福州刻蚀设备项目可行性研究报告_参考范文.docx

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1、泓域咨询/福州刻蚀设备项目可行性研究报告报告说明反应离子刻蚀（RIE）是一种采用化学反应和物理离子轰击去除硅片表面材料的技术，是当前常用技术路径，属于物理和化学混合刻蚀。在传统的反应离子刻蚀机中，进入反应室的气体会被分解电离为等离子体，等离子体由反应正离子、自由基、反应原子等组成。反应正离子会轰击硅片表面形成物理刻蚀，同时被轰击的硅片表面化学活性被提高，之后硅片会与自由基和反应原子形成化学刻蚀。这个过程中由于离子轰击带有方向性，RIE技术具有较好的各向异性。根据谨慎财务估算，项目总投资43167.22万元，其中：建设投资31519.03万元，占项目总投资的73.02%；建设期利息828.13万

2、元，占项目总投资的1.92%；流动资金10820.06万元，占项目总投资的25.07%。项目正常运营每年营业收入93100.00万元，综合总成本费用77025.73万元，净利润11740.43万元，财务内部收益率19.78%，财务净现值8921.89万元，全部投资回收期6.19年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。本项目生产所需的原辅材料来源广泛，产品市场需求旺盛，潜力巨大；本项目产品生产技术先进，产品质量、成本具有较强的竞争力，三废排放少，能够达到国家排放标准；本项目场地及周边环境经考察适合本项目建设；项目产品畅销，经济效益好，抗风险能力强，社会效益显著，符合

3、国家的产业政策。本报告为模板参考范文，不作为投资建议，仅供参考。报告产业背景、市场分析、技术方案、风险评估等内容基于公开信息；项目建设方案、投资估算、经济效益分析等内容基于行业研究模型。本报告可用于学习交流或模板参考应用。目录第一章 市场预测8一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术8二、 高密度等离子体刻蚀9第二章 项目背景及必要性11一、 反应离子刻蚀11二、 等离子体刻蚀面临的问题11三、 项目实施的必要性12第三章 项目概况13一、 项目名称及投资人13二、 编制原则13三、 编制依据13四、 编制范围及内容14五、 项目建设背景15六、 结论分析15主要经济指标一览表17第四章 建筑工程说

4、明19一、 项目工程设计总体要求19二、 建设方案21三、 建筑工程建设指标21建筑工程投资一览表22第五章 项目选址24一、 项目选址原则24二、 建设区基本情况24三、 推动产业链供应链优化升级，加快构建现代产业体系27四、 坚持创新驱动发展，全面建设创新型省会城市31五、 项目选址综合评价33第六章 运营模式34一、 公司经营宗旨34二、 公司的目标、主要职责34三、 各部门职责及权限35四、 财务会计制度38第七章 发展规划45一、 公司发展规划45二、 保障措施49第八章 SWOT分析52一、 优势分析（S）52二、 劣势分析（W）53三、 机会分析（O）54四、 威胁分析（T）54

5、第九章 人力资源配置分析60一、 人力资源配置60劳动定员一览表60二、 员工技能培训60第十章 工艺技术方案分析63一、 企业技术研发分析63二、 项目技术工艺分析65三、 质量管理66四、 设备选型方案67主要设备购置一览表68第十一章 进度实施计划69一、 项目进度安排69项目实施进度计划一览表69二、 项目实施保障措施70第十二章 节能分析71一、 项目节能概述71二、 能源消费种类和数量分析72能耗分析一览表72三、 项目节能措施73四、 节能综合评价74第十三章 投资估算76一、 投资估算的依据和说明76二、 建设投资估算77建设投资估算表81三、 建设期利息81建设期利息估算表8

6、1固定资产投资估算表82四、 流动资金83流动资金估算表84五、 项目总投资85总投资及构成一览表85六、 资金筹措与投资计划86项目投资计划与资金筹措一览表86第十四章 经济收益分析88一、 基本假设及基础参数选取88二、 经济评价财务测算88营业收入、税金及附加和增值税估算表88综合总成本费用估算表90利润及利润分配表92三、 项目盈利能力分析92项目投资现金流量表94四、 财务生存能力分析95五、 偿债能力分析95借款还本付息计划表97六、 经济评价结论97第十五章 风险分析98一、 项目风险分析98二、 项目风险对策100第十六章 招标、投标103一、 项目招标依据103二、 项目招标

