漯河刻蚀设备项目招商引资方案.docx

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1、泓域咨询/漯河刻蚀设备项目招商引资方案漯河刻蚀设备项目招商引资方案xx（集团）有限公司报告说明从导体刻蚀市场结构看，Lam一家独大，长期全球市占率超过50%；其次AMAT占据约30%市场份额。剩下的厂商如日立高新、TEL、KLA、北方华创、SEMES、中微公司等公司合计，在导体刻蚀合计市占率不超过20%。近两年，国内设备龙头厂商北方华创、中微公司该产品线放量加速，逐步提高半导体设备刻蚀供应链份额。根据谨慎财务估算，项目总投资11010.34万元，其中：建设投资8771.12万元，占项目总投资的79.66%；建设期利息128.32万元，占项目总投资的1.17%；流动资金2110.90万元，占项目

2、总投资的19.17%。项目正常运营每年营业收入23600.00万元，综合总成本费用20031.79万元，净利润2602.83万元，财务内部收益率16.87%，财务净现值2917.28万元，全部投资回收期6.13年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。此项目建设条件良好，可利用当地丰富的水、电资源以及便利的生产、生活辅助设施，项目投资省、见效快；此项目贯彻“先进适用、稳妥可靠、经济合理、低耗优质”的原则，技术先进，成熟可靠，投产后可保证达到预定的设计目标。本报告为模板参考范文，不作为投资建议，仅供参考。报告产业背景、市场分析、技术方案、风险评估等内容基于公开信息；项

3、目建设方案、投资估算、经济效益分析等内容基于行业研究模型。本报告可用于学习交流或模板参考应用。目录第一章 项目建设单位说明9一、 公司基本信息9二、 公司简介9三、 公司竞争优势10四、 公司主要财务数据11公司合并资产负债表主要数据11公司合并利润表主要数据12五、 核心人员介绍12六、 经营宗旨14七、 公司发展规划14第二章 总论16一、 项目名称及投资人16二、 编制原则16三、 编制依据17四、 编制范围及内容17五、 项目建设背景18六、 结论分析19主要经济指标一览表22第三章 行业发展分析24一、 海外设备厂商在手订单饱满，供应链限制延续24二、 全球设备市场创新高，受益于资本

4、开支提升、制程节点进步25第四章 项目建设背景、必要性29一、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开29二、 刻蚀设备：等离子刻蚀复杂程度高，且步骤逐渐增加30三、 深度融入新发展格局，全力打造畅通双循环先行区32四、 全力打造特色优势产业生态功能区34第五章 产品规划与建设内容38一、 建设规模及主要建设内容38二、 产品规划方案及生产纲领38产品规划方案一览表38第六章 项目选址40一、 项目选址原则40二、 建设区基本情况40三、 全力打造市域治理现代化试验区43四、 全力打造城乡融合发展引领区43五、 项目选址综合评价44第七章 建筑工程方案分析45一、 项目工程设计总体要求45二、 建

5、设方案45三、 建筑工程建设指标46建筑工程投资一览表46第八章 SWOT分析48一、 优势分析（S）48二、 劣势分析（W）49三、 机会分析（O）50四、 威胁分析（T）50第九章 法人治理58一、 股东权利及义务58二、 董事60三、 高级管理人员64四、 监事66第十章 原辅材料成品管理69一、 项目建设期原辅材料供应情况69二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理69第十一章 项目环境影响分析71一、 编制依据71二、 环境影响合理性分析72三、 建设期大气环境影响分析73四、 建设期水环境影响分析74五、 建设期固体废弃物环境影响分析74六、 建设期声环境影响分析75七、 环境管理分

