第三章-电阻应变式传感器优秀PPT.ppt
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1、 电阻应变式传感器是以电阻应变片电阻应变式传感器是以电阻应变片(简称简称应变片应变片)为转换元件的传感器。为转换元件的传感器。应变变更应变变更-电阻变更电阻变更电阻应变式传感器电阻应变式传感器?应用应用:测量应变及其他物理量,如测量力、压力、测量应变及其他物理量,如测量力、压力、位移、力矩、重量、温度和加速度等物理量。位移、力矩、重量、温度和加速度等物理量。电阻应变式传感器特点电阻应变式传感器特点:结构简洁、体积小、测量范围广、频率响应特性结构简洁、体积小、测量范围广、频率响应特性好、适合动态和静态测量、运用寿命长、性能稳定牢好、适合动态和静态测量、运用寿命长、性能稳定牢靠等特点,是目前应用最
2、广泛的传感器之一。靠等特点,是目前应用最广泛的传感器之一。应变片类型应变片类型(依据材料不同依据材料不同)金属应变片金属应变片 应变效应应变效应 半导体应变片半导体应变片 压阻效应压阻效应3-1 金属应变片式传感器金属应变片式传感器 金金属属应应变变片片式式传传感感器器的的核核心心元元件件是是金金属属应应变变片片,它它可将试件上的应变变更转换成电阻变更。可将试件上的应变变更转换成电阻变更。应应用用时时将将应应变变片片用用粘粘结结剂剂坚坚固固地地粘粘贴贴在在被被测测试试件件表表面面上上,当当试试件件受受力力变变形形时时,应应变变片片的的敏敏感感栅栅也也伴伴同同变变形形,引引起起应应变变片片电电阻
3、阻值变更,通过测量电路将其转换为电压或电流信号输出。值变更,通过测量电路将其转换为电压或电流信号输出。1.1.精度高,测量范围广;精度高,测量范围广;2.2.频率响应特性较好;频率响应特性较好;3.3.结构简洁、尺寸小、重量轻;结构简洁、尺寸小、重量轻;4.4.可在高(低)温、高速、高压、猛烈振动、强磁场及可在高(低)温、高速、高压、猛烈振动、强磁场及核辐射和化学腐蚀等恶劣环境条件下正常工作;核辐射和化学腐蚀等恶劣环境条件下正常工作;5.5.易于实现小型化、固态化;价格低廉、品种多样,便易于实现小型化、固态化;价格低廉、品种多样,便于选择。于选择。应应变变式式传传感感器器已已成成为为目目前前非
4、非电电量量电电测测技技术术中中特特别别重重要要的的检检测测手手段段,广广泛泛地地应应用用于于工工程程测测量量和和科科学学试试验验中中,主要是由于它具有以下几个特点:主要是由于它具有以下几个特点:dFFLL+Ld-dll+dl2r2(r-dr)F一、金属丝式应变片一、金属丝式应变片 变更上式,得变更上式,得等式两边微分,则得等式两边微分,则得(一)应变效应(一)应变效应设设有有一一根根长长度度为为 、截截面面积积为为S S、电电阻阻率率为为的的金金属属丝丝,其其电电阻阻R R为为为电阻率的相对变化为电阻率的相对变化称为金属丝长度方向的应变或轴向应变称为金属丝长度方向的应变或轴向应变为截面积的相对
5、变化为截面积的相对变化 上式三项分别为上式三项分别为:为金属丝半径的相对变化,为金属丝半径的相对变化,金属材料电阻率相对变更与其体积相对变更之间有下关系:金属材料电阻率相对变更与其体积相对变更之间有下关系:由由有有即即面积的相对变更变面积的相对变更变为半径的相对变更为半径的相对变更为电阻丝材料的泊松比为电阻丝材料的泊松比由此得由此得 K为金属材料的应变灵敏度系数为金属材料的应变灵敏度系数电阻率变为几何参数再联系应变和固有参数电阻率变为几何参数再联系应变和固有参数 电阻率变化电阻率变化 形形 变变电阻的变更由两部分组成电阻的变更由两部分组成:一是应变片受力后材料由形变引起的变更,即一是应变片受力
