【精品】5.典型激光器介绍.doc
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1、第5章典型激光器介绍自第一台固体脉冲红宝石激光器问世后,激光器的研制开展非常迅速。各种工作物质、运转方式的激光器不断出现。激光器有各种分类方法。如果按工作波段分,可分为红外和远红外激光器、可见光激光器、紫外和真空紫外激光器、X射线激光器。如果按运转方式分,可分为连续激光器、脉冲激光器、超短脉冲激光器。本章将按激光器工作物质分类,主要讨论以下几种类型的激光器:固体激光器、气体激光器、染料激光器和半导体激光器。然后简单介绍一些具有特殊运行方式且有较好应用前景的激光器。通过这几种激光器的介绍说明前几章的理论,并为以下的应用章节做必要的准备。固体激光器是以掺杂离子的绝缘晶体或玻璃作为工作物质的激光器。
2、在激光开展史上,固体激光器是最早实现激光工作的。目前已经实现激光振荡的固体工作物质有百余种,激光谱线有数千条,但是最常采用的固体工作物质仍然是红宝石、钕玻璃、掺钕钇铝石榴石(Nd3:YAG)等三种。 与其它种类的激光器相比较,固体激光器的特点是:输出能量大(可达数万焦耳),峰值功率高(连续功率可达数千瓦,脉冲峰值功率可达千兆瓦、几十兆兆瓦),结构紧凑牢固耐用。因此它在工业、国防、医疗、科研等方面得到了广泛的应用,例如打孔、焊接、划片、微调、激光测距、雷达、制导、激光视网膜凝结、全息照相、激光存储、大容量通信等。随着激光器性能的不断提高,固体激光器的应用范围还在继续扩大。 固体激光器的根本结构与
3、工作物质 固体激光器根本上都是由工作物质、泵浦系统、谐振腔和冷却、滤光系统构成的。图(51)是长脉冲固体激光器的根本结构示意图(冷却、滤光系统未画出)。固体激光工作物质是固体激光器的核心。影响固体激光器工作特性的关键是固体激光工作物质的物理和光谱性质,这主要是指吸收带,荧光谱线,热导率等。目前研究过的固体工作物质很多,用它们制作了各种各样的固体激光器,但是最广泛使用的是红宝石激光器、掺钕钇铝石榴石YAG激光器和钕玻璃激光器三种。后两种产生激光的机制是类似的,而红宝石和YAG激光器 从产生激光的机制来讲,分别属于三能级和四能级系统,有一定的代表性,所以下面只介绍红宝石和YAG激光工作物质。图51
4、 固体激光器的根本结构示意图1红宝石(Cr3:A12O3)红宝石是在三氧化二铝(A12O3)中掺入少量的氧化铬(Cr2O3)生长成的晶体。它的吸收光谱特性主要取决于铬离子(Cr3),如图52所示。由图可见,红宝石中的铬离子有两个强吸收带:峰值位于0.4lmm处的紫外带(U带)和峰值位于0.55mm处的黄绿带(Y带)。由于红宝石晶体的各向异性,它的吸收特性与光的偏振状态有关,所以对于光场的振动方向与晶体光轴c垂直和平行的两种分量,吸收曲线略有差异。红宝石中的铬离子与激光产生有关的能级结构如图53所示。它属于三能级系统,相应于图53的简化能级模型,其激发态E3为4F1和4F2能级,激光上、下能级E
5、2和E1分别为2E和4A2。它的荧光谱线有两条:R1线和R2线,在室温下对应的中心波长分别为0.6943mm和0.6929mm。由于R1线的辐射强度比R2大,在振荡过程中总占优势,所以通常红宝石激光器产生的激光谱线均为R1线(0.6943mm)。图(52) 红宝石中铬离子的吸收光谱 红宝石激光器的优点是机械强度高,容易生长大尺寸晶体,容易获得大能量的单模输出,输出的红颜色激光不但可见,而且适于常用硅探测器探测。红宝石激光器的主要缺点是阈值高和温度效应非常严重。随着温度的升高,激光波长将向长波长方向移动,荧光谱线变宽,荧光量子效率下降,导致阈值升高,严重时会引起“温度猝灭。因此,在室温情况下,红
6、宝石激光器不适于连续和高重复率工作,但在低温下,可以连续运转。图53 红宝石中铬离子的能级结构2掺钕钇铝石榴石(Nd3:YAG) 这种工作物质是将一定比例的A12O3、Y2O3,和Nd2O3在单晶炉中进行熔化,并结晶而成的,呈淡紫色。它的激活粒子是钕离子(Nd3),其吸收光谱如图54所示,在紫外、可见光和红外区内有几个强吸收带。图54 Nd3:YAG晶体的吸收光谱(300K) YAG中Nd3与激光产生有关的能级结构如图55所示。它属于四能级系统。其激光上能级E3为4F3/2,激光下能级E2为4I13/2、4I11/2,其荧光谱线波长为1.35mm、1.06mm,4I9/2相应于基态E1。由于1
