电子厂静电防护以及管理规范bwyh.docx
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1、目的适用用范围引用标准名词术语防静电工作区系统人体防静电电系统职责培训采购文件件生效日期记录附录目的为避免静静电敏感感元器件件在生产产、运输输、储存存、检测测等过程程中受到到静电释释放的影影响,从从而产生生短路、电电阻漂移移、开路路、工作作性能退退化等不不良现象象。特建建立电电子产品品制造静静电防护护技术要要求,以以保证产产品品质质,增加加可靠性性,减低低不良率率,节省省产品工工时成本本,降低低维修费费用。基于电电子产品品制造静静电防护护技术要要求文文件的颁颁布,提提高员工工对ESSD的认认识,加加强员工工自觉防防止ESSD现象象之观念念,促进进生产管管理水平平之提高高。适用范围围本文适用用于
2、所有有车间中中生产制制程及电电子元器器件的采采购、运运输、储储存、检检测过程程中的静静电防护护。引用标准准SJ/TT 1006944 - 19996 电子子产品制制造防静静电系统统测试方方法GB/TT 1554633-19995 静静电安全全名词术术语GJB 30007 977 防防静电工工作区技技术要求求GJB 16449 933 电电子产品品防静电电放电控控制大纲纲GB 1120114 899 防静静电工作作服SJ/TT 1005333-944 电子子设备制制造防静静电技术术要求SJ/TT 1006300-19995 电电子元器器件制造造防静电电技术要要求ANSII / ESDD STTM
3、3.1-220000 静静电放电电敏感产产品防护护用标准准:离子子发生器器ANSII / ESDD S220.220-119999 建建立一个个静电放放电控制制方案保护电电气和电电子零件件,装置置和设备备名词术语语静电: 一种处处于相对对稳定状状态的电电荷。它它所引起起的磁场场效应可可以忽略略不计(静静电可由由物质的的接触与与分离、静静电感应应、介质质极化和和带电微微粒的附附着等物物理过程程而产生生)。ESD:Eleectrroniic SStattic Disschaargee,原意意是指静静电释放放,即通通过带静静电区域域直接接接触或感感应而引引起的静静电电荷荷在不同同电势物物体上的的转移
4、。后后常指静静电防护护,即避避免静电电释放的的发生。静电感应应:当带带电物体体靠近某某一介质质时,在在该介质质表面因因感应而而带电荷荷,并形形成感应应电场。ESDSS:Eleectrroniic SStattic Disschaargee Seensiitivve,静静电放电电敏感(的的),通通常用来来指静电电敏感元元器件。防静电工工作区:由各种种防静电电设施、器器件及明明确的区区域界限限形成的的工作场场地。静电敏感感度:EElecctroostaaticc Seensiitivvityy,元器器件所能能承受的的静电放放电电压压值。表面电阻阻/点对对点电阻阻:在与与材料的的同一侧侧面相接接触的
5、两两个规定定形状的的电极之之间,直直流电压压对于流流过的电电流的比比值。该该测量结结果以欧欧姆为单单位来表表示。体积电阻阻/对地地电阻/系统电电阻:在在与材料料的相对对两面相相接触的的两个规规定形状状的电极极之间,直直流电压压对于流流过的电电流的比比值。该该测量结结果以欧欧姆为单单位来表表示。摩擦起电电:当使使两种材材料接触触或相互互摩擦后后分离时时,产生生静电荷荷。 摩摩擦电压压:物体体被摩擦擦后,表表面所带带静电荷荷的电压压。 EESD 损伤:由静电电放电引引起的电电子元器器件性能能退化或或功能失失效。消电时间间(Deecayy Tiime):一个个静电压压从其初初始值降降低到一一个给定定
6、值(通通常是初初始值的的10%)所需需要的时时间。注:国际际惯例对对于小于于1E66欧姆的的电阻使使用100V电压压测量,大大于或等等于1EE6欧姆姆的电阻阻使用1100VV电压测测量,防防静电工工作区系系统防静电工工作区的的划分:根据GJJB 116499规定的的静电放放电电压压敏感的的静电放放电敏感感元器件件组件件和设备备的分级级. 静静电放电电敏感产产品按敏敏感度电电压被分分级为:静电敏感感度级别别静电敏感感电压(人人体模型型HBMM)I级019999VVII级2000039999VIII级级40000159999VV根据该项项标准的的规定,所所要求的的ESDD控制大大纲一般般只包含含对
7、I和II级敏敏感产品品的防护护。现按按照元器器件静电电敏感度度和生产产线实际际情况如如下:5.1.1.11 高速速器件(如如蓝牙耳耳机等含含高频器器件的组组件)、较较大规模模集成电电路(如如CMOOS摄像像模块)的的静电敏敏感度相相对较高高, 凡凡是含这这些器件件的半成成品生产产线均定定为I级级;5.1.1.22 普通通器件如如TI的的计算器器等,没没有用到到上述类类型器件件的产品品,则生生产这些些产品的的生产线线不需要要严格的的防静电电措施。仅仅仅是器器件的存存储和运运输,也也不需要要严格的的防静电电措施,理理由是器器件在这这个时候候没有被被操作。把把这些生生产线或或车间定定为III级;5.