7、范围103三、 招标要求103四、 招标组织方式104五、 招标信息发布107第十七章 总结108第十八章 补充表格109主要经济指标一览表109建设投资估算表110建设期利息估算表111固定资产投资估算表112流动资金估算表112总投资及构成一览表113项目投资计划与资金筹措一览表114营业收入、税金及附加和增值税估算表115综合总成本费用估算表116固定资产折旧费估算表117无形资产和其他资产摊销估算表117利润及利润分配表118项目投资现金流量表119借款还本付息计划表120建筑工程投资一览表121项目实施进度计划一览表122主要设备购置一览表123能耗分析一览表123第一章 市场预测一

8、、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术刻蚀设备处于半导体产业链上游环节。半导体产业链的上游由为设计、制造和封测环节提供软件及知识产权、硬件设备、原材料等生产资料的核心产业组成。半导体产业链的中游可以分为半导体芯片设计环节、制造环节和封装测试环节。半导体产业链的下游为半导体终端产品以及其衍生的应用、系统等。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确的复制掩模图形。刻蚀是指使用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，并保证有图形的光刻胶在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀。常用来代表刻蚀效率的参数主要有：刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差和选择比等。刻蚀速率指刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度；刻蚀剖面指的是

9、刻蚀图形的侧壁形状，通常分为各向同性和各向异性剖面；刻蚀偏差指的是线宽或关键尺寸间距的变化，通常由横向钻蚀引起；选择比指的是同一刻蚀条件下两种材料刻蚀速率比，高选择比意味着不需要的材料会被刻除。刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀，其中干法刻蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法，湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂，相对于干法刻蚀，容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中，并在刻蚀率、微粒损伤等方面具有较大的优势。目前先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体

10、刻蚀技术。一个等离子体刻蚀机的基本部件包括发生刻蚀反应的反应腔、产生等离子体气的射频电源、气体流量控制系统、去除生成物的真空系统。刻蚀中会用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅，氯和氟刻蚀铝，氯、氟和溴刻蚀硅，氧去除光刻胶。二、 高密度等离子体刻蚀在先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。根据产生等离子体方法的不同，等离子体刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀（CCP）、电感性等离子体刻蚀(ICP)、电子回旋加速震荡（ECR）和双等离子体源。电子回旋加速震荡（ECR）反应器是最早商用化的高密度等离子体反应器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研

11、究的，第一次使用是在20世纪80年代初。它在现代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸图形的刻蚀。ECR反应器的一个关键是磁场平行于反应剂的流动方向，这使自由电子由于磁力作用做螺旋形运动。增加了电子碰撞的可能性，从而产生高密度的等离子体。优点在于能产生高的各向异性刻蚀图形，缺点是设备复杂度较高。耦合等离子体刻蚀机包括电容耦合（CCP）与电感耦合（ICP），相比ECR结构简单且成本低。电容耦合等离子体刻蚀机（CCP）通过电容产生等离子体，而电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）通过螺旋线圈产生等离子体。硅片基底为加装有低功率射频偏置发生器的电源电极，用来控制轰击硅片表面离子的能量，从而使得整个装置能

12、够分离控制离子的能量与浓度。电容性等离子体刻蚀（CCP）主要是以高能离子在较硬的介质材料上，刻蚀高深宽比的深孔、深沟等微观结构；而电感性等离子体刻蚀（ICP）主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的和较薄的材料。这两种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。双等离子体源刻蚀机主要由源功率单元、上腔体、下腔体和可移动电极四部分组成。这一系统中用到了两个RF功率源。位于上部的射频功率源通过电感线圈将能量传递给等离子体从而增加离子密度，但是离子浓度增加的同时离子能量也随之增加。下部加装的偏置射频电源通过电容结构能够降低轰击在硅表面离子的能量而不影响离子浓度，从而能够更好地控制刻蚀速率与选择比。第二章

