的的结结构构如如图图所所示示。管管芯芯是是一一块块安安装装在在绝绝缘缘衬衬底底上上带有带有两个欧姆接触电极两个欧姆接触电极的光电导体。的光电导体。光光导导体体吸吸取取光光子子而而产产生生的的光光电电效效应应,只只限限于于光光照照的的表表面面薄薄层层,虽虽然然产产生生的的载载流流子子也也有有少少数数扩扩散散到到内内部部去去,但但扩扩散散深深度度有有限,因此光电导体一般都做成薄层。限,因此光电导体一般都做成薄层。光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器1-光导层光导层;2-玻璃窗口玻璃窗口;3-金属外壳金属外壳;4-电极电极;5-陶瓷基座陶瓷基座;6-黑色绝缘玻璃黑色绝缘玻璃;7-电阻引线。电
5、阻引线。(b)电极RG(c)符号u光敏电阻的制作方式光敏电阻的制作方式CdS光敏电阻的结构和符号(硫化镉)光敏电阻的结构和符号(硫化镉)1234567(a)结构 是是在在确确定定的的掩掩模模下下向向光光电电导导薄薄膜膜上上蒸蒸镀镀金金(Au)或或铟铟(In)等等金金属属形形成成的的。这这种种梳梳状状电电极极,由由于于在在间间距距很很近近的的电电极极之之间间有有可可能能接接受受大大的的灵灵敏敏面面积积,所所以以提提高高了了光光敏敏电电阻阻的的灵灵敏敏度。图(度。图(c)是光敏电阻的代表符号。)是光敏电阻的代表符号。光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器 光光敏敏电电阻阻的的灵灵敏敏度度易易受受
6、湿湿度度的的影影响响,因因此此要要将将光光电电导导体体严严密密封封装装在在玻玻璃璃壳壳体体中中。假假如如把把光光敏敏电电阻阻连连接接到到外外电电路路中中,在在外外加加电电压压的的作作用用下下,用用光光照照射射就就能能变变更电路中电流的大小,其连线电路如图所示。更电路中电流的大小,其连线电路如图所示。RGRLEI光光敏敏电电阻阻具具有有很很高高的的灵灵敏敏度度,很很好好的的光光谱谱特特性性,光光谱谱响响应应可可从从紫紫外外区区到到红红外外区区范范围围内内。而而且且体体积积小小、重量轻、性能稳定、价格便宜重量轻、性能稳定、价格便宜,因此应用比较广泛。,因此应用比较广泛。u光敏电阻的制作方式光敏电阻
7、的制作方式光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器2 2、光敏电阻的主要参数和基本特性、光敏电阻的主要参数和基本特性(1 1)暗电流、亮电流、光电流)暗电流、亮电流、光电流暗暗电电流流(Id):光光敏敏电电阻阻在在室室温温条条件件下下,全全暗暗(无无光光照照射射)后后经经过过确确定定时时间间测测量量的的电电阻阻值值,称称为为暗暗电电阻阻。此此时时在在给给定定电电压压下下流流过过的的电电流流称称为暗电流。为暗电流。亮电流:亮电流:光敏电阻在某一光照下的阻值,称为该光照下光敏电阻在某一光照下的阻值,称为该光照下的的亮电阻亮电阻。此时在给定电压下流过的电流称为。此时在给定电压下流过的电流称为亮电流亮
8、电流。光电流光电流(IL):亮电流与暗电流之差。亮电流与暗电流之差。光敏电阻的暗电阻越大,而亮电阻越小光敏电阻的暗电阻越大,而亮电阻越小,则性能越好。也就则性能越好。也就是说,暗电流越小,光电流越大,这样的光敏电阻的灵敏度越高。是说,暗电流越小,光电流越大,这样的光敏电阻的灵敏度越高。好用的光敏电阻的暗电阻往往超过好用的光敏电阻的暗电阻往往超过1M,1M,甚至高达甚至高达100M100M,而亮电阻则在几而亮电阻则在几kk以下,暗电阻与亮电阻之比在以下,暗电阻与亮电阻之比在102102106106之间,之间,可见光敏电阻的灵敏度很高。可见光敏电阻的灵敏度很高。光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传
9、感器8(2 2)光照特性)光照特性 下下图图表表示示CdSCdS光光敏敏电电阻阻的的光光照照特特性性。在在确确定定外外加加电电压压下下,光光敏敏电电阻阻的的光光电电流流和和光光照照度度之之间间的的关关系系。不不同同类类型型光光敏敏电电阻阻光光照照特性不同特性不同.1000012345I/mA E/lx2000但但光光照照特特性性曲曲线线均均呈呈非非线线性性。因因此此它它不不宜宜作作定定量量检检测测元元件件,这这是是光敏电阻的不足之处。一般在自动限制系统中用作光电开关。光敏电阻的不足之处。一般在自动限制系统中用作光电开关。Lx:照度的国际单照度的国际单位(位(SI),又称),又称米烛光。米烛光。