7、.06mm比1.35mm波长的荧光强约4倍,所以在激光振荡中,将只产生1.06mm的激光。图55 Nd3:YAG的能级结构Nd3:YAG激光器的突出优点是阈值低和具有优良的热学性质,这就使得它适于连续和高重复率工作。YAG是目前能在室温下连续工作的唯一实用的固体工作物质,在中小功率脉冲器件中,特别是在高重复率的脉冲器件中,目前应用Nd3:YAG的量,远远超过其它固体工作物质。可以说,Nd3:YAG从出现至今,大量使用,长盛不衰。 固体激光器的泵浦系统 由于固体激光工作物质是绝缘晶体,所以一般都采用光泵浦鼓励。目前的泵浦光源多为工作于弧光放电状态的惰性气体放电灯。泵浦光源应当满足两个根本条件:有
8、很高的发光效率;辐射光的光谱特性应与激光工作物质的吸收光谱相匹配。氪灯在低电流密度放电时的辐射光谱特性,与YAG的主要泵浦吸收带相近。因此,连续和小能量(10焦耳脉冲YAG激光器多采用氪灯泵浦,其效率较高。脉冲氙灯在高放电电流密度的情况下,辐射为连续谱,且光谱分量向短波长移动,有利于红宝石的吸收。故对于红宝石激光器,以及大中功率钕玻璃、YAG脉冲激光器,多采用高效脉冲氙灯泵浦图56 椭圆柱聚光腔由于常用的泵浦灯在空间的辐射都是全方位的,而固体工作物质一般都加工成圆柱棒形状,所以为了将泵浦灯发出的光能完全聚到工作物质上,必须采用聚光腔。图56所示的椭圆柱聚光腔是小型固体激光器中最常采用的聚光腔,
9、它的内外表被抛光成镜面,其横截面是一个椭圆。按几何光学成像原理,从椭圆的一个焦点发出的所有光线,经椭圆反射后,都将聚到另一个焦点上。所以,如果将直管灯和激光棒分别置于椭圆柱聚光腔的两条焦线上,即可得到较好的聚光效果。 固体激光器在工作时,泵浦光谱中仅有少局部与工作物质吸收带相匹配的光能是有用的,其它大局部光谱能量被基质材料吸收转化为热量,导致器件的温度升高,在激光棒内产生不均匀的温度(梯度)分布。这些无功热损耗产生的热效应,对于固体激光器、特别是连续和高重复率固体激光器来说,是一个严重的问题,它将直接影响工作物质的特性,导致激光器性能变差,甚至会产生“温度猝灭。所以,固体激光器的泵浦系统还要冷
10、却和滤光。常用的冷却方式有液体冷却、气体冷却和传导冷却等,其中以液冷最为普遍。因泵浦光谱与工作物质吸收带不匹配导致的热效应中,危害性最大的是紫外辐射,它在工作物质中形成色心,使激光器性能劣化。因此,必须在泵浦灯和工作物质之间插入滤光器件滤去泵浦光中的紫外光谱。 固体激光器的输出特性考虑到固体激光器的应用特点,只介绍它的脉冲特性和转换效率。1 固体激光器的激光脉冲特性脉冲激光器工作在非连续输出的非稳态,其工作过程不能用2.2节中给出的稳态速率方程描述。一般的脉冲固体激光器产生的激光脉冲是由一连串不规那么振荡的短脉冲(或称尖峰)组成的,各个短脉冲的持续时间约为(0.11)mm,各短脉冲之间的间隔约
11、为(510) ms。泵浦光愈强,短脉冲数目愈多,其包络峰值并不增加。第4章中讨论过的调Q技术和锁模技术能够改变这种特性,产生巨脉冲或超短光脉冲,这里不再重复。2转换效率 固体激光器运转时,转换效率低是它的最突出的问题之一。在实际工作中,固体激光器的转换效率常用总体效率衡量。总体效率定义为激光输出与泵浦灯的电输入之比。对于连续激光器(用功率描述)和脉冲激光器(用能量描述)分别表示为 51和 52式中和分别为输出和输入功率,和分别为输出和输入能量,和分别为阈值功率和能量,和分别为激活离子吸收的光频率和激光频率;为泵浦灯的电光转换效率,为聚光腔的聚光效率, 为激活离子的吸收效率,为激活离子由激发态E
