电子测量技术电子测量技术 (105).pdf

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1、是德科技LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具材料、半导体和元器件测试及在线测量解决方案选型指南2|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南应用作为行业标准的仪器,成功完成阻抗测量过去的半个多世纪中，惠普、安捷伦和是德科技不断创新，为业界提供了卓越的阻抗分析产品。无论研发、生产、质控、来料检测或者其他应用，能够帮助客户成功完成任务是我们最大的荣耀。从阻抗分析仪到全面的测试附件，我们将一如既往地为您提供完整解决方案，满足您的需求。应用是德科技阻抗测量解决方案，成就业务成功。是德科技提供:卓越的产品性能:是德科技产品可提供同类产品中最出色的精度和可重复性，以及极快的测量速度。表 1 中

2、列出的三种阻抗测量解决方案可满足不同的测量需求。全面的解决方案:是德科技的阻抗分析仪产品系列可测量的频率范围从 5 Hz 到 3 GHz，使您能在最广阔的范围内根据测量需求做出最好的选择。本选型指南概括性地向您介绍可以选择的所有产品和附件。适合应用所需的频率范围:是德科技产品提供业界最出色的性能，丰富的频率选件可以经济的价格满足您的需求。您可以选择最适合自身应用的频率范围，也可以灵活选择各种频率升级选件。您可以用最少的投资只购买当前所需的性能，而后再根据需求变化进行升级。专业技术:是德科技在提供阻抗测量解决方案方面拥有几十年的经验。常年的经验和持续的技术创新已经融合到是德科技每种 LCR 表和

3、阻抗分析仪的设计和生产制造过程当中。是德科技还有大量相关的技术资料，帮助您更加正确高效地完成各种测量任务(这些资料的清单在第 15 页列出)。应用范围广泛的先进测量技术图 1 是 Keysight LCR 表和阻抗分析仪所使用的不同测试技术的比较，正如您所看到的那样，每一种技术都有其特别的测量优势:自动平衡桥法的阻抗测量范围最宽，典型的测量频率在 20 Hz 到 110 MHz 之间，这项技术比较适用于低频和通用的测试。图 1.阻抗分析仪/LCR 表的阻抗测量技术表 1.阻抗测量产品类型产品类型产品要点LCR 表阻抗分析仪网络分析仪扫频测量功能点/列表连续(开始/停止,中心/扫宽)连续(开始/

4、停止,中心/扫宽)显示只有数字显示方式图像图像其他机械手接口，比较器内置等效电路分析功能、材料测量、在线测量内置等效电路分析功能,在一台仪表中实现多种测试功能优势低成本解决方案,容易使用,测试速度快最宽的测量范围,谐振分析,电路建模经济高效,多功能,仪表体积小100M10M1M100K10K1K100101100m10m1m1 10 100 1K 10K 100K 1M 10M 100M 1G 10G是德科技阻抗分析仪/LCR 表测量技术比较 10%精度范围阻抗测量范围()测量频率范围(Hz)自动平衡桥法I-V 法射频 I-V 法3|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南

5、I-V 法适用的频率范围从 40 Hz 到 110 MHz，能够测量的阻抗范围要小一些，另外也适用于用探头进行测量的在线测试。RF I-V 法是 I-V 法的扩展，在 I-V 法所适用的阻抗测试范围内，又增加了网络分析在高频测量时所具有的一些优点。RF I-V 法是专为精确地分析和测量射频器件的高频特性而设计的，在测量小电感和小电容方面体现出优越的性能。此外，是德科技的网络分析仪提供了阻抗测量解决方案，综合运用三种测量方法(反射、串联直通和并联直通)进行 S 参数和增益相位测量。如何使用这个选型指南表 2 是是德科技所有阻抗测试产品的一个概括，这个表格可以帮助您对是德科技的各种仪表进行更好的比

6、较，并使您能够根据下面列出的几方面的需要选出最能满足应用要求的解决方案:测试频率范围 器件的类型或应用的类型 精度要求(测量技术)任何其他特殊需求如果您觉得针对某一应用要求存在着几种可能的选择，那么可以翻到相应的页码去阅读关于每种产品更加详细的信息。表 2.是德科技阻抗测量产品一览产品类型频率范围应用特性产品型号频率范围(Hz)基本阻抗精度 1(%)测量结果显示范围()特性 4测量方法 5主要应用阻抗分析仪RF高性能/材料/高温度E4991B1 M 至 3 G0.65120 m 至 52 k 3A、BRF-IVLCR 元件、材料测试和半导体测试多功能E5061B选件 3L5/0055 至 3

