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1、1/10/2022镀膜工序质量控制镀膜工序质量控制v镀膜上片镀膜上片v镀膜下片镀膜下片1/10/2022镀膜上片镀膜上片v 矩形玻璃尺寸矩形玻璃尺寸v 矩形玻璃对角线矩形玻璃对角线v 异形玻璃尺寸异形玻璃尺寸v 孔位尺寸孔位尺寸v 孔径偏差孔径偏差v 空气面空气面v 划伤、气泡、结石划伤、气泡、结石v 锡点、发霉、纸纹印、胶印锡点、发霉、纸纹印、胶印1/10/2022矩形玻璃尺寸矩形玻璃尺寸v 检查方法:用卷尺检查;检查方法:用卷尺检查; v 检查频率:每规格每箱一次;检查频率:每规格每箱一次;v 玻璃尺寸偏差玻璃尺寸偏差玻璃厚度玻璃厚度(mm)(mm)L1000L100010001000L2
2、000L200020002000L3000L3000L L300030004-84-8+0.0+0.0-1.0-1.0+0.0+0.0-1.5-1.5+0.0+0.0-2.0-2.0+1.0+1.0-2.0-2.01010、1212+0.0+0.0-2.0-2.0+0.0+0.0-2.0-2.0+1.0+1.0-2.0-2.0+1.0+1.0-3.0-3.01515+0.0+0.0-2.0-2.0+1.0+1.0-2.0-2.0+1.0+1.0-2.0-2.0+1.0+1.0-3.0-3.01919+1.0+1.0-2.0-2.0+1.0+1.0-2.0-2.0+1.0+1.0-3.0-3.0
3、+2.0+2.0-3.0-3.01/10/2022矩形玻璃对角线矩形玻璃对角线v 检查方法:用卷尺检查;检查方法:用卷尺检查;v 检查频率:同规格每箱一次,同规格少于检查频率:同规格每箱一次,同规格少于1箱,每规格箱,每规格不少于不少于1次;次;玻璃厚度玻璃厚度(mm)(mm)L1500L150015001500L2500L2500L L300030004-84-81.51.52.02.03.03.01010、12122.02.02.02.03.03.01515、19192.02.03.03.04.04.01/10/2022异形玻璃尺寸异形玻璃尺寸v检查方法:用卷尺检查;检查方法:用卷尺检查;
4、v检查频率:同规格每锅一次,一锅装载多种规格,检查频率:同规格每锅一次,一锅装载多种规格,每种规格不少于每种规格不少于1次;次;1/10/2022孔位尺寸孔位尺寸v孔位尺寸孔位尺寸1000,孔间距、孔边距偏差,孔间距、孔边距偏差1mm;孔位尺寸;孔位尺寸1000,孔间距偏差,孔间距偏差1mm,孔边距偏差,孔边距偏差1.5mm;v检查方法:用卷尺检查;检查方法:用卷尺检查;v检查频率:同规格每检查频率:同规格每20片片1次,同一规格少于次,同一规格少于20片,每规格不少于片,每规格不少于1次;次;1/10/2022孔径偏差孔径偏差v公称孔径公称孔径450允许偏差(允许偏差(+1,0););511
