光电检测技术第三章光电检测器件教学提纲.ppt
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1、光电检测技术第三章光电光电检测技术第三章光电检测器件检测器件第三章:光电检测器件第一节 光电检测器件的基本特性参数一、有关响应方面的特性参数二、有关噪声方面的参数三、其它参数第二节 真空光电探测器件一、光电发射材料二、光电倍增管第三节 半导体光电检测器件一、光敏电阻二、光电池三、光敏二极管四、光敏三极管第四节 各种光电检测器件的性能比较和应用选择一、接收光信号的方式二、各种光电检测器件的性能比较三、光电检测器件的应用选择光电检测器件 根据光电检测器件对辐射的作用方式的不同(或说工作机理的不同),可分为光子检测器件和热电检测器件两大类。光电检测器件和热电检测器件比较:1、热电检测器件:响应波长无
2、选择性。即它对从可见光到远红外的各种波长的辐射同样敏感;响应慢。即吸收辐射产生信号需要的时间长,一般在几毫秒以上。如:热释电探测器、热敏电阻、热电偶和热电堆等。光电检测器件2、光电检测器件:响应波长有选择性。因这些器件都存在某一截止波长,超过此波长,器件无响应;响应快。一般为纳秒到几百微秒。非放大型 如:真空光电管外光电效应 放大型 如:光电倍增管 光电导效应 如:光敏电阻内光电效应 非放大型 光二、光电池 光生伏特 放大型 光三、场效应管、雪崩光电二极管光电检测器件光电检测器件光子器件光子器件光子器件光子器件热电器件热电器件热电器件热电器件真空器件真空器件真空器件真空器件固体器件固体器件固体
3、器件固体器件u光电管u光电倍增管u真空摄像管u变像管u像增强管u光敏电阻u光电池u光电二极管u光电三极管u光纤传感器u电荷耦合器件CCDu热电偶/热电堆u热辐射计/热敏电阻u热释电探测器光电检测器件第一节:光电检测器件的基本特征参数一、有关响应方面的特性参数1响应度(或称为灵敏度)-光电转换效能 光电探测器输出信号(输出电压或输出电流)与输入辐射功率或光通量之比。一定入射光功率下,探测器输出电压或电流,可分为电压响应度或电流响应度。用公式表示如下:入射光功率光电检测器件注:对于一个给定器件,入射光波长不同,灵敏度将不同,因此又有光谱响应度和积分响应度。2、光谱响应度 入射到探测器上的单色辐通量
4、(光通量)所对应的光电探测器的输出电压或输出电流。对应的值越大,表明探测器愈灵敏。或光电检测器件3、积分响应度 表明探测器对连续辐射通量的反应程度;为器件的短波限;为器件的长波限。积分得连续辐射量产生的电流:光电检测器件4、响应时间 描述光电探测器对入射辐射响应快慢的一个参数。即驰豫,当入射辐射到光电探测器后或入射辐射遮断后,光电探测器的输出上升到稳定值或下降到照射前的值所需时间称为响应时间。上升时间:从l0上升到90峰值处所需的时间。下降时间:从90下降到10处所需的时间。如图21:光电检测器件5、频率响应 光电探测器的响应随入射辐射的调制频率而变化的特性称为频率响应,利用时间常数可得到光电
5、探测器响应度与入射调制频率的关系,且时间常数决定了光电深酗器频率响应的带宽。光电探测器的响应随入射辐射的调制频率而变化的特性。其关系如下:10.707ff上频率响应曲线上限截止频率光电检测器件二、有关噪声方面的参数(内部噪声)对这些随时间而起伏的噪声电压(流)按时间取平均值,则平均值等于零。但这些值的均方根不等于零,这个均方根电压(流)称探测器的噪声电压(流)。1、光电探测器件的噪声热噪声 或称约翰逊噪声,即载流子无规则的热运动造成的噪声。导体或半导体中每一电子都携带着电子电量作随机运动(相当于微电脉冲),尽管其平均值为零,但瞬时电流扰动在导体两端会产生一个均方根电压,称为热噪声电压。热噪声存