10、1流明的流明的光通量匀整分布光通量匀整分布在在1平方米面积上平方米面积上的照度,就是一的照度,就是一勒克斯。可以标勒克斯。可以标作勒克斯,作勒克斯,简称勒。英为简称勒。英为lux,简作,简作lx。2 2、光敏电阻的主要参数和基本特性、光敏电阻的主要参数和基本特性光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器 光谱特性与光敏电阻的材料有关。从图中可知,硫化光谱特性与光敏电阻的材料有关。从图中可知,硫化铅光敏电阻在较宽的光谱范围内均有较高的灵敏度,峰值铅光敏电阻在较宽的光谱范围内均有较高的灵敏度,峰值在红外区域;硫化镉、硒化镉的峰值在可见光区域。因此,在红外区域;硫化镉、硒化镉的峰值在可见光区域。因此,
11、在选用光敏电阻时,应把光敏电阻的材料和光源的种类结在选用光敏电阻时,应把光敏电阻的材料和光源的种类结合起来考虑,才能获得满足的效果。合起来考虑,才能获得满足的效果。204060801000.40.81.21.622.4/m312相对灵敏度1硫化镉硫化镉2硒化镉硒化镉3硫化铅硫化铅(3 3)光谱特性)光谱特性2 2、光敏电阻的主要参数和基本特性、光敏电阻的主要参数和基本特性光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器 在确定照度下,加在光敏电阻两端的电压与电流之间的关在确定照度下,加在光敏电阻两端的电压与电流之间的关系称为伏安特性。图中曲线系称为伏安特性。图中曲线1、2分别表示照度为零及照度为某分别
12、表示照度为零及照度为某值时的伏安特性。由曲线可知,在给定偏压下值时的伏安特性。由曲线可知,在给定偏压下,光照度较大,光光照度较大,光电流也越大。在确定的光照度下,所加的电压越大,光电流越电流也越大。在确定的光照度下,所加的电压越大,光电流越大,而且无饱和现象。大,而且无饱和现象。但但是是电电压压不不能能无无限限地地增增大大,因因为为任任何何光光敏敏电电阻阻都都受受额额定定功功率率、最最高高工工作作电电压压和和额额定定电电流流的的限限制制。超超过过最最高高工工作作电电压压和和最最大大额额定定电电流流,可可能能导致光敏电阻永久性损坏。导致光敏电阻永久性损坏。5010015020012U/V0204
13、0I/A(4 4)伏安特性伏安特性2 2、光敏电阻的主要参数和基本特性、光敏电阻的主要参数和基本特性光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器 当当光光敏敏电电阻阻受受到到脉脉冲冲光光照照射射时时,光光电电流流要要经经过过一一段段时时间间才才能能达达到到稳稳定定值值,而而在在停停止止光光照照后后,光光电电流流也也不不立立刻刻为为零零,这这就就是是光光敏敏电电阻阻的的时时延延特特性性。由由于于不不同同材材料料的的光光敏敏电电阻阻时时延延特特性性不不同,所以它同,所以它们们的的频频率特性也不同。率特性也不同。如图。硫化铅的运用频率比硫如图。硫化铅的运用频率比硫化镉高得多,但多数光敏电阻化镉高得多,但
14、多数光敏电阻的时延(时间常数)都比较大,的时延(时间常数)都比较大,所以,它不能用在要求快速响所以,它不能用在要求快速响应的场合。应的场合。20406080100I/%f/Hz010102103104硫化铅硫化镉(5 5)频率特性)频率特性2 2、光敏电阻的主要参数和基本特性、光敏电阻的主要参数和基本特性光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器 光电二极管基本结构是一个光电二极管基本结构是一个PN结。它的结面积结。它的结面积小,因此它的频率特性特殊好。输出电流小,一般小,因此它的频率特性特殊好。输出电流小,一般为几为几A到几十到几十A。按材料分,光电二极管有硅、砷。按材料分,光电二极管有硅、砷
