半导体清洗设备项目工程网络计划技术.docx

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1、泓域/半导体清洗设备项目工程网络计划技术半导体清洗设备项目工程网络计划技术xx投资管理公司目录一、 公司基本情况3二、 网络计划调整方法4三、 网络计划实施中的检查与分析5四、 时间参数计算方法9五、 绘图规则9六、 工程网络计划的技术特点和分类9七、 工程网络计划技术应用程序11八、 产业环境分析14九、 芯片良率的重要保障，半导体清洗设备国产替代正当时15十、 必要性分析16十一、 建设进度分析17项目实施进度计划一览表17十二、 投资估算及资金筹措18建设投资估算表20建设期利息估算表21流动资金估算表23总投资及构成一览表24项目投资计划与资金筹措一览表25一、 公司基本情况（一）公司

2、简介公司全面推行“政府、市场、投资、消费、经营、企业”六位一体合作共赢的市场战略，以高度的社会责任积极响应政府城市发展号召，融入各级城市的建设与发展，在商业模式思路上领先业界，对服务区域经济与社会发展做出了突出贡献。 公司满怀信心，发扬“正直、诚信、务实、创新”的企业精神和“追求卓越，回报社会” 的企业宗旨，以优良的产品服务、可靠的质量、一流的服务为客户提供更多更好的优质产品及服务。（二）核心人员介绍1、肖xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。2、严xx，197

3、4年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。3、徐xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。4、许xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工

4、程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。5、邹xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。二、 网络计划调整方法当实际进度偏差影响到后续工作、总工期而需要调整进度计划时，要对工作计划进行调整，调整方法主要有改变某些工作间的逻辑关系、缩短某些工作的持续时间。（一）改变某些工作间的逻辑关系当工程网络计划实施中产生的进度偏差影响到总工期，且有关工作的逻辑关系允许改变时，可以改变关键线路和超过计划工期的非关键线路上的有关工作之间的逻辑关系，以

5、此达到缩短工期的目的。如将顺序进行的工作改为平行作业、搭接作业或分段组织流水作业等，都可以有效地缩短工期。（二）缩短某些工作的持续时间这种方法不改变工程网络计划中各项工作之间的逻辑关系，而是通过采取增加资源投入、提高劳动效率等措施来缩短某些工作的持续时间，使工程进度加快，以保证按计划工期完成工程项目。这些持续时间被压缩的工作是位于关键线路和超过计划工期的非关键线路上的工作。同时，这些工作又是其持续时间可被压缩的工作。这样的调整通常可在网络计划图上直接进行。为缩短某些工作的持续时间而增加的投入，可以从工程项目外部新调入资源，如增加施工机械、施工队伍等；也可利用非关键工作的机动时间，将非关键线路上

6、的资源调整到所需压缩持续时间的工作上；还可以通过加班等增加工作时间的方式来缩短某些工作的持续时间，从而达到缩短工期的目的。三、 网络计划实施中的检查与分析在工程网络计划执行过程中，当需要将收集到的实际进展数据与计划进度数据进行比较分析时，可使用前锋线比较法和列表比较法这两种常用的比较方法。（一）前锋线比较法前锋线比较法是指在时标网络计划中通过绘制某检查时刻工程实际进度前锋线，进行工程实际进度与计划进度比较的方法。所谓前锋线，是指在原时标网络计划中，从检查时刻的时标点出发，用点画线依次将各项工作实际进展位置点连接而成的折线。前锋线比较法就是通过实际进度前锋线与原进度计划中各项工作箭线交点的位置来

7、判断工作实际进度与计划进度的偏差，进而判定该偏差对后续工作及总工期影响程度的一种方法。采用前锋线比较法进行实际进度与计划进度比较的步骤如下1、绘制时标网络计划图工程实际进度前锋线是在时标网络计划图中标示出来的，为清晰起见，可在时标网络计划图的上方和下方各设一时间坐标。2、绘制实际进度前锋线实际进度前锋线一般从时标网络计划图上方时间坐标的检查日期开始，依次连接相邻工作的实际进展位置点，最后与时标网络计划图下方时间坐标的检查日期相连接。工作实际进展位置点的标定方法有以下两种。（1）按工作已完任务量的比例进行标定。假设工程网络计划中各项工作进展均为匀速进展，根据实际进度检查时刻该工作已完任务量占其计

