大连LCD光刻胶项目商业计划书【模板范文】.docx

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1、泓域咨询/大连LCD光刻胶项目商业计划书大连LCD光刻胶项目商业计划书xxx集团有限公司报告说明根据谨慎财务估算，项目总投资28167.53万元，其中：建设投资22844.55万元，占项目总投资的81.10%；建设期利息325.09万元，占项目总投资的1.15%；流动资金4997.89万元，占项目总投资的17.74%。项目正常运营每年营业收入54800.00万元，综合总成本费用42921.81万元，净利润8685.14万元，财务内部收益率24.03%，财务净现值12128.07万元，全部投资回收期5.28年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。从含量来看，根据Tr

2、endbank数据，光刻胶主要原材料占比从大到小分别是溶剂（50%-90%）、树脂（10%-40%）、光引发剂（1%-6%）以及添加剂（1%）。溶剂是光刻胶中容量最大的成分，使光刻胶处于液态，并使光刻胶能通过旋转涂在晶圆表面形成薄层。感光剂在曝光过程中控制或调节光刻胶的化学反应，用于产生或控制聚合物特定反应。感光剂添加到光刻胶中用来限制反应光的波谱范围或把反应光限制到某一特定波长的光。聚合物用于当光刻机曝光时，聚合物结构由可溶变成聚会（或反之），是由一组大且重的分子组成，分子里包括碳、氢、氧，典型聚合物如塑料。此外，光刻胶中还含有添加剂。不同类型的添加剂和光刻胶混合在一起来达到某种特定的结果。

3、部分负胶包含染色剂，功能是在光刻胶薄膜中用来吸收和控制光线。正胶可能含有化学的抗溶解系统，这样的添加剂可以阻止光刻胶没有被曝光的部分在显影过程中被溶解。本报告为模板参考范文，不作为投资建议，仅供参考。报告产业背景、市场分析、技术方案、风险评估等内容基于公开信息；项目建设方案、投资估算、经济效益分析等内容基于行业研究模型。本报告可用于学习交流或模板参考应用。目录第一章 项目概述9一、 项目定位及建设理由9二、 项目名称及建设性质9三、 项目承办单位9四、 项目建设选址11五、 项目生产规模11六、 建筑物建设规模11七、 项目总投资及资金构成12八、 资金筹措方案12九、 项目预期经济效益规划目

4、标12十、 项目建设进度规划13十一、 项目综合评价13主要经济指标一览表13第二章 项目建设单位说明16一、 公司基本信息16二、 公司简介16三、 公司竞争优势17四、 公司主要财务数据18公司合并资产负债表主要数据18公司合并利润表主要数据19五、 核心人员介绍19六、 经营宗旨21七、 公司发展规划21第三章 项目建设背景、必要性28一、 上游原材料树脂、单体难度较高，大陆产业化等待突围28二、 光刻胶：光刻工艺所需核心材料，助力制程持续升级29三、 提升“四个中心”功能，打造对外开放新前沿31四、 提升产业链供应链现代化水平32第四章 市场预测34一、 存储：容量提升+扩产是两大推动

5、力34二、 半导体光刻胶：技术难度最高，增速最快34三、 国产化率极低叠加海外断供，大陆产业链崛起迫切37第五章 发展规划分析39一、 公司发展规划39二、 保障措施45第六章 SWOT分析说明47一、 优势分析（S）47二、 劣势分析（W）48三、 机会分析（O）49四、 威胁分析（T）49第七章 创新驱动57一、 企业技术研发分析57二、 项目技术工艺分析59三、 质量管理60四、 创新发展总结61第八章 运营模式分析62一、 公司经营宗旨62二、 公司的目标、主要职责62三、 各部门职责及权限63四、 财务会计制度66第九章 法人治理74一、 股东权利及义务74二、 董事76三、 高级管