6、在于任何电阻中;热噪声与温度成正比;与频率无关。是白噪声。光电检测器件散粒噪声 或称散弹噪声,即穿越势垒的载流子的随机涨落(统计起伏)所造成的噪声。在每个时间间隔内,穿过势垒区的载流子数或从阴极到阳极的电子数都围绕一平均值上下起伏。同样是白噪声。产生复合噪声 载流子的产生率与复合率在某个时间间隔也会在平均值上下起伏。这种起伏导致载流子浓度的起伏,从而也产生均方噪声电流。频率越低,电流较大时,该噪声就越大。光电检测器件1/f噪声-或称闪烁噪声或低频噪声 这种噪声是由于光敏层的微粒不均匀或不必要的微量杂质的存在,当电流流过时在微粒问发生微火花放电而引起的微电爆脉冲。频率越低,噪声越大。2、衡量噪声
7、的参数信噪比(SN)判断噪声大小的参数,常用分贝表示(dB)。在负载上产生的信号功率与噪声功率之比。若用分贝(dB)表示,为:光电检测器件 注:利用SN评价两种光电器件性能时,必须在信号辐射功率相同的情况下才能比较。但对单个光电器件,其SN的大小与入射信号辐射功率及接收面积有关。如果入射辐射强,接收而积大,SN就大,但性能不一定就好。因此用此参数评价器件有一定的局限性。等效噪声输入(ENl)-器件在特定带宽内(1Hz)产生的均方根信号电流恰好等于均方根噪声电流值时的输入通量。在确定光电器件的探测极限时使用,出厂前标定好了的,设计电路时或选择器件时直接使用。光电检测器件噪声等效功率(NEP)-最
8、小可探测功率 信号功率=噪声功率,即S/N=1时,入射到探测器件上的辐射通量(单位为瓦)。NEP越小,噪声越小,器件的性能越好。光电检测器件探测率D与归一化探测率D*D越高,器件性能越好。为了在不同带宽内对测得的不同的光敏面积的探测器件进行比较,使用了归一化探测率(比探测率)D*这参数。暗电流 即光电检测器件在没有输入信号和背景辐射时所流过的电流(加电源时)。一般测量其直流值或平均值。光敏面积测量带宽光电检测器件三、其他参数1、量子效率 某一特定波长上每秒钟内产生的光电子数与入射光量子数之比。,一个光量子对应一个电子或产生一个电子-空穴对。实际上,对于有增益的光电器件(如光电倍增管),则 ,此
9、时改用增益或放大倍数这个参数。光电检测器件2、线性度 描述探测器的光电特性或光照特性曲线输出信号与输入信号保持线性关系的程度。即在规定的范围内,探测器的输出电量精确地正比于输入光量的性能。在这规定的范围内探测器的响应度是常数。这一规定的范围称为线性区。光电探测器线性区的大小与探测器后的电子线路有很大关系。因此要获得所要的线性区,必须设计有相应的电子线路。光电检测器件 线性区的下限一般由器件的暗电流和噪声因素决定;上限由饱和效应或过载决定。光电探测器的线性区还随偏置、辐射调制及调制频率等条件的变化而变化。3、工作温度 光电探测器最佳工作状态时的温度,它是光电探捌器的重要性能参数之一。光电检测器件
10、第二节:真空光电探测器件一、光电发射材料 材料种类:纯金属材料、半导体材料,表面吸附其他元素的金属。良好的光电发射材料的具备条件:光吸收系数大;光电子在体内传输过程中受到的能量损失小,使其逸出深度大;表而势垒低,使表面逸出几率大。光电检测器件金属材料的特点:反射系数大(约为99),吸收系数小;自由电子多,由碰撞引起的能量散射损失大、逸出深度小,逸出功大。因此量子效率较低;光谱响应都在紫外或远紫外区,只能适应对紫外灵敏的光电器件。光电检测器件半导体材料的特点:半导体光发射材料的光吸收系数比金属要大得多;体内自由电子少,散射能量损失小,所以它的量子效率比金属大得多;光发射波长延伸至可见光和近红外区
