衢州关于成立CMP设备公司可行性报告【参考范文】.docx

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1、泓域咨询/衢州关于成立CMP设备公司可行性报告衢州关于成立CMP设备公司可行性报告xx（集团）有限公司目录第一章 筹建公司基本信息8一、 公司名称8二、 注册资本8三、 注册地址8四、 主要经营范围8五、 主要股东8公司合并资产负债表主要数据9公司合并利润表主要数据9公司合并资产负债表主要数据11公司合并利润表主要数据11六、 项目概况11第二章 公司筹建方案17一、 公司经营宗旨17二、 公司的目标、主要职责17三、 公司组建方式18四、 公司管理体制18五、 部门职责及权限19六、 核心人员介绍23七、 财务会计制度24第三章 市场预测28一、 本土设备厂商的竞争优势和未来前景28二、 半

2、导体前道设备各环节格局梳理28三、 CMP设备29第四章 项目投资背景分析31一、 半导体设备国产替代空间广阔31二、 半导体设备行业32三、 半导体设备行业的壁垒33四、 坚持创新驱动首位战略，加快提升区域发展核心竞争力34五、 项目实施的必要性36第五章 发展规划38一、 公司发展规划38二、 保障措施42第六章 法人治理结构45一、 股东权利及义务45二、 董事52三、 高级管理人员57四、 监事59第七章 项目选址可行性分析61一、 项目选址原则61二、 建设区基本情况61三、 强化“美丽+智慧”引领，构建更具活力的现代产业体系66四、 项目选址综合评价69第八章 项目环境影响分析70

3、一、 环境保护综述70二、 建设期大气环境影响分析70三、 建设期水环境影响分析71四、 建设期固体废弃物环境影响分析72五、 建设期声环境影响分析72六、 环境影响综合评价73第九章 风险风险及应对措施74一、 项目风险分析74二、 公司竞争劣势79第十章 项目实施进度计划80一、 项目进度安排80项目实施进度计划一览表80二、 项目实施保障措施81第十一章 投资方案82一、 投资估算的依据和说明82二、 建设投资估算83建设投资估算表87三、 建设期利息87建设期利息估算表87固定资产投资估算表88四、 流动资金89流动资金估算表90五、 项目总投资91总投资及构成一览表91六、 资金筹措

4、与投资计划92项目投资计划与资金筹措一览表92第十二章 项目经济效益评价94一、 经济评价财务测算94营业收入、税金及附加和增值税估算表94综合总成本费用估算表95固定资产折旧费估算表96无形资产和其他资产摊销估算表97利润及利润分配表98二、 项目盈利能力分析99项目投资现金流量表101三、 偿债能力分析102借款还本付息计划表103第十三章 项目综合评价105第十四章 附表附件106主要经济指标一览表106建设投资估算表107建设期利息估算表108固定资产投资估算表109流动资金估算表109总投资及构成一览表110项目投资计划与资金筹措一览表111营业收入、税金及附加和增值税估算表112综

5、合总成本费用估算表113固定资产折旧费估算表114无形资产和其他资产摊销估算表114利润及利润分配表115项目投资现金流量表116借款还本付息计划表117建筑工程投资一览表118项目实施进度计划一览表119主要设备购置一览表120能耗分析一览表120报告说明随着制程推进和工艺升级，单位产能下设备需求将进一步增加。制程和工艺升级推动芯片复杂度提升，更复杂的结构需要更多的制造工序完成，各类设备的用量显著增加。以刻蚀环节为例，14nm制程所需使用的刻蚀步骤达到64次，7nm所需刻蚀步骤达140次，较14nm提升118%。设备用量方面，以中芯国际180nm8寸产线和90nm12寸产线所用到的薄膜沉积设

6、备为例，每万片月产能所需的CVD设备、PVD设备分别增加3倍和4倍左右。xx（集团）有限公司主要由xxx集团有限公司和xx集团有限公司共同出资成立。其中：xxx集团有限公司出资930.00万元，占xx（集团）有限公司75%股份；xx集团有限公司出资310万元，占xx（集团）有限公司25%股份。根据谨慎财务估算，项目总投资13495.60万元，其中：建设投资11172.15万元，占项目总投资的82.78%；建设期利息115.84万元，占项目总投资的0.86%；流动资金2207.61万元，占项目总投资的16.36%。项目正常运营每年营业收入24100.00万元，综合总成本费用20447.30万元，

