芜湖半导体前道设备项目投资计划书.docx

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1、泓域咨询/芜湖半导体前道设备项目投资计划书目录第一章 项目背景分析7一、 薄膜沉积设备7二、 半导体设备国产替代空间广阔7三、 检测设备9四、 提升科技创新能力10五、 项目实施的必要性12第二章 市场预测14一、 半导体设备行业14二、 涂胶显影设备14三、 半导体设备行业的壁垒15第三章 项目绪论17一、 项目名称及项目单位17二、 项目建设地点17三、 可行性研究范围17四、 编制依据和技术原则18五、 建设背景、规模19六、 项目建设进度19七、 环境影响19八、 建设投资估算20九、 项目主要技术经济指标20主要经济指标一览表21十、 主要结论及建议22第四章 建筑工程方案分析23一

2、、 项目工程设计总体要求23二、 建设方案24三、 建筑工程建设指标25建筑工程投资一览表25第五章 产品方案与建设规划27一、 建设规模及主要建设内容27二、 产品规划方案及生产纲领27产品规划方案一览表27第六章 选址方案分析29一、 项目选址原则29二、 建设区基本情况29三、 充分利用好国际国内市场和资源32四、 提升产业链供应链现代化水平34五、 项目选址综合评价36第七章 运营管理37一、 公司经营宗旨37二、 公司的目标、主要职责37三、 各部门职责及权限38四、 财务会计制度41第八章 法人治理45一、 股东权利及义务45二、 董事48三、 高级管理人员52四、 监事54第九章

3、 项目规划进度57一、 项目进度安排57项目实施进度计划一览表57二、 项目实施保障措施58第十章 项目节能说明59一、 项目节能概述59二、 能源消费种类和数量分析60能耗分析一览表61三、 项目节能措施61四、 节能综合评价62第十一章 原辅材料分析64一、 项目建设期原辅材料供应情况64二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理64第十二章 工艺技术方案分析65一、 企业技术研发分析65二、 项目技术工艺分析68三、 质量管理69四、 设备选型方案70主要设备购置一览表71第十三章 人力资源配置分析72一、 人力资源配置72劳动定员一览表72二、 员工技能培训72第十四章 项目投资分析75一

4、、 投资估算的依据和说明75二、 建设投资估算76建设投资估算表80三、 建设期利息80建设期利息估算表80固定资产投资估算表81四、 流动资金82流动资金估算表83五、 项目总投资84总投资及构成一览表84六、 资金筹措与投资计划85项目投资计划与资金筹措一览表85第十五章 经济收益分析87一、 基本假设及基础参数选取87二、 经济评价财务测算87营业收入、税金及附加和增值税估算表87综合总成本费用估算表89利润及利润分配表91三、 项目盈利能力分析91项目投资现金流量表93四、 财务生存能力分析94五、 偿债能力分析94借款还本付息计划表96六、 经济评价结论96第十六章 项目招标及投标分

5、析97一、 项目招标依据97二、 项目招标范围97三、 招标要求97四、 招标组织方式98五、 招标信息发布98第十七章 项目总结分析99第十八章 附表附录100主要经济指标一览表100建设投资估算表101建设期利息估算表102固定资产投资估算表103流动资金估算表103总投资及构成一览表104项目投资计划与资金筹措一览表105营业收入、税金及附加和增值税估算表106综合总成本费用估算表107固定资产折旧费估算表108无形资产和其他资产摊销估算表108利润及利润分配表109项目投资现金流量表110借款还本付息计划表111建筑工程投资一览表112项目实施进度计划一览表113主要设备购置一览表11

6、4能耗分析一览表114第一章 项目背景分析一、 薄膜沉积设备薄膜沉积设备主要分CVD、PVD、ALD三大类，其中CVD市场占比最高。薄膜沉积是指在硅片衬底上沉积一层待处理的薄膜材料，如二氧化硅、氮化硅、多晶硅等非金属以及铜等金属。薄膜沉积设备主要包括CVD设备、PVD设备/电镀设备和ALD设备，三者各有所长，CVD主要应用于各种氮化物、碳化物、氧化物、硼化物、硅化物涂层的制备，PVD主要应用于金属涂层的制备，ALD属于新兴领域，一般用于45nm以下制程芯片的制备，具备更好的膜厚均匀性，同时在高深宽比的器件制备方面更有优势。目前，全球薄膜沉积设备中CVD占比最高，2020年占比64%，溅射PVD