12、3向激光上能级E2跃迁的量子效率,为输出耦合效率。通常,红宝石激光器的总体效率为(0.51)左右, YAG激光器的总体效率可以做到(12),在最好的情况下,可接近3。 新型固体激光器 二十世纪八十年代以来,固体激光器的开展比较快,出现了几种带有方向性的新型固体激光器,这就是半导体激光器泵浦的固体激光器、可调谐固体激光器和高功率固体激光器。 1半导体激光器泵浦的固体激光器 半导体激光器泵浦固体激光器与闪光灯泵浦固体激光器相比,其主要优点是:能量转换效率高。半导体激光器的电光转换效率高达50,远远高于闪光灯。半导体激光器的光谱线窄,并且可以通过改变其激活区成分和结构,或改变其工作温度使中心波长和固
13、体工作物质吸收峰准确地重合。尤其是用半导体激光进行端面泵浦时,泵浦光与固体激光在空间上还可以很好地匹配。目前,半导体激光器泵浦的总体效率已达闪光灯泵浦固体激光器的四倍以上。工作时产生的无功热量少,介质温度稳定,可制成全固化器件,消除振动的影响,激光谱线更窄,频率稳定性更好。寿命长,结构简单,使用方便。 半导体激光器泵浦固体激光器的结构,有如图57(a)所示的端泵浦方式和图57(b)所示的侧泵浦方式。从固体工作物质来看,有圆柱形和板条状两种。端泵浦方式因半导体激光模式与固体工作物质中的激光振荡模式匹配良好,所以“泵与激光器之间的耦合效率高。这种激光器的阈值低、效率高,但输出功率受到单个激光二极管
14、输出功率的限制。而利用半导体激光器阵列侧泵浦固体工作物质,虽然效率降低,但在脉冲或连续运转时,都能获得较高的输出功率。图57 半导体激光器泵浦固体激光器的结构示意 (a) 端泵浦方式 (b) 侧泵浦方式 2可调谐固体激光器 固体激光器实现可调谐,是固体激光器的重大进展。可调谐固体激光器主要有两类,一类是色心激光器,一类是用掺过渡族金属离子的激光晶体制作的可调谐激光器。色心激光器的阈值低,既可连续工作,又可脉冲工作,很容易实现单模运转,并且光束质量好。特别是调谐范围可覆盖(0.83.9)微米,这是其它可调谐激光器(如染料激光器、半导体激光器)难以到达的。它在分子光谱学、化学动力学、污染检测、光纤
15、通信、半导体物理等领域内,有重要的应用价值。目前,已经有工作于室温的实用化商品。但是,色心激光器在使用过程中,仍感不太稳定。与此相比,掺过渡族金属离子的激光晶体制作的可调谐激光器,性能更加优越。用于固体可调谐激光器的掺过渡族金属离子的激光晶体主要有金绿宝石(Cr:BeAl2O3)、钆钪镓榴石(Cr:GSGG)、掺钛蓝宝石(Ti:Al2O3)等,其中以钛蓝宝石的进展最突出,是目前性能最好的固体可调谐激光材料。图58 板条形固体激光器结构示意图 3高功率固体激光器 高功率固体激光器主要是指输出平均功率在几百瓦以上的各种连续、准连续及脉冲固体激光器,它一直是军事应用和激光加工应用所追求的目标。高功率
16、固体激光器的研制有许多关键技术,其中最重要的是克服固体工作物质中的热效应。从二十世纪七十年代起开始研制的板条形固体激光器,就是针对克服工作物质中的热分布及其引起的一系列如折射率分布、应力双折射等固有矛盾而提出的一种结构方案,近几年来,已有了重大的开展,其结构如图58所示。它的特点是:面泵浦、面冷却的板条状介质可实现均匀泵浦,折射率梯度不明显;锯齿光路可补偿热透镜效应;结构对称和正确的线偏振选择可消除热双折射效应。板条形固体激光器可用于各种固体工作物质,也可以有多种不同的利用板条的光路方案。气体激光器气体激光器是以气体或蒸气作为工作物质的激光器。由于气体激光器是利用气体原子、分子或离子的别离能级
17、进行工作的,所以它的跃迁谱线及相应的激光波长范围较宽,目前已观测到的激光谱线不下万余条,普及紫外到远红外整个光谱区。与其它种类的激光器相比较,气体激光器的突出优点是输出光束的质量好(单色性、相干性、光束方向和稳定性等)。因此,在工农业生产、国防和科学研究中都有广泛的应用。 氦氖(He-Ne)激光器He-Ne激光器是在1960年末制成功的第一种气体激光器。由于它具有结构简单、使用方便、光束质量好、工作可靠和制造容易等优点,至今仍然是应用最广泛的一种气体激光器。1. He-Ne激光器的结构和激发机理根据激光器放电管和谐振腔反射镜放置方式的不同,He-Ne激光器可以分为内腔式、外腔式和半内腔式三种,