6、理人员81四、 监事84第十章 风险风险及应对措施86一、 项目风险分析86二、 公司竞争劣势93第十一章 建设规模与产品方案94一、 建设规模及主要建设内容94二、 产品规划方案及生产纲领94产品规划方案一览表94第十二章 建筑技术方案说明97一、 项目工程设计总体要求97二、 建设方案99三、 建筑工程建设指标100建筑工程投资一览表100第十三章 进度规划方案102一、 项目进度安排102项目实施进度计划一览表102二、 项目实施保障措施103第十四章 投资计划104一、 投资估算的依据和说明104二、 建设投资估算105建设投资估算表109三、 建设期利息109建设期利息估算表109固

7、定资产投资估算表111四、 流动资金111流动资金估算表112五、 项目总投资113总投资及构成一览表113六、 资金筹措与投资计划114项目投资计划与资金筹措一览表114第十五章 经济收益分析116一、 基本假设及基础参数选取116二、 经济评价财务测算116营业收入、税金及附加和增值税估算表116综合总成本费用估算表118利润及利润分配表120三、 项目盈利能力分析120项目投资现金流量表122四、 财务生存能力分析123五、 偿债能力分析124借款还本付息计划表125六、 经济评价结论125第十六章 项目综合评价说明127第十七章 附表附录129主要经济指标一览表129建设投资估算表13

8、0建设期利息估算表131固定资产投资估算表132流动资金估算表133总投资及构成一览表134项目投资计划与资金筹措一览表135营业收入、税金及附加和增值税估算表136综合总成本费用估算表136固定资产折旧费估算表137无形资产和其他资产摊销估算表138利润及利润分配表139项目投资现金流量表140借款还本付息计划表141建筑工程投资一览表142项目实施进度计划一览表143主要设备购置一览表144能耗分析一览表144第一章 项目概述一、 项目定位及建设理由光刻机购买交货周期较长，根据日经亚洲评论报导，由于需求早已超过负荷，目前芯片生产设备的交货时间已经从12个月延长至约18个月。光刻机产量较少而

9、价格昂贵，近年增量主要集中在在EUV、ArFi和KrF光刻机。根据ASML2021年财报，2021年公司共销售287台光刻系统，销售额约136.5亿欧元，其中42台为EUV光刻系统机，销售额约62.8亿欧元，平均一台1.5亿欧元;ArFi光刻系统81台，销售额约49.6亿欧元，平均单价约6100万欧元;ArFdry光刻系统销售22台，销售额约4.3亿欧元，平均单价约2000万欧元；KrF光刻系统131台，销售额约13.2亿欧元，平均单价约1000万欧元;i-Line光刻系统33台，销售额约1.4亿欧元，平均单价约400万欧元。二、 项目名称及建设性质（一）项目名称大连LCD光刻胶项目（二）项目

10、建设性质本项目属于技术改造项目三、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xxx集团有限公司（二）项目联系人汪xx（三）项目建设单位概况公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基本保障，坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念，确立了合规管理的战略定位，进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查，加强合规风险防控，确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求，重点领域合规管理不断强化，各部门分工负责、齐抓共管、协同联动的大合规管理格局逐步建立，广大员工合规意识普遍增强，合规文化氛围更加浓厚。公司在“政府引导、市场主导、社会参与”的总体原则基础上，坚

11、持优化结构，提质增效。不断促进企业改变粗放型发展模式和管理方式，补齐生态环境保护不足和区域发展不协调的短板，走绿色、协调和可持续发展道路，不断优化供给结构，提高发展质量和效益。牢固树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，以提质增效为中心，以提升创新能力为主线，降成本、补短板，推进供给侧结构性改革。本公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。公司坚持“责任+爱心”的服务理念，将诚信经营、诚信服务作为企业立世之本，在服务社会、方便大众中赢得信誉、赢得市场。“满足社会和业主的需要，是我们不懈的追求”的企业观念，面对经济发展步入快车道的良好

