第十二届三束（电子束、离子束、光子束）学术会议533.docx

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1、第十二届届全国电电子束、离离子束、光光子束学学术年会会征文通知知为发展我我国电子子束、离离子束、光光子束技技术，由由中国电电子学会会半导体体与集成成技术分分会和生生产技术术分会联联合主办办的“第十二二届全国国电子束束、离子子束、光光子束学学术年会会”将于220033年的金金秋在北北京市近近郊召开开，会议议由中国国科学院院微电子子中心和和中国科科学院电电工研究究所联合合承办。现将学术术会议的的征文工工作通知知如下：一、征文文范围： 1. 电子子束、离离子束光光刻及微微细加工工工艺 2. 电子子束、离离子束辐辐照材料料改性 3. 电子子束曝光光及相关关技术 4. 半导导体离子子注入与与离子束束合成

2、（包包括器件件和集成成电路） 5. 离子子注入及及相关技技术 6. 光子子束的薄薄膜淀积积、杂质质及材料料加工工工艺 7. X-射线光光刻（包包括掩模模） 8. 分子子束外延延（MBBE）、CCBE、MMOCVVD及其其他新外外延技术术 9. 等离离子体加加工技术术（包括括PECCVD、溅溅射等技技术） 10. 借助助电子束束、离子子束、光光子束的的测试分分析技术术 11. 电子子束、离离子束、光光子束与与材料相相互作用用以及新新效应的的研究与与计算机机模拟12. 光学光光刻（包包括相移移光刻、远远紫外光光刻、激激光光刻刻） 13. 抗蚀蚀剂及干干法刻蚀蚀技术 14. 半导导体纳米米技术，纳纳

3、米器件件及应用用 15. 电子子束、离离子束、光光子束在在半导体体材料器器件电路路及其它它领域中中的应用用 16. 微机机械、微微系统研研制及应应用 17. 激光光技术及及其应用用 18生物芯芯片研制制及应用用 19微电子子器件封封装技术术二、征文文要求：1. 论文内容容应突出出近两年年来在研研究工作作中所取取得的成成果并且且没有在在国内外外公开刊刊物或其其它学术术会议上上发表过过的论文文，均可可投稿。2. 论文要求求以稿件件形式挂挂号邮寄寄。3. 每一篇论论文提交交一式二二份打印印稿(供评审审)，不接接受手写写稿件。请请自留底底稿，无论录用用否，均均不退稿稿。 4为保证证会议论论文集质质量，

4、论论文格式式要求如如下：（1） 论文题目目用2号字，作作者姓名名，单位位、邮编编及正文文用五号号字，字字体统一一用宋体体。版芯芯尺寸为为1552225mmm2，不加加页码。（2） 为保证论论文集的的质量与与版面统统一，要要求论文文采用66.0以上上版本的的WORRD软件件排版，同同时提供供软盘或或用E-maiil将论论文发至至maoyyl，zkzzxmmecccas.ue.ac.an信信箱 （将将排好的的文章存存成dooc文件件，用EE-maail下下的“附加文文件”功能将将文件发发过来）。（3） 论文一律律采用AA4纸激激光打印印。论文文篇幅，连连图表在在内不超超过4页，特特邀报告告除外。要

5、要求：公公式正确确，图表表简明清清晰。三、截稿稿日期：20003年6月30日录用通知知发出日日期：220033年7月月30日四、其他他为便于联联系，请请另附11页第1作者的的姓名、性性别、职职务/职称，单单位、电电话等联联络信息息。五、接收收论文单单位与联联系人：单位：中中国科学学院微电电子中心心通信地址址：北京京朝阳区区北土城城西路33号科技技处电话：（0010） 62200772133、6200071136联 系 人：施施冰（66200072113）、毛毛雅琳（66200071336）邮 编编：10000229 传真：（0110）6200216601， E-mmaill ：maooyln，zkzzxmmecccas.ue.ac.an主办单位位：中国国电子学学会半导导体与集集成技术术分会和和生产技技术分会会承办单位位：中国国科学院院微电子子中心、中中国科学学院电工工研究所所中国科学学院微电电子中心心代章20022年111月1日