2第二章CCD原理解析优秀PPT.ppt
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1、其次章、其次章、CCD工作原理工作原理23 2.1 2.1 电荷存储电荷存储 2.2 2.2 电荷耦合电荷耦合 2.3 2.3 电荷检测电荷检测 2.4 2.4 电荷注入电荷注入 2.5 2.5 电荷耦合摄像电荷耦合摄像器件器件 总书目总书目CCD的结构的结构2022/10/293CCD的结构为三层,第一层是“微型镜头”,其次层是“分色滤色片”以及第三层“感光层”。第一层:“微型镜头”。我们知道,数码相机成像的关键是在于其感光层,为了扩展CCD的采光率,必需扩展单一像素的受光面积。但是提高采光率的方法也简洁使画质下降。这一层“微型镜头”就等于在感光层前面加上一副眼镜。因此感光面积不再由传感器的
2、开口面积确定,而由微型镜片的表面积来确定。2022/10/294其次层:“分色滤色片”。目前有两种分色方式,一是RGB原色分色法,另一个则是CMYK补色分色法。这两种方法各有优缺点。RGB分色法是通过Red,Green和Blue这三个通道的颜色调整而成。CMYK是由四个通道的颜色协作而成,青(C)、洋红(M)、黄(Y)、黑(K)。在印刷业中,CMYK更为适用,但其调整出来的颜色不及RGB的多。原色CCD的优势在于画质锋利,色调真实,但缺点则是噪声问题。因此,一般接受原色CCD的数码相机,在ISO感光度上多半不会超过400。相对的,补色CCD多了一个Y黄色滤色器,在色调的辨别上比较细致,但却牺牲
3、了部分影像的辨别率,而在ISO值上,补色CCD可以容忍较高的感光度(类似于胶卷软片对光的敏感度),一般都可设定在800以上。2022/10/295第三层:“感光层”。这层主要是负责将穿过滤色层的光源转换成电子信号,并将信号传送到影像处理芯片,将影像还原。2022/10/296应用分类用途现有领域民用摄录一体机,视频摄像机,数字摄像机产业用CCD监视用办公大楼,停车场,金融机构,商店,工厂,医院,交通要道医疗内窥镜,X射线拍照,显微镜生产自动化检查,定位,分类,机器人,图像处理科学医学,生物学,天文学,化学研究军事遥感,侦查,制导,预警,微光夜视新闻广播节目制作,电视新闻现场采访其他车辆后视,T
4、V电话,传真机,扫描仪,数字照相机新兴领域多媒体个人电脑,工作站图像输入,数字化静止相机,便携式终端扫描仪办公自动化,计算机输入设备即图文输入(正片、负片、投影片、X光片)传真机计算机产生的文件,彩色传真,高速传真数字化摄录一体机(记录动画)计算机输入设备,多媒体电视制作系统,广播新闻制作系统,数字化影片记录器,家电,旅游电荷耦合器件的工作原理CCD工作原理CCD光信息电脉冲脉冲只反映一个光敏元的受光状况脉冲幅度的凹凸反映该光敏元受光照的强弱输出脉冲的依次可以反映一个光敏元的位置完成图像传感完成图像传感特点:以电荷作为信号特点:以电荷作为信号基本功能:电荷的存储和转移基本功能:电荷的存储和转移
5、CCD基本工作原理信号电荷的信号电荷的产生产生信号电荷的信号电荷的存储存储信号电荷的信号电荷的传输传输信号电荷的信号电荷的检测检测2.1电荷产生电荷产生CCD器件象元是光敏元,每个象元是一个器件象元是光敏元,每个象元是一个MOS电电 容器也是一个容器也是一个MOS二极管二极管.在衬底和金属电极加偏压形成势阱在衬底和金属电极加偏压形成势阱.光注入:当一束光线投射到光注入:当一束光线投射到MOS电容上时,光电容上时,光子穿过透亮电极及氧化层进入子穿过透亮电极及氧化层进入P型衬底,衬底中处型衬底,衬底中处于价带的电于价带的电 子将吸取光子能量而进入导带,形成电子空穴子将吸取光子能量而进入导带,形成电
6、子空穴 对,电子空穴对在外加电场作用下可移动形成对,电子空穴对在外加电场作用下可移动形成 “光生电荷光生电荷”。将存在电极下的势阱中。将存在电极下的势阱中.价电子能否跃迁至导带形成电子空穴对,将由价电子能否跃迁至导带形成电子空穴对,将由入射光子能量入射光子能量h是否大于等于是否大于等于Eg(半导体禁带宽(半导体禁带宽度)来确定度)来确定,关系式:关系式:Eg1.24/c(截止波长,表示吸取光(截止波长,表示吸取光子能量的下限)子能量的下限)光电转换原理光电转换原理:光注入光注入不同的衬底材料对应不同的不同的衬底材料对应不同的cc值,(不同的值,(不同的EgEg)因此选)因此选用不同的衬底材料制