7、净利润2659.43万元，财务内部收益率13.11%，财务净现值630.36万元，全部投资回收期6.64年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。综上所述，本项目能够充分利用现有设施，属于投资合理、见效快、回报高项目；拟建项目交通条件好；供电供水条件好，因而其建设条件有明显优势。项目符合国家产业发展的战略思想，有利于行业结构调整。第一章 筹建公司基本信息一、 公司名称xx（集团）有限公司（以工商登记信息为准）二、 注册资本1240万元三、 注册地址衢州xxx四、 主要经营范围经营范围：从事CMP设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目

8、，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）五、 主要股东xx（集团）有限公司主要由xxx集团有限公司和xx集团有限公司发起成立。（一）xxx集团有限公司基本情况1、公司简介公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基本保障，坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念，确立了合规管理的战略定位，进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查，加强合规风险防控，确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求，重点领域合规管理不断强化，各部门分工负责、齐抓共管、协同联动的大合规管理格局逐步建立，广大员工合规意

9、识普遍增强，合规文化氛围更加浓厚。公司满怀信心，发扬“正直、诚信、务实、创新”的企业精神和“追求卓越，回报社会” 的企业宗旨，以优良的产品服务、可靠的质量、一流的服务为客户提供更多更好的优质产品及服务。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额5378.174302.544033.63负债总额2161.531729.221621.15股东权益合计3216.642573.312412.48公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入13329.5610663.659997.17营业利润3152.472521.9

10、82364.35利润总额2975.852380.682231.89净利润2231.891740.871606.96归属于母公司所有者的净利润2231.891740.871606.96（二）xx集团有限公司基本情况1、公司简介公司全面推行“政府、市场、投资、消费、经营、企业”六位一体合作共赢的市场战略，以高度的社会责任积极响应政府城市发展号召，融入各级城市的建设与发展，在商业模式思路上领先业界，对服务区域经济与社会发展做出了突出贡献。 本公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。公司坚持“责任+爱心”的服务理念，将诚信经营、诚信服务作为企业立世之本

11、，在服务社会、方便大众中赢得信誉、赢得市场。“满足社会和业主的需要，是我们不懈的追求”的企业观念，面对经济发展步入快车道的良好机遇，正以高昂的热情投身于建设宏伟大业。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额5378.174302.544033.63负债总额2161.531729.221621.15股东权益合计3216.642573.312412.48公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入13329.5610663.659997.17营业利润3152.472521.982364.35利润总额2975.8

12、52380.682231.89净利润2231.891740.871606.96归属于母公司所有者的净利润2231.891740.871606.96六、 项目概况（一）投资路径xx（集团）有限公司主要从事关于成立CMP设备公司的投资建设与运营管理。（二）项目提出的理由CMP技术即化学机械抛光，通过化学腐蚀与机械研磨的协同配合作用，实现晶圆表面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化。CMP设备一般由检测系统、控制系统、抛光垫、废物处理系统等组成，是集成电路制造设备中较为复杂和研制难度较大的设备之一。其工作过程是：抛光头将晶圆抵在粗糙的抛光垫上，借助抛光液腐蚀、微粒摩擦、抛光垫摩擦等耦合实现全局平坦化

13、，抛光盘带动抛光垫旋转，通过先进的终点检测系统对不同材质和厚度的磨蹭实现3-10nm分辨率的实时厚度测量防止过抛。锚定二三五年远景目标，聚焦聚力高质量、竞争力、现代化，突出数字赋能、整体智治，坚持真抓实干、争先创优，着力打造一批展示“重要窗口”的标志性成果，努力实现主要经济指标增速高于全省、领先周边，争创四省边际社会主义现代化先行市。努力打造浙江高质量发展重要增长极。经济持续健康较快发展，质量效益明显提升，全市生产总值达到2500亿元，人均生产总值突破10万元，投资年均增速高于全省平均水平，经济总量占全省比重明显提高。产业规模不断壮大，产业基础高级化、产业链现代化水平显著提升，新产业、新业态加

