pecvd班组的维护流程2854.docx

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1、班组的维护流程1） 维护准备 1】 提前准备维护工具 石英管的准备815根 （单晶需15根，2根备用 多晶需9根，1根备用） 2】 石英管的挑挑选注意意：口径径的大小小 两端端口径不不要有裂裂痕 整整根不能能有裂痕痕 碰痕痕。无细细微裂纹纹和气泡泡3】4】 一对轴套的的卡孔注注意能与与扭力扳扳手吻合合，需要要时要用用电钻处处理卡孔孔 铝杯杯罩外部部面（绿绿“O”圈面）注注意不能能有大的的划痕 项圈圈5】 “O”圈的的选用一一注意形形状 不不变形 不扭曲曲；二“O”圈用酒酒精清洗洗，观察察“O”圈是否否有裂痕痕 毛刺刺，尤其其绿“O”圈。6】 梅花圈分薄薄和厚型型，选用用注意形形状 厚厚度 大大

2、小 其其作用是是支撑铜铜导管，调调节安装装石英管管的长度度。7】 铜导管注意意两者的的吻合，孔孔位的适适宜8】 铜制天线是是和铜导导管配位位使用，在在维护拆拆除石英英管时，需需要拔出出铜制天天线。组装的一端端图【下下】细分图【下下】带有环形封封口的铝铝制罩帽帽1）图：将石英英管挤压压进准备备好的铝铝质罩帽帽2） 将铜质导管管插入并并定位于于聚四氟氟乙烯梅梅花圈的的中心位位置（梅梅花圈对对于确保保铜质内内导管在在石英管管内的中中央位置置是十分分必要的的）图：完整的的石英管管的剖面面图3） 将卡口锁定定装置滑滑入石英英管图：准备好好的微波波传送系系统4） 将石英管的的另一端端推入准准备好的的另一个

3、个铝制的的罩帽中中，同时时将铜质质内导管管插入并并定位于于另外一一个聚四四氟乙烯烯梅花圈圈的中心心位置图2：完整整的微波波传送系系统拆卸石英管管的过程程：1. 先将将微波连连接器一一端的铜铜质天线线向外拔拔出800mm后后即可挪挪开该天天线（见见右图）图：在工作作位置和和维护位位置配有有铜质天天线的小小型微波波发射头头2.用大力力钳将石石英管掐掐碎，碎碎断距离离大约115CMM，一手手掌的距距离， （注意意别伤到到铜导管管）碎断断的距离离便于拆拆卸石英英管。【注注意别让让碎玻璃璃伤到手手】3.轴套的的松紧，顺顺时针是是上紧，逆逆时针方方向为松松懈工艺反应仓仓仓壁上上的微波波发射头头法兰接接口（

4、1） 4.法兰：石英管管连接处处，注意意观察外外部面的的平整度度，不得得有任何何划痕。拆拆卸掉石石英管时时，需要要用蘸有有酒精的的无尘布布进行阻阻挡或用用垫板进进行隔离离（2） 使用真空吸吸尘器清清洗一侧侧的表面面法兰盘盘并用蘸蘸有酒精精的无尘尘布封表表面（注意！卡卡口锁定定连接器器和法兰兰盘之间间的尺寸寸咬合公公差只有有0.110.22mm。）如果颗粒从从卡口锁锁定架或或横向工工艺特气气罩上脱脱落将会会导致擦擦伤和损损伤卡口口锁定装装置和法法兰盘现举用下镀镀膜的工工艺腔室室为例：沉积罩或特特气槽的的认识图：关闭的的氨气吹吹淋喷头头孔（左左图） 部部分关闭闭的硅烷烷气体吹吹淋喷头头孔（右右图）

5、（3） 使用金属线线刷或砂砂纸清洗洗严重污污染的不不能拆卸卸的部件件，使用用真空吸吸尘器清清除过程程中产生生的灰尘尘。（4） 检查气体吹吹淋口所所有的气气孔（11mm直直径）是是否通畅畅，如果果有堵塞塞，使用用1mmm的钻孔孔机或针针头刺透透气孔，从外向向内用压压缩气体体将气体体吹淋头头孔内部的的灰尘吹吹出。腔室上装石石英管示示意图：图1：完整整的等离离子体发发射源（左左图）和和没有横横向沉积积罩的等等离子体体发射源源（右图图）图2：设备备维护位位置时的的卡口锁锁定机械械装置图3：卡口口锁定机机械装置置大盖的清洁洁工作：用蘸有有酒精的的无尘布布擦拭工工艺腔室室的盖内内壁，主主要与门门上大“O”圈接触触的地方方，接下下来擦拭拭大“O”圈，擦擦拭是顺顺同一方方向进行行，防止止划痕OO圈。9