7、G2(典型值)1 至 2 k/5 至20 k/1 m 至 5 3(典型值)A、B反射/串联/并联LCR 元件、PDNLF/HF高性能/材料/C-VE4990A20 至 120 M0.08(0.045典型值)25 m 至 40 M 3A、BABBLCR 元件、材料测试和半导体测试在线(接地)、C-V配有42941A 的E4990A20 至 120 M150 m 至 4 M 3A、BIV在线测试、半导体测试LCR 表RF高性能/高速测量E4982A1 M 至 3 G0.8140 m 至 4.8 k 3CRF I-VLCR 元件HF高性能/材料/C-V4285A75 k 至 30 M0.10.1 至

8、 10 M 3DABBLCR 元件、材料测试和半导体测试LF高性能/材料/C-VE4980A20 至 2 M0.054 m 至 100 M 3DABBLCR 元件、材料测试和半导体测试专用仪表LF电容器/高速测量E4981A只有 120、1 k 和 1 M0.0710 fF 至 2 mF 3DABBMLCC1.基本阻抗精度是仪表工作在最佳状态下的值,会随测量条件的改变而改变,详细信息需要阅读 具体产品的技术资料。2.只针对电容的测量3.阻抗测量精度为 10%的测试范围。4.产品特性代码的意义:A:内置等效电路分析 B:频率扫描测试和彩色 LCD 显示 C:点频测试和彩色 LCD 显示 D:点频

9、测试和普通 LCD 显示5.测量方法代码的意义:ABB:自动平衡桥法 I-V:I-V 法 RF I-V:射频 I-V 法 Ref:反射法 Series:串联-直通法 Shunt:并联-直通法4|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南阻抗分析仪是德科技阻抗分析仪具有 m 至 M 阻抗范围和 5 Hz 至 3 GHz 频率范围，提供同类产品无法匹敌的测量精度。您可以选择适合自身应用的频率范围。可对频率、直流偏置、交流电压/电流的大小进行扫描，您可以自行决定在哪些测量条件下以何种方式得到测试结果 内置等效电路分析功能可以给被测件找出一个最符合应用条件的多元件电路模型 先进的校准和

10、补偿方式可以显著降低测量误差 多种夹具选择满足各种应用需求:材料介电常数和磁导 率、元器件高温特性表征，各种无源器件，以及接地测量的阻抗探针等等E4990A 阻抗分析仪 5 种频率选件；20 Hz 至 10/20/30/50/120 MHz，可升级 0.08%(0.045%典型值)基本阻抗测量精度 25m 至 40 M 宽阻抗测量范围(10%测量精度范围)测量参数:|Z|、|Y|、R、X、G、B、L、C、D、Q、复数 Z、复数 Y、Vac、Iac、Vdc、Idc 内置直流偏置源:0 V 至 40 V，0 A 至 100 mA 10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条轨迹

11、数据分析功能:等效电路分析、极限线测试 用 42941A 阻抗探头(仅选件 120)可以进行在线器件或接地器件的测量 7 mm 测试夹具与 42942A 端子适配器(仅选件 120)配合使用 测量速度:3 ms/点(选件 120)、30 ms/点(选件 10/20/30/50)E4991B 阻抗分析仪 3 种频率选件:1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz，可升级 0.65%基本精度和120m 至 52k 阻抗范围(10%测量精度范围)测量参数:|Z|、|Y|、R、X、G、B、L、C、D、Q、|、x、y、Vac、Iac、Vdc 1、Idc 1 内置直流偏置(选件 001):0

12、V 至 40 V，0 A 至 100 mA 10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条轨迹 数据分析功能:等效电路分析、极限线测试 介电/磁性材料测量(选件 002)：|r|、r、r、tan()、|r|、r、r、tan()提供温度特征测量(选件 007)和可靠的晶圆上测量(选件 010)1 需要选件 001。5|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南网络分析仪E5061B-3L5 LF-RF 网络分析仪E5061B-3L5 低频-射频网络分析仪在配备了选件 005 阻抗分析功能之后，可在一台仪器内提供网络和阻抗分析功能。E5061B-3L5/005 是多