7、设备占比21%。CVD设备中，PECVD占比53%，ALD设备占比20%。薄膜沉积设备市场美系厂商具备强话语权。薄膜沉积设备在半导体设备中占比稳定在20%左右，2021年全球半导体薄膜沉积设备市场规模达190亿美元，预计2022年将达到212亿美元。细分领域来讲，AMAT独占鳌头，约占全球PVD市场份额的80%以上；CVD领域，AMAT、LAM、TEL三家约占全球市场份额的70%以上。二、 半导体设备国产替代空间广阔半导体设备市场持续增长的底层逻辑是科技产业发展对半导体需求量的提升，直接驱动因素是下游晶圆制造厂商的扩产。2021年半导体市场规模实现同比增长26%，达5530亿美元。全球半导体产

8、业资本支出保持强劲增长，根据ICInsights数据，2021年，全球半导体行业资本支出达到1539亿美元，预计2022年将达到1904亿美元。摩尔定律推动产业发展，设备行业壁垒将持续提升。根据摩尔定律演进，每隔18-24个月芯片性能将提升一倍。先进制程IC产能具有强劲的增长势头，根据ICInsights预测，2024年先进制程（10nm）的IC产能预计增长并在全球产能占比提升至30%。每更新一代工艺制程，则需更新一代更为先进的制程设备，更加精密的制程带来半导体设备难度直线上升，行业壁垒不断提高。随着制程推进和工艺升级，单位产能下设备需求将进一步增加。制程和工艺升级推动芯片复杂度提升，更复杂的

9、结构需要更多的制造工序完成，各类设备的用量显著增加。以刻蚀环节为例，14nm制程所需使用的刻蚀步骤达到64次，7nm所需刻蚀步骤达140次，较14nm提升118%。设备用量方面，以中芯国际180nm8寸产线和90nm12寸产线所用到的薄膜沉积设备为例，每万片月产能所需的CVD设备、PVD设备分别增加3倍和4倍左右。先进工艺单位产能投资几何级数提升。随着技术节点的不断缩小，集成电路制造的设备投入呈大幅上升的趋势，5万片月产能的5nm技术节大陆半导体设备的成长空间较大，国产化率有望加速。中国大陆半导体设备企业经过多年的技术研发和工艺积累，在部分领域实现了技术突破和创新，成功通过部分集成电路制造企业

10、的验证，成为制造企业的设备供应商。去胶设备已基本实现国产化，CMP设备、清洗设备、热处理设备、刻蚀设备等的国产化率为20%左右；涂胶显影设备、离子注入设备、光刻设备也实现了突破。国产半导体设备进入生产线后，在不同产线持续测试和应用，可以及时掌握晶圆厂的技术需求，有针对性的对设备进行研发、升级，推动其技术的不断完善、进步和创新。目前国内晶圆厂积极扩产，极大拉动国内半导体设备需求；终端半导体产品的不断迭代推动晶圆厂开发新的工艺，随着国内晶圆制造产业的迅速发展，国产半导体设备种类将不断增加，性能也将不断提升，国产设备厂商将迎来增长机遇，进入加速成长阶段。三、 检测设备检测设备是应用于工艺过程中的测量

11、类设备和缺陷（含颗粒）检查类设备的统称。随着芯片结构的不断细微化和工艺的不断复杂化，工艺检测设备在先进前段生产线中发挥着越来越重要的作用。目前工艺检测设备投资占前端设备总投资的11%。按全球各类量测设备产品市场份额来看，膜厚测量设备占比约12%；CD-SEM占比约12%；套刻误差测量占比约9%；宏观缺陷检测占比约6%；有图形晶圆检测占比约34%；无图形晶圆检测占比约5%；电子束检测占比约12%。KLA独霸检测设备市场，国内企业积极推动国产量测设备发展。全球半导体检测和量测设备市场保持高速增长态势，2021年全球市场规模达100亿美元，预计2022年将达到112亿美元。前道检测设备领域中，KLA