14、快成长，现代农业和现代服务业提质发展，美丽经济幸福产业和数字经济智慧产业成为高质量发展的重要支撑，科技创新逐步成为经济社会发展主要驱动力，成为四省边际数字经济发展高地、四省边际生命健康产业创新高地、全国新材料产业集聚高地。努力打造诗画浙江大花园最美核心区。深度融入钱塘江诗路黄金旅游带和浙皖闽赣国家生态旅游协作区建设，“衢州有礼”诗画风光带全面建成，现代花园城市、美丽城镇、美丽乡村建设全面推进，城乡发展协调性进一步增强，市域一体化发展格局基本形成，率先建成全域美丽大花园。国土空间开发和保护格局进一步优化，绿色发展方式和绿色生活方式深入人心，生态环境质量全省领先，市控以上地表水断面水质稳定达到类以

15、上，市区PM2.5年平均浓度小于26微克/立方米，创建成国家生态文明建设示范市，高水平建成钱江源国家公园，成为向国际社会展示“绿水青山就是金山银山”理念实践成果的重要窗口。努力打造四省边际创新要素集聚地。以数字化改革牵引全面深化改革，创新活力、市场活力、社会活力充分激发，成功打造中国营商环境最优城市。多层次高能级创新平台建设取得重大突破，区域性创新平台体系、企业技术创新体系基本形成。对青年、人才的吸引力进一步增强，创新能力显著提升，创新型城市基本建成，成为四省边际数字化转型引领区和科技创新策源地。努力打造四省边际开放开发引领地。四省边际中心城市功能显著增强，公铁空水多式联运枢纽港基本建成，“聚

16、浙西、通四省、联全国”的区域物流集散中心初步形成，目的地和集散地功能更加完备，集聚力、辐射力、带动力、竞争力持续提升，市区人口规模达到100万人左右，市域城镇化率达到70%。全面融入长三角一体化和长江经济带发展，山海协作不断深化，杭衢一体化同城化深度推进，融杭联甬接沪开放合作发展新格局基本形成，衢黄南饶“联盟花园”建设取得重大进展，成为杭州都市圈西翼门户和浙江内陆开放桥头堡。努力打造四省边际文化文明新高地。社会主义核心价值观更加深入人心，文明城市建设成果不断巩固，市民文明素养和社会文明程度明显提高。与四省边际地区文化交流交融不断深化，南孔文化在四省边际的影响力进一步增强，围棋文化挖掘和弘扬实现

17、新的突破，“南孔圣地衢州有礼”城市品牌与城市特质深度融合，文化产品更加丰富，公共文化服务体系更加健全，文化强市建设富有成效，文化软实力不断提升，成为“一座最有礼的城市”。努力打造全国一流诗意生活栖居地。实现更加充分更高质量就业，居民人均可支配收入增长与经济增长同步，并争取快于经济增长。城乡收入差距进一步缩小，中等收入群体显著增加。高质量教育体系、卫生健康体系基本建成，社会保障和养老服务体系更加健全，人均预期寿命达到80.5岁以上，基本公共服务均等化水平显著提高，人民生活质量和水平明显提高，实现生态生活生产“三生叠加”，宜居宜业宜文宜游“四宜兼具”，成为令人向往的诗意生活栖居地和幸福美好家园。（

18、三）项目选址项目选址位于xx，占地面积约33.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（四）生产规模项目建成后，形成年产xxx套CMP设备的生产能力。（五）建设规模项目建筑面积32357.47，其中：生产工程22401.46，仓储工程3212.75，行政办公及生活服务设施3247.11，公共工程3496.15。（六）项目投资根据谨慎财务估算，项目总投资13495.60万元，其中：建设投资11172.15万元，占项目总投资的82.78%；建设期利息115.84万元，占项目总投资的0.86%；流动资金2207.61万元，占项目

