第六章--电感式传感器优秀PPT.ppt
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1、绪绪 论论 电感式传感器是建立在电磁感电感式传感器是建立在电磁感应基础上,利用线圈自感或互感的应基础上,利用线圈自感或互感的变更来实现非电量电测的,可分为变更来实现非电量电测的,可分为变磁阻式、变压器式、涡流式等种变磁阻式、变压器式、涡流式等种类。可以测量位移、振动、压力、类。可以测量位移、振动、压力、流量、比重等参数。流量、比重等参数。Inductive sensors are based on the principle of electromagnetic induction.By use of self-inductance and mutual inductance of coils
2、,inductive sensors can realized the measurements of displacement,pressure,vibration,liquid flux etc.The inductive sensors involve reluctance variation sensors,linear variable differential transformers(LVDTs),eddy current sensors etc.特特 点点(1)工作牢靠、寿命长;)工作牢靠、寿命长;(2)灵敏度高、辨别率高)灵敏度高、辨别率高 位移位移:0.01m;角度角度0.
3、1”;输出信号强,输出信号强,电压灵敏度可达数百电压灵敏度可达数百mV/mm。(3)精度高、线性好)精度高、线性好 在几十在几十m到数百到数百mm的位移范围内,输的位移范围内,输出特性的线性度较好,且比较稳定。非出特性的线性度较好,且比较稳定。非线性误差:线性误差:0.05%0.1%;(4)性能稳定、重复性好。)性能稳定、重复性好。不足:存在沟通零位信号,不宜于高频动态测量。不足:存在沟通零位信号,不宜于高频动态测量。6.16.1变磁阻变磁阻(自感自感)式传感器式传感器(reluctance variation sensors)6.1.1工作原理工作原理分类:分类:q 变气隙厚度变气隙厚度的电
4、感式传感器的电感式传感器 (variable gas sensors)q 变气隙面积变气隙面积S S的电感式传感器的电感式传感器 (variable area sensors)q 变铁芯磁导率变铁芯磁导率的电感式传感器的电感式传感器(moving core sensors)自感式电感传感器常见的形式自感式电感传感器常见的形式 1线圈线圈coil;2铁芯铁芯Magnetic core;3衔铁衔铁Moving core变隙式变隙式变截面式变截面式螺线管式螺线管式 线圈线圈 L铁芯铁芯 衔铁衔铁 self-inductance of coil is:L=W/RM (6-1-1)W-number of
5、 turns RM-Reluctance因为气隙较小因为气隙较小(0.11mm),所以,认为气隙磁场是匀整的,若,所以,认为气隙磁场是匀整的,若忽视磁路铁损,则磁路总磁阻为忽视磁路铁损,则磁路总磁阻为:铁芯磁导率远大于空气铁芯磁导率远大于空气的磁导率,因此铁芯磁的磁导率,因此铁芯磁阻远较气隙磁阻小阻远较气隙磁阻小可见,自感可见,自感L是气隙截面积和长度的函数,即是气隙截面积和长度的函数,即Lf(S,)假如假如S保持不变,则保持不变,则L为为的单值函数,构成变隙式自感的单值函数,构成变隙式自感传感器;若保持传感器;若保持不变,使不变,使S随位移变更,则构成变截面随位移变更,则构成变截面式自感传感
6、器。其特性曲线如图。式自感传感器。其特性曲线如图。L=f(S)L=f()LSL=f()为非线性关系。当为非线性关系。当0时,时,L为为,考虑导磁体的磁阻,考虑导磁体的磁阻,当当0时,并不等于时,并不等于,而具,而具有确定的数值,在有确定的数值,在较小时其较小时其特性曲线如图中虚线所示。如特性曲线如图中虚线所示。如移动衔铁使面积移动衔铁使面积S变更,从而变更,从而变更变更L值时值时,则则Lf(S)的特性曲的特性曲线为始终线。线为始终线。6.1.2等效电路等效电路假设自感线圈为一志向纯电感,但实际传感器中包括:假设自感线圈为一志向纯电感,但实际传感器中包括:线圈的铜损电阻(线圈的铜损电阻(RcRc
7、)、铁芯的涡流损耗电阻()、铁芯的涡流损耗电阻(ReRe)和线圈的寄生电容(和线圈的寄生电容(C C)。因此,自感传感器的等效)。因此,自感传感器的等效电路如图。电路如图。CLRcRe 一、电感一、电感L L (6-1-3)二、损耗电阻二、损耗电阻RC (6-1-4)(6-1-5)LCRCRe耗散因数耗散因数DC为:为:三、涡流损耗电阻三、涡流损耗电阻Re (6-1-6)耗散因数耗散因数De为:为:(6-1-7)四、耗散因数四、耗散因数D和品质因数和品质因数QD=DC+De+Dh(磁滞损耗磁滞损耗)lgD Dc De Dc+De+DhDc+DeDh fmlgf当频率当频率f 取值取值:;此时耗
