遂宁薄膜设备项目商业计划书（范文模板）.docx

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1、泓域咨询/遂宁薄膜设备项目商业计划书遂宁薄膜设备项目商业计划书xx（集团）有限公司目录第一章 项目概述9一、 项目定位及建设理由9二、 项目名称及建设性质9三、 项目承办单位9四、 项目建设选址10五、 项目生产规模11六、 建筑物建设规模11七、 项目总投资及资金构成11八、 资金筹措方案11九、 项目预期经济效益规划目标12十、 项目建设进度规划12十一、 项目综合评价12主要经济指标一览表13第二章 建设单位基本情况15一、 公司基本信息15二、 公司简介15三、 公司竞争优势16四、 公司主要财务数据18公司合并资产负债表主要数据18公司合并利润表主要数据18五、 核心人员介绍19六、

2、 经营宗旨20七、 公司发展规划21第三章 行业发展分析23一、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开23二、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步24第四章 项目背景及必要性29一、 薄膜设备：用于沉积物质，在设备市场占比较高29二、 主动服务国家重大发展战略全局31三、 坚持创新驱动发展，努力厚植新发展优势33四、 项目实施的必要性35第五章 发展规划37一、 公司发展规划37二、 保障措施38第六章 运营模式分析41一、 公司经营宗旨41二、 公司的目标、主要职责41三、 各部门职责及权限42四、 财务会计制度45第七章 法人治理结构51一、 股东权利及义务51二、 董事5

3、5三、 高级管理人员60四、 监事63第八章 SWOT分析说明65一、 优势分析（S）65二、 劣势分析（W）67三、 机会分析（O）67四、 威胁分析（T）69第九章 创新发展77一、 企业技术研发分析77二、 项目技术工艺分析79三、 质量管理80四、 创新发展总结81第十章 产品方案与建设规划83一、 建设规模及主要建设内容83二、 产品规划方案及生产纲领83产品规划方案一览表83第十一章 建筑工程说明86一、 项目工程设计总体要求86二、 建设方案86三、 建筑工程建设指标87建筑工程投资一览表87第十二章 风险风险及应对措施89一、 项目风险分析89二、 公司竞争劣势96第十三章 进

4、度计划97一、 项目进度安排97项目实施进度计划一览表97二、 项目实施保障措施98第十四章 投资方案分析99一、 投资估算的依据和说明99二、 建设投资估算100建设投资估算表102三、 建设期利息102建设期利息估算表102四、 流动资金104流动资金估算表104五、 总投资105总投资及构成一览表105六、 资金筹措与投资计划106项目投资计划与资金筹措一览表107第十五章 经济效益分析108一、 基本假设及基础参数选取108二、 经济评价财务测算108营业收入、税金及附加和增值税估算表108综合总成本费用估算表110利润及利润分配表112三、 项目盈利能力分析113项目投资现金流量表1

5、14四、 财务生存能力分析116五、 偿债能力分析116借款还本付息计划表117六、 经济评价结论118第十六章 总结说明119第十七章 附表附录121主要经济指标一览表121建设投资估算表122建设期利息估算表123固定资产投资估算表124流动资金估算表125总投资及构成一览表126项目投资计划与资金筹措一览表127营业收入、税金及附加和增值税估算表128综合总成本费用估算表128利润及利润分配表129项目投资现金流量表130借款还本付息计划表132报告说明根据谨慎财务估算，项目总投资19923.14万元，其中：建设投资15369.41万元，占项目总投资的77.14%；建设期利息199.67

6、万元，占项目总投资的1.00%；流动资金4354.06万元，占项目总投资的21.85%。项目正常运营每年营业收入36900.00万元，综合总成本费用31836.05万元，净利润3682.64万元，财务内部收益率10.84%，财务净现值-2419.71万元，全部投资回收期7.14年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。在手订单依旧强劲，供应链限制延续，设备大厂积极扩产。1）供给高度紧张：ASML22Q1营收yoy-19%，下滑主要系部分订单确认延迟；毛利率同比-5pt，承压主要系材料、供应链、运输等成本上升；库存周转率降低。泛林毛利率同比-1.7pt，主要系成本压力

7、（原材料、物流、通胀等）。2）订单依旧强劲：ASML新增在手订单约70亿欧元，环比持平。KLA：当前在手订单交期总体56个月，部分产品78月。爱德万客户订单提前量增加，由于系半导体等材料和零件短缺，交期延长。3）积极扩产：ASML预计2030年产能至少翻番，2025年年产能增加到约90套0.33孔径EUV和600套DUV。泰瑞达预计2023研发费用1900亿日元，yoy+20.1%；资本开支750亿日元，yoy+31.1%，规划金额皆较往年有大幅提升。本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。第一章 项目概述一、

8、项目定位及建设理由2020年全球薄膜设备市场达到138亿美元，占IC制造设备21%；其中主要是CVD和PVD，合计占IC制造设备18%。其中，CVD市场规模高度89亿美元，主流是设备包括PECVD、TubeCVD、LPCVD和ALD等。整个薄膜市场市占率最高的是AMAT。二、 项目名称及建设性质（一）项目名称遂宁薄膜设备项目（二）项目建设性质本项目属于扩建项目三、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xx（集团）有限公司（二）项目联系人林xx（三）项目建设单位概况公司依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定，制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则，董事会议事规则对董事会的职权、召集

9、、提案、出席、议事、表决、决议及会议记录等进行了规范。 公司满怀信心，发扬“正直、诚信、务实、创新”的企业精神和“追求卓越，回报社会” 的企业宗旨，以优良的产品服务、可靠的质量、一流的服务为客户提供更多更好的优质产品及服务。公司秉承“诚实、信用、谨慎、有效”的信托理念，将“诚信为本、合规经营”作为企业的核心理念，不断提升公司资产管理能力和风险控制能力。展望未来，公司将围绕企业发展目标的实现，在“梦想、责任、忠诚、一流”核心价值观的指引下，围绕业务体系、管控体系和人才队伍体系重塑，推动体制机制改革和管理及业务模式的创新，加强团队能力建设，提升核心竞争力，努力把公司打造成为国内一流的供应链管理平台

10、。四、 项目建设选址本期项目选址位于xx（以选址意见书为准），占地面积约45.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。五、 项目生产规模项目建成后，形成年产xx套薄膜设备的生产能力。六、 建筑物建设规模本期项目建筑面积48696.25，其中：生产工程33804.99，仓储工程7438.50，行政办公及生活服务设施5031.40，公共工程2421.36。七、 项目总投资及资金构成（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资19923.14万元，其中：建设投资15369

11、.41万元，占项目总投资的77.14%；建设期利息199.67万元，占项目总投资的1.00%；流动资金4354.06万元，占项目总投资的21.85%。（二）建设投资构成本期项目建设投资15369.41万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用12806.55万元，工程建设其他费用2149.33万元，预备费413.53万元。八、 资金筹措方案本期项目总投资19923.14万元，其中申请银行长期贷款8149.79万元，其余部分由企业自筹。九、 项目预期经济效益规划目标（一）经济效益目标值（正常经营年份）1、营业收入（SP）：36900.00万元。2、综合总成本费用（TC）：318

12、36.05万元。3、净利润（NP）：3682.64万元。（二）经济效益评价目标1、全部投资回收期（Pt）：7.14年。2、财务内部收益率：10.84%。3、财务净现值：-2419.71万元。十、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划12个月。十一、 项目综合评价此项目建设条件良好，可利用当地丰富的水、电资源以及便利的生产、生活辅助设施，项目投资省、见效快；此项目贯彻“先进适用、稳妥可靠、经济合理、低耗优质”的原则，技术先进，成熟可靠，投产后可保证达到预定的设计目标。主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积30000.00约4

13、5.00亩1.1总建筑面积48696.251.2基底面积17100.001.3投资强度万元/亩320.842总投资万元19923.142.1建设投资万元15369.412.1.1工程费用万元12806.552.1.2其他费用万元2149.332.1.3预备费万元413.532.2建设期利息万元199.672.3流动资金万元4354.063资金筹措万元19923.143.1自筹资金万元11773.353.2银行贷款万元8149.794营业收入万元36900.00正常运营年份5总成本费用万元31836.056利润总额万元4910.197净利润万元3682.648所得税万元1227.559增值税万元

14、1281.2610税金及附加万元153.7611纳税总额万元2662.5712工业增加值万元9389.1713盈亏平衡点万元18500.36产值14回收期年7.1415内部收益率10.84%所得税后16财务净现值万元-2419.71所得税后第二章 建设单位基本情况一、 公司基本信息1、公司名称：xx（集团）有限公司2、法定代表人：林xx3、注册资本：820万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2010-11-157、营业期限：2010-11-15至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事薄膜设备相关业务（企业依法自

15、主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司秉承“诚实、信用、谨慎、有效”的信托理念，将“诚信为本、合规经营”作为企业的核心理念，不断提升公司资产管理能力和风险控制能力。展望未来，公司将围绕企业发展目标的实现，在“梦想、责任、忠诚、一流”核心价值观的指引下，围绕业务体系、管控体系和人才队伍体系重塑，推动体制机制改革和管理及业务模式的创新，加强团队能力建设，提升核心竞争力，努力把公司打造成为国内一流的供应链管理平台。三、 公司竞争优势（一）自主研发优势公司在各个细分领域深入研究的同

16、时，通过整合各平台优势，构建全产品系列，并不断进行产品结构升级，顺应行业一体化、集成创新的发展趋势。通过多年积累，公司产品性能处于国内领先水平。公司多年来坚持技术创新，不断改进和优化产品性能，实现产品结构升级。公司结合国内市场客户的个性化需求，不断升级技术，充分体现了公司的持续创新能力。在不断开发新产品的过程中，公司已有多项产品均为国内领先水平。在注重新产品、新技术研发的同时，公司还十分重视自主知识产权的保护。（二）工艺和质量控制优势公司进口大量设备和检测设备，有效提高了精度、生产效率，为产品研发与确保产品质量奠定了坚实的基础。此外，公司是行业内较早通过ISO9001质量体系认证的企业之一，公

17、司产品根据市场及客户需要通过了产品认证，表明公司产品不仅满足国内高端客户的要求，而且部分产品能够与国际标准接轨，能够跻身于国际市场竞争中。在日常生产中，公司严格按照质量体系管理要求，不断完善产品的研发、生产、检验、客户服务等流程，保证公司产品质量的稳定性。（三）产品种类齐全优势公司不仅能满足客户对标准化产品的需求，而且能根据客户的个性化要求，定制生产规格、型号不同的产品。公司齐全的产品系列，完备的产品结构，能够为客户提供一站式服务。对公司来说，实现了对具有多种产品需求客户的资源共享，拓展了销售渠道，增加了客户粘性。公司产品价格与国外同类产品相比有较强性价比优势，在国内市场起到了逐步替代进口产品

18、的作用。（四）营销网络及服务优势根据公司产品服务的特点、客户分布的地域特点，公司营销覆盖了华南、华东、华北及东北等下游客户较为集中的区域，并在欧美、日本、东南亚等国家和地区初步建立经销商网络，及时了解客户需求，为客户提供贴身服务，达到快速响应的效果。公司拥有一支行业经验丰富的销售团队，在各区域配备销售人员，建立从市场调研、产品推广、客户管理、销售管理到客户服务的多维度销售网络体系。公司的服务覆盖产品服务整个生命周期，公司多名销售人员具有研发背景，可引导客户的技术需求并为其提供解决方案，为客户提供及时、深入的专业技术服务与支持。公司与经销商互利共赢，结成了长期战略合作伙伴关系，公司经销网络较为稳

19、定，有利于深耕行业和区域市场，带动经销商共同成长。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额7642.866114.295732.14负债总额3971.693177.352978.77股东权益合计3671.172936.942753.38公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入15520.0112416.0111640.01营业利润3303.402642.722477.55利润总额3025.552420.442269.16净利润2269.161769.941633.80归属于母公司所有者的净利润22

20、69.161769.941633.80五、 核心人员介绍1、林xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。2、钱xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。3、郭xx，1974年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至

21、2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。4、唐xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。5、董xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事

22、长、总经理。6、田xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。7、熊xx，中国国籍，无永久境外居留权，1971年出生，本科学历，中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监。8、蔡xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。六、 经营宗旨依据有关法律、法规，自主开展各项业务，务实创新，开拓进取，不断

23、提高产品质量和服务质量，改善经营管理，促进企业持续、稳定、健康发展，努力实现股东利益的最大化，促进行业的快速发展。七、 公司发展规划（一）战略目标与发展规划公司致力于为多产业的多领域客户提供高质量产品、技术服务与整体解决方案，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。（二）措施及实施效果公司立足于本行业，以先进的技术和高品质的产品满足产品日益提升的质量标准和技术进步要求，为国内外生产商率先提供多种产品，为提升转换率和品质保证以及成本降低持续做出贡献，同时通过与产业链优质客户紧密合作，为公司带来稳定的业务增长和持续的收益。公司通过产品和商业模式的不断创新以及与产业链企业深度融合，建立创新引领、合作共赢

24、的模式，再造行业新格局。（三）未来规划采取的措施公司始终秉持提供性价比最优的产品和技术服务的理念，充分发挥公司在技术以及膜工艺技术的扎实基础及创新能力，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。在近期的三至五年，公司聚焦于产业的研发、智能制造和销售，在消费升级带来的产业结构调整所需的领域积极布局。致力于为多产业的多领域客户提供中高端技术服务与整体解决方案。在未来的五至十年，以蓬勃发展的中国市场为核心，利用中国“一带一路”发展机遇，利用独立创新、联合开发、并购和收购等多种方法，掌握国际领先的技术，使得公司真正成为国际领先的创新型企业。第三章 行业发展分析一、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开国内晶圆

25、厂投资进入高峰期。根据集微网统计，20202022年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元，其中内资晶圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年，且未来还有新增项目的可能。设备国产化率较低，海外龙头垄断性较高。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，从市场格局来看，细分市场均有较高集中度，主要参与厂商一般不超过5家，top3份额往往高于90%，部分设备甚至出现一家独大的情况，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求。制程越先进，设备投资额占比越高。设备投资一般占比7080%，当制程到16/14nm时

26、，设备投资占比达85%；7nm及以下占比将更高。光刻、刻蚀、沉积、过程控制、热处理等均是重要投资环节。国内国产化逐渐起航，从0到1的过程基本完成。北方华创产品布局广泛，刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备新产品市场导入节奏加快，产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高，在集成电路领域主流生产线实现批量销售，产品加速迭代；第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽，出货量实现较快增长。拓荆科技作为国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商，PECVD累计发货150台，广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂

27、，PEALD已实现销售；中微公司介质刻蚀机已经打入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备UniMax2022Q1订单已超180腔；芯源微前道涂胶显影设备在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展，并实现多种核心零部件的国产替代，公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，新签订单结构中前道产品占比大幅提升；华海清科CMP设备在逻辑芯片、3DNAND、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP设备累计出货超过140台，未发出产品的在手订单超70台。Mattson（屹唐半导体）在去胶设备市

28、占率全球第二；盛美半导体单片清洗机在海力士、长存、SMIC等产线量产。精测电子、上海睿励在测量领域突破国外垄断。设备国产化率较低，国产厂商成长空间巨大。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求，潜在收入目标空间较大。二、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步2021年全球半导体设备市场规模创1026亿美元新高，大陆首次占比全球第一。根据SEMI，2021年半导体设备销售额1026亿美元，同比激增44%，全年销售额创历史新高。大陆设备市场在2013年之前占全球比重为10%以内，20142017年提升至1020%，2018年之

29、后保持在20%以上，份额呈逐年上行趋势。2020-2021年，国内晶圆厂投建、半导体行业加大投入，大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位，2021达到296.2亿美元，同比增长58%，占比28.9%。展望2022年，存储需求复苏，韩国预计将领跑全球，但大陆设备市场规模有望保持较高比重。北美半导体设备厂商月销售额2021年以来稳站30亿+美金。通过复盘半导体行业景气周期历史，北美半导体设备厂商月销售额对于全球半导体行业景气度分析具有重要意义，北美半导体设备销售额水平通常领先全球半导体销售额一个季度。2021年1月，北美半导体设备厂商月销售额首次突破了30亿美金关口，创历史新高，达到了30.4

30、亿美金。此后月度销售额逐季创新高，至12月份销售额达到39.2亿美金，同比增长46%。与此同时全球半导体销售市场自2021年4月以来连续12个月同比增速超过20%，2022年3月，全球半导体销售额达到505.8亿美金，同比增长23.0%，展望2022全年，从各机构当前预测平均值来看，预计2022年全球半导体市场仍将保持10%以上同比增长。半导体设备行业呈现明显的周期性，受下游厂商资本开支节奏变化较为明显。2017年，存储厂商的大幅资本开支推动半导体设备迎来巨大需求，且这一势头一直延续到2018年上半年。但随后产能过剩致使存储价格走低，导致DRAM和NAND厂商纷纷推迟设备订单。存储产能过剩一直

31、持续到2019年上半年，同时上半年整体半导体行业景气度不佳，虽然下半年随着行业景气度恢复，以台积电为代表的晶圆厂陆续调高资本开支大幅扩产，2019年全年半导体设备需求同比仍回落约2%。2020年全球各地先后受疫情影响，但存储行业资本支出修复、先进制程投资叠加数字化、5G带来的下游各领域强劲需求，全年设备市场同比增长19%。伴随半导体厂商新一轮资本开支开启，2021年全球设备市场继续大幅增长44%。当前海外设备龙头应用材料、泛林集团等均预计2022年全球设备市场规模将进一步增长。未来两年全球晶圆厂设备开支持续增长。2020年疫情带来的居家及远程办公带来笔电等消费电子需求激增作为本轮周期的催化剂，

32、2020H2以车用芯片为代表的供应链开始紧张，下游持续增长的需求与上游有限产能的矛盾演绎为2021年全年行业供需失衡加剧。2022年以来，消费性电子、智能手机、PC等领域需求确有下滑，但更值得注意的是全球正步入第四轮硅含量提升周期，服务器、汽车、工业、物联网等需求大规模提升。在6月台积电召开的股东大会上，公司管理层表示未来10年是半导体行业非常好的机会，主要原因就是5G及高效能运算的普及，生活数字化转型，带来对车用（新车半导体含量可达传统车的10倍）、手机、服务器等终端内半导体含量的增加，推动半导体需求大幅成长。中芯国际在22Q1法说会表示，尽管消费电子，手机等存量市场进入去库存阶段，开始软着

33、陆，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市场尚未建立足够的库存，近年来硅含量提升与晶圆厂有限的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，使得公司需要大幅扩产，推出新产品工艺平台，满足客户旺盛的增量需求。疫情、全球经济及半导体周期性虽然会带来短期内的不确定性，但是技术进步、硅含量提升是长期支撑半导体行业持续发展的最关键驱动力。2020年开始全球领先的晶圆厂纷纷加速扩产提升资本开支，根据ICInsights，2021年全球半导体资本开支增速达到36%，预计2022年将继续增长24%，2020-2022年将会成为自1993-1995年以来的首次CapEx连续三年增速超过20%。半导体设

34、备作为晶圆厂扩产的重要开支部分，根据SEMI，2021年全球晶圆厂前道设备支出增速达到42%，预计2022年将进一步增长18%。台积电、中芯国际纷纷增加资本开支，CapEx进入上行期。根据ICInsights，全球代工厂资本开支约占半导体总体的35%，根据头部代工厂的资本开支规划来看，2022年代工领域资本开支将进一步提升。台积电从2020年170亿美金增长到2021年的300亿美金（用于N3/N5/N7的资本开支占80%），公司2021年4月1日公布未来三年资本开支1000亿美金，2022年资本开支将进一步提升至400-440亿美金，预计2023年资本开支仍有望超过400亿美金；联电2021

35、年CapEx18亿美金，预计2022年翻倍达到36亿美金（其中90%将用于12英寸晶圆）；GlobalFoundries于2021年IPO后资本开支大幅提升用于扩产，公司2020年CapEx4.5亿美金，2021年提升至16.6亿美金，预计2022年超过40亿美金；中芯国际2021年资本开支维持高位，达到45亿美金（大部分用于扩成熟制程，尤其是8寸数量扩4.5万片/月），预计2022年达到50亿美金。第四章 项目背景及必要性一、 薄膜设备：用于沉积物质，在设备市场占比较高薄膜生长：采用物理或化学方法使物质附着于衬底材料表面的过程，常见生长物质包括金属、氧化物、氮化物等不同薄膜。根据工作原理不同

36、，薄膜沉积生长设备可分为：物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积（CVD）和外延等类别。PVD和CVD是主要的薄膜设备，ALD是产业技术发展趋势。在半导体领域，薄膜主要分给绝缘薄膜、金属薄膜。大部分绝缘薄膜使用CVD，金属薄膜常用PVD（主要是溅射）。其他常用的镀膜方式包括ECD、SOD、MOCVD、Epitaxy等。在薄膜设备整体中，CVD的使用越来越广泛，基于CVD发展的ALD更是行业升级的技术方向。物理气相沉积（PVD）：利用蒸发或溅射，实现原子从源物质到沉底材料表面的物质转移，沉积形成薄膜。物理气相沉积是一种物理气相反应生长法，沉积过程是在真空或低压气体放电条件下，涂层物质源是固态物质，

37、经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材性能完全不同的新的固态物质涂层。PVD具有成膜速率高、镀膜厚度及均匀性可控好、薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高等优点。PVD可以分为真空蒸镀（VacuumEvaporator）和溅射（Sputtering）。PVD发展初期以真空蒸镀镀膜为主，特点是工艺简单、操作容易、纯度较高，缺点是难以蒸发某些金属和氧化物。由于溅射设备制备的薄膜更加均匀、致密，对衬底附着性强，纯度更高，溅射设备取代了蒸镀设备。2020年全球薄膜设备市场达到138亿美元，占IC制造设备21%；其中主要是CVD和PVD，合计占IC制造设备18%。其中，CVD市场规模高度89亿美元，主流是

38、设备包括PECVD、TubeCVD、LPCVD和ALD等。整个薄膜市场市占率最高的是AMAT。高端领域如ALD受ASM、TEL和Lam等海外龙头主导。国内布局IC制造领域薄膜设备的主要国产厂商包括北方华创和沈阳拓荆。CVD市场主要由海外龙头主导，国内北方华创、沈阳拓荆积极布局。根据Gartner数据，全球CVD市场前五大供应商包括AMAT（28%）、LamResearch（25%）、TEL（17%）、Kokusai（原日立高新，8%）、ASM（11%）。国内半导体设备龙头北方华创、沈阳拓荆在该领域也有布局。从PVD市场格局来看，AMAT一家独大，长期占据约80%的市占率。PVD市场主要供应商包

39、括AMAT、ULVAC、Evatec、KLA、TEL、北方华创等。根据Gartner，2020年北方华创的半导体PVD设备全球市占率为3%，属于国内领先地位。随着国产替代加速，北方华创PVD业务有望加速成长。二、 主动服务国家重大发展战略全局全面夯实在成渝地区实现中部崛起的坚实根基以深入实施成渝地区双城经济圈建设为引领，深化拓展“一核三片、四区协同”发展战略，在成渝相向共兴中夯实中部根基、实现中部崛起。（一）做强中心城区经济发展极核进一步优化空间布局，扩大主城区空间资源供给，构建“一城三区、一带两廊”空间格局。推进遂宁经开区、市河东新区、遂宁高新区差异化、特色化发展，加快推动大英县撤县设区，促

40、进安居区、大英县与市主城区同城化发展，构建“一体两翼”大都市区框架。以公共交通为导向的TOD模式引领片区综合开发，打造交通圈、商业圈、生活圈“多圈合一”的城市功能区。持续提升城市品质，加快完善城市风貌管控体系，构建“蓝绿交织、水城共融”的空间形态。实施中心城区“缓堵保畅”攻坚行动，规划建设公交路权优先的基础设施，探索建设BRT、智轨等大容量快速城市公共交通系统。加快实施老城区雨污管网治理，推进老旧小区改造，创建绿色社区，打造美丽街道、示范街区。实施“引水入城”“引绿入城”，构建湿地公园、森林公园、生态廊道、健康绿道等城镇绿色生态系统。推进产城融合发展，深度参与成渝地区产业分工，加快特色优势产业

41、集群发展，不断提升发展能级，将中心极核区打造成遂宁发展的主力军、主战场和强引擎。（二）构建市域发展共同体坚持握指成拳、抱团发展，促进市域发展高效协同、全域一体。健全重大招商项目统筹布局、重大基础设施统筹推进、重大民生事项统筹共建机制，推动形成合作机制完善、要素流动高效、发展活力强劲、辐射作用明显的区域经济体，增强对成渝“双核”的配套能力。强化“核”“片”联动发展，加快实现区域空间布局整体优化、功能体系整体完善、发展能级整体提升。完善县域经济发展体制机制，支持各县(市、区)、市直园区发挥优势、竞相发展，全面提升县域经济发展活力和综合竞争力，争创全省县域经济发展强县(市、区)、先进县(市、区)、进

42、步县(市、区)和全国县域经济百强县(市、区)。（三）加快形成现代城镇体系坚持以人为核心的新型城镇化，壮大沿成南高速和沿涪江两条城镇发展带，构建“网络化、多中心、组团式”现代城镇体系。围绕公共服务设施提标扩面、环境卫生设施提级扩能、市政公用设施提档升级、产业培育设施提质增效，推进县城新型城镇化补短板强弱项。大力建设绿色智能城镇，推动传统基础设施有机更新，提升智能化管理和治理水平。推进城市地下空间开发利用，增强城市综合防护能力。积极开展公园城市建设，全域推进海绵城市建设，提升城市防洪排涝能力，增强城市发展韧性。健全城乡融合发展体制机制，促进城乡要素合理配置，加快6个县域副中心和20个中心镇建设，推

43、动乡镇场镇改造提升。推进城乡公共服务一体发展，促进农村人口就近城镇化。坚持房子是用来住的、不是用来炒的定位，促进房地产市场平稳健康发展。（四）积极打造遂潼川渝毗邻地区一体化发展先行区围绕“三地一枢纽”定位，积极构建“双中心、三走廊、一园区”空间格局。加快一体化发展制度创新，重点探索经济区与行政区适度分离改革体制机制，促进资源要素自由流动和高效配置。推动基础设施互联互通、现代产业共育共兴、区域创新协同协力、生态环境联防联治、开放合作互利互惠和公共服务共建共享。按照“一体规划、成本共担、利益共享”的建设模式，全力共建遂潼涪江创新产业园区，探索以特色产业为主导的“一园多区”发展模式，集聚产业、人口及

44、各类生产要素，实现跨区域协调联动发展。三、 坚持创新驱动发展，努力厚植新发展优势坚持创新在现代化建设全局中的核心地位，围绕创新链提升产业链，依托产业链优化创新链，持续提升创新能力和科技竞争力，打造成渝地区具有重要影响力的科技创新中心。 （一）做实创新平台统筹推进各领域创新发展，加快创新型城市建设。积极对接国家、省创新资源，培育一批国家级、省级企业技术中心、重点实验室、工程技术研究中心，联建一批创新型产业集群、产业技术创新战略联盟。加快建设锂电新材料创新中心、西南电子电路创新中心、超声医学工程国家重点实验室临床研究中心，用好健康医疗大数据遂宁研究中心。大力发展科技成果转移转化服务平台，促成国家技

45、术转移西南中心在遂宁设立分中心。积极创建国家级、省级科技企业孵化器、众创空间，支持遂宁高新区创建国家级科技企业孵化器。发挥好遂宁市成渝地区双城经济圈高质量发展研究院作用，探索政、产、学、研、用、金、才、介融合发展之路。整合共享区域创新资源，打造涪江流域科技创新走廊。 （二）做强创新主体强化企业创新主体地位，促进各类创新要素向企业集聚，构建以企业为主体、市场为导向、产学研用深度融合的创新体系。加大科技型企业培育，引导优势骨干企业与高等学校、科研院所开展产学研用合作，联建产业、产品研发机构，共建小试、中试基地和成果转化基地，集中力量开展关键核心技术攻关。实行更加积极、更加开放、更加有效的人才政策，

46、以“遂州英才工程”为统揽，全面落实“新人才十条”“人才生态十条”，大力实施“金荷花领军人才工程”“遂州英才千人计划”。拓展柔性招才引智范围，加强创新型、应用型、技能型人才培养，全方位集聚高精尖人才和高水平创新团队，建设川渝创新人才高地。 （三）做优创新生态疏通基础研究、应用研究和产业化双向链接通道，促进创新要素集聚。持续加大财政科技投入，加强科技金融服务和投融资力度，吸引社会资本开展创新活动。加强知识产权保护，建设国家知识产权示范城市。加速科技成果转移转化，提高创新链整体效能，争创省级科技成果转移转化示范区。开展职务科技成果混合所有制改革，建立科技成果使用、处置和收益管理制度。优化创新资源配置，完善科技评价机制，深化科研项目和经费管理改革，扩大科研主体自主权。加强科普宣传，培育创新文化，在全社会营造尊崇创新、支持创新、参与创新的浓厚氛围。四、 项目实施的必要性（一）提升公司核心竞争力项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金