13、功能和经济高效的解决方案，适用于需要测试各种电子元器件和电路的通用研发应用:S 参数测试端口(5 Hz 至 3 GHz)和增益相位测试端口(5 Hz 至 30 MHz、1M/50 输入)E5061B-005 支持使用 S 参数测试端口或增益相位测试端口的反射、串联直通和并联直通方法。这些方法是进行中低、中高、极低毫欧级阻抗测量的理想选择 1 Keysight 7 mm 型和 4 端子对型元器件测试夹具可用于反射法(在 S 参数测试端口)和串联-直通法(在增益-相位测试端口)阻抗测量参数:|Z|、|Y|、R、X、G、B、C、L、D、Q 内置直流电压偏置电源(0 至 40 V，最大值 100 mA

14、)1.关于每种方法阻抗测量范围的详细信息,请参见配有选件 005 阻抗分析功能的 E5061B-3L5 低频-射频网络分析仪技术资料(5990-7033CHCN)。6|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南LCR 表Keysight LCR 表在可以承受的价格上为研发和生产应用提供了出色的测量精度、速度和通用性。宽频率范围:20 Hz 至 3 GHz 频率列表扫描，可实现在大量频率点上进行的连续测试 在高低阻抗范围内都具有无与伦比的测量精度 提供最广泛的附件，适用于测试引线型元件、表面贴装型元件、半导体和材料 测量速度快，可重复性高 机械手接口和料仓分选功能让您非常容易地在

15、生产环境中实现自动化测试4285A 精密 LCR 表 75 kHz 至 30 MHz 0.1%基本测试精度 列表扫描测量 选件 001 增添了 40 V 直流偏置电压 测量参数:|Z|、|Y|、R、X、G、B、C、L、D、QE4982A LCR 表 1 MHz 至 3 GHz 频率范围，100 kHz 分辨率 高速测量:可选择 0.9 ms(模式 1)、2.1 ms(模式 2)和 3.7 ms(模式 3)0.8%基本测试精度 使用射频 I-V 法可测试非常宽的阻抗范围(0.14 至4.8k)在测量低电感时测量结果可保持极高的稳定度，并具有出色的 Q 精度，适用于片式电感器测试 机械手接口适用于

16、生产测试 用户可自行将测量参数|Z|、|Y|、R、X、G、B、L、C、D、Q、Rdc、Idc、Vdc 组合起来(最多不超过 4 个参数)进行测试 通用的 PC 连通性(LAN、USB 和 GPIB)7|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南1 需要选件 E4980A-001。E4980A 精密 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz 频率范围，4 位分辨率 对高低阻抗进行测量，可实现极高的测量可重复性和 0.05%的基本测量精度 测量时间(1 MHz 时):5.6 ms(短)，88 ms(中)，220 ms(长)选件 E4980A-001 增添了 20 Vrms/100 m

17、Arms 测试信号、40 V/100 mA 内部直流偏置、第 2 个直流源以及 Vdc/Idc 测量 选件 201 和 301 分别增添了机械手接口和扫描仪接口 测量参数:|Z|、|Y|、R、X、G、B、L、C、D、Q、Rdc、Vdc 1、Idc 1 通用 PC 连通性 LAN、USB(存储器/USBTMC)和 GPIBE4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz 频率范围，4 位分辨率 对高低阻抗进行测量，可实现极高的测量可重复性和 0.05%的基本测量精度 测量时间(1 MHz 时):12 ms(短)，118 ms(中)，343 ms(长)

18、测量参数:|Z|、|Y|、R、X、G、B、L、C、D、Q、Rdc 通用 PC 连通性 LAN、USB(存储器/USBTMC)和 GPIB8|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南E4981A 120 Hz/1 kHz/1 MHz 电容表 120 Hz、1 kHz 和 1 MHz 测试频率 高速测量:2.3 ms(1 MHz)、3.0 ms(1 kHz)、11.0 ms(120 Hz)基本精度:C:0.07%，D:0.0005 机械手和扫描仪接口适用于生产测试 测量参数:C、D、Q、ESR、G SLC 特性为高容值电容器测量提供恒定的测试电压9|Keysight|LCR 表、

19、阻抗分析仪和测试夹具选型指南测试夹具和附件(4 端子对)最佳的测试夹具16034E SMD/片状测试夹具频率：40 MHz最大直流偏置:42 V 最大峰值16044A SMD 开尔文触头测试夹具频率:10 MHz最大直流偏置:42 V 最大峰值16047E 测试夹具频率:120 MHz最大直流偏置:42 V 最大峰值16089A/B/C/D 片状延长电缆 线夹类型:A/B/C:开尔文 D:鳄鱼夹 频率:5 Hz 至 100 kHz电缆长度:A/B/C/D:0.94 m E:1.3 m最大直流偏置:42 V 最大峰值16334A SMD/片状器件镊子频率:15MHz最大直流偏置:42V最大峰值1

