微电子生产设备安装工程设备安装技术参数.docx
( 4.5 )《微电子生产设备安装工程设备安装技术参数.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《微电子生产设备安装工程设备安装技术参数.docx（1页珍藏版）》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。
微电子生产设备安装工程设备安装技术参数A.设备名称型号用途包装箱尺寸毛重（kg）毛重（kg）毛重（kg）主体尺寸主要部件尺寸维修空间前（mm）后（mm）左（mm）右(mm)地基要求水平度微振电源电源性质电压（V）相数功率（kW）接地电阻（Q）纯水电阻率 MQ (25)温度（）压力(MPa)流量(L/min)冷却水电阻率 M。 (25)温度（）压力(MPa)流量(L/min)大宗气体纯度（）压力(MPa)流量(L/min)管道接口型式特种气体化学品环境要求温度（）湿度（）洁净度排风材质接口（mm）抽速（m/s）排气气质接口 (mm)抽速(m/s)通讯接口其它特殊要求
- 配套讲稿：
如PPT文件的首页显示word图标，表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制：
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片，仅作为作品整体效果示例展示，禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词：
- 微电子 生产 设备安装工程 设备 安装 技术参数
淘文阁 - 分享文档赚钱的网站所有资源均是用户自行上传分享，仅供网友学习交流，未经上传用户书面授权，请勿作他用。
关于本文
限制150内