5、00允许偏差允许偏差+1.5;100允许偏差允许偏差+1.5;v检查方法:卷尺检查;检查方法:卷尺检查;v检查频率:直孔每架检查一次,喇叭孔每炉检查检查频率:直孔每架检查一次,喇叭孔每炉检查一次;一次;1/10/2022空气面空气面v空气面向上,尤其大板产品和色玻产品;空气面向上,尤其大板产品和色玻产品;v检查方法:紫光灯;检查方法:紫光灯;v检查频率:矩形片每架一次;检查频率:矩形片每架一次;1/10/2022划伤划伤v不允许有明显可见划伤;不允许有明显可见划伤;v检查方法:碘光灯下观察;检查方法:碘光灯下观察;v检查频率:每架一次;检查频率:每架一次;1/10/2022气泡气泡v不允许大于
6、不允许大于1.5mm的气泡;的气泡;v检查方法:碘光灯下观察;检查方法:碘光灯下观察;v检查频率:每架一次;检查频率:每架一次;1/10/2022结石结石v不允许;不允许;v检查方法:碘光灯下观察;检查方法:碘光灯下观察;v检查频率:每架一次;检查频率:每架一次;1/10/2022锡点、发霉、纸纹印、胶印锡点、发霉、纸纹印、胶印v检查方法:灯光下观察;检查方法:灯光下观察;v检查频率:每锅上片台观察;检查频率:每锅上片台观察;v抛光、酒精擦拭;抛光、酒精擦拭;1/10/2022镀膜下片镀膜下片1、外观质量、外观质量2、光学性能、光学性能3、理化性能、理化性能1/10/2022外观质量外观质量v
7、 针孔、掉渣、斑点针孔、掉渣、斑点v 划伤、压伤划伤、压伤v 暗道、色道暗道、色道v 发霉、纸纹印、架子印、斑纹发霉、纸纹印、架子印、斑纹v 水迹、风刀印、压辊印水迹、风刀印、压辊印v 氧化点氧化点v 脱膜脱膜v 崩边、缺角、破损崩边、缺角、破损v 污迹污迹1/10/2022针孔针孔v 定义:从镀膜玻璃的透射方向看,相对膜层整体可视透明的部分或定义:从镀膜玻璃的透射方向看,相对膜层整体可视透明的部分或全部没有附着膜层的点状缺陷;全部没有附着膜层的点状缺陷;v 边部:指距玻璃板边缘向内边部:指距玻璃板边缘向内75mm的区域,除此区域之外为中部;的区域,除此区域之外为中部; v 观察装置观察装置v
8、 风机过滤棉、水脏、清洗机高度及走速、原片表面太脏导致无法清风机过滤棉、水脏、清洗机高度及走速、原片表面太脏导致无法清洗干净;洗干净;v 更换过滤棉、过滤水袋;高度及走速正确;纯水压力、电阻、加热更换过滤棉、过滤水袋;高度及走速正确;纯水压力、电阻、加热温度;温度;1/10/2022说明说明中部中部边部边部直径直径0.8mm针孔不允许集中:针孔不允许集中:300mm直径圆内,直径圆内, 3个;且不得超过个;且不得超过3处;处;6个个/片,且单边不允许片,且单边不允许超过超过2个个0.8mm直径直径1.2mm 4个个/片,且任意两针片,且任意两针孔之间的距离大于孔之间的距离大于1000mm5个个
9、/片,且单边不允许片,且单边不允许超过超过2个个1.2mm1.6mm不允许不允许不允许不允许0.8mm直径直径1.6mm在满足上述要求的同时针孔总数在满足上述要求的同时针孔总数6个个/片片1/10/2022掉渣掉渣v掉渣:靶材使用时间长、高功率、靶不稳定;侧掉渣:靶材使用时间长、高功率、靶不稳定;侧板或底板掉渣、崩渣;板或底板掉渣、崩渣;v烧靶(不同的靶)、铲渣、换靶;烧靶(不同的靶)、铲渣、换靶;1/10/2022斑点斑点v 从镀膜玻璃的透射方向看,相对膜层整体色泽较暗的点状缺陷;发霉、纸从镀膜玻璃的透射方向看,相对膜层整体色泽较暗的点状缺陷;发霉、纸纹、吸盘印、原片沾锡、水印引起;纹、吸盘