20、6047A 轴向和径向测试夹具频率:A:13 MHz(开尔文触头)最大直流偏置:A:42 V 最大峰值16034G 小型 SMD/片状测试夹具频率：120 MHz最大直流偏置:42 V 最大峰值16034H SMD/片状测试夹具频率：120 MHz最大直流偏置:42 V 最大峰值适用于阵列型器件10|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南测试夹具和附件(4 端子对)外部直流偏置夹具测试延长电缆测试延长电缆16065A 带有保护罩的轴向和径向测试夹具频率:50 Hz 至 2 MHz最大外部直流偏置:200 V5.6F 隔直流电容器与 Hc 端子串联16048A/D/E BNC

21、 测试延长电缆频率:A:30 MHz，D:30 MHz，E:2 MHz电缆长度:A:0.94 m，D:1.89 m，E:3.8 m最大直流偏置:42 V 最大峰值42942A 4 端子对至 7 mm 端子适配器频率:120 MHz最大直流偏置:42 V 最大峰值仅与 4294A/E4990A 配合使用16048G/H BNC 测试延长电缆频率:120 MHz电缆长度:G:1 m，H:2 m最大直流偏置:42 V 最大峰值仅与 4294A/E4990A 配合使用16065C 外部偏置适配器频率:100 Hz 至 1 MHz最大外部直流偏置:40 V50F 隔直流电容器与 Hc 端子串联11|Ke

22、ysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南测试夹具和附件(4 端子对)材料测量测试夹具和附件(7 mm 端子)射频 SMD/片状器件其他16451B 电介质测试夹具测量参数:电容(C)、耗散系数(D)和介电常数(r、r)被测材料尺寸:厚度:10 mm直径:10 至 56 mm频率:30 MHz16452A 液体测试夹具测量参数:电容(C)、介电常数(r，r)液体样本体积:6.8 ml频率:20 Hz 至 30 MHz42941A 阻抗探头套件频率:120 MHz最大直流偏置:42 V 最大峰值探头电缆长度:1.5 m仅与 4294A/E4990A 配合使用16196A/B/C/D

23、SMD 测试夹具为平行电极 SMD 设计的同轴夹具频率:直流至 3 GHz最大直流偏置:42 V 最大峰值适用的 SMD 尺寸:16196A:1.6 mm x 0.8 mm16196B:1.0 mm x 0.5 mm16196C:0.6 mm x 0.3 mm16196D:0.4 mm x 0.2 mm16197A 底电极 SMD 测试夹具频率:直流至 3 GHz最大直流偏置:42 V 最大峰值16092A 轴向、径向和 SMD 测试夹具频率:500 MHz最大直流偏置:42 V 最大峰值12|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南16192A 平行电极 SMD 测试夹具频

24、率:直流至 2 GHz最大直流偏置:42 V 最大峰值16453A 电介质测试夹具频率:1 MHz 至 1 GHz样本尺寸(只计算平面部分):厚度:0.3 mm 至 3 mm直径:15 mm16201A N 型至 7 mm 端子适配器频率:3 GHz最大直流偏置:40 V只与 E5061B 配套使用16454A 磁性材料测试夹具频率:1 kHz 至 1 GHz样本大小(仅包含环形线圈):高:8.5 mm内径:3.1 mm外径:20 mm16194A 高温元件测试夹具频率:直流至 2 GHz最大直流偏置:42 V 最大峰值工作温度:-55C 至+200C16200B 外部直流偏置适配器频率:1

25、MHz 至 1 GHz最大外部直流偏置:高达 5 A，40 V材料测量测试夹具和附件(E5061B)13|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南利用是德科技测试附件,简化并改善您的测量选择测试夹具和选择合适的测试设备一样重要。是德科技提供大量附件，用于轴向、径向和 SMD/片状器件的测试。此外，是德科技还提供了各种测试延长电缆，用来简化远程测试和系统应用，以及带有保护罩的外部测试夹具。合适的测试夹具，可以从以下几方面改善您的测量结果:更可靠和可重复的测量结果 更高的测试吞吐量 更少的操作错误 更严格地满足测试指标的限制 更高的测量精度E4980A/AL4285AE4981A

