电子能谱学模板优秀PPT.ppt
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1、电子能谱学电子能谱学1书目书目一、绪论一、绪论二、电子能谱分析理论基础二、电子能谱分析理论基础三、紫外光电子能谱三、紫外光电子能谱2绪论绪论3表面科学是一门近十几年快速发展起来的边缘学科。它横跨传统的物理学、化学、材料科学和生物学等领域。定义一:物体和真空或气体的界面称表面。我们着重探讨固体表面。固体表面一般指表面的第一原子层或者几个原子层。固体表面的物理化学性质常常和体内不同,这是因为表面是固体的终端。在热力学平衡的条件下,表面的化学组成、原子排列、原子振动状态等都和体内不同。由于表面对外的一侧没有近邻原子,表面原子有一部分化学键伸向空间(形成“悬挂键”),因此表面具有很活跃的化学性质(见图
2、1)。固体内部三维周期势场在表面中断,因此表面原子的电子状态也和体内不同。这些不同使表面具有某种特殊的力学、光学、电磁、电子和化学性质。图1 表面原子层示意图表面与表面分析表面与表面分析4定义二:广义地说,表面科学探讨表面和与表面有关的过程,包括宏观的和微观的。然而,近二定义二:广义地说,表面科学探讨表面和与表面有关的过程,包括宏观的和微观的。然而,近二十几年来,表面科学从原子水平来相识和说明表面原子的化学、几何排列、运动状态、电子态等十几年来,表面科学从原子水平来相识和说明表面原子的化学、几何排列、运动状态、电子态等性质及其与表面宏观性质的联系,推动了基础探讨和新技术的发展。性质及其与表面宏
3、观性质的联系,推动了基础探讨和新技术的发展。要探讨表面就必需依靠实际测量来获得表面信息(见图要探讨表面就必需依靠实际测量来获得表面信息(见图2),表面分析技术就是探讨表面的形貌、),表面分析技术就是探讨表面的形貌、化学组分、原子结构(即原子排列)、原子态(即原子运动和价态)、电子态(又称电子结构)化学组分、原子结构(即原子排列)、原子态(即原子运动和价态)、电子态(又称电子结构)等信息的一种试验技术。它利用电子束、粒子束、光子束、中性粒子束作为探测束(或激发源)等信息的一种试验技术。它利用电子束、粒子束、光子束、中性粒子束作为探测束(或激发源)有时加上电场、磁场、热和机械的作用有时加上电场、磁
4、场、热和机械的作用来探测处于真空或超高真空中的样品,故又称真空表来探测处于真空或超高真空中的样品,故又称真空表面分析技术。面分析技术。图2 表面分析、薄膜分析和块体分析的探讨区域5表面分析方法的共同特征可以概括如下:表面分析方法的共同特征可以概括如下:用一束用一束“粒子粒子”或某种手段作为探针来探测样品表面,这探针可以是电子、离子、光或某种手段作为探针来探测样品表面,这探针可以是电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波(机械力),在探针的作用下,从样品表面放射或子、中性粒子、电场、磁场、热或声波(机械力),在探针的作用下,从样品表面放射或散射粒子或波,它们可以是电子、离子、中性粒子、光
5、子、或声波,检测这些粒子的能量、散射粒子或波,它们可以是电子、离子、中性粒子、光子、或声波,检测这些粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特征,或波的频率、方向、强度、偏振等状况,就可以得到有动量、荷质比、束流强度等特征,或波的频率、方向、强度、偏振等状况,就可以得到有关表面的信息。一般,各种分析手段的目的和灵敏度不同,常把几种分析手段协作运用。关表面的信息。一般,各种分析手段的目的和灵敏度不同,常把几种分析手段协作运用。表面分析方法可按探测表面分析方法可按探测“粒子粒子”或放射或放射“粒子粒子”来分类。来分类。e电子,电子,I离子,离子,光子,光子,n中性粒子,中性粒子,AW声波声波Sampl
6、eExcitationsourceEnergy SelectorSignal Detector图3 表面分析技术原理图6e电子,I离子,光子,n中性粒子,AW声波7e电子,I离子,光子,n中性粒子,AW声波8e电子,I离子,光子,n中性粒子,AW声波9电子能谱是多种表面分析技术集合的总称。电子能谱是通过分析各种轰击粒子电子能谱是多种表面分析技术集合的总称。电子能谱是通过分析各种轰击粒子(单能光子、电单能光子、电子、离子、原子等子、离子、原子等)与原子、分子或固体间碰撞后所放射出的电子的能量来测定原子或分子中与原子、分子或固体间碰撞后所放射出的电子的能量来测定原子或分子中电子结合能的分析技术。电