12、具有绝对优势，占52%的市场份额；另外，AMAT、Hitachi分别占12%、11%的市场份额。四、 提升科技创新能力提升企业主体竞争力。大力弘扬企业家精神，更好发挥企业家作用，建立健全企业家参与涉企创新规划、标准和政策制定机制。支持企业牵头联合高等院校、科研院所组建创新联合体，承担国家和省重大科技项目。发挥大企业引领支撑作用，大力培育科技型中小微企业和“专精特新”企业，支持创新型中小微企业成长为技术创新重要发源地，支持初创型、成长型科创企业健康发展，推动产业链上中下游、大中小企业融通创新。发挥企业家在技术创新中的重要作用，鼓励企业加大研发投入，支持研发公共服务平台建设，实施一批科技计划项目，

13、培育一批研发经费支出和支出强度省“双100强”“市双50强”企业。支持企业构建全球价值链网络，推动企业“走出去”，培育更多具有国际市场影响力的跨国企业。加快推动企业数字化变革，构建跨行业、跨领域服务的工业互联网平台和企业级平台，形成平台经济集聚发展效应，到2025年，营业收入超百亿元平台企业达10家以上。注重从供给端入手，引导企业加大技术改造和设备更新力度，加快企业上云，建设智能车间、智能工厂，应用大数据、工业互联网等新技术，研发生产适销对路的优质产品，创造适应高品质需求的有效供给。壮大创新型企业群体。实施高新技术企业、上市企业“双倍增”和规模以上工业企业“递增”计划。支持规模以下高新技术企业

14、“升规”，规模以上企业“升高”，加快发展壮大规模以上高新技术企业。鼓励企业参与研究制定政府重大技术创新规划、计划、政策和标准，支持牵头实施产业集群协同创新项目。力推新产业、新技术、新业态、新模式加资本市场“四新加一资”模式，引导推动符合条件的科技型企业在沪港深交易所上市，培育形成一批具有竞争优势的高新技术企业、瞪羚企业。实现高新技术企业、国家科技型中小企业数量“双倍增”，规模以上工业企业研发机构覆盖率50%以上，上市企业达到40家以上。加快建设高水平创新平台。推行政府引导、企业主导、“政产学研用金”深度合作模式，围绕重点产业布局重点研发创新平台，支持骨干企业争创国家技术创新中心、产业创新中心、

15、制造业创新中心、（重点）实验室等重大平台，支持骨干企业建设工程技术研究中心、新型研发机构、院士工作站、博士后科研工作站等研发机构。支持新能源及智能汽车、智能农业装备、第三代半导体工程研究中心、多品类食品大数据等争创分行业国家级、省级产业创新中心。鼓励哈特机器人产业技术研究院、中科大芜湖智慧城市研究院、西电芜湖研究院、中科院上海光机所激光产业技术研究院等重点研发创新平台提质升级。进一步深化与中国科技大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、西安电子科技大学、东南大学、中科院上海光机所等高校院所合作，打造集高端人才培养、产教融合发展、区域协同创新等功能于一体的高等研究院。支持在芜高校设置新工科专业，打造产业

16、（行业）特色学院。吸引G60科创走廊先进制造企业和科研机构来芜投资兴业，实施科技成果产业化。围绕走廊经济发展，主动融入杭州城西科创走廊，吸引浙江高校人才来芜创新创业。促进高新技术产业发展，提升高新园区创新能力，培育若干创新型产业集群，打造“众创空间+孵化器+加速器”的科技创业孵化链条。到2025年，国家级、省级创新平台实现翻番，新增企业研发平台1000个以上，力争建成3-5个国内外有重要影响力的高端研发创新平台。五、 项目实施的必要性（一）现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业，公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度，产品销售形势良好，产销率超过 100%。预计未来几年公司的

17、销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展，公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段，不断挖掘产能潜力，但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设，公司将有效克服产能不足对公司发展的制约，为公司把握市场机遇奠定基础。（二）公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级，公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动，不断研发新产品，提升产品精密化程度，将产品质量水平提升到同类产品的领先水准，提高生产的灵活性和适应性，契合关键零部件国产化的需求，才能在与国外企业的竞争中获得优势，保持公司在领域的国内领先地位。第二