8、散因数此时耗散因数D取最小值取最小值:(6-1-8)对应的品质因数对应的品质因数Q的最大值为:的最大值为:(6-1-9)五、有并联寄生电容的电感线圈五、有并联寄生电容的电感线圈不考虑并联寄生电容时:不考虑并联寄生电容时:若考虑并联寄生电容,则若考虑并联寄生电容,则有效灵敏度:有效灵敏度:输出特性分析输出特性分析 一、具有铁芯及小气隙的电感式传感器一、具有铁芯及小气隙的电感式传感器 设磁路总长为设磁路总长为l,且铁芯和衔铁的磁导率相同,且铁芯和衔铁的磁导率相同,截面相等则总磁阻:截面相等则总磁阻:一般,一般,r1,所以:所以:式中式中:e=lr/(l+r)(6-1-12)传感器工作时,若衔铁移动
9、使总气隙削减传感器工作时,若衔铁移动使总气隙削减,则电感增加则电感增加L1L1,由式,由式(6-1-14)(6-1-14)得:得:则则 (6-1-13)式中式中:K=WS0或:或:(6-1-14)(6-1-15)若若(/)/(1+l/r)1,则,则(6-1-15)式可绽开成:式可绽开成:(6-1-16)同理,若气隙增加,则电感减少,则:同理,若气隙增加,则电感减少,则:(6-1-17)忽略高次项,电感变化忽略高次项,电感变化灵敏度灵敏度为:为:(6-1-18)线性度线性度:(6-1-19)LL1L2 L00当当气气隙隙发发生生变变更更时时,自自感感的的变变更更与与气气隙隙变变更更均均呈呈非非线
10、线性性关关系系,其其非非线线性性程程度度随随气气隙隙相相对对变变更更/的的增增大大而而增加;增加;气气隙隙削削减减所所引引起起的的自自感感变变更更L1与与气气隙隙增增加加同同样样所所引引起起的的自自感感变变更更L2并并不不相相等等,即即L1L2,其其差值随差值随l/l的增加而增大。的增加而增大。差动电感传感器差动电感传感器1-1-差动线圈差动线圈 2-2-铁心铁心 3-3-衔铁衔铁 4-4-测杆测杆 5-5-工件工件 灵敏度灵敏度:线性度线性度:差差动动式式自自感感传传感感器器的的灵灵敏敏度度比比单单线线圈圈传传感器提高一倍感器提高一倍差差动动式式自自感感传传感感器器非非线线性性失失真真小小,
11、如如当当/=10时时,单单线线圈圈10;而而差差动动式的式的 175502505075100L/mH/mm10025LD432112341 线圈线圈自感特性;自感特性;2 线圈线圈自感特性;自感特性;3 线圈线圈与与差动自感特性;差动自感特性;4 特性曲线特性曲线rx螺旋管螺旋管铁心铁心单线圈螺管型传感器结构图单线圈螺管型传感器结构图l 二二螺管型自感传感器螺管型自感传感器 有单线圈和差动式两种结构形式。有单线圈和差动式两种结构形式。单单线线圈圈螺螺管管型型传传感感器器的的主主要要元元件件为为一一只只螺螺管管线线圈圈和和一一根根圆圆柱柱形形铁铁芯芯。传传感感器器工工作作时时,因因铁铁芯芯在在线
12、线圈圈中中伸伸入入长长度度的的变变更更,引引起起螺螺管管线线圈圈自自感感值值的的变变更更。当当用用恒恒流流源源激激励励时时,则则线线圈圈的的输输出出电电压压与与铁铁芯的位移量有关。芯的位移量有关。螺管线圈内磁场分布曲线螺管线圈内磁场分布曲线rxl1.00.80.60.40.20.2 0.4 0.60.81.0H()INlx(l)铁芯在起先插入(铁芯在起先插入(x=0)或几乎离开线圈时的灵敏度,)或几乎离开线圈时的灵敏度,比铁芯插入线圈的比铁芯插入线圈的1/2长度时的灵敏度小得多。这说明长度时的灵敏度小得多。这说明只有在线圈中段才有可能获得较高的灵敏度,并且有只有在线圈中段才有可能获得较高的灵敏
13、度,并且有较好的线性特性。较好的线性特性。若若被被测测量量与与lc成成正正比比,则则L与与被被测测量量也也成成正正比比。事事实实上上由由于于磁磁场场强强度度分分布布不不匀匀整整,输输入入量量与与输输出出量量之间关系非线性的。之间关系非线性的。为为了了提提高高灵灵敏敏度度与与线线性性度度,常常接接受受差差动动螺螺管管式式自自感感传传感感器器。图图(b)中中H=f(x)曲曲线线表表明明:为为了了得得到到较较好好的的线线性性,铁铁芯芯长长度度取取0.6l时时,则则铁铁芯芯工工作作在在H曲曲线线的的拐拐弯弯处处,此此时时H变变更更小小。这这种种差差动动螺螺管管式式自自感感传传感感器器的的 测测 量量
14、范范 围围 为为(550)mm,非非线线性性误误差差在在0.5左右。左右。2lclc2l线圈线圈r0.80.60.40.20.20.40.60.8-0.80.80.41.2-1.2-0.4xH()INl差动螺旋管式自感传感器差动螺旋管式自感传感器(a)结构示意图结构示意图 (b)磁场分布曲线磁场分布曲线x(l)(a)(b)综上所述,螺管式自感传感器的特点:结构简洁,制造装配简洁;由于空气间隙大,磁路的磁阻高,因此灵敏度低,但线性范围大;由于磁路大部分为空气,易受外部磁场干扰;由于磁阻高,为了达到某一自感量,须要的线圈匝数多,因而线圈分布电容大;要求线圈框架尺寸和形态必需稳定,否则影响其线性和稳
15、定性。E/2 Z1 E B A E/2 Z2 U0 图中图中A点的电压为:点的电压为:图中图中B点的电压为:点的电压为:6.1.46.1.4传感器的信号调整电路传感器的信号调整电路输出电压:输出电压:(6-1-23)探讨:探讨:(1)当铁芯处于中间位置时,)当铁芯处于中间位置时,Z1=Z2=Z,这时,这时U0=0,电电 桥平衡;桥平衡;(2)当铁芯向下移动时,下面线圈的阻抗增加:)当铁芯向下移动时,下面线圈的阻抗增加:Z2=Z+Z,上面线圈的阻抗减小:,上面线圈的阻抗减小:Z1=Z-Z 式式(6-1-23)得:得:(6-1-24)或:或:(6-1-25)反之,当铁芯向上移动同样大小的距离时,反
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