襄阳半导体前道设备项目申请报告.docx
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1、泓域咨询/襄阳半导体前道设备项目申请报告襄阳半导体前道设备项目申请报告xxx集团有限公司目录第一章 市场预测8一、 半导体设备行业的壁垒8二、 薄膜沉积设备9第二章 项目建设背景及必要性分析10一、 半导体前道设备各环节格局梳理10二、 清洗设备10三、 本土设备厂商的竞争优势和未来前景11四、 构建产业高质量发展新格局12五、 构建全方位创新发展格局16六、 项目实施的必要性18第三章 总论19一、 项目名称及投资人19二、 编制原则19三、 编制依据20四、 编制范围及内容20五、 项目建设背景21六、 结论分析21主要经济指标一览表23第四章 产品规划方案25一、 建设规模及主要建设内容
2、25二、 产品规划方案及生产纲领25产品规划方案一览表25第五章 建筑技术分析28一、 项目工程设计总体要求28二、 建设方案28三、 建筑工程建设指标29建筑工程投资一览表29第六章 法人治理31一、 股东权利及义务31二、 董事34三、 高级管理人员38四、 监事41第七章 运营模式43一、 公司经营宗旨43二、 公司的目标、主要职责43三、 各部门职责及权限44四、 财务会计制度47第八章 原辅材料成品管理55一、 项目建设期原辅材料供应情况55二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理55第九章 进度规划方案57一、 项目进度安排57项目实施进度计划一览表57二、 项目实施保障措施58第十
3、章 项目节能方案59一、 项目节能概述59二、 能源消费种类和数量分析60能耗分析一览表61三、 项目节能措施61四、 节能综合评价62第十一章 技术方案分析64一、 企业技术研发分析64二、 项目技术工艺分析66三、 质量管理67四、 设备选型方案68主要设备购置一览表69第十二章 劳动安全生产分析70一、 编制依据70二、 防范措施71三、 预期效果评价77第十三章 投资估算及资金筹措78一、 投资估算的依据和说明78二、 建设投资估算79建设投资估算表81三、 建设期利息81建设期利息估算表81四、 流动资金82流动资金估算表83五、 总投资84总投资及构成一览表84六、 资金筹措与投资
4、计划85项目投资计划与资金筹措一览表85第十四章 项目经济效益87一、 基本假设及基础参数选取87二、 经济评价财务测算87营业收入、税金及附加和增值税估算表87综合总成本费用估算表89利润及利润分配表91三、 项目盈利能力分析91项目投资现金流量表93四、 财务生存能力分析94五、 偿债能力分析94借款还本付息计划表96六、 经济评价结论96第十五章 招标及投资方案97一、 项目招标依据97二、 项目招标范围97三、 招标要求97四、 招标组织方式100五、 招标信息发布101第十六章 项目综合评价说明102第十七章 附表附件104主要经济指标一览表104建设投资估算表105建设期利息估算表
5、106固定资产投资估算表107流动资金估算表107总投资及构成一览表108项目投资计划与资金筹措一览表109营业收入、税金及附加和增值税估算表110综合总成本费用估算表111固定资产折旧费估算表112无形资产和其他资产摊销估算表112利润及利润分配表113项目投资现金流量表114借款还本付息计划表115建筑工程投资一览表116项目实施进度计划一览表117主要设备购置一览表118能耗分析一览表118第一章 市场预测一、 半导体设备行业的壁垒技术壁垒:1)半导体设备是由成千上万的零部件组成的复杂系统,将成千上万的零部件有机组合在一起实现精细至nm级别的操作是第一个难点。2)保障设备在nm级别的操作