18、章 市场预测一、 半导体设备行业集成电路系采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及它们之间的连接导线全部制作在一小块半导体晶片如硅片或介质基片上，然后焊接封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的电子器件。半导体设备在芯片制造中发挥着重要作用。半导体设备是半导体制造的基石，是半导体行业的基础和核心。半导体工艺流程主要包括硅片制造、IC设计、芯片制造和芯片封测，从产业链来看，半导体设备在硅片制造以及芯片制造的前道/后道工艺中均发挥着重要作用。二、 涂胶显影设备涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备。涂胶显影设备是与光刻机配合进行作业的关键处理设备，主要负责

19、涂胶、烘烤及显影。涂胶/显影机作为光刻机的输入（曝光前光刻胶涂覆）和输出（曝光后图形的显影）设备，主要通过机械手使晶圆在各系统之间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程，其直接影响到光刻工序细微曝光图案的形成，从而影响后续蚀刻和离子注入等工艺中图形转移的结果。在早期的集成电路和较低端的半导体制造工艺中，此类设备往往单独使用，随着集成电路制造工艺自动化程度及客户对产能要求的不断提升，多与光刻设备联机作业，KrF、ArF以及ArFi工艺设备逐渐占领市场。三、 半导体设备行业的壁垒技术壁垒：1）半导体设备是由成千上万的零部件组成的复杂系统，将成千上万的零部件有机组合在一起实

20、现精细至nm级别的操作是第一个难点。2）保障设备在nm级别的操作基础上的超高良率是半导体设备制造过程中的第二个难点。制造一块芯片通常需要上百台设备紧密配合，历经400-500道工序，若单工序良率仅能做到99%，则历经500道工序最终良率不足1%；提升至小数点后两位的水平才能使良率达到95%以上。3）保障设备在实现以上两个要求的基础上长时间稳定的运行是半导体设备制造过程中的第三个难点。与上述同理，一条芯片产线上百台设备，每一台设备稳定运行时间的微小降低将在整个体系内被巨额放大。若发生设备宕机造成该批假设1000片晶圆的报废，在28nm及以下的制程级别对应的损失超过300万美元，近2000万人民币

21、。客户验证壁垒：正是由于设备本身和产线构成的复杂性，单设备的良率、稳定性会在整个体系内产生累积效应的影响，同时可能带来巨额的潜在损失，因此晶圆制造厂商对于上游设备的验证、验收有严苛的标准和流程。同时，对于晶圆制造厂而言，配合上游设备验证需要付出大量的人力（合作研发、调试）、物力（拿出其他设备配合验证的机会成本损失、验证过程中的物料损失），以及采用新设备供应商面临的巨大潜在风险（批量晶圆报废的风险、向客户延迟交货的风险），很少有晶圆厂愿意承担以上的损失和风险去验证新供应商的设备。第三章 项目绪论一、 项目名称及项目单位项目名称：芜湖半导体前道设备项目项目单位：xxx有限责任公司二、 项目建设地点

22、本期项目选址位于xxx（待定），占地面积约40.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。三、 可行性研究范围1、项目提出的背景及建设必要性；2、市场需求预测；3、建设规模及产品方案；4、建设地点与建设条性；5、工程技术方案；6、公用工程及辅助设施方案；7、环境保护、安全防护及节能；8、企业组织机构及劳动定员；9、建设实施与工程进度安排；10、投资估算及资金筹措；11、经济评价。四、 编制依据和技术原则（一）编制依据1、国民经济和社会发展第十三个五年计划纲要；2、投资项目可行性研究指南；3、相关财务制度、会计制度；4、投资项

23、目可行性研究指南；5、可行性研究开始前已经形成的工作成果及文件；6、根据项目需要进行调查和收集的设计基础资料；7、可行性研究与项目评价；8、建设项目经济评价方法与参数；9、项目建设单位提供的有关本项目的各种技术资料、项目方案及基础材料。（二）技术原则1、立足于本地区产业发展的客观条件，以集约化、产业化、科技化为手段，组织生产建设，提高企业经济效益和社会效益，实现可持续发展的大目标。2、因地制宜、统筹安排、节省投资、加快进度。五、 建设背景、规模（一）项目背景应用材料为全球热处理设备市场龙头，屹唐半导体、北方华创引领国产替代。半导体热处理设备约为半导体设备总规模2%，2021年全球热处理设备市场