19、总投资的16.36%。（七）经济效益（正常经营年份）1、营业收入（SP）：24100.00万元。2、综合总成本费用（TC）：20447.30万元。3、净利润（NP）：2659.43万元。4、全部投资回收期（Pt）：6.64年。5、财务内部收益率：13.11%。6、财务净现值：630.36万元。（八）项目进度规划项目建设期限规划12个月。（九）项目综合评价该项目的建设符合国家产业政策；同时项目的技术含量较高，其建设是必要的；该项目市场前景较好；该项目外部配套条件齐备，可以满足生产要求；财务分析表明，该项目具有一定盈利能力。综上，该项目建设条件具备，经济效益较好，其建设是可行的。第二章 公司筹建方

20、案一、 公司经营宗旨依据有关法律、法规，自主开展各项业务，务实创新，开拓进取，不断提高产品质量和服务质量，改善经营管理，促进企业持续、稳定、健康发展，努力实现股东利益的最大化，促进行业的快速发展。二、 公司的目标、主要职责（一）目标近期目标：深化企业改革，加快结构调整，优化资源配置，加强企业管理，建立现代企业制度；精干主业，分离辅业，增强企业市场竞争力，加快发展；提高企业经济效益，完善管理制度及运营网络。远期目标：探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌，提升企业核心竞争力。此外，面向国际、国内两个市场，优化资源配置，实施多元化战略，向产业集团化发展，力争利用3-5年

21、的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的大型企业集团。（二）主要职责1、执行国家法律、法规和产业政策，在国家宏观调控和行业监管下，以市场需求为导向，依法自主经营。2、根据国家和地方产业政策、CMP设备行业发展规划和市场需求，制定并组织实施公司的发展战略、中长期发展规划、年度计划和重大经营决策。3、深化企业改革，加快结构调整，转换企业经营机制，建立现代企业制度，强化内部管理，促进企业可持续发展。4、指导和加强企业思想政治工作和精神文明建设，统一管理公司的名称、商标、商誉等无形资产，搞好公司企业文化建设。5、在保证股东企业合法权益和自身发展需要的前提下，公司可依照公司法等有关规定，集

22、中资产收益，用于再投入和结构调整。三、 公司组建方式xx（集团）有限公司主要由xxx集团有限公司和xx集团有限公司共同出资成立。其中：xxx集团有限公司出资930.00万元，占xx（集团）有限公司75%股份；xx集团有限公司出资310万元，占xx（集团）有限公司25%股份。四、 公司管理体制xx（集团）有限公司实行董事会领导下的总经理负责制，各部门按其规定的职能范围，履行各自的管理服务职能，而且直接对总经理负责；公司建立完善的营销、供应、生产和品质管理体系，确立各部门相应的经济责任目标，加强产品质量和定额目标管理，确保公司生产经营正常、有效、稳定、安全、持续运行，有力促进企业的高效、健康、快速

23、发展。总经理的主要职责如下：1、全面领导企业的日常工作；对企业的产品质量负责；向本公司职工传达满足顾客和法律法规要求的重要性；2、制定并正式批准颁布本公司的质量方针和质量目标，采取有效措施，保证各级人员理解质量方针并坚持贯彻执行；3、负责策划、建立本公司的质量管理体系，批准发布本公司的质量手册；4、明确所有与质量有关的职能部门和人员的职责权限和相互关系；5、确保质量管理体系运行所必要的资源配备；6、任命管理者代表，并为其有效开展工作提供支持；7、定期组织并主持对质量管理体系的管理评审，以确保其持续的适宜性、充分性和有效性。五、 部门职责及权限（一）综合管理部1、协助管理者代表组织建立文件化质量

24、体系，并使其有效运行和持续改进。2、协助管理者代表，组织内部质量管理体系审核。3、负责本公司文件（包括记录）的管理和控制。4、负责本公司员工培训的管理，制订并实施员工培训计划。5、参与识别并确定为实现产品符合性所需的工作环境，并对工作环境中与产品符合性有关的条件加以管理。（二）财务部1、参与制定本公司财务制度及相应的实施细则。2、参与本公司的工程项目可信性研究和项目评估中的财务分析工作。3、负责董事会及总经理所需的财务数据资料的整理编报。4、负责对财务工作有关的外部及政府部门，如税务局、财政局、银行、会计事务所等联络、沟通工作。5、负责资金管理、调度。编制月、季、年度财务情况说明分析，向公司领