12、机遇，正以高昂的热情投身于建设宏伟大业。公司始终坚持“人本、诚信、创新、共赢”的经营理念，以“市场为导向、顾客为中心”的企业服务宗旨，竭诚为国内外客户提供优质产品和一流服务，欢迎各界人士光临指导和洽谈业务。四、 项目建设选址本期项目选址位于xxx（以最终选址方案为准），占地面积约56.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。五、 项目生产规模项目建成后，形成年产xxx吨LCD光刻胶的生产能力。六、 建筑物建设规模本期项目建筑面积69495.88，其中：生产工程47458.23，仓储工程11759.90，行政办公及生活服务设

13、施6806.23，公共工程3471.52。七、 项目总投资及资金构成（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资28167.53万元，其中：建设投资22844.55万元，占项目总投资的81.10%；建设期利息325.09万元，占项目总投资的1.15%；流动资金4997.89万元，占项目总投资的17.74%。（二）建设投资构成本期项目建设投资22844.55万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用19991.26万元，工程建设其他费用2256.85万元，预备费596.44万元。八、 资金筹措方案本期项目总投资28167

14、.53万元，其中申请银行长期贷款13268.96万元，其余部分由企业自筹。九、 项目预期经济效益规划目标（一）经济效益目标值（正常经营年份）1、营业收入（SP）：54800.00万元。2、综合总成本费用（TC）：42921.81万元。3、净利润（NP）：8685.14万元。（二）经济效益评价目标1、全部投资回收期（Pt）：5.28年。2、财务内部收益率：24.03%。3、财务净现值：12128.07万元。十、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划12个月。十一、 项目综合评价本项目生产所需的原辅材料来源广泛，产品市场需求旺盛，潜力巨

15、大；本项目产品生产技术先进，产品质量、成本具有较强的竞争力，三废排放少，能够达到国家排放标准；本项目场地及周边环境经考察适合本项目建设；项目产品畅销，经济效益好，抗风险能力强，社会效益显著，符合国家的产业政策。主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积37333.00约56.00亩1.1总建筑面积69495.881.2基底面积23519.791.3投资强度万元/亩393.352总投资万元28167.532.1建设投资万元22844.552.1.1工程费用万元19991.262.1.2其他费用万元2256.852.1.3预备费万元596.442.2建设期利息万元325.092.3流动资金万

16、元4997.893资金筹措万元28167.533.1自筹资金万元14898.573.2银行贷款万元13268.964营业收入万元54800.00正常运营年份5总成本费用万元42921.816利润总额万元11580.197净利润万元8685.148所得税万元2895.059增值税万元2483.3310税金及附加万元298.0011纳税总额万元5676.3812工业增加值万元19259.2813盈亏平衡点万元21758.95产值14回收期年5.2815内部收益率24.03%所得税后16财务净现值万元12128.07所得税后第二章 项目建设单位说明一、 公司基本信息1、公司名称：xxx集团有限公司2

17、、法定代表人：汪xx3、注册资本：990万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2013-7-197、营业期限：2013-7-19至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事LCD光刻胶相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介本公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。公司坚持“责任+爱心”的服务理念，将诚信经营、诚信服务作为企业立世之本

18、，在服务社会、方便大众中赢得信誉、赢得市场。“满足社会和业主的需要，是我们不懈的追求”的企业观念，面对经济发展步入快车道的良好机遇，正以高昂的热情投身于建设宏伟大业。公司始终坚持“人本、诚信、创新、共赢”的经营理念，以“市场为导向、顾客为中心”的企业服务宗旨，竭诚为国内外客户提供优质产品和一流服务，欢迎各界人士光临指导和洽谈业务。三、 公司竞争优势（一）公司具有技术研发优势，创新能力突出公司在研发方面投入较高，持续进行研究开发与技术成果转化，形成企业核心的自主知识产权。公司产品在行业中的始终保持良好的技术与质量优势。此外，公司目前主要生产线为使用自有技术开发而成。（二）公司拥有技术研发、产品应

