多晶硅生产工艺流程.doc

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1、多晶硅生产工艺流程(简介)-来自于网络收集多晶硅生产工艺流程,多晶硅最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化有的采用氯氢化，精馏，复原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。主要反响包括：Si+HCl-SiHCl3+H2三氯氢硅合成;SiCl4+H2-SiHCl3+HCl热氢化;SiHCl3+H2-SiCl4+HCl+Si复原多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽一样，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程平安等方面也存在差异，各有技术特点与技术秘密，总

2、的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改进西门子法、硅烷法与流化床法。改进西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。西门子改进法生产工艺如下：这种方法的优点是节能降耗显著、本钱低、质量好、采用综合利用技术，对环境不产生污染，具有明显的竞争优势。改进西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有：氯化氢合成炉，三氯氢硅沸腾床加压合成炉，三氯氢硅水解凝胶处理系统，三氯氢

3、硅粗馏、精馏塔提纯系统，硅芯炉，节电复原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、枯燥、包装系统装置，复原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪器，控制仪表，热能转换站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂房等。1石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅， 其化学反响SiO2+CSi+CO22为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反响在一个流化床反响器中，生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。 其化学反响Si+HClSiHCl3+H2 反响温度为300度，该反响是放热的。同时形成气态混合物(2,1,Si13,SiC14,Si)。3第二步骤中产生的气态混合

4、物还需要进一步提纯，需要分解:过滤硅粉，冷凝Si13,SiC14，而气态2,1返回到反响中或排放到大气中。然后分解冷凝物Si13,SiC14，净化三氯氢硅多级精馏。4净化后的三氯氢硅采用高温复原工艺，以高纯的SiHCl3在H2气氛中复原沉积而生成多晶硅。 其化学反响SiHCl3+H2Si+HCl。多晶硅的反响容器为密封的，用电加热硅池硅棒直径5-10毫米，长度1.5-2米，数量80根，在1050-1100度在棒上生长多晶硅，直径可到达150-200毫米。这样大约三分之一的三氯氢硅发生反响，并生成多晶硅。剩余局部同2,1,Si13,SiC14从反响容器中别离。这些混合物进展低温别离，或再利用，或返回到整个反响中。气态混合物的别离是复杂的、耗能量大的，从某种程度上决定了多晶硅的本钱与该3工艺的竞争力第 3 页