13、 项目背景及必要性一、 反应离子刻蚀反应离子刻蚀（RIE）是一种采用化学反应和物理离子轰击去除硅片表面材料的技术，是当前常用技术路径，属于物理和化学混合刻蚀。在传统的反应离子刻蚀机中，进入反应室的气体会被分解电离为等离子体，等离子体由反应正离子、自由基、反应原子等组成。反应正离子会轰击硅片表面形成物理刻蚀，同时被轰击的硅片表面化学活性被提高，之后硅片会与自由基和反应原子形成化学刻蚀。这个过程中由于离子轰击带有方向性，RIE技术具有较好的各向异性。二、 等离子体刻蚀面临的问题随着当前先进芯片关键尺寸的不断减小以及FinFET与3DD等三维结构的出现，不同尺寸的结构在刻蚀中的速率差异将影响刻蚀速率

14、，对于高深宽比的图形窗口来说，化学刻蚀剂难以进入，反应生成物难以排出。另外，薄膜堆栈一般由多层材料组成，不同材料的刻蚀速率不同，很多刻蚀工艺都要求具有极高的选择比。第三个问题在于当达到期望深度之后，等离子体中的高能离子可能会导致硅片表面粗糙或底层材料损伤。干法刻蚀通常不能提供对下一层材料足够高的刻蚀选择比。在这种情况下，一个等离子体刻蚀机应装上一个终点检测系统，使得在造成最小的过刻蚀时停止刻蚀过程。当下一层材料正好露出来时，重点检测器会触发刻蚀机控制器而停止刻蚀。三、 项目实施的必要性（一）提升公司核心竞争力项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金将提高公司应对短期流动

15、性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。第三章 项目概况一、 项目名称及投资人（一）项目名称福州刻蚀设备项目（二）项目投资人xx投资管理公司（三）建设地点本期项目选址位于xx（以最终选址方案为准）。二、 编制原则为实现产业高质量发展的目标，报告确定按如下原则编制：1、认真贯彻国家和地方产业发展的总体思路：资源综合利用、节约能源、提高社会效益和经济效益。2、严格执行国家、地方及主管部门制定的环保、职业安全卫生、消防和节能设计规定、规范及标准。3、积极采用新工艺、新

16、技术，在保证产品质量的同时，力求节能降耗。4、坚持可持续发展原则。三、 编制依据1、中华人民共和国国民经济和社会发展“十三五”规划纲要；2、建设项目经济评价方法与参数及使用手册（第三版）；3、工业可行性研究编制手册；4、现代财务会计；5、工业投资项目评价与决策；6、国家及地方有关政策、法规、规划；7、项目建设地总体规划及控制性详规；8、项目建设单位提供的有关材料及相关数据；9、国家公布的相关设备及施工标准。四、 编制范围及内容1、项目提出的背景及建设必要性；2、市场需求预测；3、建设规模及产品方案；4、建设地点与建设条性；5、工程技术方案；6、公用工程及辅助设施方案；7、环境保护、安全防护及节

17、能；8、企业组织机构及劳动定员；9、建设实施与工程进度安排；10、投资估算及资金筹措；11、经济评价。五、 项目建设背景刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确的复制掩模图形。刻蚀是指使用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，并保证有图形的光刻胶在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀。六、 结论分析（一）项目选址本期项目选址位于xx（以最终选址方案为准），占地面积约80.00亩。（二）建设规模与产品方案项目正常运营后，可形成年产xxx套刻蚀设备的生产能力。（三）项目实施进度本期项目建设期限规划24个月。（四）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总

18、投资43167.22万元，其中：建设投资31519.03万元，占项目总投资的73.02%；建设期利息828.13万元，占项目总投资的1.92%；流动资金10820.06万元，占项目总投资的25.07%。（五）资金筹措项目总投资43167.22万元，根据资金筹措方案，xx投资管理公司计划自筹资金（资本金）26266.43万元。根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额16900.79万元。（六）经济评价1、项目达产年预期营业收入（SP）：93100.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：77025.73万元。3、项目达产年净利润（NP）：11740.43万元。4、财务内部收益率（FIRR）