6、基础上的超高良率是半导体设备制造过程中的第二个难点。制造一块芯片通常需要上百台设备紧密配合,历经400-500道工序,若单工序良率仅能做到99%,则历经500道工序最终良率不足1%;提升至小数点后两位的水平才能使良率达到95%以上。3)保障设备在实现以上两个要求的基础上长时间稳定的运行是半导体设备制造过程中的第三个难点。与上述同理,一条芯片产线上百台设备,每一台设备稳定运行时间的微小降低将在整个体系内被巨额放大。若发生设备宕机造成该批假设1000片晶圆的报废,在28nm及以下的制程级别对应的损失超过300万美元,近2000万人民币。客户验证壁垒:正是由于设备本身和产线构成的复杂性,单设备的良率
7、、稳定性会在整个体系内产生累积效应的影响,同时可能带来巨额的潜在损失,因此晶圆制造厂商对于上游设备的验证、验收有严苛的标准和流程。同时,对于晶圆制造厂而言,配合上游设备验证需要付出大量的人力(合作研发、调试)、物力(拿出其他设备配合验证的机会成本损失、验证过程中的物料损失),以及采用新设备供应商面临的巨大潜在风险(批量晶圆报废的风险、向客户延迟交货的风险),很少有晶圆厂愿意承担以上的损失和风险去验证新供应商的设备。二、 薄膜沉积设备薄膜沉积设备主要分CVD、PVD、ALD三大类,其中CVD市场占比最高。薄膜沉积是指在硅片衬底上沉积一层待处理的薄膜材料,如二氧化硅、氮化硅、多晶硅等非金属以及铜等
8、金属。薄膜沉积设备主要包括CVD设备、PVD设备/电镀设备和ALD设备,三者各有所长,CVD主要应用于各种氮化物、碳化物、氧化物、硼化物、硅化物涂层的制备,PVD主要应用于金属涂层的制备,ALD属于新兴领域,一般用于45nm以下制程芯片的制备,具备更好的膜厚均匀性,同时在高深宽比的器件制备方面更有优势。目前,全球薄膜沉积设备中CVD占比最高,2020年占比64%,溅射PVD设备占比21%。CVD设备中,PECVD占比53%,ALD设备占比20%。薄膜沉积设备市场美系厂商具备强话语权。薄膜沉积设备在半导体设备中占比稳定在20%左右,2021年全球半导体薄膜沉积设备市场规模达190亿美元,预计20
9、22年将达到212亿美元。细分领域来讲,AMAT独占鳌头,约占全球PVD市场份额的80%以上;CVD领域,AMAT、LAM、TEL三家约占全球市场份额的70%以上。第二章 项目建设背景及必要性分析一、 半导体前道设备各环节格局梳理晶圆制造设备是半导体设备行业需求最大的领域,光刻、刻蚀和沉积设备为主要组成部分。根据SEMI数据来看,目前半导体设备主要为晶圆制造设备,市场占有率超过85%。其中,刻蚀机、薄膜沉积、光刻机设备为半导体设备的核心设备,这三类半导体设备的市占率分别为22%、22%和20%。国内为全球半导体设备最大市场,先进技术由美欧日等国主导。从地区分布来看,中国大陆半导体设备市场占比呈
10、持续提升之势,2021年市场规模达到296亿美元,占全球市场的比重为29%,是半导体设备的最大市场。先进半导体设备技术仍由美欧日等国主导,其中美国的刻蚀设备、离子注入机、薄膜沉积设备、测试设备、程序控制、CMP等设备的制造技术位于世界前列;荷兰凭借ASML的高端光刻机在全球处于领先地位;日本则在刻蚀设备、清洗设备、测试设备等方面具有竞争优势。二、 清洗设备清洗设备为半导体制造的重要设备之一,清洗步骤约占整体步骤的1/3。半导体清洗是指针对不同的工艺需求对晶圆表面进行无损伤清洗以去除半导体制造过程中的颗粒、自然氧化层、金属污染、有机物、牺牲层、抛光残留物等杂质的工序。为减少杂质对芯片良率的影响,
11、实际生产中不仅需要提高单次清洗效率,还需在几乎所有制程前后进行频繁清洗。按照清洗原理来分,清洗工艺可分为干法清洗和湿法清洗,目前90%以上的清洗步骤以湿法工艺为主。在湿法清洗工艺路线下,主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等,其中以单片清洗设备为主流。三、 本土设备厂商的竞争优势和未来前景成本和价格并非本土标签以外的唯一竞争力,快速响应的定制化服务为重要优势。基于本土优势,一方面可以提供低成本、定制化、及时的服务(海外设备厂商往往委托国内团队做售后服务,同时服务定制化程度弱),另一方面能够针对客户技术需求进行联合攻关、定制化开发,适配性的提升会带动稳定性和良