11、。绝大多数光源是可见光或近红外。1、常用的经典光电发射材料银氧铯阴极(Ag-O-Cs)响应度波长1.2图1 Ag-O-Cs光电阴极光谱响应曲线红外段唯一可用材料,但量子效率低,暗电流大0.350.8锑铯阴极(CsSb)响应度波长图2 Cs-Sb光电阴极光谱响应曲线蓝光区量子效率高达30%,比AgOCs效率高30倍,长波限在0.7微米左右,积分响应度可达70150微安每流明,但光谱响应范围较窄对红光红外不灵敏多碱光电阴极多碱光电阴极A A、锑钾钠光电阴极:响应度可达、锑钾钠光电阴极:响应度可达5050100100 A/lmA/lm,在,在0.4 0.4 m m处量子效率达处量子效率达2525,能
12、耐高温;,能耐高温;B B、锑钾钠铯光电阴极:峰值响应度波长在、锑钾钠铯光电阴极:峰值响应度波长在0.420.42微米附微米附近,峰值响应度可达近,峰值响应度可达230230 A/lmA/lm,量子效率高;响应,量子效率高;响应范围较宽。范围较宽。碲化铯(紫外)光电阴极:对太阳地表面辐射不碲化铯(紫外)光电阴极:对太阳地表面辐射不敏感,响应范围敏感,响应范围100100280nm280nm;长波限在;长波限在290290320320微微米。米。2、负电子亲和势(NEA)材料 1963年由Simom提出的负电子亲和势理论,并于Scheer等人研制的第一个GaAs-Cs负电子亲和势光电阴极。NEA
13、与光电阴极发射的区别:n n参与发射的电子是导带的“冷”或“热化”电子;n nNEA阴极重导带的电子逸入真空不需做功;n nNEA是指半导体内的有效值。特点:n n高吸收,低反射性质;高吸收,低反射性质;n n高量子效率,可达高量子效率,可达50506060,长波限可达,长波限可达9 9;n n光谱响应可达光谱响应可达1 1 m m以上;以上;n n“冷冷”电子发射光谱能量分布较集中,接近高斯分电子发射光谱能量分布较集中,接近高斯分布;布;n n光谱响应较为平坦;光谱响应较为平坦;n n暗电流小,从室温冷却到暗电流小,从室温冷却到2020摄氏度时,暗电流下摄氏度时,暗电流下降降3 3个数量级;
14、个数量级;n n在可见、红外区,能获得高响应度(在可见、红外区,能获得高响应度(2 2微安每流明),微安每流明),紫外区不突出;紫外区不突出;n n工艺复杂,造价昂贵。工艺复杂,造价昂贵。采用特殊工艺,例如在重掺杂P型硅表面涂一薄层CsO2,可形成NEA材料。负电子亲和势是指体内的有效电子亲和势,而不是指表面电子亲和势。NEA发射体和常规光电发射体的表面,电子状态是类似的,导带底上的电子能量都低于真空能级,其差值为Ea。但是,两者体内电子能量则不同。NEA发射体导带底的电子能量高于真空能级,而常规发射体电子亲和势仍是正的。NEA阴极的量子效率高于正电子亲和势阴极,可从其光电发射过程进行分析。价
15、带中的电子吸收光子能量,跃迁到导带底以上,成为热电子(受激电子能量超过导带底的电子)。在向表面运动的过程中,由于碰撞散射而发生能量损失,故很快就落到导带底而变成冷电子(能量恰好等于导带底的电子)。热电子的平均寿命非常短,约 10e-1410e-12s。如果在这么短的时间内能够运动到真空界面,自然能逸出。但是热电子的逸出深度只有几十纳米,绝大部分电子来不及到达真空界面,就已经落到导带底变成冷电子了。冷电子的平均寿命比较长,约 10e-910e-8s,其逸出深度可达1000纳米。因为体内冷电子能量仍高于真空能级,所以它们运动到真空界面时,可以很容易地逸出。因此NEA量子效率比常规发射体高得多。光电