10、印、原片沾锡、水印引起;说明说明中部中部边部边部直径直径1mm斑点不允许集中:斑点不允许集中:300mm直径圆内,直径圆内,3个;且不得超过个;且不得超过3处处6个个/片,且单边不允许超过片,且单边不允许超过2个个1mm2.5mm不允许不允许不允许不允许在满足上述要求的同时斑点总数在满足上述要求的同时斑点总数10个个/片片1/10/2022划伤、压伤划伤、压伤v 在镀膜玻璃表面各种线状的划痕,可见程度取决于它们的长在镀膜玻璃表面各种线状的划痕,可见程度取决于它们的长度宽度位置和分布;度宽度位置和分布;缺陷缺陷名称名称说明说明中部中部边部边部膜面膜面划伤划伤宽度宽度0.1mm、长度、长度50mm
11、300mm直径圆内,直径圆内, 3条;且不得超过条;且不得超过3处;处;75mm直径圆内,直径圆内, 2条;且不得超过条;且不得超过5处;处;宽度宽度0.1mm或长度或长度50mm不允许不允许不允许不允许玻面玻面划伤划伤宽度宽度0.3mm、长度、长度50mm3条条/片,且任意两片,且任意两缺陷之间的距离大于缺陷之间的距离大于300mm4条条/片,且任意两片,且任意两缺陷之间的距离大于缺陷之间的距离大于75mm宽度宽度0.3mm或长度或长度50mm不允许不允许不允许不允许1/10/2022v原因:上道工序原因、设备划伤(清洗机碎玻璃、原因:上道工序原因、设备划伤(清洗机碎玻璃、腔室撞玻璃、溅射室
12、积渣太厚、包网跳丝、腔室撞玻璃、溅射室积渣太厚、包网跳丝、0型圈型圈上有异物);垫纸皮;上有异物);垫纸皮;v处理:放片要自检,对划伤产品进行抛光;碎或撞处理:放片要自检,对划伤产品进行抛光;碎或撞玻璃要及时清理确保无划伤;铁板冲击或避开划伤玻璃要及时清理确保无划伤;铁板冲击或避开划伤位置;规格较大或较厚的产品要垫纸皮,必要时贴位置;规格较大或较厚的产品要垫纸皮,必要时贴膜;膜;1/10/2022暗道、色道暗道、色道v 从镀膜玻璃的反射方向看,膜层表面亮度或反射色异于整体的从镀膜玻璃的反射方向看,膜层表面亮度或反射色异于整体的条状区域,可见程度取决于它们和周围膜层的亮度差;条状区域,可见程度取
13、决于它们和周围膜层的亮度差;v 原因:均匀性太差;设备故障(靶材自动跳、信号乱分锅错误原因:均匀性太差;设备故障(靶材自动跳、信号乱分锅错误传动跳停)、设备故障、下片堵玻璃、主控室操作失误等;传动跳停)、设备故障、下片堵玻璃、主控室操作失误等;v 处理:调片水平;电压曲线;玻璃信号;处理:调片水平;电压曲线;玻璃信号;1/10/2022发霉、纸纹印、架子印、斑纹发霉、纸纹印、架子印、斑纹v 从镀膜玻璃的反射方向看,膜层表面色泽发生变化的云状、从镀膜玻璃的反射方向看,膜层表面色泽发生变化的云状、放射状或条纹状的缺陷;放射状或条纹状的缺陷;v 原因:原片所带或上工序造成(受潮、产品高热直接下架)、
14、原因:原片所带或上工序造成(受潮、产品高热直接下架)、风刀脏、漏气;风刀脏、漏气;v 处理:抛光,擦风刀,检漏;处理:抛光,擦风刀,检漏;1/10/2022水迹、风刀印、压辊印水迹、风刀印、压辊印v 水蒸发后在玻璃表面留下的痕迹,镀膜后肉眼可以看出水蒸发后在玻璃表面留下的痕迹,镀膜后肉眼可以看出与其它部分存在颜色差异;产品局部出现条状印迹,多与其它部分存在颜色差异;产品局部出现条状印迹,多为斜向或平行于传动方向,镀膜后在暗光玻面或强光膜为斜向或平行于传动方向,镀膜后在暗光玻面或强光膜面清晰可见;压辊印与传动方向垂直,等间距的缺陷;面清晰可见;压辊印与传动方向垂直,等间距的缺陷;v原因:原片所带