19、：19.78%。5、全部投资回收期（Pt）：6.19年（含建设期24个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：39727.98万元（产值）。（七）社会效益本期项目技术上可行、经济上合理，投资方向正确，资本结构合理，技术方案设计优良。本期项目的投资建设和实施无论是经济效益、社会效益等方面都是积极可行的。本项目实施后，可满足国内市场需求，增加国家及地方财政收入，带动产业升级发展，为社会提供更多的就业机会。另外，由于本项目环保治理手段完善，不会对周边环境产生不利影响。因此，本项目建设具有良好的社会效益。（八）主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积53333.00约80.00亩

20、1.1总建筑面积103577.921.2基底面积29866.481.3投资强度万元/亩384.522总投资万元43167.222.1建设投资万元31519.032.1.1工程费用万元27060.422.1.2其他费用万元3455.392.1.3预备费万元1003.222.2建设期利息万元828.132.3流动资金万元10820.063资金筹措万元43167.223.1自筹资金万元26266.433.2银行贷款万元16900.794营业收入万元93100.00正常运营年份5总成本费用万元77025.736利润总额万元15653.917净利润万元11740.438所得税万元3913.489增值税万

21、元3502.9410税金及附加万元420.3611纳税总额万元7836.7812工业增加值万元26106.0913盈亏平衡点万元39727.98产值14回收期年6.1915内部收益率19.78%所得税后16财务净现值万元8921.89所得税后第四章 建筑工程说明一、 项目工程设计总体要求（一）建筑工程采用的设计标准1、建筑设计防火规范2、建筑抗震设计规范3、建筑抗震设防分类标准4、工业建筑防腐蚀设计规范5、工业企业噪声控制设计规范6、建筑内部装修设计防火规范7、建筑地面设计规范8、厂房建筑模数协调标准9、钢结构设计规范（二）建筑防火防爆规范本项目在建筑防火设计中从防止火灾发生和安全疏散两方面考

22、虑。一是防火。所有建筑均采用一、二级耐火等级，室内装修均采用不燃或难燃材料，使火灾不易发生，即使发生也不易迅速蔓延，同时建筑内均设置了消火栓。防火分区面积满足建筑设计防火规范要求。二是疏散。建筑的平面布局、建筑物间距、道路宽度等均应满足防火疏散的要求，便于人员疏散。建筑物的平面布置、空间尺寸、结构选型及构造处理根据工艺生产特征、操作条件、设备安装、维修、安全等要求，进行防火、防爆、抗震、防噪声、防尘、保温节能、隔热等的设计。满足当地规划部门的要求，并执行工程所在地区的建筑标准。（三）主要车间建筑设计在满足生产使用要求的前提下，本着“实用、经济”条件下注意美观的原则，确定合理的建筑结构方案，立面

23、造型简洁大方、统一协调。认真贯彻执行“适用、安全、经济”方针。因地制宜，精心设计，力求作到技术先进、经济合理、节约建设资金和劳动力，同时，采用节能环保的新结构、新材料和新技术。（四）本项目采用的结构设计标准1、建筑抗震设计规范2、构筑物抗震设计规范3、建筑地基基础设计规范4、混凝土结构设计规范5、钢结构设计规范6、砌体结构设计规范7、建筑地基处理技术规范8、设置钢筋混凝土构造柱多层砖房抗震技术规程9、钢结构高强度螺栓连接的设计、施工及验收规程（五）结构选型1、该项目拟选项目选址所在地区基本地震烈度为7度。根据现行建筑抗震设计规范的规定，本项目按当地基本地震烈度执行9度抗震设防。2、根据项目建设

24、的自身特点及项目建设地规划建设管理部门对该区域建筑结构的要求，确定本项目生产车间采用钢结构，采用柱下独立基础。3、建筑结构的设计使用年限为50年，安全等级为二级。二、 建设方案主要厂房在满足工艺使用要求，满足防火、通风、采光要求的前提下，力求做到布置紧凑、节省用地。车间立面造型简洁明快，体现现代化企业的建筑特色。屋面防水、保温尽可能采用质量较高、性能可靠的新型建筑材料。本项目中主要生产车间及仓库均为钢结构，次建筑为砖混结构。考虑当地地震带的分布，工程设计中将加强建筑物抗震结构措施，以增强建筑物的抗震能力。三、 建筑工程建设指标本期项目建筑面积103577.92，其中：生产工程68991.58，