25、导报告公司经营情况。6、负责销售统计、复核工作，每月负责编制销售应收款报表，并督促销售部及时催交楼款。负责销售楼款的收款工作，并及时送交银行。7、负责每月转账凭证的编制，汇总所有的记账凭证。8、负责公司总长及所有明细分类账的记账、结账、核对，每月5日前完成会计报表的编制，并及时清理应收、应付款项。9、协助出纳做好楼款的收款工作，并配合销售部门做好销售分析工作。10、负责公司全年的会计报表、帐薄装订及会计资料保管工作。11、负责银行财务管理，负责支票等有关结算凭证的购买、领用及保管，办理银行收付业务。12、负责先进管理，审核收付原始凭证。13、负责编制银行收付凭证、现金收付凭证，登记银行存款及现

26、金日记账，月末与银行对账单和对银行存款余额，并编制余额调节表。14、负责公司员工工资的发放工作，现金收付工作。（三）投资发展部1、调查、搜集、整理有关市场信息，并提出投资建议。2、拟定公司年度投资计划及中长期投资计划。3、负责投资项目的储备、筛选、投资项目的可行性研究工作。4、负责经董事会批准的投资项目的筹建工作。5、按照国家产业政策，负责公司产业结构、投资结构的调整。6、及时完成领导交办的其他事项。（四）销售部1、协助总经理制定和分解年度销售目标和销售成本控制指标，并负责具体落实。2、依据公司年度销售指标，明确营销策略，制定营销计划和拓展销售网络，并对任务进行分解，策划组织实施销售工作，确保

27、实现预期目标。3、负责收集市场信息，分析市场动向、销售动态、市场竞争发展状况等，并定期将信息报送商务发展部。4、负责按产品销售合同规定收款和催收，并将相关收款情况报送商务发展部。5、定期不定期走访客户，整理和归纳客户资料，掌握客户情况，进行有效的客户管理。6、制定并组织填写各类销售统计报表，并将相关数据及时报送商务发展部总经理。7、负责市场物资信息的收集和调查预测，建立起牢固可靠的物资供应网络，不断开辟和优化物资供应渠道。8、负责收集产品供应商信息，并对供应商进行质量、技术和供就能力进行评估，根据公司需求计划，编制与之相配套的采购计划，并进行采购谈判和产品采购，保证产品供应及时，确保产品价格合

28、理、质量符合要求。9、建立发运流程，设计最佳运输路线、运输工具，选择合格的运输商，严格按公司下达的发运成本预算进行有效管理，定期分析费用开支，查找超支、节支原因并实施控制。10、负责对部门员工进行业务素质、产品知识培训和考核等工作，不断培养、挖掘、引进销售人才，建设高素质的销售队伍。六、 核心人员介绍1、潘xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。2、高xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至

29、2011年4月任xxx有限责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今任公司董事。3、唐xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。4、蔡xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。5、杜

30、xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。6、蒋xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。7、万xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。8、邱xx，中国国籍，19

31、77年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。七、 财务会计制度1、公司依照法律、行政法规和国家有关部门的规定，制定公司的财务会计制度。2、公司除法定的会计账簿外，将不另立会计账簿。公司的资产，不以任何个人名义开立账户存储。3、公司分配当年税后利润时，应当提取利润的10%列入公司法定公积金。公司法定公积金累计额为公司注册资本的50%以上的，可以不再提取。公司的法定公积金不足以弥补以前年度亏损的，在依照前款规定提取法定公积金之前，应当先用当年利润弥补亏损。公司从税后利润中提取法定公积金后，经股东大会决议，还可以从税后利润中提取任意公积金。公司弥补亏损和