7、作的用不同的衬底材料制作的CCDCCD将有不同的光谱特性将有不同的光谱特性(紫外、紫外、红外、红外、X X光、可见光等)光、可见光等)为什么不同为什么不同CCDCCD的响应波长不同?红外,紫外,可见光的响应波长不同?红外,紫外,可见光光注入电荷公式:光注入电荷公式:Q=qneoATc Q=qneoATc 其中其中:材料量子效率,材料量子效率,q:q:电子电荷量,电子电荷量,neo:neo:入射光光入射光光子流速子流速 ,A:A:光敏元受光面积光敏元受光面积 ,Tc:Tc:注入时间(积分时间)注入时间(积分时间),q,A,q,A均为常数,均为常数,Q Q与与neoneo、Tc Tc成正比成正比注
8、入时间注入时间tctc由由CCDCCD驱动器的转移脉冲的周期确定驱动器的转移脉冲的周期确定 电注入:电注入:CCD CCD通过输入结构对信号电压或电流进行采样,然通过输入结构对信号电压或电流进行采样,然后将信号电压或电流转换为信号电荷注入到相应的势阱中。后将信号电压或电流转换为信号电荷注入到相应的势阱中。光电导效应光电导效应信号电荷的产生信号电荷的产生(示意图)金属电极氧化物半导体e-e-e-e-e-e-e-光生电子入射光MOSMOS电容器电容器2.2.2 2电荷存储电荷存储 CCD 是由规则排列的金属氧化物半导体(Metal Oxide Semiconductor,MOS)电容阵列组成。Me
9、talOxideSemiconductor金属VG氧化物(SiO2)半导体(PSi)电子势阱界面势假如有光入射到半导体硅片上,在光子的作用下,半导体硅产生电子空穴对,由此产生的光电子被表面的势阱所吸取。而空穴被电场排斥出耗尽区。当在金属电极上加正电压VG时,在电场的作用下,电极下型区域里的多数载流子空穴被排斥、驱除,形成了一个耗尽区。而对于少数载流子电子,电场则吸引它到电极下的耗尽区。耗尽区对于带负电的电子来讲是一个势能很低的区域称为“势阱”。势阱积累电子的容量取决于势阱的“深度”,而表面势的大小近似与栅压VG成正比。势阱内吸取的光电子数量与入射光势阱旁边的光强成正比。这样一个MOS结构单元就
10、称光敏单元或一个象素;而将一个势阱所吸取集的若干个光生电荷称为一个电荷包。通常在半导体硅片上制有成千上万个相互独立的MOS光敏单元,假如在金属电极上加上正电压,则在半导体硅片上就形成成千上万的个相互独立的势阱。假如此时照射在这些光敏单元上是一副明暗起伏的图像,那么这些光敏元就会产生出一幅与光照强度相对应的光电荷图像,因而得到影像信号。P P型半导体,型半导体,PositivePositive,空穴带正电荷,自由电子带负电荷,参与导电的是空穴,空穴带正电荷,自由电子带负电荷,参与导电的是空穴2.22.2电荷存储电荷存储构成构成CCDCCD的基本单元是的基本单元是MOSMOS(金属氧化物半导体)(
11、金属氧化物半导体)结构。结构。1.1.关于关于MOSMOS结构存储电荷的实力结构存储电荷的实力(a a)VGVG0 0 半导体内部无变更,内部的空穴分布匀半导体内部无变更,内部的空穴分布匀整整(b)VGVth b)VGVth c)VGVth 表面势足够大,能存储电荷(吸取电荷)表面势足够大,能存储电荷(吸取电荷)将半导体体内的电子吸取到表面形成一层极薄的但将半导体体内的电子吸取到表面形成一层极薄的但电荷浓度很高的反型层电荷浓度很高的反型层表面势:半导体与绝缘体界面上的电势表面势:半导体与绝缘体界面上的电势s s 单个单个CCD栅极电压变化对耗尽区的影响栅极电压变化对耗尽区的影响(a)栅极电压为
12、零;栅极电压为零;(b)栅极电压小于阈值电压;栅极电压小于阈值电压;(c)栅极电压大于阈值电压栅极电压大于阈值电压金属栅电极G氧化层P型半导体耗尽层反型层UGUth (a)(b)(c)UG=0表面势与栅极电压呈线性关系。表面势与栅极电压呈线性关系。随着栅极电压的增加,表面势也渐渐增加。随着栅极电压的增加,表面势也渐渐增加。在栅极电压不变的状况下,表面势在栅极电压不变的状况下,表面势与反型电荷密度呈反比例线性关系。与反型电荷密度呈反比例线性关系。随着反型电荷密度的增加,表面势随着反型电荷密度的增加,表面势渐渐减小。渐渐减小。这种线性关系可以半导体物理中的这种线性关系可以半导体物理中的“势肼势肼”