25、仓储工程22325.19，行政办公及生活服务设施8148.54，公共工程4112.61。建筑工程投资一览表单位：、万元序号工程类别占地面积建筑面积投资金额备注1生产工程17919.8968991.589144.561.11#生产车间5375.9720697.472743.371.22#生产车间4479.9717247.902286.141.33#生产车间4300.7716557.982194.691.44#生产车间3763.1814488.231920.362仓储工程7466.6222325.192430.142.11#仓库2239.996697.56729.042.22#仓库1866.655

26、581.30607.532.33#仓库1791.995358.05583.232.44#仓库1567.994688.29510.333办公生活配套1818.878148.541172.773.1行政办公楼1182.275296.55762.303.2宿舍及食堂636.602851.99410.474公共工程2687.984112.61354.82辅助用房等5绿化工程7162.62141.50绿化率13.43%6其他工程16303.9080.237合计53333.00103577.9213324.02第五章 项目选址一、 项目选址原则1、符合城乡规划和相关标准规范的原则。2、符合产业政策、环境保

27、护、耕地保护和可持续发展的原则。3、有利于产业发展、城乡功能完善和城乡空间资源合理配置与利用的原则。4、保障公共利益、改善人居环境的原则。5、保证城乡公共安全和项目建设安全的原则。6、经济效益、社会效益、环境效益相互协调的原则。二、 建设区基本情况福州市，简称“榕”，别称榕城，是福建省省会，批复确定的海峡西岸经济区中心城市之一、滨江滨海生态园林城市。全市共辖6个市辖区、1个县级市、6个县，总面积11968平方千米，建成区面积416平方公里。根据第七次人口普查数据，截至2020年11月1日零时，福州市常住人口为8291268人。2020年，福州实现地区生产总值10020.02亿元，比上年增长5.

28、1%。福州地处中国华东地区、福建东部、闽江下游及沿海地区，中国东部战区陆军机关驻地，是中国东南沿海重要都市、首批对外开放的沿海开放城市、海洋经济发展示范区，海上丝绸之路门户以及中国（福建）自由贸易试验区组成部分；是近代中国最早开放的五个通商口岸之一。福州是国家历史文化名城，最早在秦汉时期名为“冶”，而后因为境内一座福山而更名“福州”。建城于公元前202年，历史上曾长期作为福建的政治中心。福州马尾是中国近代海军的摇篮、中国船政文化的发祥地；曾获中国优秀旅游城市、国家卫生城市、滨江滨海生态园林城市、国家环保模范城、全国双拥模范城市、全国文明城市等称号。2021年，福建省国民经济和社会发展第十四个五

29、年规划和二三五年远景目标纲要，高水平建设福州都市圈，鼓励福州创建国家中心城市，推进福州新区加快建设两岸交流合作重要承载区、改革创新示范区、生态文明先行区、扩大对外开放重要门户、东南沿海重要现代产业基地。全市经济总量连跨4个千亿元台阶，2020年预计突破万亿元，人均GDP突破12.5万元；产业体系更加完备，结构更加优化，主导产业集群发展、规模壮大，数字经济增加值占GDP比重达45%，海洋经济总产值接近三千亿元；新一轮城市升级有力推进，福州新区稳步发展，滨海新城蓄势崛起，长乐撤市设区，滨海城市格局加快形成；省会中心城市地位巩固提升，立体交通网络逐步完善，城市交通迈入地铁时代，综合通道、空港枢纽功能

30、更加凸显；“放管服”改革持续深化，营商环境排名大幅提升，行政审批办理时限压缩比例全国第一，城市信用综合排名跃升全国前列，智慧城市建设全面提速；“一带一路”合作持续拓展，福建自贸区福州片区建设取得积极成效；榕台融合交流持续深化，台胞台企同等待遇政策有效落实，对台工作创造多个全国第一；民生事业水平显著提高，城乡居民收入增速保持高于经济增速，教育、医疗、卫生、文化等发展水平走在全省前列，基本公共服务持续完善，社会保障体系更加健全；高质量打赢脱贫攻坚战，全市建档立卡贫困人口全部脱贫，贫困村、扶贫开发工作重点县提前实现摘帽退出，对口协作成效显著；生态优势更加凸显，生态环境质量保持优良；市域社会治理现代化