32、提取公积金后所余税后利润，按照股东持有的股份比例分配，但本章程规定不按持股比例分配的除外。存在股东违规占用公司资金情况的，公司应当扣减该股东所分配的现金红利，以偿还其占用的资金。股东大会违反前款规定，在公司弥补亏损和提取法定公积金之前向股东分配利润的，股东必须将违反规定分配的利润退还公司。公司持有的本公司股份不参与分配利润。4、公司的公积金用于弥补公司的亏损、扩大公司生产经营或者转为增加公司资本。但是，资本公积金将不用于弥补公司的亏损。法定公积金转为资本时，所留存的该项公积金将不少于转增前公司注册资本的25%。5、公司股东大会对利润分配方案作出决议后，公司董事会须在股东大会召开后2个月内完成股

33、利（或股份）的派发事项。如股东存在违规占用公司资金情形的，公司在利润分配时，应当先从该股东应分配的现金红利中扣减其占用的资金。6、公司利润分配政策为：（1）利润分配的原则公司实施积极的利润分配政策，重视对投资者的合理投资回报，并保持连续性和稳定性。（2）利润分配的形式公司采取现金分配形式。在符合条件的前提下，公司应优先采取现金方式分配股利。公司一般情况下进行年度利润分配，但在有条件的情况下，公司董事会可以根据公司的资金需求状况提议公司进行中期现金分配。（3）现金分红的具体条件和比例在当年盈利的条件下，如无重大投资计划或重大现金支出等事项发生，公司每年以现金方式分配的利润应不低于当年实现的可分配

34、利润的10%，且连续三年以现金方式累计分配的利润不少于该三年实现的年均可分配利润的30%。公司董事会在制定以现金形式分配股利的方案时，应当综合考虑公司所处行业特点、发展阶段、自身经营模式、盈利水平等因素在当年实现的可供分配利润的20%-80%的范围内确定现金分红在本次利润分配中所占比例。独立董事应针对已制定的现金分红方案发表明确意见。7、公司利润分配决策机制与程序为：公司当年盈利且符合实施现金分红条件但公司董事会未做出现金利润分配方案的，应在当年的定期报告中披露未进行现金分红的原因以及未用于现金分红的资金留存公司的用途，独立董事应该对此发表明确意见。第三章 市场预测一、 本土设备厂商的竞争优势

35、和未来前景成本和价格并非本土标签以外的唯一竞争力，快速响应的定制化服务为重要优势。基于本土优势，一方面可以提供低成本、定制化、及时的服务（海外设备厂商往往委托国内团队做售后服务，同时服务定制化程度弱），另一方面能够针对客户技术需求进行联合攻关、定制化开发，适配性的提升会带动稳定性和良率的提升。伴随客户导入，国产设备技术水平/工艺覆盖度有望快速提升。尽管部分国产设备目前稳定性、良率方面等相较国际大厂仍有差距，但只要下游厂商愿意导入国产设备，长远来看，部分国产设备技术能力、稳定性、良率将随与下游客户的积累持续加速提升，将实现从“能用”到“好用”的转变，如：中微公司在部分MOCVD设备市场已实现对海

36、外巨头的超越。二、 半导体前道设备各环节格局梳理晶圆制造设备是半导体设备行业需求最大的领域，光刻、刻蚀和沉积设备为主要组成部分。根据SEMI数据来看，目前半导体设备主要为晶圆制造设备，市场占有率超过85%。其中，刻蚀机、薄膜沉积、光刻机设备为半导体设备的核心设备，这三类半导体设备的市占率分别为22%、22%和20%。国内为全球半导体设备最大市场，先进技术由美欧日等国主导。从地区分布来看，中国大陆半导体设备市场占比呈持续提升之势，2021年市场规模达到296亿美元，占全球市场的比重为29%，是半导体设备的最大市场。先进半导体设备技术仍由美欧日等国主导，其中美国的刻蚀设备、离子注入机、薄膜沉积设备

37、、测试设备、程序控制、CMP等设备的制造技术位于世界前列；荷兰凭借ASML的高端光刻机在全球处于领先地位；日本则在刻蚀设备、清洗设备、测试设备等方面具有竞争优势。三、 CMP设备CMP技术即化学机械抛光，通过化学腐蚀与机械研磨的协同配合作用，实现晶圆表面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化。CMP设备一般由检测系统、控制系统、抛光垫、废物处理系统等组成，是集成电路制造设备中较为复杂和研制难度较大的设备之一。其工作过程是：抛光头将晶圆抵在粗糙的抛光垫上，借助抛光液腐蚀、微粒摩擦、抛光垫摩擦等耦合实现全局平坦化，抛光盘带动抛光垫旋转，通过先进的终点检测系统对不同材质和厚度的磨蹭实现3-10nm分辨