19、用与市场开拓并进的核心团队公司的核心团队由多名具备行业多年研发、经营管理与市场经验的资深人士组成，与公司利益捆绑一致。公司稳定的核心团队促使公司形成了高效务实、团结协作的企业文化和稳定的干部队伍，为公司保持持续技术创新和不断扩张提供了必要的人力资源保障。（三）公司具有优质的行业头部客户群体公司凭借出色的技术创新、产品质量和服务，树立了良好的品牌形象，获得了较高的客户认可度。公司通过与优质客户保持稳定的合作关系，对于行业的核心需求、产品变化趋势、最新技术要求的理解更为深刻，有利于研发生产更符合市场需求产品，提高公司的核心竞争力。（四）公司在行业中占据较为有利的竞争地位公司经过多年深耕，已在技术、

20、品牌、运营效率等多方面形成竞争优势；同时随着行业的深度整合，行业集中度提升，下游客户为保障其自身原材料供应的安全与稳定，在现有竞争格局下对于公司产品的需求亦不断提升。公司较为有利的竞争地位是长期可持续发展的有力支撑。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额10101.948081.557576.45负债总额3186.552549.242389.91股东权益合计6915.395532.315186.54公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入36458.9429167.1527344.21营业利润8

21、202.286561.826151.71利润总额7360.045888.035520.03净利润5520.034305.623974.42归属于母公司所有者的净利润5520.034305.623974.42五、 核心人员介绍1、汪xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。2、蒋xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今

22、任公司董事。3、覃xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。4、毛xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。5、吕xx，1974年出生，研究生学

23、历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。6、尹xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。7、白xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。8、杨xx，中国国籍，无永久境外居留权，1971年出生，本科学

24、历，中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监。六、 经营宗旨根据国家法律、法规及其他有关规定，依照诚实信用、勤勉尽责的原则，充分运用经济组织形式的优良运行机制，为公司股东谋求最大利益，取得更好的社会效益和经济效益。七、 公司发展规划（一）发展计划1、发展战略作为高附加值产业的重要技术支撑，正在转变发展思路，由“高速增长阶段”向“高质量发展”迈进。公司顺应产业的发展趋势，以“科技、创新”为经营理念，以技术创新、智能制造、产品升级和节能环保为重点，致力于构造

25、技术密集、资源节约、环境友好、品质优良、持续发展的新型企业，推进公司高质量可持续发展。2、经营目标目前，行业正在从粗放式扩张阶段转向高质量发展阶段，公司将进一步扩大高端产品的生产能力，抓住市场机遇，提高市场占有率；进一步加大研发投入，注重技术创新，提升公司科技研发能力；进一步加强环境保护工作，积极开发应用节能减排染整技术，保持清洁生产和节能减排的竞争优势；进一步完善公司内部治理机制，按照公司治理准则的要求规范公司运行，提升运营质量和效益，努力把公司打造成为行业的标杆企业。（二）具体发展计划1、市场开拓计划公司将在巩固现有市场基础上，根据下游行业个性化、多元化的消费特点，以新技术新产品为支撑，加

26、快市场开拓步伐。主要计划如下：（1）密切跟踪市场消费需求的变化，建立市场、技术、生产多部门联动机制，提高公司对市场变化的反应能力； （2）进一步完善市场营销网络，加强销售队伍建设，优化以营销人员为中心的销售责任制，激发营销人员的工作积极性； （3）加强品牌建设，以优质的产品和服务赢得客户，充分利用互联网宣传途径，扩大公司知名度，增加客户及市场对迎丰品牌的认同感； （4）在巩固现有市场的基础上，积极开拓新市场，推进省内外市场的均衡协调发展，进一步提升公司市场占有率。2、技术开发计划公司的技术开发工作将重点围绕提升产品品质、节能环保、知识产权保护等方面展开。公司将在现有专利、商标等相关知识产权的基

27、础上，进一步加强知识产权的保护工作，将技术研发成果整理并进行相应的专利申请，通过对公司无形资产的保护，切实做好知识产权的维护。为保证上述技术开发计划的顺利实施，公司将加大科研投入，强化研发队伍素质，创新管理机制和服务机制，积极参加行业标准的制定，不断提高企业的整体技术开发能力。3、人力资源发展计划培育、拥有一支有事业心、有创造力的人才队伍，是企业核心竞争力和可持续发展的原动力。随着经营规模的不断扩大，公司对人才的需求将更为迫切，人才对公司发展的支撑作用将进一步显现。为此，公司将重点做好以下工作：（1）加强人才的培养与引进工作，培育优秀技术人才、管理人才；（2）加强与高校间的校企人才合作，充分利