8、划完成总任务量的比例，在工作箭线上从左至右按相同比例标定其实际进展位置点。（2）按尚需作业时间进行标定。当某些工作的持续时间难以按实物工程量来计算而只能凭经验估算时，可以先估算出检查时刻到该工作全部完成尚需作业的时间，然后在该工作箭线上从右向左逆向标定其实际进展位置点。3、进行实际进度与计划进度的比较前锋线可以直观反映出检查日期有关工作实际进度与计划进度之间的关系。对某项工作来说，其实际进度与计划进度之间的关系存在以下三种情况。（1）工作实际进展位置点落在检查日期的左侧，表明该工作实际进度拖后，拖后的时间为二者之差。（2）工作实际进展位置点与检查日期重合，表明该工作实际进度与计划进度一致。（3

9、）工作实际进展位置点落在检查日期的右侧，表明该工作实际进度超前，超前的时间为二者之差。4、预测工作进度偏差对后续工作及总工期的影响通过比较实际进度与计划进度确定工作进度偏差后，可根据工作的自由时差和总时差预测该进度偏差对后续工作及总工期的影响。由此可见，前锋线比较法既适用于工作实际进度与计划进度之间的局部比较，又可用来分析和预测工程项目整体进度状况。值得注意的是，以上比较是针对匀速进展的工作。对于非匀速进展的工作，比较方法较复杂，此处不再赘述。（二）列表比较法当工程进度计划用非时标网络图表示时，可以采用列表比较法进行实际进度与计划进度的比较。这种方法是通过记录检查日期应进行的工作名称及已作业时

10、间，然后列表计算有关时间参数，并根据工作总时差进行实际进度与计划进度比较的方法。采用列表比较法进行实际进度与计划进度比较的步骤如下。（1）对于实际进度检查日期应进行的工作，根据已作业时间，确定其尚需作业的时间。2）根据原进度计划计算检查日期应进行的工作从检查日期到原计划最迟完成时尚余时间。（2）计算工作尚有总时差，其值等于工作从检查日期到原计划最迟完成时尚余时间与该工作尚需作业时间之差。（3）比较实际进度与计划进度，存在以下四种情况。1）工作尚有总时差与原有总时差相等时，说明该工作实际进度与计划进度一致。2）工作尚有总时差大于原有总时差时，说明该工作实际进度超前，超前的时间为二者之差。3）工作

11、尚有总时差小于原有总时差，且仍为非负值时，说明该工作实际进度拖后，拖后的时间为二者之差，但不影响总工期。4）工作尚有总时差小于原有总时差，且为负值时，说明该工作实际进度拖后，拖后的时间为二者之差，此时工作实际进度偏差将影响总工期。四、 时间参数计算方法单代号网络计划与双代号网络计划只是表现形式不同，它们所表达的内容则是完全一样的。下面以所示单代号网络计划为例，说明其时间参数的计算过程。工作最早开始时间和最早完成时间的计算应从网络计划的起点节点开始，顺着箭线方向按节点编号从小到大的顺序依次进行。五、 绘图规则单代号网络图与双代号网络图的绘图规则基本相同，主要区别在于：当网络图中有多项开始工作时，

12、应增设一项虚工作（S）作为该网络图的起点节点；当网络图中有多项结束工作时，应增设一项虚工作（F）作为该网络图的终点节点。六、 工程网络计划的技术特点和分类（一）工程网络计划的技术特点工程网络计划技术是指用网络图表示工程计划任务中各项工作的进度安排，并在计划执行过程中实施动态控制，以保证实现预定工程任务的管理技术。它与传统的甘特横道计划相比，具有以下优点。（1）根据管理需要，工程网络计划可清楚地表达工程任务分解后各项工作之间的先后顺序（逻辑关系）从而为计划执行过程中的动态控制奠定了良好基础。（2）通过计算网络计划中各种时间参数，确定影响工程总工期的关键工作，识别出具有机动时间的非关键工作，以便明

13、确工程进度控制的重点对象。（3）根据网络计划时间参数计算结果，工程网络计划可根据资源约束条件和各项工作目标，在保证工程质量和安全的前提下优化资源配置，从而降低成本、缩短工期，当目标无法实现时，提出科学合理的目标调整方案。（4）将工程网络计划与计算机技术相结合，开发有关项目管理软件，能够提高工程进度计划编制效率，提升工程进度计划可视化程度，进行时间参数自动计算和资源优化配置，也有利于工程进度计划实施中的动态比较分析与监控。与甘特横道计划相比，尽管工程网络计划不够简单明了和形象直观，但借助计算机技术和有关项目管理软件可以最大限度地弥补工程网络计划的不足。如可以将网络计划表现形式自动转化为横道计划，