8、1.1.33 按照照上述理理由,现现规定敏敏感级别别为:级别区域I级BONDDINGG车间、CCOB车间、SSMT车车间,含含CMOOS照相相模块或或高频通通讯产品品的电子子产品(半半成品)的的装配拉拉等II级不含CMMOS照照相模块块或高频频通讯产产品的电电子产品品装配拉拉,普通通电子产产品的半半成品包包装区域域、货仓仓电子料料区域,生生产仓,收收料仓等等公司内部部由黄、黑黑双色斑斑马线围围起的区区域或门门口挂有有静电标标示牌的的车间为为防静电电工作区区。元器件敏敏感度分分级由QQC1 ESDD工程师师按后附附录1ESDSS元器件件分类酌酌情分级级,并确确定。防静电工工作区基基本环境境要求防
9、静电工工作区应应保持洁洁净,避避免有灰灰尘堆积积或漂浮浮的状态态发生车间内温温湿度的的控制结结合车间间的实际际情况定定为:区域温度湿度百级洁净净室212CC50%60%千级洁净净室212CC60%70%普通车间间233CC40%70%在不对产产品造成成有害影影响的前前提下,允允许使用用增湿设设备喷洒洒制剂或或水,以以增加环环境湿度度。防静电工工作区应应清楚标标明区域域界限以以及警示示标志,见见附录114。要求使用用防静电电地板或或在普通通地面上上铺设防防静电地地垫,并并保证有有效接地地。禁止止直接使使用木制制地板或或铺设毛毛、麻、化化纤地毯毯及普通通地板革革。天花板及及墙壁建建议使用用防静电电
10、材料制制品,一一般情况况下允许许使用石石膏制品品或石灰灰涂料,禁禁止使用用普通塑塑料制品品。防静电工工作区接接地系统统应有独立立可靠的的接地装装置,接接地电阻阻一般应应小于110欧姆姆,为保保证人员员安全,在在与人员员直接接接触的地地方应加加装1兆兆欧姆限限流电阻阻。接地地线的要要求如下下:接地线截面积接地电阻阻要求接地总线线不小于1100mmm2的铜制制导线小于100欧姆ESD线线不得直直接接在在电源零零线上。ESD线不得与防雷地线共用。使用三相五线制供电,其大地线可以作为ESD地线,但需保证电源地线与零线不能搭接。接地支干干线不小于66 mmm2的铜制制导线小于100欧姆设备和工工作台的的
11、接地线线不小于11.255mm22 的多多股或单单股的铜铜制绝缘缘套导线线小于100欧姆或或0.88兆欧1.22兆欧新增的EESD地地线应用用绿色绝绝缘套标标识,原原来使用用的黄绿绿色绝缘缘套标识识可以继继续使用用。台垫垫等物品品的接地地配件按按照来料料的颜色色使用。ESD接地详情参阅南太接地系统。厂房接地地总线的的接地电电阻小于于10欧欧姆,由由行政部部负责定定期检查查,周期期为一个个月一次次。并填填写厂厂房接地地电阻测测试记录录表。车间内部部的设备备和工作作台的接接地线的的接地状状况由PPE负责责定期检检查,周周期为33个月一一次。并并填写工作台地线接地电阻测试记录表。测试台的的防静电电设
12、备,工工器具的的接地由由TE负负责定期期检查,周周期为33个月一一次。并并填写工作台地线接地电阻测试记录表。防静电区区域设备备及辅料料要求I级区域域II级区区域防静电安安全工作作台防静电安安全工作作台防静电容容器、运运输工具具(料盒盒、料箱箱、运输输车)防静电容容器、运运输工具具(料盒盒、料箱箱、运输输车)防静电腕腕带防静电腕腕带防静电工工衣(帽帽)防静电工工衣(帽帽)防静电工工鞋防静电工工鞋防静电测测试架防静电烙烙铁(如如需使用用烙铁)离子风机机(离子子棒/离离子风枪枪)(视视工序而而定)防静电烙烙铁(如如需使用用烙铁)防静电工工作区的的ESDD技术要要求防静电地地板用防静电电PVCC地板专