28、用高校的人才优势和教育资源优势，开展技术合作和人才培养，全面提升技术人员的整体素质；（3）加强对基层员工的技能培训和岗位培训，提高劳动熟练程度和自动化设备的操作能力，有效提高劳动效率和产品质量。（4）积极探索员工激励机制，进一步完善以绩效为导向的人力资源管理体系，充分调动员工的积极性。4、企业并购计划公司将抓住行业整合机会，根据自身发展战略，充分利用现有的综合竞争优势，整合有价值的市场资源，推进收购、兼并、控股或参股同行业具有一定互补优势的公司，实现产品经营和资本经营、产业资本与金融资本的有机结合，进一步增强公司的经营规模和市场竞争能力。5、筹融资计划目前公司正处于快速发展期，新生产线建设、技

29、术改造、科技开发、人才引进、市场拓展等方面均需较大的资金投入。公司将根据经营发展计划和需要，综合考虑融资成本、资产结构、资金使用时间等多种因素，采取多元化的筹资方式，满足不同时期的资金需求，推动公司持续、快速、健康发展。积极利用资本市场的直接融资功能，为公司的长远发展筹措资金。（三）面临困难公司资产规模将进一步增长，业务将不断发展和扩大，但在战略规划、营销策略、组织设计、资源配置，特别是资金管理和内部控制等方面面临新的挑战。同时，公司今后发展中，需要大量的管理、营销、技术等方面的人才，也使公司面临较大的人才培养、引进和合理使用的压力。公司必须尽快提高各方面的应对能力，才能保持持续发展，实现各项

30、业务发展目标。1、资金不足发展计划的实施需要足够的资金支持。目前公司融资手段较为单一，所需资金主要通过银行贷款解决，融资成本较高，还本付息压力较大，难以满足公司快速发展的要求。因此，能否借助资本市场，将成为公司发展计划能否成功实施的关键。如果不能顺利募集到足够的资金，公司的发展计划将难以如期实现。2、人才紧缺随着经营规模的不断扩大，公司在新产品新技术开发、生产经营管理方面，高级科研人才和管理人才相对缺乏，将影响公司进一步提高研发能力和管理水平。因此，能否尽快引进、培养这方面人才将对募投项目的顺利实施和公司未来发展产生较大的影响。（四）采用的方式、方法或途径建立多渠道融资体系，实现公司经营发展目

31、标公司拟建立资本市场直接融资渠道，改变融资渠道单一依赖银行贷款的现状，为公司未来重大投资项目的顺利实施筹集所需资金，确保公司经营发展目标的实现。同时，加强与商业银行的联系，构建良好的银企合作关系，及时获得商业银行的贷款支持，缓解公司发展过程中的资金压力。1、内部培养和外部引进高层次人才，应对经营规模快速提升面临的挑战公司现有人员在数量、知识结构和专业技能等方面将不能完全满足公司快速发展的需求，公司需加快内部培养和外部引进高层次人才的力度，确保高素质技术人才、经营管理人才以及营销人才满足公司发展需要。为此，公司拟采取下列措施：1、加强人力资源战略规划，通过建立有市场竞争力的薪酬体系和公平有序的职

32、业晋升机制，吸引优秀的技术、营销、管理人才加入公司，提升公司综合竞争力；2、进一步完善以绩效为导向的员工激励与约束机制，努力营造团结和谐的企业文化，强化员工对企业的归属感和责任感，保持公司人才队伍的稳定性和积极性；3、加强年轻人才的培养，建立人才储备机制，增强公司人才队伍的深度和厚度，形成完整有序的人才梯队，实现公司可持续发展。2、以市场需求为驱动，提高公司竞争能力公司将以市场为导向，认真研究市场需求，密切跟踪印染行业政策及最新发展动向，推动科技创新和加大研发投入，优化产品结构，开拓高端市场，不断提升管理水平和服务质量，丰富服务内容，完善和延伸产业链，提升公司的核心竞争力和市场地位，最终实现公