6、后材料由形变引起的变更,即1+2二是应变片受力后材料的电阻率发生的变更,二是应变片受力后材料的电阻率发生的变更,即(即(/)/。对金属材料:对金属材料:1+2(/)/对半导体材料:对半导体材料:(/)/1+2大量试验证明,在电阻丝拉伸极限内,大量试验证明,在电阻丝拉伸极限内,电阻的电阻的相对变更与应变成正比,即相对变更与应变成正比,即K为常数。为常数。3.23.23.23.2应变片的基本应变片的基本应变片的基本应变片的基本结构结构结构结构一、金属电阻应变片一、金属电阻应变片一、金属电阻应变片一、金属电阻应变片引线引线-连接测量导线之用连接测量导线之用盖层盖层基底与面胶基底与面胶中间介质和绝缘作
7、用中间介质和绝缘作用电阻丝电阻丝(敏感栅敏感栅)转换元件转换元件 下下图图为为电电阻阻应应变变片片的的典典型型结结构构图图。它它由由敏敏感感栅栅、基基底底、盖盖片片、引引线线和和粘粘结结剂剂等等组组成成。这这些些部部分分所所选选用用的的材材料料将将干干脆脆影影响响应应变变片片的的性性能能。因因此此,应应依依据据运运用用条条件件和要求合理地加以选择。和要求合理地加以选择。基片基片覆盖层覆盖层金属丝金属丝引线引线(二)应变片的结构与材料(二)应变片的结构与材料1.1.敏感栅敏感栅 它它是是应应变变片片最最重重要要的的组组成成部部分分,由由某某种种金金属属细细丝丝绕绕成成栅栅形形。一一般般用用于于制
8、制造造应应变变片片的的金金属属细细丝丝直直径径为为0.0150.0150.05mm0.05mm。电电阻阻应应变变片片的的电电阻阻值值为为6060、120120、200200 等等各各种种规规格格,以以120120 最最为为常常用用。敏敏感感栅栅在在纵纵轴轴方方向向的的长长度度称称为为栅栅长长。在在与与应应变变片片轴轴线线垂垂直直的的方方向向上上,敏敏感感栅栅外外侧侧之之间间的的距距离离称称为为栅栅宽宽。应应变变片片栅栅长长大大小小关关系系到到所所测测应应变变的的精精确确度度,应应变变片片测测得得的的应应变变大大小小事事实实上上是是应应变变片片栅栅长长和和栅栅宽宽所所在在面面积积内内的的平平均均
9、轴轴向向应应变变量量。栅栅长长有有1010、20mm20mm等等规规格格,分分别别适适应应于于不不同同的用途。的用途。2.基底和盖片 基底用于保持敏感栅、引线的几何形态和相对位置,盖片既保持敏感栅和引线的形态和相对位置,还可爱护敏感栅。最早的基底和盖片多用特地的薄纸制成。基底厚度一般为0.020.04mm,基底的全长称为基底长,其宽度称为基底宽。3.3.粘结剂粘结剂 用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一起。用于将敏感栅固定于基底上,并将盖片与基底粘贴在一起。运用金属应变片时运用金属应变片时,也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方向和位置上
10、,以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的某个方向和位置上,以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。基底和敏感栅。常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温顺中温。常用有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂,聚酰亚胺温顺中温。常用有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂,聚酰亚胺等。无机粘结剂用于高温,常用的有磷酸盐、硅酸盐、硼酸盐等。等。无机粘结剂用于高温,常用的有磷酸盐、硅酸盐、硼酸盐等。4.引线引线它是从应变片的敏感栅中引出的金属线。常用直径约它是从应变片的敏感栅中引出的金属线。常用直径约0.80.15mm的镀锡