13、概念描述。概念描述。电子所以被加有栅极电压的电子所以被加有栅极电压的MOSMOS结构结构吸引到氧化层与半导体的交界面处,吸引到氧化层与半导体的交界面处,是因为那里的势能最低。是因为那里的势能最低。“水往低处流水往低处流”表面势S与反型层电荷密度QINV的关系2.2.关于势阱的概念关于势阱的概念势阱:表征势阱:表征MOSMOS电容存储电荷的实力。电容存储电荷的实力。存储电荷的实力是存储电荷的实力是由于表面势的存在造成的。由于表面势的存在造成的。无反型层电荷时,无反型层电荷时,阱深与栅压阱深与栅压VGVG有关。有关。3.MOS3.MOS电容存储电荷容量电容存储电荷容量 Q=COX VGA(A Q=
14、COX VGA(A:栅极极面积):栅极极面积)MOS MOS电容容量电容容量COXCOX、栅极电压、栅极电压VGVG光滴光滴小桶小桶光敏元光敏元CCD 的工作过程的工作过程1.有一个光电转换装置把入射到每一个感光像有一个光电转换装置把入射到每一个感光像素上的光子转化为电荷。素上的光子转化为电荷。CCD 的工作过程的工作过程2.这些电荷可以被储存起来。这些电荷可以被储存起来。这一过程存在着以下问题:当一个像素聚集过多的电荷后,就会出现电荷溢出 溢出的电荷会跑到相临的像素势阱里去。这样电量 就不能照实反映原物。要避开这种状况发生的方法:A 把桶做大些 B 削减测量时间C 把满的水倒出一些D 做个导
15、流管,让溢出的水流到地上去,不要流到其他 桶里 对应的方法:由此可见,增大像素尺寸是最简洁有效的做法。水桶水桶CCD芯片芯片缺点缺点把桶做大增大单位像素尺寸减少测量时间缩短曝光时间对于暗的部分曝光不足把满的水桶到出一些间歇开关时钟电压降低速度做个导流管溢出沟道和溢出门制作复杂,且还有缺陷3.当一个当一个CCD芯片感光完毕后,每个芯片感光完毕后,每个像素所转换的电荷包就依据一行的方向转像素所转换的电荷包就依据一行的方向转移出移出CCD感光区域,以为下一次感光释放感光区域,以为下一次感光释放空间。空间。信号电荷的转移(耦合)信号电荷的转移(耦合)为实现信号电荷的转换:为实现信号电荷的转换:1、必需
16、使、必需使MOS电容阵列的排列足够紧密,以致相电容阵列的排列足够紧密,以致相邻邻MOS电容的势阱相互沟通,即相互耦合。电容的势阱相互沟通,即相互耦合。2、限制相邻、限制相邻MOS电容栅极电压凹凸调整势阱深浅,电容栅极电压凹凸调整势阱深浅,使信号电荷由势阱浅处流向势阱深处。使信号电荷由势阱浅处流向势阱深处。3、在、在CCD中电荷的转移必需依据确定的方向。中电荷的转移必需依据确定的方向。CCD 的工作过程的工作过程3.电荷可以被有秩序地转移出感光区域。电荷可以被有秩序地转移出感光区域。2.2.3 3 CCD CCD的电荷耦合的电荷耦合1.1.电荷传输原理电荷传输原理注:注:图中一个单元下图中一个单
17、元下 有三个电极有三个电极 每个电极的时钟每个电极的时钟一个周期将本单元的一个周期将本单元的电荷移向下个单元电荷移向下个单元1个时钟周期个时钟周期走走3个势阱个势阱移位寄存器移位寄存器l三相三相CCD的电荷在三相交叠驱动脉冲的作用下,能以确定的方向逐单的电荷在三相交叠驱动脉冲的作用下,能以确定的方向逐单元地转移;元地转移;lCCD电极间隙必需很小,电荷才能不受阻碍地从一个电极下转移到相电极间隙必需很小,电荷才能不受阻碍地从一个电极下转移到相邻电极下。邻电极下。2.3 电荷耦合 2.3 CCD2.3 CCD的电荷耦合的电荷耦合1.1.电荷传输原理电荷传输原理电荷耦合就是电荷转移。电荷耦合就是电荷
18、转移。通过将确定规则的变更的电压加到通过将确定规则的变更的电压加到CCDCCD各电各电极上,电极下的电荷包就能沿半导体表面极上,电极下的电荷包就能沿半导体表面按确定方向移动。按确定方向移动。通常把通常把CCDCCD电极分为几组,每一组称为一相,电极分为几组,每一组称为一相,并施加同样的时钟脉冲。并施加同样的时钟脉冲。电荷耦合:移位寄存器中电荷在外加栅压有电荷耦合:移位寄存器中电荷在外加栅压有序的变更下,从一个电极的势阱向下一个序的变更下,从一个电极的势阱向下一个电极下的势阱转移的现象。电极下的势阱转移的现象。电荷耦合的电极间隙长度小于电荷耦合的电极间隙长度小于3m3m。2.CCD2.CCD的电
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