第五章电感式传感器优秀PPT.ppt
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1、 利用利用电磁感应原理电磁感应原理将将被测非电量被测非电量(如位移、压力等)转换成线圈(如位移、压力等)转换成线圈自感系数自感系数L L和和互感系数互感系数M M的变化,再由的变化,再由测量电路测量电路转换为转换为电压或电流电压或电流的变化量输出的变化量输出可以用来测量位移、振动、压力、流量、应变等多种物理量;可以用来测量位移、振动、压力、流量、应变等多种物理量;电磁电磁电磁电磁感应感应感应感应 被测非电量被测非电量被测非电量被测非电量自感系数自感系数自感系数自感系数L L互感互感互感互感系系系系数数数数MM测量测量测量测量电路电路电路电路 U U U U、I I I I、f f f f位移、
2、振动、位移、振动、位移、振动、位移、振动、压力、比重等压力、比重等压力、比重等压力、比重等电磁感应原理电磁感应原理 放在磁通量变更中的导体,会产生电动势。此电动势称为感应放在磁通量变更中的导体,会产生电动势。此电动势称为感应电动势,若将此导体闭合成一回路,则该电动势会驱使电子流淌,形成电动势,若将此导体闭合成一回路,则该电动势会驱使电子流淌,形成感应电流。感应电流。1闭合电路闭合电路的一部分导体在磁场里做的一部分导体在磁场里做切切割磁感线割磁感线的运动时,导体中就会产生的运动时,导体中就会产生电流电流电磁感应电磁感应自感现象:当导体中的电流发生变更时,导体本身产生感应电动势,这个电自感现象:当
3、导体中的电流发生变更时,导体本身产生感应电动势,这个电动势总是阻碍导体中原来电流的变更。像这种由于导体本身的电流发生变更动势总是阻碍导体中原来电流的变更。像这种由于导体本身的电流发生变更而产生的电磁感应现象,称为自感电动势。而产生的电磁感应现象,称为自感电动势。自感系数自感系数L L:描述线圈产生自感电动势本事大小的物理量。:描述线圈产生自感电动势本事大小的物理量。互感现象:由于一个电路中电流变更,而在邻互感现象:由于一个电路中电流变更,而在邻近另一个电路中引起感生电动势的现象。也就近另一个电路中引起感生电动势的现象。也就是相互感应,是两个电路间磁力的相互作用。是相互感应,是两个电路间磁力的相
4、互作用。互感:当两个线圈的电流可以相互供应磁通时,互感:当两个线圈的电流可以相互供应磁通时,就说它们之间存在互感耦合,简称互感。就说它们之间存在互感耦合,简称互感。互感系数互感系数 M M:表征两线圈之间产生互感实力的强弱。:表征两线圈之间产生互感实力的强弱。结构简洁、工作牢靠、寿命长;结构简洁、工作牢靠、寿命长;灵敏度高、辨别力大:能测出灵敏度高、辨别力大:能测出0.01m0.01m甚至更小的机械位移变更,能感受甚至更小的机械位移变更,能感受0.1 0.1 mm的微小角度的变更。传感器的输出信号强,电压灵敏度一般每一毫米可达数百的微小角度的变更。传感器的输出信号强,电压灵敏度一般每一毫米可达
5、数百毫伏,因此有利于信号的传输与放大;毫伏,因此有利于信号的传输与放大;抗干扰实力强、对工作环境要求不高;抗干扰实力强、对工作环境要求不高;线性度优良,输出特性曲线的线性度较好,且比较稳定;线性度优良,输出特性曲线的线性度较好,且比较稳定;精度高,性能稳定,重复性好精度高,性能稳定,重复性好电感式传感器的优点:电感式传感器的优点:频率响应低,不宜用于快速、频率响应低,不宜用于快速、动态测量动态测量;灵敏度、线性度和测量范围相互制约;灵敏度、线性度和测量范围相互制约;电感式传感器的缺点:电感式传感器的缺点:电感式传感器的分类电感式传感器的分类基本原理:基本原理:被测量的变更被测量的变更 磁路的磁