11、铜线,或扁带形的其它金属材料制成。对引线材料的性能要的镀锡铜线,或扁带形的其它金属材料制成。对引线材料的性能要求为电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多求为电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多数敏感栅材料都可制作引线。数敏感栅材料都可制作引线。金属箔式应变片金属箔式应变片 箔箔式式应应变变片片的的工工作作原原理理基基本本和和电电阻阻丝丝式式应应变变片片相相同同。它它的的电电阻阻敏敏感感原原件件不不是是金金属属丝丝栅栅,而而是是通通过过光光刻刻技技术术、腐腐蚀蚀等等工工序序制制成成的的薄薄金金属箔栅,故称箔式电阻应变片。属箔栅,故称箔式电阻应变片。金金属属箔箔的
12、的厚厚度度一一般般为为0.0030.0030.010mm0.010mm,它它的的基基片片和和盖盖片片多多为为胶胶质质膜膜,基片厚度一般为基片厚度一般为0.030.030.05mm0.05mm。箔箔材材表表面面积积大大,散散热热条条件件好好,故故允允许许通通过过较较大大电电流流,因因而而可可以以输输出较大信号,提高了测量灵敏度。出较大信号,提高了测量灵敏度。金属箔式应变片和丝式应变片相比较,有如下特点金属箔式应变片和丝式应变片相比较,有如下特点箔箔栅栅的的尺尺寸寸精精确确,匀匀整整,且且能能制制成成随随意意形形态态,为为制制造造小小距距应应变变片片供应了条件,从而扩大了应变片的运用范围。便于成批
13、生产。供应了条件,从而扩大了应变片的运用范围。便于成批生产。金金属属箔箔栅栅很很薄薄,因因而而它它所所感感受受的的应应力力状状态态与与试试件件表表面面的的应应力力状状态态更更为为接接近近。其其次次,当当箔箔材材和和丝丝材材具具有有同同样样的的截截面面积积时时,箔箔材材与与粘粘接接层层的的接接触触面面积积比比丝丝材材大大,使使它它能能更更好好地地和和试试件件共共同同工工作作。箔箔栅栅的的端端部较宽,横向效应较小,因而提高了应变测量的精度。部较宽,横向效应较小,因而提高了应变测量的精度。半导体应变片半导体应变片分析:当半导体应变片受轴向力作用时分析:当半导体应变片受轴向力作用时半半导导体体应应变变
14、片片的的电电阻阻率率相相对对变变更更量量与与所所受受的的应应变变力有关:力有关:式中:式中:半导体材料的压阻系数半导体材料的压阻系数;半导体材料的所受应变力半导体材料的所受应变力;E半导体材料的弹性模量半导体材料的弹性模量;半导体材料的应变。半导体材料的应变。因此:因此:试试验验证证明明,E比比1+2大大上上百百倍倍,所所以以1+2可可以忽视,因而半导体应变片的灵敏系数为:以忽视,因而半导体应变片的灵敏系数为:测测量量原原理理:在在外外力力作作用用下下,被被测测对对象象产产生生微微小小机机械械变变形形,应应变变片片随随着着发发生生相相同同的的变变更更,同同时时应应变变片片电电阻阻值值也也发发生
15、生相相应应变变更更。当当测测得得应应变变片片电电阻阻值值变变更更量量为为R时时,便便可可得得到到被被测测对对象象的的应应变变值值,依据应力与应变的关系,得到应力值依据应力与应变的关系,得到应力值为为:=E 3.3 电阻应变片的特性电阻应变片的特性 应变片电阻值应变片电阻值.未受应变时初始电阻值未受应变时初始电阻值灵敏度系数灵敏度系数.物理意义:单位应变所引起的电阻相对变更物理意义:单位应变所引起的电阻相对变更.横向效应横向效应.最大工作电流最大工作电流.动态响应特性动态响应特性.主要特性主要特性或或 测量结果说明,应变片的灵敏系数测量结果说明,应变片的灵敏系数K恒小于线材的灵敏系数恒小于线材的
16、灵敏系数Km。究其原因,除胶层究其原因,除胶层传递变形失真外传递变形失真外,横向效应横向效应也是一个不可忽视也是一个不可忽视的因素。的因素。1,灵敏度系数灵敏度系数金属应变丝的电阻相对变更与它所感受的应变之间具有线性关系,金属应变丝的电阻相对变更与它所感受的应变之间具有线性关系,用灵敏系数用灵敏系数K表示。当金属丝做成应变片后,其电阻应变特性,与表示。当金属丝做成应变片后,其电阻应变特性,与金属单丝状况不同。因此,须用试验方法对应变片的电阻金属单丝状况不同。因此,须用试验方法对应变片的电阻-应变应变 特特性重新测定。性重新测定。实验表明,金属应变片的电阻相对变化实验表明,金属应变片的电阻相对变