38、率的实时厚度测量防止过抛。CMP设备市场被应用材料、荏原机械高度垄断。CMP设备约为半导体设备总规模3%，2021年全球CMP设备市场估计为24亿美元。目前全球CMP设备市场处于高度集中状态，主要由美国应用材料和日本荏原两家设备制造商占据，合计拥有超过90%的市场份额。第四章 项目投资背景分析一、 半导体设备国产替代空间广阔半导体设备市场持续增长的底层逻辑是科技产业发展对半导体需求量的提升，直接驱动因素是下游晶圆制造厂商的扩产。2021年半导体市场规模实现同比增长26%，达5530亿美元。全球半导体产业资本支出保持强劲增长，根据ICInsights数据，2021年，全球半导体行业资本支出达到1

39、539亿美元，预计2022年将达到1904亿美元。摩尔定律推动产业发展，设备行业壁垒将持续提升。根据摩尔定律演进，每隔18-24个月芯片性能将提升一倍。先进制程IC产能具有强劲的增长势头，根据ICInsights预测，2024年先进制程（10nm）的IC产能预计增长并在全球产能占比提升至30%。每更新一代工艺制程，则需更新一代更为先进的制程设备，更加精密的制程带来半导体设备难度直线上升，行业壁垒不断提高。随着制程推进和工艺升级，单位产能下设备需求将进一步增加。制程和工艺升级推动芯片复杂度提升，更复杂的结构需要更多的制造工序完成，各类设备的用量显著增加。以刻蚀环节为例，14nm制程所需使用的刻蚀

40、步骤达到64次，7nm所需刻蚀步骤达140次，较14nm提升118%。设备用量方面，以中芯国际180nm8寸产线和90nm12寸产线所用到的薄膜沉积设备为例，每万片月产能所需的CVD设备、PVD设备分别增加3倍和4倍左右。先进工艺单位产能投资几何级数提升。随着技术节点的不断缩小，集成电路制造的设备投入呈大幅上升的趋势，5万片月产能的5nm技术节大陆半导体设备的成长空间较大，国产化率有望加速。中国大陆半导体设备企业经过多年的技术研发和工艺积累，在部分领域实现了技术突破和创新，成功通过部分集成电路制造企业的验证，成为制造企业的设备供应商。去胶设备已基本实现国产化，CMP设备、清洗设备、热处理设备、

41、刻蚀设备等的国产化率为20%左右；涂胶显影设备、离子注入设备、光刻设备也实现了突破。国产半导体设备进入生产线后，在不同产线持续测试和应用，可以及时掌握晶圆厂的技术需求，有针对性的对设备进行研发、升级，推动其技术的不断完善、进步和创新。目前国内晶圆厂积极扩产，极大拉动国内半导体设备需求；终端半导体产品的不断迭代推动晶圆厂开发新的工艺，随着国内晶圆制造产业的迅速发展，国产半导体设备种类将不断增加，性能也将不断提升，国产设备厂商将迎来增长机遇，进入加速成长阶段。二、 半导体设备行业集成电路系采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及它们之间的连接导线全部制作在一小块半导体晶片

42、如硅片或介质基片上，然后焊接封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的电子器件。半导体设备在芯片制造中发挥着重要作用。半导体设备是半导体制造的基石，是半导体行业的基础和核心。半导体工艺流程主要包括硅片制造、IC设计、芯片制造和芯片封测，从产业链来看，半导体设备在硅片制造以及芯片制造的前道/后道工艺中均发挥着重要作用。三、 半导体设备行业的壁垒技术壁垒：1）半导体设备是由成千上万的零部件组成的复杂系统，将成千上万的零部件有机组合在一起实现精细至nm级别的操作是第一个难点。2）保障设备在nm级别的操作基础上的超高良率是半导体设备制造过程中的第二个难点。制造一块芯片通常需要上百台设备紧密配合，历经40

