扫描电子显微镜fsgu.docx

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1、20099-077招标设设备清单单序号设备名称称数量技术参数数备注1扫描电子子显微镜镜1见附件进口2透射电子子显微镜镜1见附件进口3冷冻超薄薄切片机机1见附件进口附件：1、扫描描电子显显微镜（进进口）场发射扫扫描电子子显微镜镜主要用用于材料料表面的的微观形形貌的高高分辨观观察，可可配备XX射线能能谱仪等等附件，可同时进行微区的成分分析，应具有配备X射线能谱仪系统等的相应安装接口。技术参数1、分辨辨率：二二次电子子图像：1.00nm (155kV), 11.4nmm (11kV)背散射电电子像：3.00nm(15kkV)2、加速速电压: 00.1 - 30KKV 连连续可调调3、束流流范围：1p

2、AA2nnA连续续可调4、 放放大倍率率25X 1,0000,0000X ；5、真空空度：电电子枪室室高真空空10-77Pa 样品室真真空 10-4Paa6、泵系系统：磁磁悬浮分分子泵、离离子泵和和机械泵泵7、电子子光学系系统电子枪：高稳定定性场发发射电子子源，能能自动合合轴调整整聚光镜： 电磁磁透镜会会聚系统统，束流流强度可可连续可可调；光光阑角度度控制透透镜控制制束斑尺尺寸物镜光阑阑：X/Y方向向精细可可调对中中电图像位位移：5m，可通过过控制电电子束移移动实现现8、样品品室和样样品台样品台：5轴马马达驱动动全对中中样品台台, 示示意图在在监视器器上显示示样品台尺尺寸可装装直径不不小于11

3、50mmm的样样品行程：XX70mmm, YY=50mmm, ZZ=1.5-25mmm倾斜 -5 - +70旋转 3600样品更换换：快速气气锁更换换样品(直径最最大1550mmm)9、附件件接口：样品室室提供包包括二次次电子探探测器、背背散射电电子探测测器。10、探探测器及及成像系系统高位和低低位二次次电子探探测器：二次电电子像背散射电电子探测测器： 纯成份像和形貌像像成像模式式：同时时得到二二次电子子像、背背散射电电子像二次电子子和背散散射电子子混合信信号图像像，且其其相对含含量连续续可调11、扫扫描电镜镜计算机机系统操作系统统 Wiindoows XPP Prrofeessiionaal

4、显示器 119英寸寸 LCCD12、自自动离子子溅射仪仪 （进进口）1套工作压力力：好于于20PPa 溅射电流流：100,200,300,400mA溅射靶：白金样品台：直径664mmm真空室：1200mm(直径)xx1000mm(高)13、配配件拉伸台一一套其它需要要的附件件、备件件、特殊殊工具和和消耗品品提供二年年以上备备品备件件，提供备用用场发射射电子枪枪一支2、透射射电子显显微镜（进进口）本系统主主要用于于材料的的高分辨辨形貌观观察和微微区的晶晶体结构构、成分分分析，系系统由电电子光学学系统、高高压系统统、真空空系统等等部分组组成1、电子子枪：六六硼化镧镧(LaaB6)灯丝2、分辨辨率：

5、点分辨率率：0.19nnm；线分辨辨率：0.14nmm3、加速速电压: 2000kVV4、物镜镜电流稳稳定度： 1pppm/minn (ppeakk too peeak)5、物镜镜焦距： 1.99mm球差系数数：0.5mmm色差系数数：1.1mmm最小聚焦焦步长：1.00nm6、最小小束斑尺尺寸TEM模模式：220nmm以下EDS模模式/纳纳米束电电子衍射射(NBBD)模模式/会会聚束电电子衍射射(CBBD)模模式：00.5nnm以下下放大倍率率：MAGG模式： x2,0000- x1,5000,0000；LOWW MAAG模式式：x50- x6,0000SA MMAG模模式：x8,0000