15、(磨边清洗机、产品遭到雨水侵原因:原片所带(磨边清洗机、产品遭到雨水侵湿);清洗机风刀脏、水脏、过滤棉、过滤水袋,湿);清洗机风刀脏、水脏、过滤棉、过滤水袋,压辊脏;压辊脏;v处理:上工序的确认后补片;清洗机保养;处理:上工序的确认后补片;清洗机保养;1/10/2022氧化点氧化点v 低辐射镀膜玻璃的膜面被大气中水蒸汽和微尘离子凝结和附着,导低辐射镀膜玻璃的膜面被大气中水蒸汽和微尘离子凝结和附着,导致电化学腐蚀使膜层氧化,所形成的金属光泽圆状斑点,有些呈孤致电化学腐蚀使膜层氧化,所形成的金属光泽圆状斑点,有些呈孤立点,在显微镜下观察由许多孤立点组成。立点,在显微镜下观察由许多孤立点组成。v 工
16、艺原因(保护层太薄、功能层或保护层的靶材与氧化物介质靶材工艺原因(保护层太薄、功能层或保护层的靶材与氧化物介质靶材距离太近);产品生产完后没有及时包膜、充气和填充干燥剂;膜距离太近);产品生产完后没有及时包膜、充气和填充干燥剂;膜破损,干燥剂失效;下片时未戴手套或膜面被汗液与口水侵蚀;破损,干燥剂失效;下片时未戴手套或膜面被汗液与口水侵蚀;v 处理:增加保护层厚度;在保护层与氧化物介质层之间增加隔气;处理:增加保护层厚度;在保护层与氧化物介质层之间增加隔气;产品及时包膜并保证其质量;下片必须戴好口罩、手套并及时更换;产品及时包膜并保证其质量;下片必须戴好口罩、手套并及时更换;禁止手直接与膜面接
17、触,不得面向膜面说话,防止口水沾到膜面上,禁止手直接与膜面接触,不得面向膜面说话,防止口水沾到膜面上,所垫的纸皮要干燥;所垫的纸皮要干燥;1/10/2022脱膜脱膜v 产品局部膜层脱落,表现为局部的透光增强;产品局部膜层脱落,表现为局部的透光增强;v 原因:产品上有胶状物或油污致使清洗机不能洗干净、原因:产品上有胶状物或油污致使清洗机不能洗干净、清洗机问题、靶材质量、膜层结构、真空度、串气;清洗机问题、靶材质量、膜层结构、真空度、串气;v 处理:对产品仔细观察必要时抛光处理;清洗机保养;处理:对产品仔细观察必要时抛光处理;清洗机保养;真空度测量,排除串气和漏气;靶材性能测试;真空度测量,排除串
18、气和漏气;靶材性能测试;v 热反射脱膜;热反射脱膜;v 普通普通LOW E脱膜;脱膜;v 大板脱膜;大板脱膜;v 双银脱膜;双银脱膜;1/10/2022崩边、缺角、破损崩边、缺角、破损v玻璃边部表面局部剥落或小块脱落甚至全部破裂玻璃边部表面局部剥落或小块脱落甚至全部破裂的现象;的现象;v原因:原片自带或自爆、上下片磕碰、摆放间距原因:原片自带或自爆、上下片磕碰、摆放间距过小造成相互撞击;过小造成相互撞击;v处理:原片自检,不符标准的挑出并补片;垫好处理:原片自检,不符标准的挑出并补片;垫好纸皮;产品前后左右间距要合适;纸皮;产品前后左右间距要合适;1/10/2022污迹污迹v钢化污迹钢化污迹v