6、析76八、 结论及建议78第十二章 人力资源分析80一、 人力资源配置80劳动定员一览表80二、 员工技能培训80第十三章 项目投资计划83一、 投资估算的编制说明83二、 建设投资估算83建设投资估算表85三、 建设期利息85建设期利息估算表86四、 流动资金87流动资金估算表87五、 项目总投资88总投资及构成一览表88六、 资金筹措与投资计划89项目投资计划与资金筹措一览表90第十四章 项目经济效益分析92一、 经济评价财务测算92营业收入、税金及附加和增值税估算表92综合总成本费用估算表93固定资产折旧费估算表94无形资产和其他资产摊销估算表95利润及利润分配表97二、 项目盈利能力分

7、析97项目投资现金流量表99三、 偿债能力分析100借款还本付息计划表101第十五章 招投标方案103一、 项目招标依据103二、 项目招标范围103三、 招标要求103四、 招标组织方式104五、 招标信息发布107第十六章 项目风险防范分析108一、 项目风险分析108二、 项目风险对策110第十七章 项目总结113第十八章 附表115建设投资估算表115建设期利息估算表115固定资产投资估算表116流动资金估算表117总投资及构成一览表118项目投资计划与资金筹措一览表119营业收入、税金及附加和增值税估算表120综合总成本费用估算表121固定资产折旧费估算表122无形资产和其他资产摊销

8、估算表123利润及利润分配表123项目投资现金流量表124第一章 项目建设单位说明一、 公司基本信息1、公司名称：xx（集团）有限公司2、法定代表人：秦xx3、注册资本：1190万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2014-6-47、营业期限：2014-6-4至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事刻蚀设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司全面推行“政府、市场、投资、

9、消费、经营、企业”六位一体合作共赢的市场战略，以高度的社会责任积极响应政府城市发展号召，融入各级城市的建设与发展，在商业模式思路上领先业界，对服务区域经济与社会发展做出了突出贡献。 公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用，建立了工会组织，并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度，进一步规范厂务公开的内容、程序、形式，企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展，以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心，坚持战略导向、问题导向和需求导向，持续深化教育培训改革，精准实施培训，努力实现员工成长与公司发展的良性互动。三、 公司竞争优势（一）公司具有技术研发优势，创

10、新能力突出公司在研发方面投入较高，持续进行研究开发与技术成果转化，形成企业核心的自主知识产权。公司产品在行业中的始终保持良好的技术与质量优势。此外，公司目前主要生产线为使用自有技术开发而成。（二）公司拥有技术研发、产品应用与市场开拓并进的核心团队公司的核心团队由多名具备行业多年研发、经营管理与市场经验的资深人士组成，与公司利益捆绑一致。公司稳定的核心团队促使公司形成了高效务实、团结协作的企业文化和稳定的干部队伍，为公司保持持续技术创新和不断扩张提供了必要的人力资源保障。（三）公司具有优质的行业头部客户群体公司凭借出色的技术创新、产品质量和服务，树立了良好的品牌形象，获得了较高的客户认可度。公司

11、通过与优质客户保持稳定的合作关系，对于行业的核心需求、产品变化趋势、最新技术要求的理解更为深刻，有利于研发生产更符合市场需求产品，提高公司的核心竞争力。（四）公司在行业中占据较为有利的竞争地位公司经过多年深耕，已在技术、品牌、运营效率等多方面形成竞争优势；同时随着行业的深度整合，行业集中度提升，下游客户为保障其自身原材料供应的安全与稳定，在现有竞争格局下对于公司产品的需求亦不断提升。公司较为有利的竞争地位是长期可持续发展的有力支撑。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额4615.613692.493461.71负债总额160

12、4.591283.671203.44股东权益合计3011.022408.822258.26公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入11736.729389.388802.54营业利润2691.872153.502018.90利润总额2543.922035.141907.94净利润1907.941488.191373.72归属于母公司所有者的净利润1907.941488.191373.72五、 核心人员介绍1、秦xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。2、程xx，中国国籍，无永久境外居留权，196

13、1年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。3、万xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。4、万xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。5、卢xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，