6、x8800,0000；7、样品品更换：气锁方方式，自自动2段段抽气样品防污污染液氮氮冷阱：标准样品台重重复精度度：优于于2m8、EDDS分析析几何条条件固体角：0.113 sstr.以上（30mmm2活区面面积检测测器）取出角：25以上 （30mmm2活区面面积检测测器），9、真空空系统：高真空泵泵：（电子子枪和样样品室）离离子泵，150 l/s，一个（观察室室和照相相室）扩扩散泵，420 l/s，一个低真空泵泵：机械泵泵，1000 ll/miin，一一个真空度：优于22100-5 Pa10、图图像观察察窗大荧光屏屏：直径径1600mm以上上小荧光屏屏：标准双眼目镜镜：标准准10、XX射线能能

7、谱分析析仪(EEDS)（进口口）该设备作作为分析析电子显显微镜的的主要附附件之一一，通过过测量在在电子束束的照射射下产生生的X射射线的能能量来确确定材料料的成份份，特别别适于测测量重元元素的成成份，对对轻元素素也可进进行定性性分析。是是材料科科学研究究中不可可缺乏的的研究手手段之一一探测器： Sii(Lii)半导导体探测测器能量分辨辨率：优优于1338eVV 有效检测测面积：30mmm2 以上上元素分析析范围：B5-U992液氮罐容容量：99升探测器制制冷方式式： 液液氮冷却却应用软件件： 定定性分析析、定量量分析、彩彩色面分分析等11、CCCD相相机技术术要求CCD相相机是用用来对电电子衍射

8、射斑点及及高分辨辨像进行行实时数数字化的的设备，并并有进行行图像处处理的功功能，因因此要求求含有先先进的软软件分辨率：4K x 22.7K 像像素以上上 (SISS)每个像素素尺寸：18mm x 18mm应用软件件： 图像采采集、处处理软件件包耦合方式式： 光纤耦耦合安装部位位：底装式式3、冷冻冻超薄切切片机（进进口）1. 独立的彩彩色触摸摸屏控制制单元，操操作简便便。控制制器支持持热插拔拔。可控控制切片片机和冷冷冻室。 彩色触触摸屏可可以控制制切片机机和冷冻冻室，控控制方式式更方便便，简洁洁2. 重力切切片动力力系统，无无震动，切切片精度度高，带带有自动动保护装装置，不不会损坏坏刀片和和刀架

9、。3. 切片厚厚度： 半薄切切片厚度度：0.5 m5mm 增量量,连续可可调，超薄切切片厚度度：1 nm1mm，增量量,连续可可调4. 切片速度度：切片片速度0.005-1000mm/s5. 马达驱动动刀台： 马达达驱动刀刀台步进进:100mm的的N-SS移动 马达驱驱动刀台台步进: 255mm的的E-WW移动6. 切片记数数器和进进样累加加器，切切片速度度和厚度度数值设设定的记记忆系统统57. 全方位体体视显微微镜，观观察角度度可面向向操作者者倾斜，中中心位置置可移动动。非常常方便操操作者观观察。8. 有冷冻功功能，温温度范围围-15C-1855C；烘干温温度：1110 C，能能够完全全除湿，切切片机不不会生锈锈。-115度的的工作温温度，可可以温暖暖聚合物物切片。 9. 液氮地上上放置，波波纹管连连接，震震动小、噪噪音低。冷冷冻室连连接在切切片机主主机机架架上，可可以减小小外来震震动。冷冷冻室外外壁加热热去冰雪雪，操作作舒适。冷冷冻箱和和样品臂臂采用动动态隔热热专利技技术，不不易结冰冰，不易易震动。自自动快速速冷冻功功能。10. 制刀机：平衡断断裂法11. 低温*335度钻钻石刀一一把12、消消耗品及及附件6.4mmm厚玻玻璃条 600条 6.4mmm水槽 5000个 多多功能加加热板一一个