6、阻变更磁路的磁阻变更 线圈电感量的变线圈电感量的变更更依据转换原理不同,可分为自感式传感器(变磁阻式)、互感依据转换原理不同,可分为自感式传感器(变磁阻式)、互感式传感器(差动变压式)和电涡流传感器三种类型。式传感器(差动变压式)和电涡流传感器三种类型。依据结构形式不同,可分为气隙型和螺管型。依据结构形式不同,可分为气隙型和螺管型。电感式传感器的分类电感式传感器的分类依据转换原理不同,可分为自感式传感器(变磁阻式)、互感式传感器依据转换原理不同,可分为自感式传感器(变磁阻式)、互感式传感器(差动变压式)和电涡流传感器三种类型。(差动变压式)和电涡流传感器三种类型。组成:线圈、铁芯、衔铁三部分。
7、组成:线圈、铁芯、衔铁三部分。线圈线圈铁芯铁芯衔铁衔铁线线圈圈铁芯铁芯衔铁衔铁衔衔铁铁移移动动方方向向a)气隙型气隙型b)截面型截面型c)螺管型螺管型5.1 自感式传感器(变磁阻式)自感式传感器(变磁阻式)5.1.1 气隙型电感传感器气隙型电感传感器传传感感器器结结构构:线线圈圈、铁铁芯芯和和衔衔铁铁三三部部分分组组成成。铁铁芯芯和和衔衔铁铁由由导导磁磁材材料料如如硅硅钢钢片片制制成成,在在铁铁芯芯和和衔衔铁铁之之间间有有气气隙隙,气气隙隙厚厚度度为为,传传感感器器的的运运动动部部分分与衔铁相连。与衔铁相连。当衔铁移动时,磁路中气隙的磁阻发生变更,引起线圈电感变更,当衔铁移动时,磁路中气隙的磁
8、阻发生变更,引起线圈电感变更,传感器线圈与测量电路连接,将电感量变更转化成传感器线圈与测量电路连接,将电感量变更转化成U、I、f在铁芯和衔铁之间有气隙,传感器的运动部分与衔铁相连。在铁芯和衔铁之间有气隙,传感器的运动部分与衔铁相连。当当衔衔铁铁移移动动时时,气气隙隙厚厚度度 发发生生变变更更,引引起起磁磁路路中中磁磁阻阻变变更更,从从而而导导致致电感线圈的电感值变更。电感线圈的电感值变更。因此,只要能测出这种电感量的变更,就能确定衔铁位移量的大小和方向。因此,只要能测出这种电感量的变更,就能确定衔铁位移量的大小和方向。线圈中电感量由下式确定:线圈中电感量由下式确定:依据磁路欧姆定律:依据磁路欧
9、姆定律:式中,式中,Rm为磁路总磁阻为磁路总磁阻气隙很小,可认为气隙中的磁场是匀整的。若忽视磁路磁损,则磁路总磁阻为气隙很小,可认为气隙中的磁场是匀整的。若忽视磁路磁损,则磁路总磁阻为依据电感的定义,依据电感的定义,W匝线圈的自感值为:匝线圈的自感值为:W 线圈的匝数线圈的匝数Rm 磁路总磁阻磁路总磁阻气隙很小时,认为气隙磁场分布匀整,总磁阻为:气隙很小时,认为气隙磁场分布匀整,总磁阻为:各段导磁体的长度;各段导磁体的长度;各段导磁体的磁导率;各段导磁体的磁导率;各段导磁体的截面积;各段导磁体的截面积;空气隙的厚度空气隙的厚度 真空磁导率;真空磁导率;空气隙截面积。空气隙截面积。可得电感值的表
10、达式:可得电感值的表达式:变气隙型传感器变气隙型传感器变截面型传感器变截面型传感器线圈中放入圆形衔铁线圈中放入圆形衔铁 可变自感可变自感 螺管型传感器螺管型传感器 通常,气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻,即通常,气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻,即则,磁路总磁阻可表示为:则,磁路总磁阻可表示为:联立联立W匝线圈的自感值匝线圈的自感值表达式,可得:表达式,可得:结论:结论:,在,在S 不变时,不变时,L为为 的单值函数,且为非线性反比例函数;的单值函数,且为非线性反比例函数;,在,在 不变时,不变时,L为为S 的单值函数,且为线性正比例函数。的单值函数,且为线性正比例函数。如图所示,分别改变如图所示