24、规模20亿美元。全球热处理设备整体市场呈现出寡头垄断的格局，应用材料、东京电子和日立国际电气2019年的市占率分别为46%、21%和15%。屹唐半导体2019年全球市占率达5%；另外，北方华创立式炉、卧式炉达到国内半导体设备的领先水平。（二）建设规模及产品方案该项目总占地面积26667.00（折合约40.00亩），预计场区规划总建筑面积49259.45。其中：生产工程31827.08，仓储工程7737.70，行政办公及生活服务设施5108.27，公共工程4586.40。项目建成后，形成年产xx套半导体前道设备的生产能力。六、 项目建设进度结合该项目建设的实际工作情况，xxx有限责任公司将项目工

25、程的建设周期确定为24个月，其工作内容包括：项目前期准备、工程勘察与设计、土建工程施工、设备采购、设备安装调试、试车投产等。七、 环境影响本项目符合产业政策、符合规划要求、选址合理；项目建设具有较明显的社会、经济综合效益；项目实施后能满足区域环境质量与环境功能的要求，但项目的建设不可避免地对环境产生一定的负面影响，只要建设单位严格遵守环境保护“三同时”管理制度，切实落实各项环境保护措施，加强环境管理，认真对待和解决环境保护问题，对污染物做到达标排放。从环保角度上讲，项目的建设是可行的。八、 建设投资估算（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，

26、项目总投资15395.83万元，其中：建设投资12274.10万元，占项目总投资的79.72%；建设期利息328.43万元，占项目总投资的2.13%；流动资金2793.30万元，占项目总投资的18.14%。（二）建设投资构成本期项目建设投资12274.10万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用10628.49万元，工程建设其他费用1372.49万元，预备费273.12万元。九、 项目主要技术经济指标（一）财务效益分析根据谨慎财务测算，项目达产后每年营业收入33100.00万元，综合总成本费用26407.81万元，纳税总额3212.84万元，净利润4892.00万元，财务内

27、部收益率24.75%，财务净现值10161.67万元，全部投资回收期5.55年。（二）主要数据及技术指标表主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积26667.00约40.00亩1.1总建筑面积49259.451.2基底面积16533.541.3投资强度万元/亩296.192总投资万元15395.832.1建设投资万元12274.102.1.1工程费用万元10628.492.1.2其他费用万元1372.492.1.3预备费万元273.122.2建设期利息万元328.432.3流动资金万元2793.303资金筹措万元15395.833.1自筹资金万元8693.253.2银行贷款万元6702

28、.584营业收入万元33100.00正常运营年份5总成本费用万元26407.816利润总额万元6522.677净利润万元4892.008所得税万元1630.679增值税万元1412.6510税金及附加万元169.5211纳税总额万元3212.8412工业增加值万元10817.9113盈亏平衡点万元12843.08产值14回收期年5.5515内部收益率24.75%所得税后16财务净现值万元10161.67所得税后十、 主要结论及建议项目产品应用领域广泛，市场发展空间大。本项目的建立投资合理，回收快，市场销售好，无环境污染，经济效益和社会效益良好，这也奠定了公司可持续发展的基础。第四章 建筑工程方

29、案分析一、 项目工程设计总体要求（一）土建工程原则根据生产需要，本项目工程建设方案主要遵循如下原则：1、布局合理的原则。在平面布置上，充分利用好每寸土地，功能设施分区设置，人流、物流布置得当、有序，做到既利于生产经营，又方便交通。2、配套齐全、方便生产的原则。立足厂区现有基础条件，充分利用好现有功能设施，保证水、电供应设施齐全，厂区内外道路畅通，方便生产。在建筑结构设计，严格执行国家技术经济政策及环保、节能等有关要求。在满足工艺生产特性，设备布置安装、检修等前提下，土建设计要尽量做到技术先进、经济合理、安全适用和美观大方。建筑设计要简捷紧凑，组合恰当、功能合理、方便生产、节约用地；结构设计要统

