2021年无尘室管理规定.pdf

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1、目录无尘车间管理的目的无尘车间管理的原则适用范围术语管理程序51 无尘室施工管理制度52 无尘室洁净度定期检测制度/测量标准53 无尘室人员管理制度54 无尘室洁净服管理制度55 无尘室物流/洁净室内设备及工器具管理制度56 无尘室清洁、清扫和灭菌管理57 无尘室洁净室安全管理版本更改记录10 无尘车间管理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。20 无尘车间管理的原则进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒

2、、微生物带入洁净室。操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。精品w o r d 学习资料 可编辑资料-精心整理-欢迎下载-第 1 页，共 14 页清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物

3、的产生、滞留、繁殖。洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。30 适用范围半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。40 术语洁净生产区是洁净厂房的主要部分，对洁净级别有明确规定的区域。洁净辅助间是洁净厂房不可缺少的必备房间。洁净辅助间对洁净厂房的平面关系密切，对洁净厂房的建造带来影响和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产过程的污染或

4、交叉污染至关重要。管理区是洁净厂房内的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福利用房。设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是洁净厂房的重要组成部分。50 管理程序51 无尘车间洁净室施工管理制度511 背景511 1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。5112 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。511 3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本

5、制度规定的原则进行管理。512 责任与义务5121 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。512 2 承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。精品w o r d 学习资料 可编辑资料-精心整理-欢迎下载-第 2 页，共 14 页文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3

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13、将被除名。513 草案细则洁净室草案分为三部分，每一部分对应施工的一个过程。施工接近完工阶段，不允许从外面或洁净区域的施工场地带入脏物。5131 第一部分第一部分主要针对直到主要施工完成后。包括屋顶，覆层，门和窗户。所有工人必须从图纸上标明的通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。所有工人进入必须保持鞋子干净。不允许穿奇特的服装，工人的衣服应该保持适当的干净。现场安全规则必须时刻遵守。所有设备和材料必须从一个入口进入施工现场，并且保持干净，不允许有碎片掉下。施工现场内不允许吃东西，吸烟，喝酒。每班结束时，必须清走所有垃圾和废旧物品。总之，整个施工现场每天必须保持干净。5132 第二部分第二部分

14、主要针对直到gridlineB 西边洁净区域的内墙完成。此时，只允许承包商雇佣的工人在洁净区域。其他供应商如果要进入洁净区域，必须提前向承包商提出申请，得到允许后方可进入。工人、设备和材料的入口是经过威世半导体(西安)有限公司管理人员同意的。gridlines1 和 2 之间的通向成品仓库的外门。gridlines15 和 16 之间的通向原料仓库的外门。其它入口必须经过洁净工程承包商的书面批准。两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料准备或拆包预留区域。进如洁净区域之前，材料和设备不允许有脏物或由掉下，并且应该用干净的干布擦拭干净。任何可能会造成污染的活动必须必须提前经过洁净工程承包商的批准。

15、这包括砂纸打磨，碾，开凿，演练，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。承包商要用任何可能的方法预防污染。装好的地板必须用PVC板包装保护。第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必须的。第二部分草案执行期间，洁净区域必须每天吸尘。精品w o r d 学习资料 可编辑资料-精心整理-欢迎下载-第 3 页，共 14 页文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6

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22、10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N45133 第三部分第三部分主要针对直到生产车间全部建成。气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。进入的工人穿鞋套和工作服。所有进入洁净区域的材料，工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。在第三部分草案执行期间，洁净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。514 洁净安装必须采取洁净措施保持安装洁净。各类部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。内部表面应该用IPA 和水的混合物擦拭。洁净安装过程中，必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度，对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。515 最后洁净洁净区域的所有安装完成后，要进行最后洁净。洁

23、净要用IPA 和水的混合物擦拭。先洁净天花板，然后是墙壁，墙壁应从上到下，最后是地面。最后洁净完成后，gridlineB 东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。以前的原料成品仓库入口将被保护。最后洁净完成后，任何进入的人都必须通过威世半导体(西安)有限公司现场经理的批准。5.1.6 设备、物品进入洁净室规定52 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求，必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。检测测试设备：激光粒子记数器检测周期：每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测检测条件：静态洁净度测试数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存，并在每个季度末（或下

24、季度初）给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。各洁净区域洁净级别标准：按照半导体公司能源管理标准要求执行。区域、系统名称洁净等级标准相当于 ISO级别等效于 GB级别K-1 系统划片区域精品w o r d 学习资料 可编辑资料-精心整理-欢迎下载-第 4 页，共 14 页文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C