43、0-500道工序，若单工序良率仅能做到99%，则历经500道工序最终良率不足1%；提升至小数点后两位的水平才能使良率达到95%以上。3）保障设备在实现以上两个要求的基础上长时间稳定的运行是半导体设备制造过程中的第三个难点。与上述同理，一条芯片产线上百台设备，每一台设备稳定运行时间的微小降低将在整个体系内被巨额放大。若发生设备宕机造成该批假设1000片晶圆的报废，在28nm及以下的制程级别对应的损失超过300万美元，近2000万人民币。客户验证壁垒：正是由于设备本身和产线构成的复杂性，单设备的良率、稳定性会在整个体系内产生累积效应的影响，同时可能带来巨额的潜在损失，因此晶圆制造厂商对于上游设备的

44、验证、验收有严苛的标准和流程。同时，对于晶圆制造厂而言，配合上游设备验证需要付出大量的人力（合作研发、调试）、物力（拿出其他设备配合验证的机会成本损失、验证过程中的物料损失），以及采用新设备供应商面临的巨大潜在风险（批量晶圆报废的风险、向客户延迟交货的风险），很少有晶圆厂愿意承担以上的损失和风险去验证新供应商的设备。四、 坚持创新驱动首位战略，加快提升区域发展核心竞争力坚持创新在现代化建设全局中的核心地位，加快形成“种子、苗圃、孵化、加速、产业化”的创新链，打造全链条、全系统、全周期的创新生态体系，打造四省边际区域创新策源新优势。（一）建设四省边际人才集聚桥头堡。建强高素质人才队伍。认真实施市

45、委人才新政12条，深化落实人才工作体系，建设一支数量充足、素质优良、结构合理、作用突出的人才队伍，全力打造四省边际人才集聚桥头堡。大力实施“百名领军人才引进计划”“千名乡村振兴名师培育计划”“万名产业人才集聚计划”等重大人才工程，加快引进海内外高层次人才。深入实施青年英才集聚系列行动，建立百家海内外高校青年人才联络站，加大对大学生招引力度，推进青年社区、青年人才驿站建设，广泛集聚优秀青年人才。实施职业技能提升行动，打造衢州“蓝领”品牌，大力弘扬工匠精神，培养新时代衢州工匠。实施乡村振兴“五千工程”，培养选拔“乡村百师”，大力培育乡村振兴特色人才。统筹推进教育、卫健、文体旅等社会事业人才的培养和

46、引进。强化“柔性引才”工作。（二）加快构建创新平台体系。打造高能级科创平台。提升智造新城国家高新技术产业开发区建设水平，推进龙游、江山省级高新园区建设，推动智慧新城、常山、开化争创省级高新园区，重点建设衢州海创园、张江高科、衢时代创新大厦、未来大厦等创新平台，打造创新创业高地。推进氟硅钴、空气动力装备等产业技术创新公共服务平台建设。实施产业创新服务综合体建设提升工程，聚焦重点区域和重点产业，打造一批省级示范产业服务综合体。积极融入G60科创走廊，积极建设区域科创产业合作基地。（三）激发企业创新主体活力。强化企业创新主体地位。更大力度实施新一轮“双百”科技型企业登高计划和科技企业“双倍增”行动计划，推动创新政策、资源、人才、成果向企业集聚。系统提升企业创新能力，形成以创新型领军企业为龙头、科技企业为骨干的创新发展格局。引导企业通过合作研发、共建研发机构和产学研载体等方式，围绕产业链、价值链开展合作。建立企业创新投入激励机制，降低企业创新成本。引导和鼓励企业加大研发投入，争创一批省级企业研究院、工程研究中心、企业技术中心。支持科技型企业参与重大科技项目攻关。（四）构筑良好创新生态。深化科技体制机制改革。加大激励创新制度供给，强化需求侧创新政策的引导作用。强化科技投入保障，引导创新要素向重点产业、重点行业、关键核心技术倾斜。引导企业加大科研投入，激发