30、一化、标准化、并因地制宜，就地取材，方便施工。（二）土建工程采用的标准为保证建筑物的质量，保证生产安全和长寿命使用，本项目建筑物严格按照相关标准进行施工建设。1、工业企业设计卫生标准2、公共建筑节能设计标准3、绿色建筑评价标准4、外墙外保温工程技术规程5、建筑照明设计标准6、建筑采光设计标准7、民用建筑电气设计规范8、民用建筑热工设计规范二、 建设方案（一）混凝土要求根据混凝土结构耐久性设计规范（GB/T50476）之规定，确定构筑物结构构件最低混凝土强度等级，基础混凝土结构的环境类别为一类，本工程上部主体结构采用C30混凝土，上部结构构造柱、圈梁、过梁、基础采用C25混凝土，设备基础混凝土强

31、度等级采用C30级，基础混凝土垫层为C15级，基础垫层混凝土为C15级。（二）钢筋及建筑构件选用标准要求1、本工程建筑用钢筋采用国家标准热轧钢筋：基础受力主筋均采用HRB400，箍筋及其它次要构件为HPB300。2、HPB300级钢筋选用E43系列焊条，HRB400级钢筋选用E50系列焊条。3、埋件钢板采用Q235钢、Q345钢，吊钩用HPB235。4、钢材连接所用焊条及方式按相应标准及规范要求。（三）隔墙、围护墙材料本工程框架结构的填充墙采用符合环境保护和节能要求的砌体材料（多孔砖），材料强度均应符合GB50003规范要求：多孔砖强度MU10.00，砂浆强度M10.00-M7.50。（四）水

32、泥及混凝土保护层1、水泥选用标准：水泥品种一般采用普通硅酸盐水泥，并根据建（构）筑物的特点和所处的环境条件合理选用添加剂。2、混凝土保护层：结构构件受力钢筋的混凝土保护层厚度根据混凝土结构耐久性设计规范（GB/T50476）规定执行。三、 建筑工程建设指标本期项目建筑面积49259.45，其中：生产工程31827.08，仓储工程7737.70，行政办公及生活服务设施5108.27，公共工程4586.40。建筑工程投资一览表单位：、万元序号工程类别占地面积建筑面积投资金额备注1生产工程9093.4531827.083939.361.11#生产车间2728.049548.121181.811.22

33、#生产车间2273.367956.77984.841.33#生产车间2182.437638.50945.451.44#生产车间1909.626683.69827.272仓储工程3306.717737.70724.712.11#仓库992.012321.31217.412.22#仓库826.681934.42181.182.33#仓库793.611857.05173.932.44#仓库694.411624.92152.193办公生活配套1003.595108.27749.233.1行政办公楼652.333320.38487.003.2宿舍及食堂351.261787.89262.234公共工程31

34、41.374586.40449.11辅助用房等5绿化工程3445.3866.22绿化率12.92%6其他工程6688.0820.527合计26667.0049259.455949.15第五章 产品方案与建设规划一、 建设规模及主要建设内容（一）项目场地规模该项目总占地面积26667.00（折合约40.00亩），预计场区规划总建筑面积49259.45。（二）产能规模根据国内外市场需求和xxx有限责任公司建设能力分析，建设规模确定达产年产xx套半导体前道设备，预计年营业收入33100.00万元。二、 产品规划方案及生产纲领本期项目产品主要从国家及地方产业发展政策、市场需求状况、资源供应情况、企业资

35、金筹措能力、生产工艺技术水平的先进程度、项目经济效益及投资风险性等方面综合考虑确定。具体品种将根据市场需求状况进行必要的调整，各年生产纲领是根据人员及装备生产能力水平，并参考市场需求预测情况确定，同时，把产量和销量视为一致，本报告将按照初步产品方案进行测算。产品规划方案一览表序号产品（服务）名称单位单价（元）年设计产量产值1半导体前道设备套xx2半导体前道设备套xx3半导体前道设备套xx4.套5.套6.套合计xx33100.00随着制程推进和工艺升级，单位产能下设备需求将进一步增加。制程和工艺升级推动芯片复杂度提升，更复杂的结构需要更多的制造工序完成，各类设备的用量显著增加。以刻蚀环节为例，1