14、本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今任公司董事。6、毛xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。7、武xx，中国国籍，无永久境外居留权，1971年出生，本科学历，中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017

15、年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监。8、莫xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。六、 经营宗旨根据国家法律、法规及其他有关规定，依照诚实信用、勤勉尽责的原则，充分运用经济组织形式的优良运行机制，为公司股东谋求最大利益，取得更好的社会效益和经济效益。七、 公司发展规划（一）战略目标与发展规划公司致力于为多产业的多领域客户提供高质量产品、技术服务与整体解决方案，为成为百亿级产业领军企

16、业而努力奋斗。（二）措施及实施效果公司立足于本行业，以先进的技术和高品质的产品满足产品日益提升的质量标准和技术进步要求，为国内外生产商率先提供多种产品，为提升转换率和品质保证以及成本降低持续做出贡献，同时通过与产业链优质客户紧密合作，为公司带来稳定的业务增长和持续的收益。公司通过产品和商业模式的不断创新以及与产业链企业深度融合，建立创新引领、合作共赢的模式，再造行业新格局。（三）未来规划采取的措施公司始终秉持提供性价比最优的产品和技术服务的理念，充分发挥公司在技术以及膜工艺技术的扎实基础及创新能力，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。在近期的三至五年，公司聚焦于产业的研发、智能制造和销售，在消

17、费升级带来的产业结构调整所需的领域积极布局。致力于为多产业的多领域客户提供中高端技术服务与整体解决方案。在未来的五至十年，以蓬勃发展的中国市场为核心，利用中国“一带一路”发展机遇，利用独立创新、联合开发、并购和收购等多种方法，掌握国际领先的技术，使得公司真正成为国际领先的创新型企业。第二章 总论一、 项目名称及投资人（一）项目名称漯河刻蚀设备项目（二）项目投资人xx（集团）有限公司（三）建设地点本期项目选址位于xx。二、 编制原则坚持以经济效益为中心，社会效益和不境效益为重点指导思想，以技术先进、经济可行为原则，立足本地、面向全国、着眼未来，实现企业高质量、可持续发展。1、优化规划方案，尽可能

18、减少工程项目的投资额，以求得最好的经济效益。2、结合厂址和装置特点，总图布置力求做到布置紧凑，流程顺畅，操作方便，尽量减少用地。3、在工艺路线及公用工程的技术方案选择上，既要考虑先进性，又要确保技术成熟可靠，做到先进、可靠、合理、经济。4、结合当地有利条件，因地制宜，充分利用当地资源。5、根据市场预测和当地情况制定产品方向，做到产品方案合理。6、依据环保法规，做到清洁生产，工程建设实现“三同时”，将环境污染降低到最低程度。7、严格执行国家和地方劳动安全、企业卫生、消防抗震等有关法规、标准和规范。做到清洁生产、安全生产、文明生产。三、 编制依据1、国家建设方针，政策和长远规划；2、项目建议书或项

19、目建设单位规划方案；3、可靠的自然，地理，气候，社会，经济等基础资料；4、其他必要资料。四、 编制范围及内容1、对项目提出的背景、建设必要性、市场前景分析；2、对产品方案、工艺流程、技术水平进行论述，确定建设规模；3、对项目建设条件、场地、原料供应及交通运输条件的评价；4、对项目的总图运输、公用工程等技术方案进行研究；5、对项目消防、环境保护、劳动安全卫生和节能措施的评价；6、对项目实施进度和劳动定员的确定；7、投资估算和资金筹措和经济效益评价；8、提出本项目的研究工作结论。五、 项目建设背景设备国产化率较低，国产厂商成长空间巨大。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，目前国内厂商目标市场主要是国