17、化 与应变在很宽的范围内与应变在很宽的范围内均为线性关系。即均为线性关系。即 为了减小横向效应产生的测量误差,一般接受箔式应变片。为了减小横向效应产生的测量误差,一般接受箔式应变片。2.横向效应横向效应 定义:丝绕应变片沿轴向感受拉应变定义:丝绕应变片沿轴向感受拉应变 ,电阻,电阻值将增加,而在园弧段上,其电阻的变化与直线段不值将增加,而在园弧段上,其电阻的变化与直线段不一样,在垂直方向上一样,在垂直方向上=90产生负的压应变产生负的压应变 ,其电,其电阻是减小的。灵敏系数比直的电阻丝降低,这种现象阻是减小的。灵敏系数比直的电阻丝降低,这种现象称为横向效应称为横向效应.r愈小,愈小,l愈大,即
18、敏感栅愈窄,基长愈长的应变片,其横愈大,即敏感栅愈窄,基长愈长的应变片,其横向效应引起的误差越小。向效应引起的误差越小。由于横向效应系数的作用,在测量纵向应变时,圆弧部由于横向效应系数的作用,在测量纵向应变时,圆弧部分产生了一个负值的电阻变更。从而降低了灵敏度系数,分产生了一个负值的电阻变更。从而降低了灵敏度系数,该现象称为应变片的横向效应。该现象称为应变片的横向效应。lbOrdld0rl1l3.机械滞后机械滞后应变片粘贴在被测试件上,当温度恒定时,其指示应变与试件表面应变片粘贴在被测试件上,当温度恒定时,其指示应变与试件表面机械应变的比值应当不变,即加载、卸载过程中的灵敏系数应一样,机械应变
19、的比值应当不变,即加载、卸载过程中的灵敏系数应一样,否则就会带来灵敏系数的误差。然而试验表明,在增加或削减机械否则就会带来灵敏系数的误差。然而试验表明,在增加或削减机械应变的过程中,对同一机械应变应变的过程中,对同一机械应变,应变片的指示应变值不同,此差,应变片的指示应变值不同,此差值即为机械滞后。值即为机械滞后。1机械应变机械应变卸载卸载加载加载指指示示应应变变i 机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关,机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关,加载时的机械应变愈大,卸载时的滞后也愈大。加载时的机械应变愈大,卸载时的滞后也愈大。所以,通常在试验之前应将试件预先加、卸载若所以,通常在试验之前应将
20、试件预先加、卸载若干次,以削减因机械滞后所产生的试验误差。干次,以削减因机械滞后所产生的试验误差。产生缘由:应变片在承受机械应变后的残余变形,使敏感栅产生缘由:应变片在承受机械应变后的残余变形,使敏感栅电阻发生少量不行逆变更;在制造或粘贴应变片时,敏感栅受电阻发生少量不行逆变更;在制造或粘贴应变片时,敏感栅受到的不适当的变形或粘结剂固化不充分等。到的不适当的变形或粘结剂固化不充分等。4.零点漂移和蠕变零点漂移和蠕变对于粘贴好的应变片,当温度恒定时对于粘贴好的应变片,当温度恒定时,即使被测定试件未承受应力,即使被测定试件未承受应力,应变片的指示应变也会随时间增加而渐渐变更。这一些变更就是应应变片
21、的指示应变也会随时间增加而渐渐变更。这一些变更就是应变片指示应变的零点漂移。产生零点漂移的主要缘由是敏感栅通以变片指示应变的零点漂移。产生零点漂移的主要缘由是敏感栅通以工作电流后的温度效应;应变片的内应力渐渐变更;粘结剂固化不工作电流后的温度效应;应变片的内应力渐渐变更;粘结剂固化不充分等。充分等。当应变片承受恒定的机械应变时,应变片的指示应变却随时间而变当应变片承受恒定的机械应变时,应变片的指示应变却随时间而变更,这种特性称为蠕变。蠕变产生的缘由是由于胶层之间发生更,这种特性称为蠕变。蠕变产生的缘由是由于胶层之间发生“滑滑动动”,使力传到敏感栅的应变量渐渐削减。,使力传到敏感栅的应变量渐渐削
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