11、,分别改变 和和S,可获得,可获得L的改变。的改变。上式表明:当线圈匝数为常数时,电感上式表明:当线圈匝数为常数时,电感 L 仅仅是磁路中磁阻仅仅是磁路中磁阻 Rm 的函数,变更的函数,变更 或或S,均可导致电感变更,因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度,均可导致电感变更,因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度 的传的传感器和变气隙截面积感器和变气隙截面积 S 的传感器。的传感器。目前运用最广泛的是变气隙厚度式传感器。目前运用最广泛的是变气隙厚度式传感器。电感传感器的基本工作原理演示电感传感器的基本工作原理演示F气隙变小,电感变大,电流变小。气隙变小,电感变大,电流变小。2.输出特性(变气隙型)
12、输出特性(变气隙型)L与与 之间是非线性关系,特性曲线如图所示。之间是非线性关系,特性曲线如图所示。L0+LL0-L变气隙式传感器的输出特性变气隙式传感器的输出特性线圈线圈铁芯铁芯衔铁衔铁当衔铁处于初始位置时,初始电感量为当衔铁处于初始位置时,初始电感量为分析:分析:当当衔铁上移衔铁上移 时,传感器气隙减小时,传感器气隙减小 ,即,即 ,则此时输出电感为,则此时输出电感为当当 时(麦克劳林展式绽开):时(麦克劳林展式绽开):可求得电感增量可求得电感增量 和相对增量和相对增量 的表达式,即的表达式,即(5-1)(5-2)同理,当衔铁随被测体的初始位置同理,当衔铁随被测体的初始位置向下移动向下移动
13、 时,有时,有对式(对式(5-2)、()、(5-4)作线性处理,即忽视高次项后,可得)作线性处理,即忽视高次项后,可得(5-4)(5-3)灵敏度为灵敏度为可见:变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相冲突,因此,可见:变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相冲突,因此,变气隙式电感传感器适用于测量微小位移的场合。变气隙式电感传感器适用于测量微小位移的场合。与与K0衔铁上移,衔铁上移,切线斜率变大切线斜率变大衔铁下移衔铁下移,切线斜率变小,切线斜率变小L0+LL0-L变气隙式传感器的输出特性变气隙式传感器的输出特性 与线性度与线性度衔铁上移:衔铁上移:衔铁下移衔铁下移:非线性部分非线
14、性部分非线性部分非线性部分无论上移或下无论上移或下移,非线性都将移,非线性都将增大。增大。1)灵敏度:灵敏度:(L),则),则 K ;2)线性度(非线性误差):线性度(非线性误差):结论:结论:明显:明显:,其非线性误差,其非线性误差。3)灵敏度和线性度之间存在冲突,)灵敏度和线性度之间存在冲突,则,则K,L0+LL0-L变气隙式传感器的输出特性变气隙式传感器的输出特性4)如图所示,当)如图所示,当 正反方向变更正反方向变更 时,时,不相等,不具有对称性。不相等,不具有对称性。5)为保证确定的灵敏度,气隙传感器只适合测量微小位移场合。在行程较大)为保证确定的灵敏度,气隙传感器只适合测量微小位移
15、场合。在行程较大的场合,一般接受螺线管式传感器。的场合,一般接受螺线管式传感器。6)为减小非线性误差,实际中一般接受差动变气隙式传感器。)为减小非线性误差,实际中一般接受差动变气隙式传感器。为减小非线性误差,实际测量中广泛接受差动式变气隙式电感传感器。为减小非线性误差,实际测量中广泛接受差动式变气隙式电感传感器。1-铁芯铁芯 2-线圈线圈 3-衔铁衔铁衔铁上移衔铁上移 时:两个线圈的电感变化量时:两个线圈的电感变化量 、分别由式(分别由式(5-1)和()和(5-3)表示,差动传感器电感的总变化量)表示,差动传感器电感的总变化量 ,具体表达式为,具体表达式为对上式进行线性处理,即忽视高次项得对上