15、化镓、锑化铟光电二极管等很多种。化镓、锑化铟光电二极管等很多种。国产硅光电二极管按衬底材料的导电类型不同,国产硅光电二极管按衬底材料的导电类型不同,分为分为2CU和和2DU两种系列。两种系列。2CU系列以系列以N-Si为衬底,为衬底,2DU系列以系列以P-Si为衬底。为衬底。2CU系列的光电二极管只有系列的光电二极管只有两条引线,而两条引线,而2DU系列光电二极管有三条引线。系列光电二极管有三条引线。(二)光敏二极管和光敏三极管二)光敏二极管和光敏三极管光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器光敏二极管的结构与一般二极光敏二极管的结构与一般二极管相像、它装在透亮玻璃外壳中,管相像、它装在透亮玻
16、璃外壳中,其其PNPN结装在管顶,可干脆受到光照结装在管顶,可干脆受到光照射。射。光敏二极管在电路中一般是处光敏二极管在电路中一般是处于反向工作状态,如图所示。于反向工作状态,如图所示。光敏二极管符号光敏二极管符号PN光RL 光PN光敏二极管接线光敏二极管接线1、光敏二极管、光敏二极管CL-5M3B5mmPhototransistor光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器14光敏二极管的光电流光敏二极管的光电流 I 与照度之间呈线性关系。光敏二极管与照度之间呈线性关系。光敏二极管的光照特性是线性的,所以的光照特性是线性的,所以适合检测等方面的适合检测等方面的应用。应用。光敏二极管在没有光照射
17、时,反向电阻很大,反向电光敏二极管在没有光照射时,反向电阻很大,反向电流很小。光敏二极管处于截止状态,这时只有少数载流子流很小。光敏二极管处于截止状态,这时只有少数载流子在反向偏压的作用下,渡越阻挡层形成微小的反向电流。在反向偏压的作用下,渡越阻挡层形成微小的反向电流。暗电流;暗电流;当光照射时,光敏二极管导通。受光照射时,当光照射时,光敏二极管导通。受光照射时,PN结旁结旁边受光子轰击,吸取其能量而产生电子边受光子轰击,吸取其能量而产生电子-空穴对,从而使空穴对,从而使P区和区和N区的少数载流子浓度大大增加,因此在外加反向偏压区的少数载流子浓度大大增加,因此在外加反向偏压和内电场的作用下,和
18、内电场的作用下,P区的少数载流子渡越阻挡层进入区的少数载流子渡越阻挡层进入N区,区,N区的少数载流子渡越阻挡层进入区的少数载流子渡越阻挡层进入P区,从而使通过区,从而使通过PN结的结的反向电流大为增加,形成了光电流。反向电流大为增加,形成了光电流。光电流:光电流:1、光敏二极管、光敏二极管光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器(1 1)PINPIN管结光电二极管管结光电二极管P-SiN-SiI-SiPIN管结构示意图 PIN PIN管是光电二极管中的一种。它的结构特点是,在管是光电二极管中的一种。它的结构特点是,在P P型型半导体和半导体和N N型半导体之间夹着一层(相对)很厚的本征半导型半
19、导体之间夹着一层(相对)很厚的本征半导体。这样,体。这样,PNPN结的内电场就基本上全集中于结的内电场就基本上全集中于 I I 层中,从而层中,从而使使PNPN结双电层的间距加宽,结电容变小结双电层的间距加宽,结电容变小,频带将变宽。频带将变宽。1、光敏二极管、光敏二极管光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器最大特点:频带宽,可达最大特点:频带宽,可达10GHz10GHz。特点:特点:另另一一个个特特点点是是,因因为为I I层层很很厚厚,在在反反偏偏压压下下运运用用,可可承承受受较较高高的的反反向向电电压压,线线性性输输出出范范围围宽宽。由由耗耗尽尽层层宽宽度度与与外外加加电电压压的的关关系