16、检测器件二、光电倍增管(Photo-Multiple Tube)1、光电管(真空光电管)真空型充气型 真空光电管已基本被半导体光电器件取代,不再作详细介绍。光电检测器件光电倍增管(R928)光电倍增管BB49-CR162 光电检测器件2、光电倍增管工作原理 基于外光电效应和二次电子发射效应的电子真空器件。它利用二次电子发射使逸出的光电子倍增,获得远高于光电管的灵敏度,能测量微弱的光信号。光电倍增管包括阴极室和由若干打拿极组成的二次发射倍增系统两部分(见图)。光电检测器件 阴极室的结构与光阴极K的尺寸和形状有关,它的作用是把阴极在光照下由外光电效应(见光电式传感器)产生的电子聚焦在面积比光阴极小
17、的第一打拿极D1的表面上。二次发射倍增系统是最复杂的部分。打拿极主要选择那些能在较小入射电子能量下有较高的灵敏度和二次发射系数的材料制成。常用的打拿极材料有锑化铯、氧化的银镁合金和氧化的铜铍合金等。打拿极的形状应有利于将前一级发射的电子收集到下一极。光电检测器件 在各打拿极 D1、D2、D3和阳极A上依次加有逐渐增高的正电压,而且相邻两极之间的电压差应使二次发射系数大于1。这样,光阴极发射的电子在D1电场的作用下以高速射向打拿极D1,产生更多的二次发射电子,于是这些电子又在D2电场的作用下向D2飞去。如此继续下去,每个光电子将激发成倍增加的二次发射电子,最后被阳极收集。光电检测器件主要组成部分
18、 PMT由光电阴极、电子光学输入系统(光电阴极到第一个倍增极之间的系统)、二次发射倍增系统及阳极等构成。光电阴极可根据设计需要采用不同的光电发射材料制成。阳极目前般采用栅网状阳极,其结构示意如图26。光电检测器件3、分类“聚焦型”和“非聚焦型”电子倍增系统有聚焦型和非聚焦型两类。聚焦型的打拿极把来自前一级的电子经倍增后聚焦到下一级去,两极之间可能发生电子束轨迹的交叉。非聚焦型又分为圆环瓦片式(即鼠笼式)、直线瓦片式、拿栅式和百叶窗式。聚焦型光电倍增管,电子在其中飞行的时间较短,飞行时间的涨落也小,它适用于要求分辨时间短的场合;光电检测器件 非聚焦型光电倍增管,由于极与极之间没有聚焦场,电子损矢
19、较大,为了要得到较大的电子倍增,就要增加倍增极数目,相应地也就增加了飞行时间及其涨落,所以这种管子的时间分辨本领较差,其优点是同样大小的光脉冲照射到光阴极不同不位时,阳极灵敏度变化不大,最后输出的脉冲幅度比较一致,因此作能谱测量时的能量分辨率较好。端窗式和侧窗式 端窗式:百叶窗倍增极结构、盒栅倍增极结构、瓦片静电聚焦结构;侧窗式:圆形鼠笼结构端窗式:百叶窗倍增极结构侧窗式:圆形鼠笼结构端窗式:盒栅倍增极结构端窗式:瓦片静电聚焦结构光电检测器件4、PMT的基本特性参数光谱响应度(灵敏度)灵敏度是光电倍增管的一个重要参数。对它要分别标出阴极灵敏度和阳极灵敏度,有时还需标出阴极的蓝光、红光或红外灵敏
20、度。红光灵敏度往往采用红光灵敏度和白光灵敏度之比来表示。实际使用时,更希望知道光电倍增管的阳极灵敏度,它是指光电倍增管在一定工作电压下,阳极输出电流与照在阴极面上的光通量的比值。因此它是一个表征倍增以后的整管参数。光电检测器件 一般还标出在峰值响应波长时量子效率。就管子性能而言,在特定的峰值波长下的量子效率能比灵敏度给出更有用的指示。放大倍数/电流增益 在一定工作电压下,光电倍增管的阳极电流与阴极电流之比。暗电流 无光照时,光电倍增管的输出电流。引起暗电流的因素及减小暗电流的方法。引起暗电流的因素:n n(主要暗电流)光电阴极第一倍增极的热电子发射;n n(极间漏电流)各级绝缘体强度不够或极间