12、率的提升。伴随客户导入,国产设备技术水平/工艺覆盖度有望快速提升。尽管部分国产设备目前稳定性、良率方面等相较国际大厂仍有差距,但只要下游厂商愿意导入国产设备,长远来看,部分国产设备技术能力、稳定性、良率将随与下游客户的积累持续加速提升,将实现从“能用”到“好用”的转变,如:中微公司在部分MOCVD设备市场已实现对海外巨头的超越。四、 构建产业高质量发展新格局坚持“紧盯前沿、打造生态、有效聚合、集群发展”思路,以夯实产业基础能力为根本,以提升产业链供应链现代化水平为核心,强化数字引领和绿色转型,加快传统产业转型升级和老工业基地转型发展,培育壮大新兴产业,促进一二三产业深度融合,全力构建多点支撑、
13、接续发展、迭代升级、交替领先的现代产业发展新格局,争创国家产业转型升级示范区。(一)构建产业高质量发展的目标体系着力增强先进制造业核心优势。以智能化、绿色化、服务化为主攻方向,以提升企业核心竞争力为目标,强化工业基础能力,提高综合集成水平,推进制造业向产业链供应链价值链高端发展,建设智能装备应用示范城市。加快新一代信息技术与制造业深度融合,强化云计算、大数据、物联网、人工智能、5G等技术的应用,促进产业迭代升级、接续发展。重点推动汽车产业转型升级,突出氢燃料电池汽车产业链布局,推进新能源汽车产业强链补链,着力打造国内领先的汽车产业集群,争创国家级车联网先导区和国家燃料电池汽车示范推广应用城市;
14、突破性发展航空航天、智能装备、轨道交通等高端装备制造业,加快打造中部地区高端装备制造基地;大力发展消费电子、汽车电子等新产品,深度参与全省“光芯屏端网”产业链分工,加快打造中部地区电子信息产业新城;积极发展生态休闲、养生养老用品等制造业。大力开展绿色制造体系示范创建,加快国家工业资源综合利用基地建设。到2025年,规模以上工业总产值突破1万亿元,培育汽车及零部件1个3000亿级,装备制造、轻工食品、纺织服装3个千亿级和生物医药、新一代信息技术、新能源新材料、精细化工、节能环保5个500亿级产业集群,以及储能、人工智能等有影响力的产业集群,单位地区生产总值地耗、能耗等资源消耗率持续下降。全面增强
15、现代农业可持续发展能力。以实施乡村振兴战略为抓手,以农业供给侧结构性改革为主线,以强基础、强产业、强主体、强动能、强质效、美乡村“五强一美”为目标,深入推进农村一二三产业融合发展,创新农业生产经营方式,加快培育新型农民、发展农业新型业态、壮大龙头企业和家庭农场等新型经营主体,完善农业基础设施,夯实农业基础地位,全面提升农业信息化、绿色化、优质化、特色化、品牌化水平,增强农业综合竞争力和可持续发展能力,提高粮食安全保障能力,建设高质量、高效益的国家现代农业示范区,加快农业大市向农业强市转变。加强质量品牌建设。深入推进质量强市,全面实施质量提升行动,加快推进检验检测认证体系建设,探索建立质量分级制
16、度,实施产业精品工程,推动汽车、食品、纺织、装备制造等产业的质量水平达到国际先进水平。加强行业标准体系建设,引导汽车及零部件、农产品加工、装备制造、电子信息、生物医药等领域龙头企业,主动参与国际标准、国家标准和行业标准的制定,提升行业话语权,营造良好品牌建设环境,推进集群品牌、企业品牌、产品品牌建设,引导企业从产品经营转向品牌经营,逐步将技术优势、质量优势转化为品牌优势,提升襄阳品牌影响力。(二)构建融入大循环双循环的内需体系着力提升产业基础高级化、产业链供应链现代化水平,切实维护产业链供应链安全稳定。把促进产业链供应链安全运转、稳定可靠循环作为构建完整内需体系的重要任务,加快引进培育产业链头
17、部、龙头企业,开展产业基础再造和产业提升强链延链补链行动,推进供应链关键环节备份和替代,加快形成全产业链集聚发展态势,培育一批“专精特新”“单项冠军”和行业“小巨人”企业。更加突出企业创新主体地位,以新产品新服务提供应用场景支持为重点,引导企业创新产品、服务和供给模式,更好满足多样化和不断升级的市场需求,重点支持龙头企业和产业链关键环节企业拓展市场,打造全球供应商、全国主要供应商;落实要素配置市场化改革各项部署,加快培育催生壮大一批更具竞争力和影响力的创新型领军企业,集聚创新资源,转化创新成果。坚持培育产业、构建集群、打造产业基地同步推进,加快数字产业化、产业数字化,在壮大产业规模中提升产业创