20、内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求，潜在收入目标空间较大。“十三五”时期，面对大变局大变革大事件的深刻影响，市委团结带领全市人民，深入实施新时代漯河经济社会发展“四三二一”工作布局，全面推进“四城同建”城市发展定位，统筹稳增长、促改革、调结构、惠民生、防风险各项工作，推动全市各项事业不断取得新进展新成效。综合实力大幅增强，生产总值比2010年翻一番以上，地方一般公共预算收入超过100亿元；产业转型升级取得重大成就，经济结构不断优化，质量效益持续提升，新兴产业快速发展，传统产业加快升级，三次产业结构实现由“二三一”到“三二一”的历史性转变；三大攻坚战有力有效，脱贫攻坚任务提前完成、舞阳县成为全省

21、第一个实现脱贫摘帽的省定贫困县，污染防治力度前所未有、生态环境明显改善，各领域风险得到有效防范和化解、守住了不发生区域性系统性风险的底线；城乡融合发展迈出重要步伐，城市综合承载力、辐射带动力和区域竞争力不断增强，农村环境治理与美丽乡村建设成效显著，城乡面貌显著改观，成功创建全国文明城市和国家卫生城市；改革开放创新深入推进，改革推动、开放带动、创新驱动三力联动的新型动力源不断蓄积，支撑高质量发展的新动能持续增强；民生福祉全面增进，城乡居民人均可支配收入比2010年翻一番，物质文化生活更加丰富，人民群众幸福感、获得感、安全感明显增强；党的领导全面加强，党的建设纵深推进，党内学习教育深入开展，“不忘

22、初心、牢记使命”主题教育成效明显，基层基础更加坚实，各级党组织政治领导力、思想引领力、群众组织力、社会号召力显著提升，政治生态持续向好，发展环境持续优化。特别是面对突如其来的新冠肺炎疫情，我们慎终如始、毫不放松抓紧抓实抓细防控工作，推动疫情防控取得重大战略成果，实现了全市确诊病例零死亡、参与救治医务人员零感染的目标；坚持全面展开、梯次推进、重点突破、蹄疾步稳，以“六促六增”为抓手，扎实做好“六稳”工作，全面落实“六保”任务，积极稳妥推动复工复产复市复学，经济社会发展呈现加速恢复态势。经过艰苦不懈努力，“十三五”规划目标任务圆满完成，脱贫攻坚取得决定性胜利，全面建成小康社会胜利在望，为开启全面建

23、设社会主义现代化新征程奠定了坚实基础。六、 结论分析（一）项目选址本期项目选址位于xx，占地面积约25.00亩。（二）建设规模与产品方案项目正常运营后，可形成年产xxx套刻蚀设备的生产能力。（三）项目实施进度本期项目建设期限规划12个月。（四）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资11010.34万元，其中：建设投资8771.12万元，占项目总投资的79.66%；建设期利息128.32万元，占项目总投资的1.17%；流动资金2110.90万元，占项目总投资的19.17%。（五）资金筹措项目总投资11010.34万元，根据资金筹措方案，xx（集团）

24、有限公司计划自筹资金（资本金）5772.88万元。根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额5237.46万元。（六）经济评价1、项目达产年预期营业收入（SP）：23600.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：20031.79万元。3、项目达产年净利润（NP）：2602.83万元。4、财务内部收益率（FIRR）：16.87%。5、全部投资回收期（Pt）：6.13年（含建设期12个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：9943.26万元（产值）。（七）社会效益经分析，本期项目符合国家产业相关政策，项目建设及投产的各项指标均表现较好，财务评价的各项指标均高于行业平均水平，项目的社会效益、环

25、境效益较好，因此，项目投资建设各项评价均可行。建议项目建设过程中控制好成本，制定好项目的详细规划及资金使用计划，加强项目建设期的建设管理及项目运营期的生产管理，特别是加强产品生产的现金流管理，确保企业现金流充足，同时保证各产业链及各工序之间的衔接，控制产品的次品率，赢得市场和打造企业良好发展的局面。本项目实施后，可满足国内市场需求，增加国家及地方财政收入，带动产业升级发展，为社会提供更多的就业机会。另外，由于本项目环保治理手段完善，不会对周边环境产生不利影响。因此，本项目建设具有良好的社会效益。（八）主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积16667.00约25.00亩