20、系可可知知,增增加加反反向向偏偏压压会会使使耗耗尽尽层层宽宽度度增增加加,从从而而结结电电容要进一步减小,使频带宽度变宽。容要进一步减小,使频带宽度变宽。I I层层电电阻阻很很大大,管管子子的的输输出出电电流流小小,一一般般多多为为零零点点几几微微安安至至数数微微安安。目目前前有有将将PINPIN管管与与前前置置运运算算放放大大器器集集成成在在同同一一硅硅片片上并封装于一个管壳内的商品出售。上并封装于一个管壳内的商品出售。不足:不足:1、光敏二极管、光敏二极管光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器 雪崩光电二极管是利用雪崩光电二极管是利用PN结在高反向电压下产生的雪崩效应来工作的结在高反向电
21、压下产生的雪崩效应来工作的一种二极管。一种二极管。这种管子工作电压很高,约这种管子工作电压很高,约100200V,接近于反向击穿电压。结区内电,接近于反向击穿电压。结区内电场极强,光生电子在这种强电场中可得到极大的加速,同时与晶格碰撞而场极强,光生电子在这种强电场中可得到极大的加速,同时与晶格碰撞而产生电离雪崩反应。因此,这种管子有很高的内增益,可达到几百。当电产生电离雪崩反应。因此,这种管子有很高的内增益,可达到几百。当电压等于反向击穿电压时,电流增益可达压等于反向击穿电压时,电流增益可达106,即产生所谓的雪崩。这种管子,即产生所谓的雪崩。这种管子响应速度特殊快,带宽可达响应速度特殊快,带
22、宽可达100GHz,是目前响应速度最快的一种光电二极,是目前响应速度最快的一种光电二极管。管。噪声大是这种管子目前的一个主要缺点。由于雪崩反应是随机的,所以噪声大是这种管子目前的一个主要缺点。由于雪崩反应是随机的,所以它的噪声较大,特殊是工作电压接近或等于反向击穿电压时,噪声可增大它的噪声较大,特殊是工作电压接近或等于反向击穿电压时,噪声可增大到放大器的噪声水平,以至无法运用。但由于到放大器的噪声水平,以至无法运用。但由于APD的响应时间极短,灵敏的响应时间极短,灵敏度很高,它在光通信中应用前景广袤。度很高,它在光通信中应用前景广袤。(2 2)雪崩光电二极管雪崩光电二极管(APD)(APD)光
23、敏二极管的种类和用途见表光敏二极管的种类和用途见表10-21、光敏二极管、光敏二极管光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器(1 1)光敏三极管有)光敏三极管有PNPPNP型和型和NPNNPN型两种,如图。型两种,如图。2、光敏三极管、光敏三极管 其其结结构构与与一一般般三三极极管管很很相相像像,具具有有电电流流增增益益,只只是是它它的的放放射射极极一一边边做做的的很很大大,以以扩扩大大光光的的照照射射面面积积,且且其其基基极极不不接接引引线线。当当集集电电极极加加上上正正电电压压,基基极极开开路路时时,集集电电极极处处于于反反向向偏偏置置状状态态。当当光光线线照照射射在在集集电电结结的的基基
24、区区时时,会会产产生生电电子子-空空穴穴对对,在在内内电电场场的的作作用用下下,光光生生电电子子被被拉拉到到集集电电极极,基基区区留留下下空空穴穴,使使基基极极与与放放射射极极间间的的电电压压上上升升,这这样样便便有有大大量量的的电电子子流流向向集集电电极极,形形成成输输出出电电流流,且且集集电极电流为光电流的电极电流为光电流的倍。倍。RL ECEPPNNNPe b bcec(1)(2)光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器IC:集电极电流;集电极电流;IP:基极与集电极:基极与集电极p-n结的光生电流;结的光生电流;ICBO:无光照时:无光照时p-n结反向饱和电流;结反向饱和电流;:共放射
25、极直流放大系数。:共放射极直流放大系数。一般反向饱和电流一般反向饱和电流ICBO很小,所以有:很小,所以有:2、光敏三极管、光敏三极管光敏功能材料及传感器光敏功能材料及传感器20(2)光敏三极管的主要特性:)光敏三极管的主要特性:光敏三极管存在一个最佳灵敏度的峰值波长。当入射光的波长增加时,光敏三极管存在一个最佳灵敏度的峰值波长。当入射光的波长增加时,相对灵敏度要下降。因为光子能量太小,不足以激发电子空穴对。当入射相对灵敏度要下降。因为光子能量太小,不足以激发电子空穴对。当入射光的波长缩短时,相对灵敏度也下降,这是由于光子在半导体表面旁边就光的波长缩短时,相对灵敏度也下降,这是由于光子在半导体
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