36、4nm制程所需使用的刻蚀步骤达到64次，7nm所需刻蚀步骤达140次，较14nm提升118%。设备用量方面，以中芯国际180nm8寸产线和90nm12寸产线所用到的薄膜沉积设备为例，每万片月产能所需的CVD设备、PVD设备分别增加3倍和4倍左右。第六章 选址方案分析一、 项目选址原则节约土地资源，充分利用空闲地、非耕地或荒地，尽可能不占良田或少占耕地；应充分利用天然地形，选择土地综合利用率高、征地费用少的场址。二、 建设区基本情况芜湖，简称“芜”，别称江城，安徽省地级市，长江三角洲中心区27城之一，位于安徽省东南部，长江下游，总面积6026平方千米。截至2020年11月，芜湖市下辖5个区、1个

37、县，代管1个县级市。根据第七次人口普查数据，截至2020年11月1日零时，芜湖市常住人口为3644420人，城镇化率达到72.31%。春秋时，因“湖沼一片，鸠鸟繁多”而名“鸠兹”，属吴国。西汉武帝元封二年（公元前109年）前置县，因“蓄水不深而多生芜藻”始名“芜湖”。1949年5月，成立芜湖市。境内地势西南高东北低，地形呈双翼状。地貌类型多样，平原丘陵皆备，河湖水网密布，长江将市域划分为江南和江北两大片，青弋江、漳河、水阳江、裕溪河贯穿境内，竹丝湖、黑沙湖、龙窝湖、奎湖散布其间。芜湖是华东重要的科研教育基地和工业基地、G60科创走廊中心城市、全国综合交通枢纽、合芜蚌国家自主创新示范区之一。20

38、21年安徽省发布的国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要中提出，支持芜湖打造省域副中心城市，加快“四个名城”建设，高标准推进江北新区和航空新城建设，争创国家产业创新中心，提升城市能级，加快建成长三角具有重要影响力的现代化大城市。“十三五”时期，经济总量在全国地级市排名从“十二五”末的第75位上升到第57位。2020年实现地区生产总值3753亿元，年均增长7.8%。结构调整取得新进展，三次产业结构由“十二五”末的4.957.237.9调整为4.347.648.1，服务业增加值占GDP比重较2015年提高10.2个百分点。中国（安徽）自贸试验区芜湖片区、中国（芜湖）跨境电子商务

39、综合试验区、国家检验检测高技术服务业集聚区正式获批，入选“中国快递示范城市”。深入推进“三重一创”建设，四大支柱产业、战略性新兴产业增加值年均增长7.9%、15.5%。招商引资取得新突破，芜湖（京东）全球航空货运超级枢纽港、旷云智能产业科技园、LNG内河接收（转运）站、阿里云老船厂智慧港等一批重大项目签约落户，全社会累计固定资产投资年均增长9.4%。入选中国改革开放40周年发展最成功的40座城市，获批国家自主创新示范区和国家创新型城市。城市创新能力位居全国创新型城市第25位，累计引进高层次人才团队422个，R&D经费占GDP比重由2.8%提高到3.1%。高新技术企业和国家科技型中小企业数量均突

40、破1000家。省级以上研发机构423家。省级以上科技企业孵化器、众创空间42家，其中国家级11家。中国科学技术大学智慧城市研究院、西安电子科技大学芜湖研究院建成运营。金融保障能力不断增强，获批深化民营和小微企业金融服务综合改革试点城市、国家产融合作试点城市，新增新三板挂牌企业42家，上市公司总数达22家，总市值居全省第一、长三角第七。锚定2035年远景目标，实现“两个更大”的重要指示，到“十四五”末，在发展质量和效益明显提升的基础上，经济总量迈上一个新台阶。人均地区生产总值基本达到长三角平均水平，发展质量核心指标稳居长三角第一方阵，经济总量力争进入全国50强，努力在构建新发展格局中实现更大作为

