2016-2022E全球半导体设备市场规模及预测情况.docx

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1、2016-2022E全球半导体设备市场规模及预测情况半导体设备市场持续增长的底层逻辑是科技产业发展对半导体需求量的提升，直接驱动因素是下游晶圆制造厂商的扩产。根据数据显示，2021 年半导体市场规模实现同比增长 26%，达 5530 亿美元。全球半导体产业资本支出保持强劲增长，WSTS、2021年全球半导体设备市场规模及国内主要企业（市场规模为全球口径）文件名称市场规模国内主要公司国产化率薄膜沉积设备190亿美元北方华创、拓荆科技6%刻蚀设备194亿美元北方华创、中微公司20%左右光刻机181亿美元上海微电子零的突破检测设备100亿美元上海精测、中科飞测2%清洗设备42亿美元盛美上海、芯源微、

2、北方华创、至纯科技20%涂胶显影设备34亿美元芯源微2%CMP设备24亿美元华海清科18%热处理设备20亿美元屹唐半导体、北方华创20%左右离子注入设备22亿美元凯世通、中科信2%去胶设备7亿美元屹唐半导体90%刻蚀设备占据半导体设备超 20%的市场，2021 年全球刻蚀设备市场规模为 194 亿美元，预计 2022 年将达到 216亿美元。薄膜沉积设备在半导体设备中占比稳定在 20%左右，2021 年全球半导体薄膜沉积设备市场规模达 190 亿美元，预计 2022 年将达到 212 亿美元。根据全球半导体设备市场规模估算，2021 年全球光刻机市场规模为 181 亿美元，预计 2022 年将

3、达到 201 亿美元。全球半导体检测和量测设备市场保持高速增长态势， 2021 年全球市场规模达 100 亿美元，预计 2022 年将达到 112 亿美元。前道检测设备领域中，KLA 具有绝对优势，占 52%的市场份额；另外，AMAT、Hitachi 分别占 12%、11%的市场份额。半导体清洗设备约为半导体设备总规模的 5%，2021 年起半导体清洗设备市场增长迅速，市场规模达到 42 亿美元，预计 2022 年将达到 47 亿美元。涂胶显影设备约为半导体设备总规模 4%，2021 年全球涂胶显影设备行业市场规模为 34 亿美元。CMP 设备市场被应用材料、荏原机械高度垄断。CMP 设备约为

4、半导体设备总规模 3%，2021 年全球 CMP 设备市场估计为 24 亿美元。目前全球 CMP 设备市场处于高度集中状态，主要由美国应用材料和日本荏原两家设备制造商占据，合计拥有超过 90%的市场份额。半导体热处理设备约为半导体设备总规模 2%，2021 年全球热处理设备市场规模 20 亿美元。全球离子注入机市场呈现增长态势， 2019 年全球离子注入机市场规模达 11 亿美元，2021 年市场规模超过 22 亿美元。应用材料几乎垄断了全球离子注入机市场，占据了 70的市场份额，其次为 Axcelis，占 20。随着先进芯片制造工艺的发展，干法去胶设备的技术不断提高，逐渐成为先进光刻中关键步骤，市场规模也在逐渐扩大，2021 年，全球干法去胶设备市场规模超过 7 亿美元。相关行业分析报告参考中国半导体设备行业现状深度研究与发展前景分析报告（2022-2029年）