31、试点工作加快推进，疫情防控取得重大战略成果，平安福州、法治福州建设持续深化，共建共治共享模式不断健全；全面从严治党向纵深推进，政治生态持续向好。“十三五”规划目标任务即将完成，全面建成小康社会胜利在望，有福之州、幸福之城建设向前推进了一大步，为开启全面建设现代化国际城市新征程奠定了坚实基础。从挑战看，世界百年未有之大变局加速演进，全球经济增长乏力，国际环境不稳定性不确定性前所未有；国内经济发展环境面临深刻复杂变化，全国区域发展分化态势明显，新一轮城市竞逐日趋激烈；我市发展不平衡不充分问题仍然突出，创新能力还不适应高质量发展、产业链发展水平还不高、重点领域改革仍需突破、城乡一体化发展不够协调、城

32、乡居民人均收入水平还不够高、基本公共服务供给尚不均衡等短板亟待提升。从机遇看，伴随着我国经济进入高质量发展阶段，社会主义制度的优势和特色更加凸显；多区叠加政策赋予福州广阔舞台，发展机遇明显增多，省会城市综合优势更加突出，在闽东北区域协同发展中的引擎作用更加明显；随着台海形势变化，我市对台前沿战略地位进一步强化；我市经济基础不断夯实，治理效能持续提升，发展韧性增强，社会和谐稳定；政治生态风清气正，广大干部群众干事创业热情高涨，全方位推动高质量发展超越具备多方面优势和条件。我们必须胸怀“两个大局”，清醒认识、科学把握发展形势，深刻认识重要战略机遇期内涵的新变化新要求，深刻认识全方位推动高质量发展超

33、越的新使命新责任，深刻认识全面建设现代化国际城市的新征程新方向，增强机遇意识和风险意识，在危机中育先机、于变局中开新局，发扬充沛顽强的斗争精神，集中精力办好福州的事。三、 推动产业链供应链优化升级，加快构建现代产业体系推进园区标准化建设。实施工业（产业）园区标准化建设行动，推动产业基础高标准再造，打造产业高质量发展的重要平台和强力引擎。完善园区规划布局，按照分类施策、全面提升原则，强化试点示范，探索不同类型园区建设模式，构建福州特色的园区建设标准体系。开展园区投资质量和集约用地评价工作，提高土地利用效率，保障园区转型升级用地需求。提升园区“七通一平”标准化建设水平，完善科研、产业服务、教育、医

34、疗、商业等配套，打造产城融合的都市型园区。促进“银园对接”、“银企对接”，创新园区建设投融资模式，争取更多金融支持。优化园区管理机制，稳妥推进园区整合，探索委托管理经营等模式，提升管理运营效能。扶引大龙头、培育大集群、发展大产业。坚持把发展经济着力点放在实体经济上，构建质量优、效率高、动力强的现代产业体系。大力培育和引进龙头企业，通过支持技改、扩大投资等方式，扶引一批百亿、千亿级龙头企业。强化以企引企、以商招商，大力引进世界500强、央企民企500强、行业独角兽企业。推进产业延链补链强链，重点围绕新型显示、高端化纤、新能源、生物医药等产业，精准招引一批重大项目，支持龙头企业开展产业链垂直整合和

35、跨区域横向拓展，培育产业大集群。布局建设上下游企业联盟，提升产业基础制造和协作配套能力，推动产业链供应链多元化，发展大产业。完善质量基础设施，加强标准、计量、专利建设。深化跨市域跨行业分工协作，积极与周边城市、“一带一路”沿线国家和地区共建产业链供应链。培育壮大战略性新兴产业。实施战略性新兴产业集群发展工程，全力支持新技术、新业态、新模式创新突破，推动战略性新兴产业发展提速、比重提升。聚焦新一代信息技术，推动互联网、大数据、人工智能等与各产业深度融合、智能网联，打造通讯器件、物联网等生产研究基地；聚焦智能装备与新型材料，重点发展壮大工业机器人、智能专用设备、特种玻璃、功能陶瓷、石墨烯、纺织新材