14、还可以通过绘制带有时间坐标的网络计划（时标网络计划）直观表达工程进度计划安排。（二）工程网络计划的分类工程网络计划是建立在网络图基础上的工程进度计划。所谓网络图，是指由箭线和节点组成，用来表示工作流程的有向、有序网状图形。工程网络计划种类繁多，可从不同角度进行分类。（1）按网络计划中工作性质进行划分，工程网络计划可分为肯定型网络计划和非肯定型网络计划。（2）按网络计划表达形式进行划分，工程网络计划可分为双代号网络计划和单代号网络（3）按网络计划目标进行划分，工程网络计划可分为单目标网络计划和多目标网络计划。（4）按网络计划有无时间坐标进行划分，工程网络计划可分为双代号时标网络计划和双代号非时标

15、网络计划。5）按网络计划层级进行划分，工程网络计划可分为单级网络计划和多级网络计划。6）按网络计划中工作搭接关系进行划分，工程网络计划可分为普通网络计划、搭接网络计划和流水网络计划。七、 工程网络计划技术应用程序工程网络计划技术应用程序可分为五个阶段。（一）计划准备阶段计划准备阶段主要包括调查研究和确定网络计划目标。调查研究的主要目的是掌握足够充分、准确的资料，从而为确定合理的进度目标、编制科学的进度计划提供可靠依据。（二）绘制网络图阶段绘制网络图阶段主要包括工程项目分解、分析逻辑关系和绘制网络图。（1）工程项目分解。工程项目分解是指将工程项目由粗到细进行分解，是编制网络计划的前提。工作划分的

16、粗细程度，应根据实际需要来确定。对于控制性网络计划，工作划分可粗略一些；对于实施性网络计划，工作划分应细致一些。由此可见，工作可以是单位工程，也可以是分部工程、分项工程，或者是一个施工过程（工序）。（2）分析逻辑关系。在依据施工方案、有关资源供应情况和施工经验，分析各项工作之间的逻辑关系时，既要考虑施工程序或工艺技术过程，又要考虑组织安排及资源调配需要。（3）绘制网络图。根据已确定的逻辑关系，选择适合的网络计划表达形式，按绘图规则绘制网络图。绘制的网络图既可以是单代号网络图，也可以是双代号网络图，还可根据需要绘制双代号时标网络计划。（三）计算时间参数阶段计算时间参数阶段主要包括计算时间参数、确

17、定关键线路和关键工作。（1）计算时间参数。根据经验或定额计算工作持续时间，计算工作最早开始时间、工作最早完成时间、工作最迟开始时间、工作最迟完成时间、工作总时差、工作自由时差、节点最早时间、节点最迟时间、相邻两项工作之间的时间间隔、计算工期等（2）确定关键线路和关键工作。在计算网络计划时间参数的基础上，可根据有关时间参数确定网络计划中的关键线路和关键工作。（四）网络计划优化阶段网络计划优化阶段主要包括优化网络计划和编制正式网络计划。（1）优化网络计划。根据所追求的目标不同，网络计划优化可分为工期优化、费用优化和资源优化三种。应根据工程实际需要选择不同的优化方法进行网络计划优化。（2）编制正式网

18、络计划。根据网络计划优化结果，编制正式网络计划，并附网络计划说明书，说明网络计划编制原则和依据、执行计划的关键问题及其他需要说明的问题。（五）网络计划执行阶段网络计划执行阶段主要包括动态比较分析和调整网络计划。（1）动态比较分析。在收集实际进度数据的基础上，进行实际进度与计划进度的比较分析，以此来判断实际进度是否存在偏差，并分析偏差产生的原因。（2）调整网络计划。当实际进度存在偏差且需要调整网络计划时，应选择适当方法调整网络计划，以满足相关目标要求。八、 产业环境分析2019年，坚持稳中求进工作总基调，深入贯彻新发展理念，落实高质量发展要求，深化供给侧结构性改革，统筹推进稳增长、促改革、调结构

19、、惠民生、防风险、保稳定，全力建设“高质量产业之区、高品质宜居之城”，经济高质量发展动能持续增强，社会大局保持和谐稳定，人民群众获得感、幸福感、安全感显著提升。2020年，是“十三五”规划的收官之年，是全面建成小康社会的决胜之年。当前，世界经济格局复杂多变，但中国稳中向好、长期向好的基本态势没有改变，坚持从全局谋划一域、以一域服务全局，对标对表抓落实，沉心静气谋发展，努力推动经济社会各项事业再上台阶。九、 芯片良率的重要保障，半导体清洗设备国产替代正当时清洗步骤是芯片良率的重要保障，单片成为先进制程清洗设备的主流发展趋势：为了最大限度降低杂质对芯片良率的影响，在实际生产过程中不仅需要确保高效的