16、式进行线性处理,即忽视高次项得灵敏度灵敏度K0为为比较单线圈式和差动式:比较单线圈式和差动式:差动式变间隙电感传感器的灵敏度是单线圈式的差动式变间隙电感传感器的灵敏度是单线圈式的2倍;倍;差动式的非线性项(忽视高次项):差动式的非线性项(忽视高次项):单线圈的非线性项(忽视高次项):单线圈的非线性项(忽视高次项):由于由于 ,因此,差动式的线性度得到明显改善。,因此,差动式的线性度得到明显改善。5.1.2 变面积型自感式电感传感器变面积型自感式电感传感器线线圈圈铁芯铁芯衔铁衔铁衔衔铁铁移移动动方方向向传感器传感器气隙厚度气隙厚度保持不变,令磁通保持不变,令磁通截面积截面积随被测随被测非电量而变
17、,设铁芯材料和衔铁材料的磁导率相非电量而变,设铁芯材料和衔铁材料的磁导率相同,则此变面积自感传感器自感同,则此变面积自感传感器自感 L 为为灵敏度灵敏度变面积式自感传感器在忽视气隙磁通边缘效应的条件下,输入与输出呈线性关系,变面积式自感传感器在忽视气隙磁通边缘效应的条件下,输入与输出呈线性关系,因此可得到较大的线性范围。但是与变气隙式自感传感器相比,其灵敏度降低。因此可得到较大的线性范围。但是与变气隙式自感传感器相比,其灵敏度降低。5.1.3 测量电路测量电路电感式传感器的测量电路由沟通电桥式、变压器式沟通电桥和紧耦合电感比例电感式传感器的测量电路由沟通电桥式、变压器式沟通电桥和紧耦合电感比例
18、电桥。电桥。1.沟通电桥式测量电路沟通电桥式测量电路当衔铁下移时:当衔铁下移时:Z1Z2Z3=RZ4=R2.变压器式沟通电桥测量电路变压器式沟通电桥测量电路电桥两臂电桥两臂Z1、Z2为传感器线圈阻抗,另为传感器线圈阻抗,另外两桥臂为沟通变压器次级线圈的外两桥臂为沟通变压器次级线圈的1/2阻抗。阻抗。当负载阻抗为无穷大时,桥路输出电压当负载阻抗为无穷大时,桥路输出电压当传感器的衔铁处于当传感器的衔铁处于中间位置中间位置,即,即Z1=Z2=Z,此时有,此时有 ,电桥平衡。,电桥平衡。当传感器的当传感器的衔铁上移:衔铁上移:如如Z1=Z+Z,Z2=ZZ 当传感器的当传感器的衔铁下移:衔铁下移:如如Z
19、1=Z Z,Z2=Z+Z 可知:衔铁上下移动相同距离时,输出电压相位相反,大小随衔铁的位移而变更。可知:衔铁上下移动相同距离时,输出电压相位相反,大小随衔铁的位移而变更。由于由于 是沟通电压,是沟通电压,输出指示无法推断位移方向,必需协作相敏检波电路来解决。输出指示无法推断位移方向,必需协作相敏检波电路来解决。3.谐振式测量电路谐振式测量电路分为:谐振式调幅电路和谐振式调频电路。分为:谐振式调幅电路和谐振式调频电路。调幅电路调幅电路特点:此电路灵敏度很高,特点:此电路灵敏度很高,但线性差,适用于线性度要求不高的场合。但线性差,适用于线性度要求不高的场合。调频电路:振荡频率调频电路:振荡频率 。
20、当当L变变更更时时,振振荡荡频频率率随随之之变变更更,依据依据 f 的大小即可测出被测量的值。具有严峻的非线性关系。的大小即可测出被测量的值。具有严峻的非线性关系。自感式传感器的特点自感式传感器的特点灵敏度比较好,目前可测灵敏度比较好,目前可测0.1 的直线位移,输出信号比较大、信噪比比较好;的直线位移,输出信号比较大、信噪比比较好;测量范围比较小,适用于测量较小位移;测量范围比较小,适用于测量较小位移;存在非线性;存在非线性;工艺要求不高,加工容易。工艺要求不高,加工容易。变磁阻式传感器的应用变磁阻式传感器的应用 变隙电感式压力传感器结构图变隙电感式压力传感器结构图 当压力进入膜盒时,膜盒的