26、1.1总建筑面积29026.741.2基底面积10333.541.3投资强度万元/亩334.632总投资万元11010.342.1建设投资万元8771.122.1.1工程费用万元7542.962.1.2其他费用万元1013.242.1.3预备费万元214.922.2建设期利息万元128.322.3流动资金万元2110.903资金筹措万元11010.343.1自筹资金万元5772.883.2银行贷款万元5237.464营业收入万元23600.00正常运营年份5总成本费用万元20031.796利润总额万元3470.447净利润万元2602.838所得税万元867.619增值税万元814.7810税

27、金及附加万元97.7711纳税总额万元1780.1612工业增加值万元6312.9613盈亏平衡点万元9943.26产值14回收期年6.1315内部收益率16.87%所得税后16财务净现值万元2917.28所得税后第三章 行业发展分析一、 海外设备厂商在手订单饱满，供应链限制延续在手订单依旧强劲，供应链限制延续，设备大厂积极扩产。1）供给高度紧张：ASML22Q1营收yoy-19%，下滑主要系部分订单确认延迟；毛利率同比-5pt，承压主要系材料、供应链、运输等成本上升；库存周转率降低。泛林毛利率同比-1.7pt，主要系成本压力（原材料、物流、通胀等）。2）订单依旧强劲：ASML新增在手订单约7

28、0亿欧元，环比持平。KLA：当前在手订单交期总体56个月，部分产品78月。爱德万客户订单提前量增加，由于系半导体等材料和零件短缺，交期延长。3）积极扩产：ASML预计2030年产能至少翻番，2025年年产能增加到约90套0.33孔径EUV和600套DUV。泰瑞达预计2023研发费用1900亿日元，yoy+20.1%；资本开支750亿日元，yoy+31.1%，规划金额皆较往年有大幅提升。2022下半年展望乐观，全年需求强劲将有订单递延至明年。泛林2022Q2毛利率指引中枢仍略降，持续成本和供应压力影响持续，二季度订单积压不断增加。随产能落地、产品竞争力效益显现及部分订单延迟多数企业对H2展望乐观

29、。ASML预计2022H2表现强劲，毛利率约54%，高于全年52%指引，主要由EUV和DPV出货及安装基础管理业务利润率提升驱动。Q4部分EUV系统收入将递延到2023年。泛林预计2022WFE需求将超1000亿美元，未满足的设备需求将递延至明年。泰瑞达积极建立库存及扩产，预计H2出货有更大增量及灵活性，预计Q2实现增长，仅高端产品出货受限。二、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步2021年全球半导体设备市场规模创1026亿美元新高，大陆首次占比全球第一。根据SEMI，2021年半导体设备销售额1026亿美元，同比激增44%，全年销售额创历史新高。大陆设备市场在2013年之前

30、占全球比重为10%以内，20142017年提升至1020%，2018年之后保持在20%以上，份额呈逐年上行趋势。2020-2021年，国内晶圆厂投建、半导体行业加大投入，大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位，2021达到296.2亿美元，同比增长58%，占比28.9%。展望2022年，存储需求复苏，韩国预计将领跑全球，但大陆设备市场规模有望保持较高比重。北美半导体设备厂商月销售额2021年以来稳站30亿+美金。通过复盘半导体行业景气周期历史，北美半导体设备厂商月销售额对于全球半导体行业景气度分析具有重要意义，北美半导体设备销售额水平通常领先全球半导体销售额一个季度。2021年1月，北美半