20、单次清洗，还需要在几乎所有的制程前后都进行频繁的清洗，清洗贯穿硅片制造、晶圆制造、芯片封装各环节。根据清洗的介质不同，清洗技术可以分为湿法清洗和干法清洗两种，湿法清洗技术是目前市场上的主流清洗方法。根据结构，清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、批式旋转喷淋清洗设备和洗刷器等，单片清洗具备良率高的优点，槽式清洗具备效率高的优点，单片清洗在先进工艺中逐步取代槽式清洗成为主流。根据东京电子的预测，预计未来单片清洗将占据主要份额。日系巨头领跑全球，国产替代进展顺利：从竞争格局来看，全球半导体清洗设备高度集中于日本、美国、韩国等企业。根据Gartner数据，全球半导体清洗设备行业的龙头企业主要是

21、迪恩士(DainipponScreen)、东京电子(TEL)、韩国SEMES、拉姆研究（LamResearch）等，其中迪恩士处于绝对领先地位，2020年占据了全球半导体清洗设备45.1%的市场份额，东京电子、SEMES和拉姆研究分别占据约25.3%、14.8%和12.5%。国内厂商主要包括至纯、盛美、北方华创、芯源微等，在全球市场规模占比较小，在国内市场占比处于快速提高状态。根据中国国际招标网信息，从2019年2021年H1中国主流晶圆厂清洗设备招标采购份额来看，我国半导体清洗设备的国产化率已经维持在10%20%，属于国产化突破较快的设备。目前，国内厂商如至纯、盛美、北方华创已经具备28nm

22、制程清洗设备能力，产品性能比肩国际主流，具备进口替代能力，能满足大陆晶圆厂的扩产需求，清洗设备国产替代迎快速发展期。十、 必要性分析1、现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业，公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度，产品销售形势良好，产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展，公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段，不断挖掘产能潜力，但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设，公司将有效克服产能不足对公司发展的制约，为公司把握市场机遇奠定基础。2、公司产品结构升级的需要随着制造业智

23、能化、自动化产业升级，公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动，不断研发新产品，提升产品精密化程度，将产品质量水平提升到同类产品的领先水准，提高生产的灵活性和适应性，契合关键零部件国产化的需求，才能在与国外企业的竞争中获得优势，保持公司在领域的国内领先地位。十一、 建设进度分析（一）项目进度安排结合该项目建设的实际工作情况，xx投资管理公司将项目工程的建设周期确定为24个月，其工作内容包括：项目前期准备、工程勘察与设计、土建工程施工、设备采购、设备安装调试、试车投产等。项目实施进度计划一览表单位：月序号工作内容246810121416182022241可行性研究及环

24、评2项目立项3工程勘察建筑设计4施工图设计5项目招标及采购6土建施工7设备订购及运输8设备安装和调试9新增职工培训10项目竣工验收11项目试运行12正式投入运营（二）项目实施保障措施施工中应遵照执行下列工期保证措施，按合同规定如期完成。1、项目建设单位要在技术准备、人员配备、施工机械、材料供应等方面给予充分保证。2、选派组织能力强、技术素质高、施工经验丰富、最优秀的工程技术人员和施工队伍投入该项目施工。3、认真做好施工技术准备工作，预测分析施工过程中可能出现的技术难点，提前进行技术准备，确保施工顺利进行。4、科学组织施工平行流水作业，交叉施工，使施工机械等资源发挥最大的使用效率，做到现场施工有

25、条不紊，忙而不乱。5、项目建设单位要制定严密的工程施工进度计划，并以此为依据，详细编制周、月施工作业计划，以施工任务书的形式下达给参与工程施工的施工队伍。十二、 投资估算及资金筹措（一）投资估算的依据本期项目其投资估算范围包括：建设投资、建设期利息和流动资金，估算的主要依据包括：1、建设项目经济评价方法与参数（第三版）2、投资项目可行性研究指南3、建设项目投资估算编审规程4、建设项目可行性研究报告编制深度规定5、建设工程工程量清单计价规范6、企业工程设计概算编制办法7、建设工程监理与相关服务收费管理规定（二）项目费用与效益范围界定本期项目费用界定为工程费用和项目运营期所发生的各项费用；项目效益

26、界定为运营期所产生的各项收益，并严格遵循财务评价过程中费用与效益计算范围相一致性的原则。本期项目建设投资26782.63万元，包括：工程费用、工程建设其他费用和预备费三个部分。（三）工程费用工程费用包括建筑工程费、设备购置费、安装工程费等；工程建设其他费用包括：建设管理费、勘察设计费、生产准备费、其他前期工作费用，合计22709.75万元。1、建筑工程费估算根据估算，本期项目建筑工程费为13081.32万元。2、设备购置费估算设备购置费的估算是根据国内外制造厂家（商）报价和类似工程设备价格，同时参照机电产品报价手册和建设项目概算编制办法及各项概算指标规定的相应要求进行，并考虑必要的运杂费进行估