41、，在加快建设经济强、百姓富、生态美的新阶段现代化美好安徽上作出芜湖更大贡献。新发展格局带来重大机遇。我国正加快构建以国内大循环为主体、国内国际双循环相互促进的新发展格局。具有枢纽优势的芜湖在融入新发展格局中有着独到优势，将迎来资源要素加速流动、资源配置效率加速提升的契机，有利于进一步深化供给侧结构性改革和需求侧改革，有利于新动能培育，有利于芜湖空水公铁多式联运大物流枢纽构建，加快融入区域产业链、供应链和创新链，塑造竞争新优势。新发展平台带来重大机遇。长江经济带、长三角一体化、中部崛起，以及“三区两圈一廊”等重大战略叠加实施，安徽自贸试验区芜湖片区、江北新区、全域孵化区等重大平台加快建设，芜湖发

42、展的政策环境和平台支撑进一步改善，为芜湖全面对接长三角世界级产业集群、世界级机场群和港口群，高质量融入区域发展大局带来良机，有利于芜湖在更宽领域、更高层次参与开放发展，加快打造改革开放新高地。新发展定位带来重大机遇。省委“十四五”规划建议明确，支持芜湖建设省域副中心城市和长三角具有重要影响力的现代化大城市。新发展定位要求芜湖勇当“皖江崛起排头兵，五大发展先行者”，在美好安徽建设中作出更大贡献，在要素集聚、新兴产业培育、科技创新、交通物流枢纽建设等方面取得更大作为。这为芜湖优化城市空间布局，提升城市能级，实现高质量发展走在全省前列提供了前所未有的时代机遇。三、 充分利用好国际国内市场和资源加快外

43、贸发展。支持汽车、电子电器、电线电缆、材料等优势产业扩大进出口业务。发挥装备制造业优势，按照“龙头企业做品牌、中小企业做配套”的思路，引导和鼓励企业着力提高产品技术含量，抢占国际市场。实施内外销产品“同线同标同质”工程，推进内贸外贸、线上线下一体融合。以芜湖特色优势农产品为重点，推行标准化生产、集约化经营、链条式管理模式，提升农产品精深加工能力和特色发展水平，扩大高附加值农产品出口。提升现有展会专业化、市场化、国际化运作水平，办好中国（芜湖）科普产品博览交易会、中国（芜湖）国际动漫创意产业交易会、中国（芜湖）通航设计制造大会，利用好进博会、广交会、世界制造业大会等展会，支持企业开拓国际市场。推

44、动外贸结构优化。高效发展进口贸易，扩大先进技术、重要装备和关键零部件进口。支持能源资源产品进口，鼓励优质消费品进口。加强对外农业产业链供应链建设，扩大国内紧缺和满足消费升级需求的农产品进口。扩大知识技术密集型服务进口和旅游进口。创新发展加工贸易，发挥芜湖综保区政策优势，重点引进电子信息、新型显示、高端装备制造等企业。积极推进文化创意、工程承包、航运物流等服务行业出口。提高外资利用水平。强化产业链招商和要素集聚，大力引进世界500强企业以及产业链优质企业，重点打造装备制造、电子信息、新材料等外商投资先进制造业集群。支持外资企业在芜湖设立地区总部、职能型总部、研发设计中心。拓展利用外资领域，探索扩

45、大服务业开放，落实进一步放宽、取消对境外投资者的资质要求、股比限制、经营范围等准入限制的规定，推动金融、教育、文化、医疗等服务业领域有序开放，积极引进国际商务服务企业，鼓励发展国际中转、国际采购、进口分拨、出口配送等新型物流业态。鼓励外商采取并购、参股、股权出资等方式参与传统制造业企业转型升级、企业改组改造和兼并重组，以及基础设施建设运营。四、 提升产业链供应链现代化水平推进“芜湖制造”率先迈向中高端。充分发挥5G、大数据、云计算、人工智能等新一代信息技术赋能作用，推动“芜湖制造”迈向“芜湖智造”。实施技改“双百”工程，以产业链重构和价值链提升为重点，以奇瑞集团、海螺集团、新兴铸管等企业为引领，全力推动传统产业转型。积极主动对接长三角创新资源，大力推动“三重一创”建设，加快发展新能源及智能网联汽车、航空、增材制造（3D打印）、线上经济等产业。建立产业链稳定发展长效机制，深入实施群长制、链长制，推动产业链融通协同发展。到2025年，培育20个左右“群主”企业、“链长”企业，100个左右在行业有较大影响力的“专精特新”和“小巨人”企