2022年半导体集成电路复习总结.docx
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1、精选学习资料 - - - - - - - - - 学习必备 欢迎下载1、 隐埋层杂质的挑选原就;杂质固溶度大,以使集电极串联电阻降低;高温时在硅中的扩散系数要小,以减小外延时隐埋层杂质上推到外延层的距离;与硅衬底晶格匹配好,以较小应力因此最抱负的隐埋层杂质是砷(As)2、 外延层厚度包括哪几个部分,公式里的四项分别指什么?延层厚度应满意 TepiXjc+Xmc+TBL-up+Tepi-ox 集区扩散结深 Xjc 、集电极耗尽区宽度 Xmc、埋层扩散上推距离 TBL-up 和为外延淀积 tepi-ox; 后各道工序生成的氧化层所消耗的外延层的厚度 3、 双极集成电路工艺中的七次光刻和四次扩散分别
2、指什么?七次光刻 :N+隐埋层扩散孔光刻;P+隔离扩散孔光刻;P型基区扩散孔光刻;N+发射区扩散孔光刻;引线接触孔光刻;金属化内连线光刻;压焊块光刻;四次扩散 :隐埋层扩散;P 型隔离扩散; P型基区扩散; N+发射区扩散;4、 集成和分立的双极型晶体管结构上有何区分?在 pn 结隔离工艺中,典型 NPN集成晶体管的结构是四层三结构,(NPN管高浓度 N型扩散发射区, NPN管 P型扩散基区, n 型外延层( PNP管集电极),p 型衬底 EB 结 BC结 CS结)而分立的是三层二结结构 5、 扩散电阻最小条宽的确定原就;(P58)设计规章打算的最小扩散条宽 Wmin 工艺水平和电阻精度要求所
3、打算的最小电阻条宽 Wr,min 流经电阻的最大电流打算 Wr,min 分析了对电阻最小条宽的三种限制,在设计扩散电阻的最小条宽时应取其中最大的一个 6、 SBD与一般二极管的相比,有哪些特点?SDB的正向导通压降 Uth 小; SDB是多子导电器件,转变电压时,响应速度快;小注入时 SBD的反向饱和电流 Ids 大; SDB正向电压温度系数小;7、 集成电阻器和电容器的优缺点;(P55)优点: 元件间的匹配及温度跟踪好 可制作范畴有限,不能太大,也不能太小;缺点: 精度低,肯定误差大;温度系数较大;占用的芯片面积大,成本高;11、横向 PNP管的直流电流放大倍数小的缘由;P31-34 存在纵
4、向 PNP的影响 在图形设计上削减发射区面积与周长之比 A. B 在工艺上可采纳增大结深及采纳埋层工艺等方法 横向 PNP管本身结构上的限制 A. 其横向平均基区宽度不行能做得太小 B. 发射极注入效率低 C. 表面复合影响大 12、减小 NPN晶体管中的集电极串联电阻 r CS的方法;(P24)在工艺设计上,采纳加埋层的方法以减小rcs ,在满意工作电压要求情形下减小外名师归纳总结 延层电阻率和厚度,采纳深N+集电极接触扩散以减小rcs ;第 1 页,共 6 页在版图设计上,电极次序采纳BEC排列来减小LEC ,以减小 rc2 ,采纳双集电极或马蹄形集电极图形减小rc2 ,但芯片面积及寄生电
5、容增大了;- - - - - - -精选学习资料 - - - - - - - - - 学习必备 欢迎下载13、衬底 PNP的特点;(P37)纵向 PNP管的 C区为整个电路的公共衬底,直流接最负电位,沟通接地; 适用范畴有限,只能用作集电极接最负电位的射极跟随器;晶体管作用发生在纵向,各结面较平整, 发射区面积可以做得较大,工作电流比横向PNP大; 由于衬底作集电区,所以不存在有源寄生效应,故可以不用埋层;外延层作基区,基区宽度较大,且硼扩散 运系数和发射效率较低,电流增益较低;p 型发射区的方块电阻较大,因此基区输由于一般外延层电阻率 epi 较大,使基区串联电阻较大;14、集成二极管中最常
6、用的是哪两种,详细什么特点?(P40)集成齐纳二极管:反向工作的 BC短接二极管, 没有寄生 PNP效应, 且储存时间最短,正向压降低;次表面齐纳管:单独BC结二极管,不需要发射结,面积可以做得很小,结电容小,开关时间短,正向压降也很低,且击穿电压高 15、 SCT的工作特点?(P43)(1)当 SCT工作于正向工作区或截止区时,有(VBE0 VBC0 或 VBE0 VBC0,此时又可分为两种情形:VBC小于 SBD的导通压降, SBD仍未导通,所以 I B,=I B;VBC大于 SBD的导通压降,于是 SBD导通, IB被分流,晶体管的 VBC被钳位 0.45V 16、 MOS集成电路工艺中
7、提高场开启电压的方法?(P46)加厚场氧化层的初始厚度,并严格掌握随后加工中的腐蚀量;1.在场区注入 (或扩散) 与衬底同型的杂质,以提高衬底表面浓度,但掺入杂质要适当;CMOS反相器设计采纳两种准就:对称波形设计准就;准对称波形准就;3饱和 E/E 自举反相器的输出高电平比电源电压低一个开启电压;耗尽负载反相器,负载管为耗尽型 MOSFET,其栅源短接;4. 有比反相器和无比反相器(P119)有比反相器 在输出低电平常, 驱动管和负载管同时导通,其输出低电平由驱动管的导通电阻 RON和负载管的等效电阻 REL的分压打算; 为了保持足够低的低电平,两个等效电阻应保持肯定的比值;无比反相器 在输
8、出低电平常,只有驱动管导通,负载管是截止的,在抱负的情形下,其输出低电公平于零;5 什么是导电因子,其值是多少?名师归纳总结 导电因子 :k1COXWP122)第 2 页,共 6 页2L6 CMOS反相器三个工作区之间的关系(- - - - - - -精选学习资料 - - - - - - - - - 8.CMOS反相器功耗的组成?(学习必备欢迎下载P129)由动态功耗PD和静态功耗 Ps 组成;PA 负载电容的充电和放电造成的功耗PT;动态功耗:开关瞬态电流造成的功耗静态功耗:反向漏电流造成的功耗;9. 噪声容限是指与输入输出特性亲密相关的参数. 通常用低噪声容限和高噪声容限来确定 高电平噪声
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