7、子结合能的分析技术。现在最常用的电子能谱有以下几种:现在最常用的电子能谱有以下几种:A俄歇电子谱俄歇电子谱Auger Electron Spectra,简写成,简写成AES;B低能电子衍射低能电子衍射Low Energy Electron Diffraction,简写为,简写为LEED。若在常规的低能衍射。若在常规的低能衍射中用自旋极化电子束代替一般的低能电子束,则实现自旋极化低能电子衍射中用自旋极化电子束代替一般的低能电子束,则实现自旋极化低能电子衍射Spin Polarized Low Energy Electron Diffraction,简写为,简写为SPLEED;C光电子能谱光电子能
8、谱Photo-Electron Spectron,简写为,简写为PES。光电子谱中又分为。光电子谱中又分为X射线光电射线光电子谱子谱X-ray Photoelectron spctra,简写为,简写为XPS。由于历史缘由,该光电子谱常用于化学。由于历史缘由,该光电子谱常用于化学分析,又称为化学分析电子谱分析,又称为化学分析电子谱Electron Spectra for Chemical Analyses,简写为,简写为ESCA;真空紫外光电子谱;真空紫外光电子谱 Vacuum Ultraviolet Photoelectron Spectra,简写为,简写为UPS;同步辐;同步辐射光电子谱射光
9、电子谱 Synchrotron Radiation Photoelectron Spectra,简写为,简写为SRPES;激光光电;激光光电子谱子谱Laser Photoelectron Spectra,简称为,简称为LPS。D离子散射谱离子散射谱Ion Scattering Spectra,简称为,简称为ISS;E电子能量损失谱电子能量损失谱E1ectron Energy Loss Spectra,简称为,简称为EELS。电子能谱学的概念电子能谱学的概念10一方面是一方面是Siegbahn等人所创立的等人所创立的X射线光电子能谱,主要用于测量内壳层电子结合能。射线光电子能谱,主要用于测量内壳
10、层电子结合能。另一方面是另一方面是Tunner等人所发展的紫外光电子能谱,主要用于探讨价电子的电离电能。等人所发展的紫外光电子能谱,主要用于探讨价电子的电离电能。这两种技术的原理和仪器基本相同,这两种技术的原理和仪器基本相同,XPS接受接受X射线激发样品,射线激发样品,UPS接受真空紫外线激接受真空紫外线激发样品由于紫外线的能量比较低,因此它只能探讨原子和分子的价电子及固体的价带,发样品由于紫外线的能量比较低,因此它只能探讨原子和分子的价电子及固体的价带,不能深化原子的内层区域。但是紫外线的单色性比不能深化原子的内层区域。但是紫外线的单色性比X射线好得多,因此紫外光电子能谱的辨射线好得多,因此
11、紫外光电子能谱的辨别率比别率比X射线光电子能谱要高得多。此外,紫外光电子谱测定的试验数据,经过谱图的理论射线光电子能谱要高得多。此外,紫外光电子谱测定的试验数据,经过谱图的理论分析,可以干脆和分子轨道的能级、类型以及态密度等比照。因此,在量子力学、固体物分析,可以干脆和分子轨道的能级、类型以及态密度等比照。因此,在量子力学、固体物理、表面科学与材料科学等领域有着广泛地应用。理、表面科学与材料科学等领域有着广泛地应用。这两方面获得的信息既是类似的,也有不同之处因此在分析化学、结构化学和表面探这两方面获得的信息既是类似的,也有不同之处因此在分析化学、结构化学和表面探讨以及材料探讨等应用方面,它们是
12、相互补充的。讨以及材料探讨等应用方面,它们是相互补充的。光电子能谱学科的发展光电子能谱学科的发展11电子能谱分析理论基础电子能谱分析理论基础121、原子壳层和电子能级轨道、原子壳层和电子能级轨道 物质是由原子、分子组成的,而物质是由原子、分子组成的,而原子又是由原子核和围绕原子核作轨道运动原子又是由原子核和围绕原子核作轨道运动的电子组成的。电子在轨道中运动的能量是的电子组成的。电子在轨道中运动的能量是不连续的、量子化的。电子在原子中的状态常不连续的、量子化的。电子在原子中的状态常用量子数来进行描述。用量子数来进行描述。主量子数主量子数 n=1,2,3,4,可用字母符可用字母符号号K,L,M,N