27、算。本期项目设备购置费为9008.71万元。3、安装工程费估算本期项目安装工程费为619.72万元。（四）工程建设其他费用本期项目工程建设其他费用为3513.33万元。（五）预备费本期项目预备费为559.55万元。建设投资估算表单位：万元序号项目建筑工程设备购置安装工程其他费用合计1工程费用13081.329008.71619.7222709.751.1建筑工程费13081.3213081.321.2设备购置费9008.719008.711.3安装工程费619.72619.722其他费用3513.333513.332.1土地出让金2177.522177.523预备费559.55559.553.

28、1基本预备费320.15320.153.2涨价预备费239.40239.404投资合计26782.63（六）建设期利息按照建设规划，本期项目建设期为24个月，其中申请银行贷款15066.11万元，贷款利率按4.9%进行测算,建设期利息738.24万元。建设期利息估算表单位：万元序号项目合计第1年第2年1借款1.1建设期利息738.24184.56553.681.1.1期初借款余额7533.0551.1.2当期借款15066.117533.067533.061.1.3当期应计利息738.24184.56553.681.1.4期末借款余额7533.05515066.111.2其他融资费用1.3小计

29、738.24184.56553.682债券2.1建设期利息2.1.1期初债务余额2.1.2当期债务金额2.1.3当期应计利息2.1.4期末债务余额2.2其他融资费用2.3小计3合计738.24184.56553.68（七）流动资金流动资金是指项目建成投产后，为进行正常运营，用于购买辅助材料、燃料、支付工资或者其他经营费用等所需的周转资金。流动资金测算一般采用分项详细测算法或扩大指标法，根据企业流动资金周转情况及本项目产品生产特点和项目运营特点，该项目流动资金测算参照同行业流动资产和流动负债的合理周转天数，采用分项详细测算法进行测算。根据测算，本期项目流动资金为7425.59万元。流动资金估算表

30、单位：万元序号项目第1年第2年第3年第4年第5年1流动资产0.0037367.6342349.9749823.501.1应收账款0.0016815.4419057.4922420.581.2存货0.0013078.6714822.4917438.221.2.1原辅材料0.003923.604446.755231.471.2.2燃料动力0.00196.18222.33261.571.2.3在产品0.006016.186818.348021.581.2.4产成品0.002942.703335.063923.601.3现金0.002989.413388.003985.881.4预付账款0.00448

31、4.115082.005978.822流动负债0.0031798.4336038.2242397.912.1应付账款0.0011447.4412973.7615263.252.2预收账款0.0020350.9923064.4627134.663流动资金0.005569.196311.757425.594流动资金增加0.005569.19742.561113.845铺底流动资金0.0011210.2912704.9914947.05（八）项目总投资本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资34946.46万元，其中：建设投资26782.63万元，占项目总投资的

32、76.64%；建设期利息738.24万元，占项目总投资的2.11%；流动资金7425.59万元，占项目总投资的21.25%。总投资及构成一览表单位：万元序号项目指标占总投资比例1总投资34946.46100.00%1.1建设投资26782.6376.64%1.1.1工程费用22709.7564.98%1.1.1.1建筑工程费13081.3237.43%1.1.1.2设备购置费9008.7125.78%1.1.1.3安装工程费619.721.77%1.1.2工程建设其他费用3513.3310.05%1.1.2.1土地出让金2177.526.23%1.1.2.2其他前期费用1335.813.82%

33、1.2.3预备费559.551.60%1.2.3.1基本预备费320.150.92%1.2.3.2涨价预备费239.400.69%1.2建设期利息738.242.11%1.3流动资金7425.5921.25%（九）资金筹措与投资计划本期项目总投资34946.46万元，其中申请银行长期贷款15066.11万元，其余部分由企业自筹。项目投资计划与资金筹措一览表单位：万元序号项目数据指标占总投资比例1总投资34946.46100.00%1.1建设投资26782.6376.64%1.2建设期利息738.242.11%1.3流动资金7425.5921.25%2资金筹措34946.46100.00%2.1项目资本金19880.3556.89%2.1.1用于建设投资11716.5233.53%2.1.2用于建设期利息738.242.11%2.1.3用于流动资金7425.5921.25%2.2债务资金15066.1143.11%2.2.1用于建设投资15066.1143.11%2.2.2用于建设期利息2.2.3用于流动资金2.3其他资金