36、料、高品质特殊钢等高端装备、新型功能材料产业集群；聚焦新能源汽车，立足区域协同，大力引进整车厂及汽车产业链相关项目，形成集汽车制造、销售、服务为一体的产业集聚区，打造东南汽车城；聚焦节能环保，加快推动氢能、风能、核能等产业发展。以“数字福州”建设引领打造数字应用第一城。持续办好“数字中国”建设峰会，积极融入国家数字经济创新发展试验区建设，深入实施数字经济领跑行动，加快形成“芯屏器核网”全产业链和“云联数算用”全要素群的发展格局，培育形成具有领先优势的数字产业集群。加快产业数字化改造，深入实施工业互联网创新发展战略，深入推进智能制造工程和“上云用数赋智”行动，打造数字驱动的产业生态。深化数字应用

37、场景建设，提升各行各业各领域数字化水平，加快“城市大脑”建设，推进公共资源数据汇聚整合、开放利用。加强数字技术、信息安全等基础制度和标准规范建设，全面提升数字安全水平，加强信息保护。提升全民数字技能，实现信息服务全覆盖。以“海上福州”建设推动海洋经济振兴。加快推进国家海洋经济发展示范区建设，推进海洋资源要素市场化配置，开展涉海金融服务模式创新，打造更具竞争力的海洋产业集群，完善智慧海洋体系，建设海洋强市。推进“海上牧场”建设，加快“百台万吨”深远海养殖装备推广使用，支持深水养殖、境外养殖和远洋渔业发展。大力发展海产品精深加工，提高产品附加值，拓展海洋功能食品、生物制品等市场份额。理顺港口管理机

38、制，整合闽江口内港区功能，提升福州港开发建设水平，积极争取拓展港口航线网络，打造世界一流港口，建设丝路海港城。发展临港先进制造业，壮大海洋工程装备制造、生物医药等海洋产业。培育邮轮经济，发展滨海旅游，拓展海洋休闲旅游、文化体验等新兴业态。支持福州海洋研究院等机构建设，推动海洋产业创新发展。以“平台福州”建设提升服务业发展水平。发挥各类平台企业的引领带动作用，实施服务业提质工程，全面提升高端服务业发展水平。大力培育总部经济、现代金融、现代物流、会展经济等载体平台，推动生产性服务业向专业化和价值链高端延伸。加快发展康养、家政、育幼、体育等服务业，培育各类公共服务平台，推动生活性服务业高品质、多样化

39、发展。围绕省会优势产业，打造一批电子商务、工业互联、第三方综合服务等特色平台，加速平台经济集聚发展。加强现代服务业集聚示范区建设，推进现代服务业规模化、数字化、标准化、品牌化。四、 坚持创新驱动发展，全面建设创新型省会城市构建高水平创新平台体系。坚持创新在现代化建设全局中的核心地位，深入实施科教兴市、人才强市、创新驱动发展战略，深入推进国家自主创新示范区福州片区建设，推动形成“一区引领、多园共兴”的创新创造示范基地。坚持以科技创新推动产业结构调整，加大新型研发机构、重大科创平台布局建设力度，高标准建设省光电信息创新实验室、福州大学国家大学科技园，积极筹建柔性电子创新实验室等，争取更多重大科技项

40、目落地福州。优化创新资源布局，串联高新区、软件园、“三创园”及各类开发区，打造环城科创走廊。聚焦主导产业、新兴产业和前沿领域，强化政府引导，加强核心技术攻关。推动科研力量优化配置和资源共享，发挥高校、科研院所、企业创新作用，推进基础研究和应用研究协同发展，促进产学研用深度融合，提高创新链整体效能。实施“名校+”带动战略，支持在榕高校加强与国内外高水平大学、研究院所、实验室等合作，引进优质资源、加快创新发展。坚持生态环境、功能配套、服务管理、办学水平、校园环境、共建共享“六个一流”目标，全力打造全国一流、有影响力的福州大学城。谋划建设中国东南（福建）科学城。培育更具竞争力的创新型企业集群。强化企