13、专用清洁洁剂或中中性清洁洁用品定定期进行行清洁,严严禁使用用强酸、强强碱或能能溶解PPVC材材料的化化学溶剂剂进行清清洗,如如果属于于更严重重的污渍渍,可以以使用异异丙烯基基乙醇清清洁。严禁带有有尖刺、粗粗糙的重重物在地地板表面面擦划、拖拖拉。不能将硫硫化物、丙丙酮、酒酒精等物物品撒落落在ESSD地板板上,如如发生以以上情况况,应立立即清洁洁。使用防静静电地板板蜡水进进行定期期涂敷、养养护,一一般6个月一一次。地板蜡的的电阻小小于1EE9欧姆姆。地板安装装时应满满足的EESD技技术指标标包括:表面电电阻值和和系统电电阻值均均在1EE411E9欧欧姆范围围以内。生产部应应及时向向行政部部要求对对
14、防静电电地板进进行打蜡蜡维护,行行政部做做好地板板打蜡后后应及时时通知QQC1部部ESDD工程师师。对于K44洁净室室的地板板,经IIE评估估且经过过ESDD工程师师的认可可,可以以不做地地板打蜡蜡。QC1部部ESDD工程师师应在行行政部对对防静电电地板打打蜡后做做一次防防静电地地板表面面电阻、系系统电阻阻测试,测测试方法法见附录录2,并填填写防防静电地地板电阻阻测试记记录表。防静电安安全工作作台(含含测试台台)各区域的的防静电电安全工工作台由由负责该该区域的的PE或TTE确定定范围。例例如:回回流焊后后的检查查台、QQC1检检查台、修修理台和和测试台台等。防静电安安全工作作台基本本要求和和禁
15、止项项目要求禁止工作台表表面铺设设防静电电台垫,同同时台垫垫必须接接地。特特殊情况况可以没没有台垫垫,但需需经ESSD工程程师认可可。工作台上上放置普普通塑料料盒(片片)、橡橡皮、玻玻璃、普普通泡沫沫等容易易产生静静电的杂杂物.配备腕带带接头、ESD地线、离子风机(可选)、防静电工具(可选)和防静电测试架距离ESSDS元元器件330厘米米以内有有摩擦电电压高于于2000V的物物件在防静电电区内使使用不符符合防静静电要求求的物料料且必须须时,必必须得到到QC11 ESSD工程程师的评评估和认认可。5.1.1.1 防静电台台台面应应满足EESD技技术指标标。表面面电阻值值和系统统电阻值值均在11E
16、41E99欧姆范范围以内内。防静电台台椅子应满满足ESSD技术术指标。表表面电阻阻值和系系统电阻阻值均小小于1EE9欧姆姆范围。防静电胶胶帘的表表面电阻阻应在11E41E111欧姆姆内。PE或TTE应每每6个月月做一次次相应的的工作区区域内的的防静电电台垫和和防静电电工椅电电阻测试试,防静静电台垫垫测试方方法见附附录3,填写写防静电台台垫电阻阻测试记记录表。防静静电工椅椅测试方方法见附附录8,填填写防防静电工工椅测试试记录表表,如果果有不合合格的,须须及时更更换。防静电辅辅料/工工具防静电溶溶剂瓶:系统电电阻在11E41E111欧姆姆范围。防静电烙烙铁/焊焊接工具具:从热热的端头头到地的的电阻
17、应应小于110欧姆姆。防静电文文件袋(夹): 表面面电阻在在1E441EE11欧欧姆范围围。PE应每每6个月月做一次次防静电电辅料电电阻测试试,测试试方法见见附录77,填写写防静静电辅料料电阻测测试记录录表。防静电包包装及容容器防静电容容器包括括EESDSS原料包包装袋(盒盒/盘)、装装板的料料盒、等等一切包包装、储储存ESSDS的的容器。允许使用用局部抗抗静电涂涂料对容容器表面面进行处处理,但但使用效效果必须须由相关关PE定期检检查。防静电容容器应满满足ESSD技术术指标:表面电电阻(包包括内外外表面)在1EE411E111欧姆范范围,系系统电阻阻在1EE411E100欧姆范范围。如如果产品