13、 等表示,以标记原子的主壳层,等表示,以标记原子的主壳层,它是能量的主要因素。角量子数它是能量的主要因素。角量子数 l=0,1,2,3,(n-1),通常用,通常用 s,p,d,f 等符号表示,象等符号表示,象征电子云或电子轨道的形态,例如征电子云或电子轨道的形态,例如 s 为球形,为球形,p为哑铃形等,它确定能量的次要因素。总为哑铃形等,它确定能量的次要因素。总角量子数角量子数 j,j=|ls|,s为电子自旋量子数,为电子自旋量子数,s=1/2。一个电子所处原子中的能级可以用。一个电子所处原子中的能级可以用 n,l,j 三个量子数来标记三个量子数来标记(nlj)。L-S耦合:较轻原子,电子间库
14、仑作用大于耦合:较轻原子,电子间库仑作用大于L和和S间相互作用。间相互作用。J-J耦合:重原子,耦合:重原子,L和和S间耦合作用大于电子间库仑作用。间耦合作用大于电子间库仑作用。一、原子能级及其表示一、原子能级及其表示13142、光谱学符号、光谱学符号 在在XPS中光电子是用其量子数来描述的,电子跃迁通常以中光电子是用其量子数来描述的,电子跃迁通常以nlj的方案来标记。在的方案来标记。在XPS谱图中谱图中可视察到它们对应双重分裂峰,如可视察到它们对应双重分裂峰,如2p1/2和和2p3/2、3d5/2和和3d3/2、4f5/2和和4f7/2等等。对等等。对于于s电子,能级通常不会分裂,只能视察到
15、单一谱峰,如电子,能级通常不会分裂,只能视察到单一谱峰,如1s1/2、2s1/2等。等。3、X射线符号射线符号 在在X射线符号体系中主量子数分别用字母射线符号体系中主量子数分别用字母K、L、M、N、O、P等来标记,其它量子数统一用下标依次表等来标记,其它量子数统一用下标依次表示。例如示。例如K、L1、L2、M4、M5等等。由于在等等。由于在AES中中俄歇跃迁所涉及的电子能级比较多(三个),所以俄歇跃迁所涉及的电子能级比较多(三个),所以电子能级通常用电子能级通常用X射线符号标记比较便利。俄歇跃射线符号标记比较便利。俄歇跃迁的电子谱峰可以用所涉及的三个电子的迁的电子谱峰可以用所涉及的三个电子的X
16、射线符射线符号序列来标记,例如号序列来标记,例如KL1L3、L2M4M5等。等。常用电子能谱符号表示方法 电子能谱测量的是材料表面出射的电子能量,所以必须要有一些规范来描述所涉及到的每一个轨道跃迁电子。XPS中所用的符号表示与AES中的不同,XPS用所谓的光谱学符号标记,而AES中俄歇电子则用X射线符号标记。15 表面分析技术一般是通过微观粒子(光子、电子、离子、中性原子等)与表面的相互作用来获得表面信息的。当具有某一能量的粒子(探针如光子、电子、离子等)入射到物质表面上以后,就会与物质中的分子或原子发生相互作用,测量从物质中产生的不同粒子(它携带着表面物质的信息),就可推知物质的很多物理和化
17、学性质。1.电离过程电离过程一次过程(Primary process)任何有足够能量的辐射或粒子,当与样品原子、分子或固体碰撞时,原则上都能引起电离或激发。但光子与分子及电子与分子之间的作用有很大的不同。二、原子的激发和弛豫效应二、原子的激发和弛豫效应 16(1)光电离干脆电离是一步过程。A+h A+*+e(分立能量)Ek=h EB其中:A为原子或分子,h是光子能量。光子与物质原子(分子)碰撞后,将全部能量传给原子中的电子,而自身湮没,它是一个共振吸取过程,满足条件h=E。电离过程中产生的光电子强度与整个过程发生的几率有关,后者常称为电离截面。一个原子亚壳层的总截面nl与电子的主量子数n和角量
18、子数l有关。式中:n,l为(n,l)壳层电子的结合能,为光子动能,R,l1是取决于束缚态和自由电子态波函数的矩阵元。由此当n确定时,随l值增大,n,l也增大;当l确定时,随n值增大,n,l值变小。对于电离截面:由于光电子放射必需由原子的反冲来支持,所以同一原子中轨道半径愈小的壳层愈大;轨道电子结合能与入射光能量愈接近,电离截面愈大,这是因为入射光总是激发尽可能深的能级中的电子;对于同一壳层,原子序数Z愈大的元素,电离截面愈大。17(2)光电效应)光电效应原子中的电子被束缚在不同的量子化能级上。原子中的电子被束缚在不同的量子化能级上。原子吸取一个能量为原子吸取一个能量为h的光子后可引起有的光子后
19、可引起有n个电子的系统的激发,从初态个电子的系统的激发,从初态-能量能量Ei(n)跃迁到终态跃迁到终态离子离子-能量能量Ef(n-1,k),再放射出一动能为,再放射出一动能为EK的自由光电子,的自由光电子,k 标记电子放射的能级。标记电子放射的能级。只要光子能只要光子能量足够大量足够大(h EB),就可发生光电离过程,就可发生光电离过程:18(1)光吸取过程特别快(10-16s);(2)若光子能量小于材料的表面功函数,hh,无从该能级的光电放射;(4)光电放射强度 与光子强度成正比;(5)须要单色的(X-ray)入射光束;(6)每种元素都有唯一的一套芯能级,其结合能可用作元素的指纹;(7)结合