41、业创新主体地位，推动各类创新要素向企业集聚，促进创新型企业蓬勃发展。开展企业创新能力提升行动，实施高新技术企业倍增计划，推动科技型企业、高新技术企业和高成长性企业集聚发展，培育一批“专精特新”的领军企业、行业冠军。完善各类基金投资体系，支持企业技术创新、做大做强。完善企业研发投入激励政策，大幅提高规模以上工业企业设立研发机构的比例。支持企业与高校、科研院所组建创新联合体，推动协同创新。发挥大企业引领支撑作用，加强共性技术平台建设，推动产业链上中下游、大中小企业融通创新。发挥企业家在技术创新中的重要作用，推广“以企业家培养企业家”模式，打造优秀企业家队伍，引领带动企业创新发展。激发人才创新创业创

42、造活力。坚持人才引领发展，实施更加积极、开放、有效的人才政策，完善政策落实机制，构建更具竞争力、吸引力的人才发展环境。强化“榕博汇”平台建设，大力推进“百人计划”、“闽都英才”等引才育才行动，引进一批高端人才、科技领军人才等，抓好“侨二代”优秀人才回归。推动产业链、创新链与人才链对接融合，深化校地人才交流合作，强化重大人才工程与重大科技计划相衔接、招商引资与引才引智相协同。构建以创新能力、业绩、贡献为重点的多元化科技人才评价体系，完善人才流动及服务管理机制，构建充分体现知识、技术等创新要素价值的收益分配机制，完善科研人员职务发明成果权益分享机制。健全支持各类人才来榕创新创业举措。加强基础研究和

43、应用人才培养。实施知识更新工程、技能提升行动，壮大高水平工程师和高技能人才队伍。完善科技创新体制机制。深入推进科技体制改革，完善科技创新治理体系，推动重点领域项目、基地、人才、资金一体化配置。改革科技计划形成机制和组织实施机制，健全科技重大专项攻关等制度。健全科技评价、科技开放合作等机制，优化科技奖励项目。加快科研院所改革，扩大科研自主权。开展产业自主知识产权竞争力提升领航计划，加强知识产权创造、保护、运用、管理和服务。实施促进科技成果转化应用工程，培养发展专业化技术转移机构，完善从研发到落地的全链条转化机制。实施全社会研发投入提升行动，财政扶持资金优先支持研发投入强度大的企业，完善对高校、科

44、研院所等长期稳定支持机制。强化金融支持科技创新，调动更多创投基金、民间资本等投向创新领域。弘扬科学精神和工匠精神，营造崇尚创新的社会氛围。五、 项目选址综合评价项目选址应符合城乡建设总体规划和项目占地使用规划的要求，同时具备便捷的陆路交通和方便的施工场址，并且与大气污染防治、水资源和自然生态资源保护相一致。第六章 运营模式一、 公司经营宗旨根据国家法律、法规及其他有关规定，依照诚实信用、勤勉尽责的原则，充分运用经济组织形式的优良运行机制，为公司股东谋求最大利益，取得更好的社会效益和经济效益。二、 公司的目标、主要职责（一）目标近期目标：深化企业改革，加快结构调整，优化资源配置，加强企业管理，建

45、立现代企业制度；精干主业，分离辅业，增强企业市场竞争力，加快发展；提高企业经济效益，完善管理制度及运营网络。远期目标：探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌，提升企业核心竞争力。此外，面向国际、国内两个市场，优化资源配置，实施多元化战略，向产业集团化发展，力争利用3-5年的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的大型企业集团。（二）主要职责1、执行国家法律、法规和产业政策，在国家宏观调控和行业监管下，以市场需求为导向，依法自主经营。2、根据国家和地方产业政策、刻蚀设备行业发展规划和市场需求，制定并组织实施公司的发展战略、中长期发展规划、年度计划和重大经营决策。3、根据国家法律、法规和刻蚀设备行业有关政策，优化配置经营要素，组织实施重大投资活动，对投入产出效果负责，增强市场竞争力，促进区域内刻蚀设备行业持续、快速、健康发展。4、深化企业改革，加快结构调整，转换企业经营机制，建立现代企业制度，强化内部管理，促进企业可持续发展。5、指导和加强企业思想政治工作和精神文明建设，统一管理公司的名称、商标、商誉等无形资产，搞好公司企业文化建设。6、在保证股东企业合法权益和自身发展需要的前提下，公司可依照公司法等有关规定，集中资产收益