33、司的战略发展目标。第三章 项目建设背景、必要性一、 上游原材料树脂、单体难度较高，大陆产业化等待突围溶剂、感光剂、树脂是光刻胶的三大原材料。光刻胶会根据不同光的波长和不同的曝光源而进行微调。光刻胶具有特定热流程特点，用特定的方法配臵而成，与特定的表面结合。这些属性由光刻胶里不同化学成分的类型、数量、混合过程决定，溶剂、感光剂和树脂是光刻胶三大原材料。从含量来看，根据Trendbank数据，光刻胶主要原材料占比从大到小分别是溶剂（50%-90%）、树脂（10%-40%）、光引发剂（1%-6%）以及添加剂（1%）。溶剂是光刻胶中容量最大的成分，使光刻胶处于液态，并使光刻胶能通过旋转涂在晶圆表面形成

34、薄层。感光剂在曝光过程中控制或调节光刻胶的化学反应，用于产生或控制聚合物特定反应。感光剂添加到光刻胶中用来限制反应光的波谱范围或把反应光限制到某一特定波长的光。聚合物用于当光刻机曝光时，聚合物结构由可溶变成聚会（或反之），是由一组大且重的分子组成，分子里包括碳、氢、氧，典型聚合物如塑料。此外，光刻胶中还含有添加剂。不同类型的添加剂和光刻胶混合在一起来达到某种特定的结果。部分负胶包含染色剂，功能是在光刻胶薄膜中用来吸收和控制光线。正胶可能含有化学的抗溶解系统，这样的添加剂可以阻止光刻胶没有被曝光的部分在显影过程中被溶解。从成本来看，高端光刻胶中树脂占成本比重较大。根据南大光电公告，ArF光刻胶树

35、脂以丙二醇甲醚醋酸酯为主，质量占比仅5%-10%，但成本占光刻胶原材料总成本的97%以上。二、 光刻胶：光刻工艺所需核心材料，助力制程持续升级光刻胶百年发展史，是光刻工艺所需关键材料。光刻胶被应用于印刷工业已经超过一个世纪。到20世纪20年代，开始被用于PCB领域，到20世纪50年代，开始被用于生产晶圆。20世纪50年代末，eastmankodak（伊士曼柯达公司）和Shipley（已被陶氏收购）分别设计出适合半导体工业所需的正胶和负胶。光刻胶用于光刻工艺，帮助将设计好的电路图形由掩膜版转移至硅片，从而实现特定的功能。光刻胶的质量和性能直接影响制造产线良率。以集成电路为例，光刻工艺步骤和光刻胶

36、的使用场景如下：1）气体硅片表面预处理：在光刻前，硅片会经历一次湿法清洗和去离子水冲洗，目的是去除沾污物。在清洗完毕后，硅片表面需要经过疏水化处理，用来增强硅片表面同光刻胶（通常是疏水性的）的黏附性。2）旋涂光刻胶，抗反射层：在气体预处理后，光刻胶需要被涂敷在硅片表面。涂敷的方法是最广泛使用的旋转涂胶方法，光刻胶（大约几毫升）先被管路输送到硅片中央，然后硅片会被旋转起来，并且逐渐加速，直到稳定在一定的转速上（转速高低决定了胶的厚度，厚度反比于转速的平方根）。3）曝光前烘焙：当光刻胶被旋涂在硅片表面后，必须经过烘焙。烘焙的目的在于将几乎所有的溶剂驱赶走。这种烘焙由于在曝光前进行叫做“曝光前烘焙”