18、品或产品品的金属属部分不不直接与与防静电电容器接接触,则则允许防防静电容容器的电电阻小于于1E44欧姆。PPE应每66个月做做一次防防静电容容器(包包括吸塑塑、托盘盘、料箱箱等)表表面电阻阻和体积积电阻测测试,测测试方法法见附录录4。填写写防静静电周转转容器电阻阻测试记录表,测测试结果果由PEE保存半半年,并并在符合合标准的的容器上上做标记记。QCC2应按按SEFF对来料料的包装装袋和容容器进行行测试,并并填写防静电包装袋 容器电阻测试记录表。防静电运运输工具具及存放放架等防静电运运输工具具包括ESDD运输车车、ESSD小推推车等为保护EESDSS不受到到外部强强静电场场的影响响,运送送ESD
19、DS的防防静电运运输工具具应由高高导电性性材料(建建议使用用不锈钢钢)制作作,车子子经常固固定时要要求硬接接地。其其对地电电阻应小小于100欧姆。当运输车车由不锈锈钢组成成时,且且经常移移动时,其其对地电电阻应小小于1EE9欧姆姆。存放架的的表面电电阻和对对地电阻阻应小于于1E99欧姆。防静电运运输工具具应满足足ESDD技术指指标:表表面电阻阻和对地地电阻小小于1EE9欧姆姆。PEE应每66个月做做一次防防静电运运输车、EESD小小推车之之台面对对轮脚系系统电阻阻测试,测测试方法法见附录录5。填写写防静静电运输输工具/存放架架电阻测试记录表表,测测试结果果由PEE保存半半年,并并在符合合标准的
20、的运输工工具上做做标记。除静电离离子风机机/离子子棒当防静电电区域内内不可避避免的需需要使用用会产生生高静电电的材料料时,且且该材料料要求被被放置在在离ESSDS 30厘厘米内时时,必须须使用离离子风机机或离子子棒。对于不能能接地又又直接接接触ESSDS元元件的物物体,必必须保证证其保持持在零电电位状态态,必要要时,可可以使用用离子风风机消除除在这个个过程中中产生的的静电。离子风机机在使用用的过程程中会产产生较大大功率的的RF信号号,因此此进行通通信产品品测试的的车间不不适用离离子风机机。如果果要用,则则需要通通过QCC1 EESD工工程师的的评估。悬挂式离离子风机机应悬挂挂在离工工作台面面6
21、0厘厘米的高高度,(特特殊工位位可例外外,但须须经ESSD工程程师认可可)离子子风机的的出风口口不能有有异物阻阻挡。离离子风机机的平衡衡电压保保持在550V以以内,消消电时间间(从110000V中和和到1000V)应应小于110秒(高高风速)。台式离子子风机应应放置在在工作台台上且离离工作区区域300455厘米左左右,以以保证有有足够的的覆盖范范围和快快速的静静电消除除。离子子风机的的出风口口不能有有异物阻阻挡。离离子风机机的平衡衡电压保保持在550V以以内,消消电时间间(从110000V中和和到1000V)应应小于33秒(高高风速)。离子棒应应悬挂在在合适的的工作高高度以保保证除静静电效果果
22、,离子子棒的平平衡电压压应保持持在500V以内内,消电电时间(从从10000V中中和到1100VV)应小小于600秒。QC1 ESDD工程师师应每66个月做做一次离离子风机机平衡电电压和消消电时间间测试,填填写除除静电离离子发生生器测试试记录表表,对对不符合合要求的的离子风风机,应应及时处处理。其它防静静电物料料及相关关要求不在上面面列出来来的物料料则按一一般防静静电要求求,表面面电阻在在1E441EE11欧欧姆内,系系统电阻阻在1EE411E111欧姆内内。特殊情况况下,如如果找不不到合适适的供应应商,又又经过EESD专专员的评评估,确确认不会会对产品品构成EESD隐隐患的情情况下,可可以引
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