18、如图59所示。对于外腔式和半内腔式结构,在放电管的一端或两端,通过布儒斯特窗片实现真空密封,以减少损耗,并且保证了激光输出是线偏振光。He-Ne激光器的工作物质是Ne原子,即激光辐射发生在Ne原子的不同能级之间。He-Ne激光器放电管中充有一定比例的He气,主要起着提高Ne原子泵浦速率的辅助作用。图59 He-Ne激光器的根本结构形式图510是与产生激光有关的Ne原子的局部能级图进一步的了解可查有关书籍,Ne原子的激光上能级是3S和2S能级,激光下能级是3P和2P能级。由图可见,He原子的激发能级21S0、23S1分别与Ne原子的3S和2S能级十分接近,因此,当He-Ne管内的气体放电时,He
19、原子与高速电子碰撞,被激发到23S1和21S0上,进而,这些激发态He原子通过共振能量转移过程,将处在基态上的Ne原子激发到2S和3S能级上。当被激发到3S和2S能级上的Ne原子数足够多时,会在3S、2S能级与3P、2P能级间产生粒子数反转,通过受激辐射过程即可产生He-Ne激光。由该过程跃迁到3P、2P能级上的Ne原子,很容易通过自发辐射跃迁到1S能级上,再通过与管壁碰撞将能量交与管壁,回到基态。图510 与激光跃迁有关的Ne原子的局部能级图由上述激发过程可见,He-Ne激光器是典型的四能级系统,其激光谱线主要有三条,它们分别与以下跃迁相对应:3S2P 0.6328m2S2P 1.15m3S
20、3P 3.39m现在的商用He-Ne激光器的主要谱线是0.6328mm红光,其它还有黄光(0.594mm)、绿光(0.543mm)和橙光(0.606mm、0.612mm) He-Ne激光器商品出售。2. He-Ne激光器的输出特性针对He-Ne激光器的应用,这里主要介绍它的谱线竞争与输出功率特性。1谱线竞争在同一个激光器中,可能有多条激光谱线,而有些谱线可能对应同一个激光上能级,因此在它们之间就存在着对共有能级上粒子数的竞争。其中一条谱线产生振荡以后,用于其它谱线的反转粒子数减少,将使其它谱线的增益和输出功率降低,甚至完全被抑制。这就是谱线的竞争效应。He-Ne激光器的三条最强的激光谱线(0.
21、6328mm,1.15mm,3.39mm)中哪一条谱线起振完全取决于谐振腔介质膜反射镜的波长选择。由图510可见,0.6328mm和3.39mm两条激光谱线具有相同的上能级,因此这两条谱线之间存在着强烈的竞争。由于增益系数与波长的三次方成正比,显然3.39mm谱线的增益系数远大于0.6328mm谱线。在较长的0.6328mm He-Ne激光器中,虽然介质膜反射镜对0.6328mm波长的光具有较高的反射率,仍然会产生较强的3.39mm波长的放大的自发辐射或激光,这将使上能级粒子数减少,从而导致0.6328mm激光功率下降。为了获得较强的0.6328mm的激光输出,需采用色散法、吸收法或外加磁场法
22、等方法抑制3.39mm辐射的产生。2输出功率特性He-Ne激光器的放电电流对输出功率有很大的影响。图511是实验测得的输出功率与放电电流的关系曲线,可以看出,对于每种充气总压强都有一个使输出功率最大的放电电流,它与气体混合比及总压强有关。在最正确充气条件下,使输出功率最大的放电电流叫最正确放电电流。由该图可见,在最正确放电电流附近,因放电电流变化引起的输出功率的变化不大。因此,在实际使用时,对最正确放电电流的要求并不十分严格,这很有利于工作状态的调整。图511 输出功率与放电电流的关系曲线He-Ne激光器内充有He气和Ne气,它们的混合比例和总气压都对输出功率有很大的影响。产生激光的Ne原子比
23、例过小,会使输出功率减小。He的电离电位较低,比例过大,会因电离过多而使电子离子数目增加,在较低的电场下就能维持一定的放电电流,低电场导致的电子温度下降使激发速率降低,输出功率随之下降。实验证明,He-Ne激光器存在着最正确混合比和最正确充气总压强,即存在最正确充气条件。这种最正确条件在制造He-Ne激光器时必须考虑。假设放电毛细管的直径为d,充气压强为p,那么存在一个使输出功率最大的最正确pd值。He-Ne激光器的最正确pd值约为4.85.3102 Pamm。产生这一现象的原因是:一方面压强的下降使电子与原子的碰撞减少,从而导致电子温度(平均动能)上升,激发速率升高;毛细管管径的减小,那么使
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