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31、ZY4C7D6V9N4静态 1 万级K-1 系统改造前为静态10 万级CLASS7 CLASS8 CLASS7 CLASS8 K-2 系统包封区域静态 30 万级CLASS8 3 CLASS8 3 K-3 系统搪锡区域静态 30 万级CLASS8 3 CLASS8 3 K-4 系统测试区域静态 30 万级CLASS8 3 CLASS8 3 K-8 系统电镀区域静态 30 万级CLASS8 3 CLASS8 3 现有其他空调系统舒适性空调系统，无洁净要求NotApplicable NotApplicable 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等（包括净化空调系统和洁净

32、室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等）执行威世半导体(西安)有限公司厂务部相关SOP文件。参考文件FSD-SOP-01 供电操作指导书及规范制度FSD-SOP-4-1 AHU 系统操作指导书FSD-SOP-4-2 洗气塔操作指导书FSD-SOP-4-3 锅炉操作指导书FSD-SOP-4-4 制冷机操作指导书FSD-SOP-06 厂务部安全操作规程FSD-SOP-07 设备维护保养流程FSD-SOP-08 消防系统操作指导书FSD-SOP-12 厂务部运行管理制度FSD-SOP-13 市政动力能源中断紧

33、急应变计划FSD-SOP-20 厂务核心机组应急切换操作指导书ATD1210C能源管理标准精品w o r d 学习资料 可编辑资料-精心整理-欢迎下载-第 5 页，共 14 页文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN

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39、Y4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4JVP1301C 公共设施管理规定53 洁净室人员管理制度531 洁净室的人员管理包括：

40、制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。532 人员净化与进入在洁净厂房内众多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人员在洁净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。对于高级别洁净区域，应严格控制进入人员数量，并规范进行二次更衣。要获得生产环境所需要的空气洁净度等级或延长空气过滤器的使用寿命，对进入洁净室的人员、物料进行净化十分必要。为保持洁净室空气洁净度，应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物。所有进人洁净室的人员必须严格地按规定程序进行人身净化。个人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妆，换上指定的服装，按空

41、气洁净度等级相应的脱衣顺序脱衣，放在规定的衣柜内。进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。若公司后期发展需要更高洁净级别要求的洁净区域（指高于ISOClass7级别）进入前，需要设置盟洗室用洗手器洗手（先用洁净洗涤剂洗涤，再用洁净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干）。凡是交叉污染的媒介，要经常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按规定戴手套和指套。533 洁净室工作人员须知进入洁净室的人员应严格执行人身净化制度、路线和程序，任何人不得随意更改。在洁净室内必须按规定着衣、戴帽、换鞋。进入洁净级别1 万级以及高于万级的洁净区域，必

42、须至少经过二次更衣。可先从一次更衣室进入，进行更鞋、脱外衣、换洁净服、戴口罩、帽子（或洁净头套）后，经过走廊进入二次更衣室，进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子，确认更换完毕后，进入风淋室进行风淋后，才能进入万级以及高于万级的洁净区域。严禁不通过风淋而直接走旁通门进入洁净室。旁通门只允许人员出到洁净间外以及发生紧急情况时的进出。风淋室使用须知A.风淋室是工作人员进入净化区域前进行人身净化的专用设备，它能将人体表面吸附着的尘埃用高速气流吹去，使工作人员不带污染源进入净化区域，并能使净化区域与非净化区域起到气闸作用。B.风淋室设定和状态：风淋室在投入使用前必须完成调试和设定，使之保持自

43、动风淋状态。精品w o r d 学习资料 可编辑资料-精心整理-欢迎下载-第 6 页，共 14 页文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:

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47、码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6 HD9F10Q6C2C5 ZY4C7D6V9N4文档编码:CN9A3H1L3P6

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50、淋室。按“照明开”键即可打开室内照明灯。风淋室的微电脑对所做设定有记忆功能,关闭风淋室电源再次打开电源时风淋室处于上次操作的最后设定状态。禁止一线使用者对设备的数值设定进行更改，数据更改必须由专业的管理人员进行。禁止使用者野蛮对风淋室的门（红外电控锁）强行推拉而损坏设备。风淋设备若因使用不当而损坏，使用部门应据实反映损坏原因，并立即报修。一线员工在使用过程中发现状态异常，应立即通知主管部门进行处理；并停止使用风淋室。D.风淋室正常/异常状态的界定：1.风淋室正常初始化自检：打开电源操作面板LED数码显示时间点亮，同时电脑控制器做一次检测，二门是否关闭，有门开着则等待关门，如果二门都关闭则自动进