26、E4982AE4990A 选件 120E4990A 选件 010/020/030/050E4991BE5061B 选件 3L5/005表 3.测试附件/夹具16034ESMD/片状器件测试夹具DC-40 MHz16034G小型 SMD/片状器件测试夹具DC-120 MHz16034H适用于测试阵列型器件的 SMD/片状器件测试夹具DC-120 MHz16044ASMD/片状器件测试夹具,开尔文触头DC-10 MHz16047A轴向/径向测试夹具DC-13 MHz16047E轴向/径向测试夹具DC-120 MHz16048A1 米测试延长电缆,BNCDC-30 MHz16048D2 米测试延长电

27、缆,BNCDC-30 MHz16048E4 米测试延长电缆,BNCDC-2 MHz16048G1 米测试延长电缆,BNCDC-120 MHz16048H2 米测试延长电缆,BNCDC-120 MHz16065A带保护罩的外接电压偏置源(200 Vdc)50 Hz-2 MHz16065C外接偏置适配器(40 Vdc)100 Hz-1 MHz16089A/B/C/D开尔文接线柱延长电缆5 Hz-100 kHz16092A射频弹簧接线柱:轴向、径向和 SMDDC-500 MHz 1 2 316192A平行电极 SMD 测试夹具DC-2 GHz 1 2 316194A高温元件测试夹具DC-2 GHz

28、1 2 316196A/B/C/D平行电极 SMD 测试夹具DC-3 GHz 1 2 316197A底电极 SMD 测试夹具DC-3 GHz 1 2 316200B外部直流偏置适配器1 MHz-1 GHz 1 2 316201AN 型至 7 mm 端子适配器5 Hz to 3 GHz16334ASMD/片状器件镊子DC-15 MHz16451B电介质材料测试夹具DC-30 MHz16452A液体测试夹具20 Hz-30 MHz16453A电介质材料测试夹具1 MHz-1 GHz 416454A磁性材料测试夹具1 kHz-1 GHz 2 442941A阻抗探头套件DC-120 MHz42942A

29、4 端子对到 7 mm 适配器DC-120 MHz注:频率和工作限制,参见附件描述。1.需要使用 3.5 mm(阳头)至 7 mm 适配器。2.需要 42942A。3.与 16201A 结合使用时可兼容。4.需要 E4991B-002。更多产品信息和资料，请访问我们的附件网站: 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南帮助您更好地完成测试是德科技应用知识能够帮助您更好地完成测试。阻抗测量手册(5950-3000)是关于阻抗测量的全面指南。手册涵盖从基础知识到实际应用的全面内容，为您介绍各种重要的测量技术，帮助您更好地应对测试挑战。1.阻抗测量基础2.阻抗测量仪器3.夹具使用和电缆连接4.测量误差和补偿

30、5.阻抗测量应用和增强互补的产品和附件为帮助您确定完整的解决方案，我们列出下面这些为是德科技阻抗测量产品提供互补产品或专门附件的公司。如果您对他们的产品感兴趣，请直接与其联系。(是德科技不对这些公司的产品作任何专门认可;下表仅作为参考)。公司名称特长产品/专业技术网站地址:All-Ring Tech(ART)元器件测试、分选和编带机www.allring-.twArumoTech定制测试夹具www.arumotech.co.jpAxisnet大功率条件下的阻抗测量系统Beta LaserMikeLAN 电缆自动测试系统BH Electronics宽带变压器Cascade Microtech半导

31、体和 IC 用射频和微波探头及附件Electro Scientific Industries(ESI)元器件测试、分选和编带机ESPEC元器件和材料测试用恒温箱HCUNI材料测量解决方案Humo Laboratory电容和晶体器件测试和分选机www.humo.co.jpInter-Continental Microwave(ICM)器件自动装载系统、射频和微波测试夹具、非同轴校准标准件Kanto Electronic Application and Development(KEAD)材料测量解决方案www.kead.co.jpKEYCOM材料测量解决方案www.keycom.co.jpMate

32、rial-Wave Interactions(MWI)Laboratories材料测量解决方案North Hills Signal Processing用于平衡测量的宽带变压器(平衡-不平衡变压器)www.northhills-Seiwa Giken能量和电池测试解决方案www.seiwa-giken.co.jpSystemhouse Sunrise太阳能电池 C-V 测试解决方案www.ssunrise.co.jpSUMTEC材料测量解决方案www.sumtec.bizSine Yo Feng(SYF)元器件测试和编带机.twTOKYO WELD元器件测试、分选和编带机15|Keysight|LCR 表、阻抗分析仪和测试夹具选型指南是德科技网站资源LCR 表/阻抗分析仪: 表和阻抗测量产品附件: