南京半导体清洗设备项目申请报告【模板范本】.docx
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1、泓域咨询/南京半导体清洗设备项目申请报告南京半导体清洗设备项目申请报告xxx集团有限公司目录第一章 背景及必要性8一、 清洗设备:去除晶圆片表面杂质,各制程前后均需使用8二、 海外设备厂商在手订单饱满,供应链限制延续8三、 坚持创新驱动发展提升创新名城建设的全球影响力9四、 着力推动城乡区域协调发展提升省会城市功能和中心城市首位度13第二章 行业、市场分析18一、 国内需求爆发,国产替代空间快速打开18二、 全球市场受海外厂商主导,前五大厂商市占率较高19第三章 项目绪论21一、 项目名称及建设性质21二、 项目承办单位21三、 项目定位及建设理由22四、 报告编制说明28五、 项目建设选址3
2、0六、 项目生产规模30七、 建筑物建设规模30八、 环境影响30九、 项目总投资及资金构成31十、 资金筹措方案31十一、 项目预期经济效益规划目标31十二、 项目建设进度规划32主要经济指标一览表33第四章 建设规模与产品方案35一、 建设规模及主要建设内容35二、 产品规划方案及生产纲领35产品规划方案一览表35第五章 项目选址38一、 项目选址原则38二、 建设区基本情况38三、 发挥“双区”联动优势推动国家级新区再跨越40四、 项目选址综合评价44第六章 法人治理45一、 股东权利及义务45二、 董事52三、 高级管理人员56四、 监事59第七章 发展规划分析62一、 公司发展规划6
3、2二、 保障措施66第八章 SWOT分析说明69一、 优势分析(S)69二、 劣势分析(W)71三、 机会分析(O)71四、 威胁分析(T)73第九章 运营模式分析81一、 公司经营宗旨81二、 公司的目标、主要职责81三、 各部门职责及权限82四、 财务会计制度85第十章 劳动安全生产分析91一、 编制依据91二、 防范措施94三、 预期效果评价96第十一章 节能可行性分析98一、 项目节能概述98二、 能源消费种类和数量分析99能耗分析一览表100三、 项目节能措施100四、 节能综合评价101第十二章 原辅材料成品管理103一、 项目建设期原辅材料供应情况103二、 项目运营期原辅材料供
4、应及质量管理103第十三章 项目进度计划104一、 项目进度安排104项目实施进度计划一览表104二、 项目实施保障措施105第十四章 投资计划方案106一、 投资估算的编制说明106二、 建设投资估算106建设投资估算表108三、 建设期利息108建设期利息估算表109四、 流动资金110流动资金估算表110五、 项目总投资111总投资及构成一览表111六、 资金筹措与投资计划112项目投资计划与资金筹措一览表113第十五章 经济收益分析115一、 经济评价财务测算115营业收入、税金及附加和增值税估算表115综合总成本费用估算表116固定资产折旧费估算表117无形资产和其他资产摊销估算表1
5、18利润及利润分配表120二、 项目盈利能力分析120项目投资现金流量表122三、 偿债能力分析123借款还本付息计划表124第十六章 项目招投标方案126一、 项目招标依据126二、 项目招标范围126三、 招标要求126四、 招标组织方式129五、 招标信息发布129第十七章 总结130第十八章 补充表格132主要经济指标一览表132建设投资估算表133建设期利息估算表134固定资产投资估算表135流动资金估算表136总投资及构成一览表137项目投资计划与资金筹措一览表138营业收入、税金及附加和增值税估算表139综合总成本费用估算表139利润及利润分配表140项目投资现金流量表141借款
6、还本付息计划表143第一章 背景及必要性一、 清洗设备:去除晶圆片表面杂质,各制程前后均需使用清洗机是将晶圆表面上产生的颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物去除,以获得所需洁净表面的工艺设备。从工艺应用上来说,清洗机目前已广泛应用于集成电路制造工艺中的成膜前/成膜后清洗、等离子刻蚀后清洗、离子注入后清洗、化学机械抛光后的清洗和金属沉积后清洗等各个环节。升级方向:高效且无损。在过去的25年中,随着制程升级,晶圆湿法清洗变得越来越复杂和高效。清洗需要强力有效,还要减少对晶圆表面的损伤。清洁步骤占半导体工艺所有处理步骤1/3,最多已经达到200次。几乎所有制程的前后都需要清洗环节。二、 海外设
7、备厂商在手订单饱满,供应链限制延续在手订单依旧强劲,供应链限制延续,设备大厂积极扩产。1)供给高度紧张:ASML22Q1营收yoy-19%,下滑主要系部分订单确认延迟;毛利率同比-5pt,承压主要系材料、供应链、运输等成本上升;库存周转率降低。泛林毛利率同比-1.7pt,主要系成本压力(原材料、物流、通胀等)。2)订单依旧强劲:ASML新增在手订单约70亿欧元,环比持平。KLA:当前在手订单交期总体56个月,部分产品78月。爱德万客户订单提前量增加,由于系半导体等材料和零件短缺,交期延长。3)积极扩产:ASML预计2030年产能至少翻番,2025年年产能增加到约90套0.33孔径EUV和600
8、套DUV。泰瑞达预计2023研发费用1900亿日元,yoy+20.1%;资本开支750亿日元,yoy+31.1%,规划金额皆较往年有大幅提升。2022下半年展望乐观,全年需求强劲将有订单递延至明年。泛林2022Q2毛利率指引中枢仍略降,持续成本和供应压力影响持续,二季度订单积压不断增加。随产能落地、产品竞争力效益显现及部分订单延迟多数企业对H2展望乐观。ASML预计2022H2表现强劲,毛利率约54%,高于全年52%指引,主要由EUV和DPV出货及安装基础管理业务利润率提升驱动。Q4部分EUV系统收入将递延到2023年。泛林预计2022WFE需求将超1000亿美元,未满足的设备需求将递延至明年
9、。泰瑞达积极建立库存及扩产,预计H2出货有更大增量及灵活性,预计Q2实现增长,仅高端产品出货受限。三、 坚持创新驱动发展提升创新名城建设的全球影响力(一)建设综合性国家科学中心和科技产业创新中心坚持创新在现代化建设全局中的核心地位,持续推进创新驱动发展“121”战略,实施基础研究领航支撑、重大创新平台突破和关键核心技术攻坚“三大计划”,深入推进苏南国家自主创新示范区建设,成为国家科技自立自强不可或缺的重要力量,在全球创新网络中发挥重要节点作用。1、实施基础研究领航支撑计划面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康,加快原始性引领性科技攻关,促进基础研究与应用研究融通发
10、展,提升创新名城建设的源头创新供给能力。组织实施市级重大科技专项,支持开展重大科技基础和应用基础研究、前沿技术和战略性先导技术研究,加快实现重大原创成果突破。持续建设一批新型研究大学和高水平学科,鼓励在宁高校、科研院所和各类企业联合开展基础研究和应用基础研究,支持麒麟科技城联合中科院建设基础研究创新基地。建立企业、金融机构、社会资本等多渠道投入机制,逐年提高政府对基础研究和应用基础研究的投入比重。2、实施重大创新平台突破计划建设标志性重大科技创新基地。推动网络通信与安全紫金山实验室建成国家实验室,围绕未来网络、普适通信、内生安全等领域,开展具有重大引领作用的跨学科、大协同科学研究。推动扬子江生
11、态文明创新中心建成国家技术创新中心,聚焦科学问题、工程技术和生态产业化等领域,形成长江污染防治和生态保护修复技术的重要输出地。3、实施关键核心技术攻坚计划聚焦重点产业集群、产业链安全和民生保障,加快构建市场经济条件下关键核心技术攻关的新型机制。实施自主创新登峰行动,每年制定八大产业链关键技术攻关清单,增强前瞻技术储备,加快形成一批重大原始创新成果。确立企业在关键核心技术攻关中的主体地位,支持有条件的龙头企业联合高校、科研院所、新型研发机构和行业上下游力量,组建体系化、任务型的创新联盟。建立健全部省市联合、军地协同等创新机制,综合运用“揭榜挂帅”、定向委托、招标等科技项目组织管理方式,提高技术创
12、新的精准化程度和组织化水平。到2025年,产业链关键核心技术产品自主化率达到90%以上。(二)培育充满活力的科创森林实施科创森林成长计划,加强创新主体多元化培育,促进各类创新要素向企业集聚,建立全周期全要素支持体系,推动创新链和产业链有效对接。1、提升新型研发机构发展质效实施新型研发机构提质增效行动,强化新型研发机构“专业+研发+孵化”功能叠加,加速向技术源头和产业应用“双向拓展”。支持新型研发机构建设公共技术服务平台、工程化研究(试验)平台和概念验证中心,加大新型研发机构孵化企业投资力度,增强孵化培育企业能力。引导领域相近的新型研发机构兼并重组,构建高效运作机制,推动建立现代企业制度,完善以
13、研发投入、技术服务、高企孵化等为主要依据的新型研发机构绩效考核机制。支持高校、科研院所、社会资本参与新型研发机构建设,鼓励人才(团队)持有多数股份设立新型研发机构,鼓励对外股权融资,探索特殊股权结构。到2025年,培育40家有国际影响力的新型研发机构,累计引进孵化科技企业达到2万家。2、梯次培育科创企业矩阵促进各类创新要素向企业集聚,形成以企业为主体、市场为导向、产学研深度融合的技术创新体系。支持高新技术企业、创新型领军企业和科技型中小企业与各类创新主体融通创新。3、激发“高、海、苏、军”双创主体活力全面提升在宁高校、科研院所创新创业能力。发挥大院大所优势和高端人才牵引作用,推动科教资源优势转
14、化为服务地方经济社会发展的优势。建立在宁高校、科研院所科技成果转化基金和高校企业协同创新中心,鼓励校校、校所、校企间加强合作,支持高校、科研院所围绕优势细分领域建立特色化众创空间。深入实施“百校对接”计划,探索“校友经济”实施路径方式,推动相关产业化项目和人才回宁发展。(三)提升创新载体发展能级以强化创新活力和成效为目标,构筑多层次立体化创新空间,推动创新载体向市场化、专业化、精细化方向发展,形成创新的规模效应和集聚效应。(四)厚植人才发展优势充分发挥人才第一资源作用,建设支撑创新名城高质量发展的优秀人才队伍,构筑与高质量发展相适应的人才治理体系,推动人才总量实现翻番。(五)完善创新生态系统建
15、设深化科技体制综合改革试点,不断优化创新的制度性供给,全面提升创新创业服务能力,形成具有区域辐射带动力的创新创业环境。四、 着力推动城乡区域协调发展提升省会城市功能和中心城市首位度(一)全方位融入长三角高质量一体化落实长三角区域一体化发展国家战略,加快建设在全国具有示范典型意义的现代化都市圈,提升南京战略枢纽地位,争创国家中心城市。1、主动服务对接上海发展深度融入长三角一体化发展格局,主动服务和支持上海发挥龙头作用,共同支撑以上海为中心的长三角世界级城市群建设。对接上海科技成果转化和现代金融、研发设计、高端中介服务等外溢功能,提升南京在区域及全球体系中的地位。2、建设现代化都市圈典范加快南京都
16、市圈建设,着力培育具有重要影响力的产业创新高地、长江经济带重要的资源配置中心、全国同城化发展样板区和高品质宜居生活圈,提升都市圈整体实力和竞争力。3、聚力推进宁镇扬一体化借鉴推广长三角生态绿色一体化发展示范区建设经验,更高质量推进宁镇扬一体化。4、推进区域深度交流合作打造沪宁产业创新带,推进沪宁沿线人才创新走廊建设,联合组织大科学计划、大科学工程和共性技术攻关,打造国内外领先的技术创新、产品研发、成果转化、科技服务等综合型平台。(二)以功能引领市域格局优化落实区域协调发展战略、主体功能区战略,优化国土空间布局,完善城市功能品质,更大力度促进城乡融合发展,加快提升城市综合承载和资源优化配置能力。
17、1、构建国土空间开发保护新格局坚持“东西南北中”协调并进,逐步构建“南北田园、中部都市、拥江发展、城乡融合”的总体布局。2、强化“一核三极”战略功能引领优化城市功能梯度,构建以江南主城区为“主核”、江北新区为“主城拓展极”、紫东地区为“创新引领极”、南部片区为“新兴增长极”的“一核三极”重点功能布局。3、提升重点地区的功能承载能力展示标志片区新形象。推动河西地区建设具有全国和全球影响的现代化国际性城市中心,提升金融服务业集聚度,积极推进数字经济产业发展,打造总部经济、开放型经济发展高地,建设中央活力区。4、促进南北区域门户高质量崛起做优做特六合“北大门”。加快推进雄州中心区马营、灵岩山等片区开
18、发建设,加快发展创新经济和文旅产业。高品质建设龙袍新城,按照“公园城市”理念,优化布局生态生产生活空间,建成南京东部地区南北大走廊重要连接点、宁镇扬一体化对扬州方向辐射传导区。做美做靓高淳“南大门”。深化高淳经开区与南京经开区等园区伙伴合作关系,做大医疗器械产业规模,2025年建成千亿级产业基地。(三)全面提升城市发展品质坚持“人民城市人民建、人民城市为人民”理念,打造高品质精致城市,更好展示美丽古都风貌,不断满足人民群众对美好生活向往的需要。1、加快转变城市发展方式推动城市布局由主城集聚向市域协同转变。推动城市多中心发展,建设产城融合、职住平衡、生态宜居、交通便利的郊区新城。2、协同推进新型
19、城市建设实施幸福宜居品质提升行动,建设宜居、韧性、智慧、绿色、人文城市,创建国家现代化试点城市。实施“宜居住区”工程,加快既有住宅增设电梯、适老化改造、物业管理水平提升等工作,完善老旧社区市政配套、环境卫生、公共服务等设施体系,提高住宅小区综合治理水平,推动一批老城公共空间“微更新”,鼓励有条件地区打造多场景复合的“未来社区”。3、提高城市综合管理水平坚持党建引领、重心下移、科技赋能,不断提升城市治理的科学化精细化智能化水平。(四)提高新型城镇化发展质量在全市城镇化水平总体进入稳定阶段的新背景下,深入实施以促进人的城镇化为核心、提高质量为导向的新型城镇化战略,缩小城乡发展差距,加快城乡等值化进
20、程。1、强化新城新市镇重要载体支撑建设一批产业特色鲜明、区域辐射功能较强的郊区新城,引导全市重大功能性项目、重大基础设施优先向新城布局,发挥新城集聚人口、带动新型城镇化的重要作用。2、提升农业转移人口市民化水平建立健全农业转移人口市民化支持政策,加大“人地钱挂钩”配套政策的激励力度,提高有能力在城镇稳定就业和生活的农业转移人口进城落户积极性。3、健全城乡融合发展的体制机制突出以工促农、以城带乡,打通城乡生产要素双向自由流动的通道。加快培育城乡产业协同发展平台,发挥市级以上现代农业科技园区孵化功能和农村科技服务作用,鼓励引导城市人才、资本、科技、金融等要素入乡,推动农村劳动力就地就业和城镇化。第
21、二章 行业、市场分析一、 国内需求爆发,国产替代空间快速打开国内晶圆厂投资进入高峰期。根据集微网统计,20202022年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元,其中内资晶圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年,且未来还有新增项目的可能。设备国产化率较低,海外龙头垄断性较高。我国半导体设备市场仍非常依赖进口,从市场格局来看,细分市场均有较高集中度,主要参与厂商一般不超过5家,top3份额往往高于90%,部分设备甚至出现一家独大的情况,目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求,尤其是内资投建的需求。制程越先进,设备
22、投资额占比越高。设备投资一般占比7080%,当制程到16/14nm时,设备投资占比达85%;7nm及以下占比将更高。光刻、刻蚀、沉积、过程控制、热处理等均是重要投资环节。国内国产化逐渐起航,从0到1的过程基本完成。北方华创产品布局广泛,刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备新产品市场导入节奏加快,产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高,在集成电路领域主流生产线实现批量销售,产品加速迭代;第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽,出货量实现较快增长。拓荆科技作为国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商,PECVD累计发货150台,广泛用于中芯国际
23、、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂,PEALD已实现销售;中微公司介质刻蚀机已经打入5nm制程,新款用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备UniMax2022Q1订单已超180腔;芯源微前道涂胶显影设备在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展,并实现多种核心零部件的国产替代,公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代,新签订单结构中前道产品占比大幅提升;华海清科CMP设备在逻辑芯片、3DNAND、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm,到2021年底,公司CMP设备累计出货超过140台,未
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