31、导体设备厂商月销售额首次突破了30亿美金关口，创历史新高，达到了30.4亿美金。此后月度销售额逐季创新高，至12月份销售额达到39.2亿美金，同比增长46%。与此同时全球半导体销售市场自2021年4月以来连续12个月同比增速超过20%，2022年3月，全球半导体销售额达到505.8亿美金，同比增长23.0%，展望2022全年，从各机构当前预测平均值来看，预计2022年全球半导体市场仍将保持10%以上同比增长。半导体设备行业呈现明显的周期性，受下游厂商资本开支节奏变化较为明显。2017年，存储厂商的大幅资本开支推动半导体设备迎来巨大需求，且这一势头一直延续到2018年上半年。但随后产能过剩致使存

32、储价格走低，导致DRAM和NAND厂商纷纷推迟设备订单。存储产能过剩一直持续到2019年上半年，同时上半年整体半导体行业景气度不佳，虽然下半年随着行业景气度恢复，以台积电为代表的晶圆厂陆续调高资本开支大幅扩产，2019年全年半导体设备需求同比仍回落约2%。2020年全球各地先后受疫情影响，但存储行业资本支出修复、先进制程投资叠加数字化、5G带来的下游各领域强劲需求，全年设备市场同比增长19%。伴随半导体厂商新一轮资本开支开启，2021年全球设备市场继续大幅增长44%。当前海外设备龙头应用材料、泛林集团等均预计2022年全球设备市场规模将进一步增长。未来两年全球晶圆厂设备开支持续增长。2020年

33、疫情带来的居家及远程办公带来笔电等消费电子需求激增作为本轮周期的催化剂，2020H2以车用芯片为代表的供应链开始紧张，下游持续增长的需求与上游有限产能的矛盾演绎为2021年全年行业供需失衡加剧。2022年以来，消费性电子、智能手机、PC等领域需求确有下滑，但更值得注意的是全球正步入第四轮硅含量提升周期，服务器、汽车、工业、物联网等需求大规模提升。在6月台积电召开的股东大会上，公司管理层表示未来10年是半导体行业非常好的机会，主要原因就是5G及高效能运算的普及，生活数字化转型，带来对车用（新车半导体含量可达传统车的10倍）、手机、服务器等终端内半导体含量的增加，推动半导体需求大幅成长。中芯国际在

34、22Q1法说会表示，尽管消费电子，手机等存量市场进入去库存阶段，开始软着陆，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市场尚未建立足够的库存，近年来硅含量提升与晶圆厂有限的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，使得公司需要大幅扩产，推出新产品工艺平台，满足客户旺盛的增量需求。疫情、全球经济及半导体周期性虽然会带来短期内的不确定性，但是技术进步、硅含量提升是长期支撑半导体行业持续发展的最关键驱动力。2020年开始全球领先的晶圆厂纷纷加速扩产提升资本开支，根据ICInsights，2021年全球半导体资本开支增速达到36%，预计2022年将继续增长24%，2020-2022年将会成为自

35、1993-1995年以来的首次CapEx连续三年增速超过20%。半导体设备作为晶圆厂扩产的重要开支部分，根据SEMI，2021年全球晶圆厂前道设备支出增速达到42%，预计2022年将进一步增长18%。台积电、中芯国际纷纷增加资本开支，CapEx进入上行期。根据ICInsights，全球代工厂资本开支约占半导体总体的35%，根据头部代工厂的资本开支规划来看，2022年代工领域资本开支将进一步提升。台积电从2020年170亿美金增长到2021年的300亿美金（用于N3/N5/N7的资本开支占80%），公司2021年4月1日公布未来三年资本开支1000亿美金，2022年资本开支将进一步提升至400-

36、440亿美金，预计2023年资本开支仍有望超过400亿美金；联电2021年CapEx18亿美金，预计2022年翻倍达到36亿美金（其中90%将用于12英寸晶圆）；GlobalFoundries于2021年IPO后资本开支大幅提升用于扩产，公司2020年CapEx4.5亿美金，2021年提升至16.6亿美金，预计2022年超过40亿美金；中芯国际2021年资本开支维持高位，达到45亿美金（大部分用于扩成熟制程，尤其是8寸数量扩4.5万片/月），预计2022年达到50亿美金。第四章 项目建设背景、必要性一、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开国内晶圆厂投资进入高峰期。根据集微网统计，2020202