20、能随能级变更:EB(1s)EB(2s)EB(2p)EB(3s)(8)轨道结合能随Z增加:EB(Na 1s)EB(Mg 1s)EB(Al 1s)(9)轨道结合能并不受同位素影响:EB(7Li 1s)=EB(6Li 1s).(3)固体中的光电放射)固体中的光电放射 19电子(几千电子伏以下)与物质的相互作用 电子和固体表面作用后,可从固体表面放射出:中性粒子、离子、光子和电子。(1)从固体表面放射出的中性粒子主要是吸附在固体表面的原子和分子被电子脱附的结果,假如这些中性粒子在脱附的同时又产生电离,就得到离子。(2)光子的放射是固体原子内壳层的受激电子退激发的结果。(3)从固体表面放射出来的电子则由
21、背散射电子和二次电子组成。(4)电子与固体表面作用后除了可从固体表面放射上述粒子外,还可能在固体表面产生等离子激元(plasmon)、声子(phonon)、激子(exciton)等元激发过程。入射电子与物质的相互作用分弹性散射(Ep1 keV)两种。(1)电子与固体中的原子发生弹性散射时,原子内能不变,即原子不被激发,电子和原子的总动能和总动量在散射前后保持守恒。(2)在非弹性散射中,入射电子和表面原子相互作用后损失了部分能量,它将转化为等离子激元激发、单电子激发、声子及表面振动的激发和连续X光激发等能量形式。(4)电子电离电子电离 202、弛豫过程、弛豫过程 弛豫过程弛豫过程二次过程二次过程
22、(secondary process)由电离过程产生的终态离子由电离过程产生的终态离子(A+*)是不稳定的,处于高激发态,它会自发发生弛豫是不稳定的,处于高激发态,它会自发发生弛豫(退激发退激发)而变为稳定状态。这一弛豫过程分辐射弛豫和非辐射弛豫两种,前者放射荧光,后者放而变为稳定状态。这一弛豫过程分辐射弛豫和非辐射弛豫两种,前者放射荧光,后者放射出俄歇电子。射出俄歇电子。(i)荧光过程荧光过程(辐射弛豫辐射弛豫):处于高能级上的电子向电离产生的内层电子空穴跃迁,将多:处于高能级上的电子向电离产生的内层电子空穴跃迁,将多余能量以光子形式放出。余能量以光子形式放出。A+*A+h (特征射线特征射
23、线)(ii)俄歇过程俄歇过程(非辐射弛豫非辐射弛豫):A+*A+*+e(Auger电子电子)俄歇电子能量并不依靠于激发源的能量和类型。俄歇电子能量并不依靠于激发源的能量和类型。21 电子结合能(EB)代表了原子中电子(n,l,m,s)与核电荷(Z)之间的相互作用强度,可用XPS干脆试验测定,也可用量子化学从头计算方法进行计算。理论计算结果可以和XPS测得的结果进行比较,更好地说明试验现象。电子结合能是体系的初态(原子有n个电子)和终态(原子有n-1个电子(离子)和一自由光电子)间能量的简洁差。EB=Ef(n-1)Ei(n)若无伴随光电放射的弛豫存在,则EB=轨道能量,它可用非相对论的Hartr
24、ee-Fock自洽场(HF-SCF)方法计算出来。三、结合能与化学位移三、结合能与化学位移221.Koopman定理定理 原子体系放射光电子后,原稳定的电子结构被破坏,这时求解状态波函数和原子体系放射光电子后,原稳定的电子结构被破坏,这时求解状态波函数和本征值遇到很大的理论困难。本征值遇到很大的理论困难。Koopman认为在放射电子过程中,放射过程是如认为在放射电子过程中,放射过程是如此突然,以至于其它电子根原来不及进行重新调整。即电离后的体系同电离前相此突然,以至于其它电子根原来不及进行重新调整。即电离后的体系同电离前相比,除了某一轨道被打出一个电子外,其余轨道电子的运动状态不发生变更,而比
25、,除了某一轨道被打出一个电子外,其余轨道电子的运动状态不发生变更,而处于一种处于一种“冻结状态冻结状态”(突然近似突然近似(Sudden Approximation)。这样,电子的结合。这样,电子的结合能应是原子在放射电子前后的总能量之差。由于终态能应是原子在放射电子前后的总能量之差。由于终态N-1个电子的能量和空间分个电子的能量和空间分布与电子放射前的初态相同,则布与电子放射前的初态相同,则 此即此即Koopmans定理。定理。测量的测量的EB值与计算的轨道能量有值与计算的轨道能量有10-30 eV的偏差,这是因为这种近似完全的偏差,这是因为这种近似完全忽视了电离后终态的影响,事实上初态和终
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