19、磨边污迹磨边污迹1/10/2022光学性能光学性能1、色差、色差2、颜色均匀性、颜色均匀性3、辐射率、辐射率1/10/2022色差色差v颜色同标准片比较,用肉眼可观察到的差异;颜色同标准片比较,用肉眼可观察到的差异;v热反射产品:热反射产品: 透过率:透过率:T%0.7;v 玻面:玻面: Lg*0.6,ag* 0.3,bg *0.3;v 膜面:膜面: Lf*0.8,af* 0.8,bf *0.8;v单银产品:单银产品: 透过率:透过率:T%0.7;v 玻面:玻面: Lg*0.7,ag* 0.5,bg *0.5;v 中空膜面色差中空膜面色差2CIELAB;v双银产品:双银产品: 透过率:透过率:
20、T%0.7;v 玻面:玻面:Lg*0.9,ag* 0.6,bg *0.6;v 中空膜面色差中空膜面色差2CIELAB;vSuper产品钢化前:透过率:产品钢化前:透过率:T%0.7;v 玻面:玻面:Lg*0.6,ag* 0.4,bg *0.4;v 中空膜面色差中空膜面色差2CIELAB;vSuper产品钢化后:产品钢化后: 玻面:玻面:Lg*1,ag* 0.5,bg *0.5;v 中空膜面色差中空膜面色差2CIELAB;v对热反射产品首先保证玻面反射值、透过率,再保证膜面值;对对热反射产品首先保证玻面反射值、透过率,再保证膜面值;对LOW E产品首先保证产品首先保证玻面、膜面反射值,再保证透过
21、率;玻面、膜面反射值,再保证透过率;v若分批生产某工程合同,对于非首批生产的,调试产品的目标值参照首批生产的定标若分批生产某工程合同,对于非首批生产的,调试产品的目标值参照首批生产的定标值;对合中空的产品,测量假中空值;值;对合中空的产品,测量假中空值;1/10/2022v色差的产生:调片水平;突发事件如气体纯度不够、色差的产生:调片水平;突发事件如气体纯度不够、停电、水压不够等;玻璃放反等;停电、水压不够等;玻璃放反等;v处理:个人水平;电压曲线;设备的运行状况;大处理:个人水平;电压曲线;设备的运行状况;大板玻璃及着色玻璃;板玻璃及着色玻璃;1/10/2022颜色均匀性颜色均匀性v 横、纵
22、向均匀性的影响因素;横、纵向均匀性的影响因素;v 突变值控制主要是保证均匀性曲线整体平滑,避免出现突变值控制主要是保证均匀性曲线整体平滑,避免出现锯齿状突变曲线,突变值指连续三个点中最大值与最小锯齿状突变曲线,突变值指连续三个点中最大值与最小值之差的绝对值;值之差的绝对值;v 锡蓝产品边缘效应:玻璃边部锡蓝产品边缘效应:玻璃边部5cm以内与中部比以内与中部比b*1.5,边缘效应宽度不大于,边缘效应宽度不大于5cm;1/10/2022 单片均匀性控制单片均匀性控制品种品种整体均匀性控制范围值整体均匀性控制范围值突变值大小控制范围突变值大小控制范围L*a*b*L*a*b*灰色(灰色(CCS、CSY
23、)1.50.80.80.50.50.5锡蓝(锡蓝(CGP、CPA)10.810.50.40.4TiN蓝(蓝(CTS、CTL)10.80.80.50.40.4LOW ECES系列系列1.20.80.80.50.40.5CEB系列系列高反射高反射1.20.80.80.60.50.5低反射低反射10.80.80.50.50.5CEF系列系列1.50.80.80.80.50.5Super钢化前钢化前1.20.80.80.60.50.5钢化后钢化后1.51110.80.81/10/2022双银的边缘效应双银的边缘效应v边缘效应:在镀膜过程中,因玻璃边部影响到镀膜状态变化而导致玻璃边部产生色差边缘效应:在