37、2年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元，其中内资晶圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年，且未来还有新增项目的可能。设备国产化率较低，海外龙头垄断性较高。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，从市场格局来看，细分市场均有较高集中度，主要参与厂商一般不超过5家，top3份额往往高于90%，部分设备甚至出现一家独大的情况，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求。制程越先进，设备投资额占比越高。设备投资一般占比7080%，当制程到16/14nm时，设备投资占比达85%；7nm及以下占比将更高。

38、光刻、刻蚀、沉积、过程控制、热处理等均是重要投资环节。国内国产化逐渐起航，从0到1的过程基本完成。北方华创产品布局广泛，刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备新产品市场导入节奏加快，产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高，在集成电路领域主流生产线实现批量销售，产品加速迭代；第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽，出货量实现较快增长。拓荆科技作为国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商，PECVD累计发货150台，广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂，PEALD已实现销售；中微公司介质刻蚀机已经打

39、入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备UniMax2022Q1订单已超180腔；芯源微前道涂胶显影设备在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展，并实现多种核心零部件的国产替代，公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，新签订单结构中前道产品占比大幅提升；华海清科CMP设备在逻辑芯片、3DNAND、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP设备累计出货超过140台，未发出产品的在手订单超70台。Mattson（屹唐半导体）在去胶设备市占率全球第二；盛美半导体单片清洗机在海力士、长存

40、、SMIC等产线量产。精测电子、上海睿励在测量领域突破国外垄断。设备国产化率较低，国产厂商成长空间巨大。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求，潜在收入目标空间较大。二、 刻蚀设备：等离子刻蚀复杂程度高，且步骤逐渐增加刻蚀是用化学、物理、化学物理结合的方法有选择的去除（光刻胶）开口下方的材料。被刻蚀的材料包括硅、介质材料、金属材料、光刻胶。刻蚀是与光刻相联系的图形化处理工艺。刻蚀就是利用光刻胶等材料作为掩蔽层，通过物理、化学方法将下层材料中没有被上层遮蔽层材料遮蔽的地方去掉，从而在下层材料上获得与掩膜板图形对应的图形。电容性等离子体刻蚀

41、CCP：能量高、精度低，主要用于介质材料刻蚀（形成上层线路）诸如逻辑芯片的栅侧墙、硬掩膜刻蚀、中段的接触孔刻蚀、后端的镶嵌式和铝垫刻蚀等，以及3D闪存芯片工艺（氮化硅/氧化硅）的深槽、深孔和连线接触孔的刻蚀等。电感性等离子体刻蚀ICP：能量低、精度高，主要用于硅刻蚀和金属刻蚀（形成底层器件）硅浅槽隔离（STI）、锗（Ge）、多晶硅栅结构、金属栅结构、应变硅（Strained-Si）、金属导线、金属焊垫（Pad）、镶嵌式刻蚀金属硬掩模和多重成像技术中的多道刻蚀工艺。光刻技术中许多先进制程涉及多重图形技术。即使是EUV，波长为13.5nm，要实现7nm的精度，仍需要依靠多重图形技术，即多次刻蚀。因

42、此制程升级，精度越高，需要的刻蚀复杂度、步骤数量也在提升。所以刻蚀设备和化学薄膜设备成为更关键的设备。刻蚀设备市场超过130亿美元，是晶圆设备占比最高的市场。2011年以来，刻蚀在晶圆设备的占比从11%逐渐提升到20%以上，2017年起成为全球晶圆设备中占比最高的装备类别，重要性不断提升。刻蚀设备市场基本是干法刻蚀设备，2020年全球干法刻蚀设备市场约137亿美元，其中介质刻蚀（DielectricEtch）60亿美元，导体刻蚀（ConductorEtch）76亿美元。从导体刻蚀市场结构看，Lam一家独大，长期全球市占率超过50%；其次AMAT占据约30%市场份额。剩下的厂商如日立高新、TEL