21、灰尘放电;n n离子光的反馈作用;n n场致发射,尖端放电;n n放射性同位素宇宙射线的影响。减小暗电流的方法n n选好PMT的极间电压;n n在阳极回路中加上与暗电流相反的直流成分来补偿;n n在倍增输出电路加一选频或锁相放大滤掉暗电流;n n利用冷却法减小热电子发射等。光电检测器件伏安特性上升部分饱和部分频率响应PMT的噪声 一般来说,选PMT总是使热噪声远小于器件固有的散粒噪声,所以PMT主要考虑散粒噪声,而不考虑热噪声。型号型号直径直径(mm)(mm)长度长度(mm)(mm)级级数数光窗光窗材料材料阴极类型阴极类型光谱范围光谱范围光谱光谱峰值峰值阴极阴极灵敏度灵敏度GDB-106GDB
22、-106141468689 9透紫透紫玻璃玻璃SbKCsSbKCs200700200700400400左右左右3030GDB-151GDB-151303097979 9石英石英SbNaKCsSbNaKCs185850185850400400左右左右2020GDB-235GDB-23530301101108 8钠钙钠钙玻璃玻璃SbCsSbCs300650300650400400左右左右4040国产国产PMTPMT参数参数光电检测器件5、供电电路分压器电阻 分压器本身不是光电倍增管的一部分,但为使其正常工作又是一个不可缺少的部分。它的作用是使光电倍增管中从光电阴极到依次各二次极最后到阳极的电位逐渐
23、升高,使光电子顺利完成电子倍增过程,在各种类型的分压器中,用得最多也最简单的是电阻分压器,按照各极间所需电压的比例采用相应的电阻值,使总电压分配到各极间去。光电检测器件 阴极-第一倍增极:维持阴极与第一倍增圾之间具有适当高的电场是很重要的。这样,第一倍增极就具有较高的二次发射系数,外界电磁场的影响也较小。在快速光电倍增管中,阴极与第一倍增极之间电压应尽可能高,使光电子的渡越时间分散小,一般应两倍于其它极间的电压或更高些。中间倍增极:中间倍增极电压可根据需要的增益来选择。在某些情况下,希望降低管子的阳极灵敏度而不改变总电压,简单的办法是调节中间倍增极之间的电压来达到(在一定范围内适用)。中间倍增
24、极一般是采用均匀分压器。光电检测器件 末级倍增极:输出电流大时,末级倍增极应采用非均匀分压器,使最后两级或三级倍增极之间有较高电场,从而避免空间电荷效应。在弱光探测中,为了提高管子的灵敏度,有时最后一个电阻值取得小些。光电检测器件储能电容 为了避免在最后几个倍增极上由于信号脉冲电流过大而影响极间电位分布,则需在若干个极间加上储能电容,设输出脉冲为矩形波,如要求极间电压变化小于1%,则旁路电容C1可由书上(2-34)求出:然后由公式2-31,可求得C2、C3,当倍增极电流小于分压器电流的1/10时,不需要跨接电容。光电检测器件供给电源 供给光电倍增管的高压电源,根据使用要求可以采用正高压或负高压
25、。一般有三种接地法,每一种方式各有优点和缺点。采用负高压电源,阳极输出不需要隔直电容,便于用直流法测量阳极输出电流,一般阳极分布参数也较小。可是在这种情况下,必须保证作为光屏蔽和电磁屏蔽的金属筒距离管壳至少要10一20mm,否则由于屏蔽筒的影响,可能相当大地增加阳极的暗电流和噪声。如果靠近管壳处再加一个屏蔽罩,并将它连接到阴极电位上,则要注意完全。光电检测器件 采用正高压电源就失去了采用负高压电源的优点,这时在阳极上需接上耐高压、噪声小的隔直电容。可是,它可获得比较低和稳定的暗电流和噪声。当倍增极作为信号输出极时,可采用中间接地法。由上分析可知,除了对管子的暗电流和噪声有苛刻要求的场合外,一般
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