半导体制造工艺流程目录3807.docx

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1、目录研究前言言1(一)报报告目的的(Obbjecctivve oof RRepoort)1(二) 研究范范围(RReseearcch SScoppe)4(三) 研究区区域(SSurvvey Reggionn)8(四) 数据来来源(DDataa Soourcce)9(五) 研究方方法(RReseearcch AApprroacchess)10(六)一一般定义义(Geenerral Deffiniitioon)10(七) 市场定定义(MMarkket Deffiniitioon oof CCCIDD)12(八)特特别说明明(Sppeciificcatiion)13(九) 研究对对象(RReseea

2、rcch OObjeect)一、20002年年中国半半导体设设备市场场环境综综述14(一) 半导体体设备分分类与技技术发展展现状16(二) 世界半半导体设设备市场场概况19(三) 中国半半导体设设备产业业及市场场环境191、产业业环境212、市场场环境二、20002年年中国半半导体设设备产业业现状分分析24(一) 中国半半导体设设备的现现状29(二) 国内各各主要半半导体设设备生产产情况291、材料料制备设设备312、前工工序设备备333、后工工序设备备344、其他他设备36(三) 国内主主要半导导体设备备生产厂厂家361、西安安理工大大学晶体体生长设设备研究究所372、中国国电子科科技集团团

3、第四十十五研究究所383、中国国电子科科技集团团第四十十八所404、北京京七星华华创电子子股份公公司425、北京京北仪创创新真空空技术有有限责任任公司436、中国国科学院院光电技技术研究究所(简简称成都都光电所所)457、西北北机器厂厂(七00九厂)468、铜陵陵市三佳佳电子(集团)有限公公司479、北京京华兴微微电子有有限公司司4810、国国投南光光有限公公司4911、四四川南光光真空科科技有限限公司4912、深深圳波达达超声工工程设备备有限公公司5013、深深圳丰德德微电子子有限公公司5114、青青岛旭光光仪表设设备有限限公司5115、青青岛旭升升专用仪仪表设备备有限公公司5116、江江阴

4、市新新潮科技技有限公公司5217、上上海爱斯斯佩克环环境设备备有限公公司三、20002年年中国半半导体设设备市场场现状分分析53(一) 市场总总体状况况531、市场场规模与与增长562、市场场结构61(二) 前工序序设备市市场611、市场场分布642、供应应情况67(三) 封装设设备市场场69(四) 半导体体材料设设备四、20003年年及其未未来五年年中国半导体设设备市场场发展预预测71(一) 半导体体设备发发展趋势势72(二) 2000320007年半半导体设设备市场场展望表目录15表1 集成电电路制造造工艺所所需主要要设备15表2 世界主主要半导导体企业业12英英寸厂工工艺特征征与工艺艺研

5、发16表3 19996220022年世界界半导体体设备年年销售情情况17表4 20001220022年世界界半导体体设备销销售额18表5 2000120002年世世界主要要半导体体企业投投资情况况18表6 20002年世世界前十十大半导导体设备备供应商商19表7 20002年世世界前十十大半导导体测试试与测量量设备供供应商24表8 国产半半导体专专用设备备的研制制过程25表9 2000120002年中中国半导导体设备备销售情情况26表10 中国国微电子子设备水水平与世世界水平平的比较较27表11 中国国半导体体工艺设设备技术术水平及及研制单单位27表12 2000120002中国国主要的的半导

6、体体设备生生产企业业销售情情况30表13 国内内满足不不同晶体体的生长长设备30表14 20002年年半导体体材料制制备设备备的典型型产品32表15 前工工序关键键设备仪仪器技术术水平33表16 前工工序关键键设备及及主要生生产厂家家34表17 主要要的后工工序设备备及生产产厂家35表18 测试试设备及及主要生生产厂家家35表19 环境境模拟及及可靠性性试验设设备及生生产厂35表20 净化化设备及及生产厂厂53表21 “七五”“十五五”期间国国内半导导体设备备投资增增长情况况55表22 20000年年之前国国内主要要外商投投资半导导体项目目情况57表23 20002年年中国半半导体设设备市场场

7、地区及及主要客客户分布布情况59表24 2000120002年中中国主要要半导体体设备市市场情况况61表25 20002年年中国半半导体设设备市场场主要产产品销售售额情况况62表26 20002年年国内芯芯片生产产线水平平分布情情况63表27 2000020002年国国内集成成电路芯芯片制造造线数量量对比64表28 国内内主要的的集成电电路制造造企业生生产线情情况65表29 国内内光刻设设备市场场主要产产品及供供货来源源66表30 蚀刻刻设备市市场主要要产品与与生产厂厂商66表31 掺杂杂设备市市场主要要产品与与生产厂厂家67表32 中国国集成电电路封装装企业地地区分布布状况68表33 国内内

8、主要集集成电路路封装线线规模及及技术水水平69表34 2000120002年中中国主要要集成电电路封装装企业销销售状况况72表35 20003年年中国集集成电路路芯片生生产线拟拟建项目目一览表表图目录17图1 19996220022年世界界半导体体设备年年销售额额曲线图图22图2 19999220022年中国国集成电电路市场场规模增增长23图3 1999920002年中中国集成成电路产产业规模模增长25图4 20002年各各类半导导体专用用设备占占有比例例54图5 “七五”“十五五”期间半半导体专专用设备备投资额额56图6 20000220022年中国国半导体体设备市市场增长长情况58图7 20002年中中国半导导体设备备市场地地区分布布情况58图8 20002年中中国半导导体设备备市场厂厂商分布布情况59图9 20001220022年主要要半导体体设备市市场需求求情况60图10 20002年年国内半半导体设设备市场场需求结结构62图11 20002年年国内芯芯片生产产线水平平分布情情况67图12 中国国集成电电路封装装企业地地区分布布状况