21、顶端在压力P的作用下产生与压力P大小成正比的位移,于是衔铁也发生移动,从而使气隙发生变更,流过线圈的电流也发生相应的变更,电流表A的指示值就反映了被测压力的大小。5.2 互感式传感器(差动变压器式)互感式传感器(差动变压器式)差差动动式式电电感感传传感感器器事事实实上上是是互互感感式式传传感感器器的的一一种种,利利用用位位移移的的变变更更使使线线圈间互感量圈间互感量M发生变更,从而实现机电转换。发生变更,从而实现机电转换。互互感感式式传传感感器器结结构构形形式式较较多多,有有变变隙隙式式、变变面面积积式式和和螺螺线线管管式式等等,但但其其工作原理基本相同。差动式电感传感器在医学上运用较广泛。工
22、作原理基本相同。差动式电感传感器在医学上运用较广泛。变变变变间间间间隙隙隙隙式式式式差差差差动动动动变变变变压压压压器器器器螺螺螺螺线线线线管管管管式式式式差差差差动动动动变变变变压压压压器器器器1、组成、组成1 12 23 34 4初初级级线线圈圈次次级级线线圈圈M1M2基本结构基本结构:衔铁、初级线圈、次级线圈等。次级绕组用:衔铁、初级线圈、次级线圈等。次级绕组用差动形式连接差动形式连接两个初级绕组线圈1和2的同名端顺向串联,为加在初级绕组的激励电压。两个次级线圈3和4的同名端反相串联,其输出电压为 。初次级线圈间的耦合程度与衔铁的位置有关。1 12 23 34 4初初级级线线圈圈次次级级
23、线线圈圈M1M2 差动变压器与一般变压器不同 一般变压器为闭合磁路,初次级的互感为常数,而差动变压器由于存在铁芯气隙,是开磁路,且初次级的互感随衔铁位移而变更,另外,差动变压器的两个次级线圈的同名端反相串联。依据变压器的基本原理制成的,把被测位移量转换为一次线圈与二次线圈间的互感量变更的装置。当一次线圈接入激励电源后,二次线圈就将产生感应电动势,当两者间的互感量变更时,感应电动势也相应变更。1、组成、组成2、工作原理、工作原理1-活动衔铁;活动衔铁;2-导磁外壳导磁外壳;3-骨架;骨架;4-初级绕组初级绕组w1;5-次级绕组次级绕组w2a;6-次级绕组次级绕组w2 U U1 1L L2121U
24、 U2 2L L2222E E2222E E2121R R2222R R2121R R1 1M M1 1M M2 2 激励电压激励电压 输出电压输出电压 感应电势感应电势 感应电势感应电势等效电路图等效电路图2、工作原理、工作原理U U1 1L L2121U U2 2L L2222E E2222E E2121R R2222R R2121R R1 1M M1 1M M2 2当次级开路时,初级线圈激励电流当次级开路时,初级线圈激励电流据电磁感应定律,次级绕组中感应电势的表达式:据电磁感应定律,次级绕组中感应电势的表达式:次级两绕组反相串联,且次级开路,则次级两绕组反相串联,且次级开路,则输出电压有
25、效值:输出电压有效值:(1)当活动衔铁处于中间位置时当活动衔铁处于中间位置时M1=M2=M 则则 U2=0(2)当活动衔铁向当活动衔铁向W2a方向移动时方向移动时故故(3)当活动衔铁向当活动衔铁向W2b方向移动时方向移动时故故再求出再求出 和和 的表达式,代入即可的表达式,代入即可e21e220 xe2W2bW2a原线圈原线圈 当铁芯偏离中心位置时,输出电压当铁芯偏离中心位置时,输出电压 随偏离增大而增加,但上下偏移时输出随偏离增大而增加,但上下偏移时输出的相位差的相位差180,其有效值的特性曲线如,其有效值的特性曲线如图所示。图所示。差动变压器输出电压特性曲线差动变压器输出电压特性曲线输出电
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