43、、KLA、北方华创、SEMES、中微公司等公司合计，在导体刻蚀合计市占率不超过20%。近两年，国内设备龙头厂商北方华创、中微公司该产品线放量加速，逐步提高半导体设备刻蚀供应链份额。从介质刻蚀市场结构看，TEL一家独大，长期全球市占率超过50%；其次Lam占据接近40%的市场份额，两家厂商主导整个市场，寡占程度较强。全球介质刻蚀设备供应商还有SEMES、中微公司、AMAT、Ulvac、屹唐半导体等。中微公司开发了系列介质刻蚀装备，并承担多项重大科研项目，是国内领先的介质刻蚀设备厂商。三、 深度融入新发展格局，全力打造畅通双循环先行区坚持实施扩大内需战略同深化供给侧结构性改革有机结合，畅通生产、分

44、配、流通、消费四个环节，畅通要素、商品、产业、经济循环，推动供给与需求互促共进、投资与消费良性互动、内需与外需相互协调，提升漯河在双循环中的嵌入度、贡献度和价值链地位，为全国构建新发展格局探索路径、先行示范。厚植比较优势。聚焦生产环节，优化供给结构，改善供给质量，提升供给体系对需求的适配性。聚焦主导产业和具有比较优势领域，实施产业基础再造和产业链提升工程，巩固提升食品产业链和液压科技、装配式建筑、食品装备等行业在全国产业链供应链价值链中的地位。聚焦流通环节，充分发挥漯河市交通区位优势，构建现代物流体系，建设区域性物流枢纽。加快现代物流业发展，推动冷链物流、快递物流、电商物流转型发展，强化在全国

45、流通体系中的重要物流节点地位。完善国内外市场布局，更好利用国际国内两个市场两种资源。扩大有效投资。发挥投资对优化供给结构的关键作用，优化投资结构，聚焦“两新一重”和先进制造业、战略性新兴产业等重点领域扩大有效投资，加快补齐基础设施、农业农村、公共安全、生态环保、公共卫生、防灾减灾、民生保障等领域短板。实施“186”投资工程（超1千个项目、总投资超8千亿、“十四五”期间投资超6千亿），完善重大项目落地协调机制，大力推进强基础、增功能、利长远的重大项目建设。推动企业设备更新和技术改造。创新投融资机制，激发民间投资活力，拓展重大项目境内外融资渠道，扩大直接融资。促进消费升级。强化消费对经济发展的基础

46、性作用，提升传统消费，培育新型消费，放宽服务消费领域市场准入，促进服务消费提质升级。完善“职能+”消费生态体系，提升巩固基于网络数字技术的消费新业态、新模式，加快新型消费基础设施建设，促进线上与线下消费融合发展，促进“千企惠民促消费”活动提质增效。建设多层次消费平台，建设高品质步行街，培育区域消费中心，发展夜经济，提升社区商业消费。着力激发农村消费潜力，适当增加公共消费。落实带薪休假制度，扩大节假日消费。完善农村市场体系。深入实施放心消费行动，全方位优化消费环境。四、 全力打造特色优势产业生态功能区坚持把发展经济的着力点放在实体经济上，以制造业高质量发展为主攻方向，推动服务业扩量提质，提高农业质量效益和竞争力，突出数字化引领、撬动、赋能作用，系统整合产业链、供应链、价值链、创新链，有效提升区域产业配套率，增强产业发展韧性。（一）增强制造业综合竞争力坚持用高新技术和先进适用技术改造传统产业，坚持扩大增量和优化存量并举，在具有比较优势