18、新能力和产业链发展水平。着力发挥投资关键作用和消费基础作用,实现促消费惠民生和调结构增后劲同频共振。坚持供给侧结构性改革战略方向,用新供给引领需求发展,推动产业升级和消费升级互促共进、良性循环。把“两新一重”作为扩大有效投资的重点,着力形成稳增长、调结构、惠民生的坚实支撑。加快推进信息基础设施、融合基础设施和创新型基础设施建设,充分发挥一业旺带动百业兴的推动作用和乘数效应。加强新型城镇化建设,以更大力度推进城乡基础设施和基本公共服务体系建设,大力改造城镇老旧小区,支持加装电梯,发展用餐、保洁等多样化社区服务,着力提升县城公共设施和服务能力,促进县城和重点镇产业、人口、资金集聚。加强交通水利等重
19、大工程建设,加快推进一批稳当前、利长远的重点项目落地见效。采取更加积极有效的政策和措施,激发民间投资,厚植高质量发展的后劲和根基。顺应居民消费升级趋势,不断完善消费政策、优化消费环境、稳定消费预期,打通消费领域的堵点和痛点,破除制约消费的体制机制障碍,加快培育线上线下融合等新模式,推动新场景新应用落地,大力发展假日消费和夜间消费,提升传统消费,扩大新型消费,创造便民惠民利民的消费新体验,促进消费上规模、上水平、上品质。加强社会信用体系建设,积极发展消费信贷,大力整顿和规范市场秩序,保护消费者权益。推动实现更高质量和更加充分的就业,巩固脱贫攻坚成果,强化社会保障兜底作用,千方百计提高中低收入群体
20、收入,培育和扩大中高收入群体,增强消费意愿和消费能力。五、 构建全方位创新发展格局抢抓新一轮科技革命与产业变革机遇,围绕产业链部署创新链,围绕创新链布局产业链,加强产业关键技术攻关,实施高新技术产业链技术创新行动计划和战略性新兴产业倍增计划,促进产业链和创新链双向融合,提高产业链创新要素供给水平,全面赋能产业链迈向创新链和价值链中高端,推动高新技术产业和战略性新兴产业突破性发展,打造具有区域影响力的产业技术创新高地。(一)优化区域创新空间布局按照“整体统筹、功能互补、协同发展”的原则,构建“一核一带多极”的创新空间格局。突出一核引领创新。发挥襄阳高新区科技创新、襄阳自贸片区制度创新引领带动作用
21、,深化体制机制创新,完善创新创业生态,加快打造创新驱动的引领区、高质量发展的示范区、改革开放的先行区,加快建设现代化、国际化的生态科技新城,成为国家创新型科技园区。推动创业孵化载体专业化发展,支持高水平科技创业,大力培育高技术高成长高价值企业,构建多元化应用场景,加快布局新业态、新模式、新产业。推进襄阳自贸片区科技创新发展,加速在高层次人才国际流动、国际科技合作、科技成果知识产权混合所有制、科技金融产品和服务模式创新等方面开展改革试点,促进高端产业集聚,为构建新型产业体系提供示范。到2025年,襄阳高新区在全国高新区排名力争进入第一方阵。(二)打造产业技术创新高地坚持优化存量与培育增量相结合,
22、以科技创新作为产业发展的核心动力,立足产业和技术优势,深入开展产业跟踪研究,打好关键核心技术攻坚战,提高创新链整体效能,提升产业发展能级。加快推进主导产业创新发展。围绕主导优势产业,部署实施一批重大科技创新项目,强化基础性、通用性产业技术研发,提升产业技术创新水平和核心竞争力。加速汽车及零部件产业技术创新,开展汽车轻量化、零部件电子化技术攻关,开展废旧汽车回收利用等技术研究;布局智能网联汽车、无人驾驶、共享汽车等新兴技术领域,积极推进人工智能、物联网、云计算等技术与汽车产业深度融合。加速新能源汽车产业技术创新,攻关安全、集成化新能源汽车电池、电机、电控技术,延伸布局新能源汽车电池回收领域,大力
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- 襄阳 半导体 设备 项目 申请报告
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