24、镀膜过程中,因玻璃边部影响到镀膜状态变化而导致玻璃边部产生色差的现象;边缘效应所形成的色道宽度不应大于的现象;边缘效应所形成的色道宽度不应大于100mm,边缘效应在室外实际观察;,边缘效应在室外实际观察;解决措施:解决措施:v抽气的均匀:对称抽气;抽气的均匀:对称抽气;v布气的均匀:二进制布气;布气的均匀:二进制布气;v磁场的均匀:调磁钢;磁场的均匀:调磁钢;v修正挡板;修正挡板;1/10/2022双银的干扰色双银的干扰色v产品经测量和观察与标板对比,显示出正面与其产品经测量和观察与标板对比,显示出正面与其颜色一样,侧面与其颜色不一样,而正面与侧面颜色一样,侧面与其颜色不一样,而正面与侧面的颜
25、色差异较大;的颜色差异较大;v产品各个膜层厚度比例不对;产品各个膜层厚度比例不对;v看光谱调试;看光谱调试;1/10/2022辐射率辐射率v低辐射镀膜玻璃的辐射率应低辐射镀膜玻璃的辐射率应0.15,影响到中,影响到中空产品的热学性能;空产品的热学性能;1/10/2022理化性能理化性能v研磨研磨v中空洗刷中空洗刷v酸碱腐蚀酸碱腐蚀v空气中耐自然氧化空气中耐自然氧化v盐雾盐雾v高温高湿高温高湿1/10/2022研磨研磨v 非钢化产品;非钢化产品;v 热反射产品研磨热反射产品研磨200转,研磨前后的透过率差转,研磨前后的透过率差T4%为合格,允许波动,但最大值不得超过统计均值的为合格,允许波动,但
26、最大值不得超过统计均值的10%;v LOW E产品以研磨产品以研磨50转的差值判断,研磨前后的透过转的差值判断,研磨前后的透过率差率差T不得超过统计均值的不得超过统计均值的10%;v 最终产品是中空玻璃,则最终产品是中空玻璃,则T可放宽至可放宽至1.5倍;倍;v 研磨略超标,但由于其它性能较好而决定生产的数量或研磨略超标,但由于其它性能较好而决定生产的数量或规格较大的产品,生产前跟半大片,并进行清洗机的洗规格较大的产品,生产前跟半大片,并进行清洗机的洗刷,检验是否有脱膜等缺陷,若无脱膜,可进行生产;刷,检验是否有脱膜等缺陷,若无脱膜,可进行生产;1/10/2022热反射、热反射、Super产品
27、膜面擦拭产品膜面擦拭v使用无水酒精为分析纯产品,使用的纸巾要求不使用无水酒精为分析纯产品,使用的纸巾要求不掉絮;掉絮;v擦拭位置:整板擦拭;擦拭位置:整板擦拭;v擦拭方法:用纸巾沾上酒精,施加一定的力擦拭擦拭方法:用纸巾沾上酒精,施加一定的力擦拭几次,以不掉膜为合格;几次,以不掉膜为合格;1/10/2022中空洗刷中空洗刷v中空线清洗机清洗后,膜层不允许出现划伤、脱中空线清洗机清洗后,膜层不允许出现划伤、脱膜等现象(尤其是高透产品);膜等现象(尤其是高透产品);1/10/2022酸碱腐蚀酸碱腐蚀v1NHCL、1NNAOH腐蚀实验,腐蚀前后透过腐蚀实验,腐蚀前后透过率差率差T4%为合格,允许波动,但最大值不为合格,允许波动,但最大值不得超过统计均值的得超过统计均值的10%;vLOW E产品统计产品统计1N、0.1N的腐蚀实验结果,的腐蚀实验结果,但不做为能否生产的依据;但不做为能否生产的依据;v最终产品合中空,则最终产品合中空,则T可放宽至可放宽至1.5倍;倍;1/10/2022vThank
限制150内