37、，简称前烘，又叫软烘（softbake）。前烘改善光刻胶的黏附性，提高光刻胶的均匀性，以及在刻蚀过程中的线宽均匀性控制。4）对准和曝光：在投影式曝光方式中，掩膜版被移动到硅片上预先定义的大致位臵，或者相对硅片已有图形的恰当位臵，然后由镜头将其图形通过光刻转移到硅片上。对接近式或者接触式曝光，掩膜版上的图形将由紫外光源直接曝光到硅片上。5）曝光后烘焙：曝光完成后，光刻胶需要经过又一次烘焙。后烘的目的在于通过加热的方式，使光化学反应得以充分完成。曝光过程中产生的光敏感成分会在加热的作用下发生扩散，并且同光刻胶产生化学反应，将原先几乎不溶解于显影液体的光刻胶材料改变成溶解于显影液的材料，在光刻胶薄膜

38、中形成溶解于和不溶解于显影液的图形。由于这些图形同掩膜版上的图形一致，但是没有被显示出来，又叫“潜像”（latentimage）。6）显影：由于光化学反应后的光刻胶呈酸性，显影液采用强碱溶液。一般使用体积比为2.38%的四甲基氢氧化铵水溶液。光刻胶薄膜经过显影过程后，曝过光的区域被显影液洗去，掩膜版的图形便在硅片上的光刻胶薄膜上以有无光刻胶的凹凸形状显示出来。7）坚膜烘焙：在显影后，由于硅片接触到水分，光刻胶会吸收一些水分，这对后续的工艺，如湿发刻蚀不利。于是需要通过坚膜烘焙（hardbake）来将过多的水分驱逐出光刻胶。由于现在刻蚀大多采用等离子体刻蚀，又称为“干刻”，坚膜烘焙在很多工艺当中

39、已被省去。制程升级是确定发展方向，光刻设备和光刻胶是核心因素。随着高集成度、超高速、超高频集成电路及元器件的开发，集成电路与元器件特征尺寸呈现出越来越精细的趋势，加工尺寸达到百纳米直至纳米级，光刻设备和光刻胶产品也为满足超微细电子线路图形的加工应用而推陈出新。光刻胶的分辨率直接决定了特征尺寸的大小，通常而言，曝光波长越短，分辨率越高，因此为适应集成电路线宽不断缩小的要求，光刻胶的曝光波长由紫外宽谱向线(436nm)线(365nm)KrF(248nm)ArF(193nm)F2（157nm）的方向转移，并通过分辨率增强技术不断提升光刻胶的分辨率水平。三、 提升“四个中心”功能，打造对外开放新前沿坚

40、持实施更大范围、更宽领域、更深层次对外开放，构建更高水平开放型经济新体制，打造中国北方对外开放大门户。加快自贸区创新发展。充分利用RCEP等多边区域合作机制，提升参与区域经济一体化发展水平。对标新加坡、海南等自由贸易港和上海自贸区临港新片区,开展首创性、差别化改革探索，健全与国际通行规则紧密对接的投资贸易自由化便利化制度体系，加快促进贸易自由、投资自由、资金流动自由、运输自由、人员停留和就业自由以及数据流动便利，推动投资集聚、项目集聚、航线集聚、货源集聚。积极推进中日韩国际贸易“单一窗口”互联互通试点工作。科学规划建设发展海关特殊监管区域。深化自贸区与自创区“双自联动”，努力打造体制创新最深入

41、、要素流动最便捷、科技创新最前沿、高端产业最集聚的先行区和示范区。积极复制推广自贸区制度创新成果。拓展提升对外开放平台优势。提升金普新区及国家级开发区功能，发挥对外开放先导作用。扎实推进中日（大连）地方发展合作示范区建设，扩大对日韩招商引资、贸易促进，积极申办中日博览会，争取国家支持大连建设东北亚现代产业合作示范区，打造东北亚经贸合作先行区的核心区。加快推进太平湾合作创新区建设，打造集“港产城融创”于一体的东北亚“新蛇口”。高水平办好中国国际数字和软件服务交易会、中国国际专利技术与产品交易会、大连夏季达沃斯论坛、大连海外学子创业周等国际性会议，不断提升大连城市的国际影响力。四、 提升产业链供应

42、链现代化水平建立产业链专班制度，实施产业基础再造工程，狠抓建链、补链、延链、强链，推动全产业链优化升级。立足产业规模优势、配套优势和部分领域先发优势，分行业做好供应链设计，锻造产业链供应链长板，补齐产业链供应链短板，打造新兴产业链。围绕工业母机、高端芯片、基础软件等产业薄弱环节实施关键核心技术攻关，为增强我国产业链供应链自主可控能力贡献力量。依托各地区资源禀赋和产业特点，优化区域产业链布局，支持各地区转型发展、错位发展。加快推动产业链供应链多元化，形成具有更强创新力、更高附加值、更安全可靠的产业链供应链。第四章 市场预测一、 存储：容量提升+扩产是两大推动力容量要求提升，光刻次数增加，相应光刻

43、胶的用量随着光刻次数的增加大幅增长。DRAM：DRAM的技术发展路径是以微缩制程来提高存储密度。制程工艺进入20nm之后，制造难度大幅提升，DRAM芯片厂商对工艺的定义从具体的线宽转变为在具体制程范围内提升二或三代技术来提高存储密度。目前市场上DRAM的应用较为广泛的是2xnm和1xnm，三星、美光、海力士等龙头厂商均已开发出1znm制程的DRAM。NAND：NAND芯片制程已经达到极限，2DNAND的存储容量难以继续突破，NAND工艺逐渐转向3D堆叠架构，以更多的堆叠层数来得到更大的存储容量，光刻次数随着层数增加而增加，KrF光刻胶的使用量将显著提升。二、 半导体光刻胶：技术难度最高，增速最

44、快全球半导体光刻胶市场增速远高于全球光刻胶平均水平，占比不断提升。据SEMI统计，2021年全球半导体光刻胶市场规模达24.71亿美元，较上年同期增长19.49%，2015-2021年CAGR为12.03%。2019年全球半导体光刻胶市场规模分别为约为18亿美元，半导体光刻胶占整体光刻胶比重约21.9%，到2021年占比提升至26.85%。大陆半导体光刻胶增速超全球两倍。分地区看，中国大陆半导体光刻胶市场依旧保持着最快增速，2021年市场规模达到4.93亿美元，较上年同期增长43.69%，超过全年半导体光刻胶增速的两倍；中国占比全球半导体光刻胶市场比重也将从2015年约10.4%提升到2021

45、年接近20%。中国半导体光刻胶的快速崛起离不开中国整体半导体产业的发展。受益于5G大规模建设，以及2020年新冠疫情导致远程办公、网络直播等应用普及，全球集成电路行业发展迅猛，根据Frost&Sullivan数据，2013年集成电路市场规模为2518亿美元，到2019年集成电路市场规模高达3334亿美元，年复合增长率为4.79%。2019年全球集成电路市场规模有所下滑，主要系全球贸易摩擦、存储供需变化以及智能手机、服务器等产品需求下滑因素影响。预计到2025年，全球集成电路市场规模将达到4750亿美元,2020-2025年CAGR为6.02%。我国集成电路行业起步较晚，但发展迅速。根据中国半导

46、体行业协会数据，2013年中国集成电路销售收入为2508亿元，2019年达到7562亿元，年均复合增速达到20.2%，在5G和新兴产业的发展带动下，如汽车电子行业和物联网的推动下，中国集成电路行业市场规模将不断扩大，预计到2025年，我国集成电路市场规模将达到18932亿元，2020-2025年CAGR为16.22%。按曝光波长分，全球ArF/EUV光刻胶占比超50%，为国际主流。半导体光刻胶按照曝光波长不同可分为g线（436nm）、i线（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）以及新兴起的EUV光刻胶5大类，高端光刻胶指KrF、ArF和EUV光刻胶，等级越往上其极限分辨率越高，同一面积的硅晶圆布线密度越大，性能越好。根据TECHCET数据，从市场分布看，2021年ArFi+ArF光刻胶占全球光刻胶市场规模的比例为48.1%，KrF占比34.7%，G/I线占14.7%。